【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第１面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第２面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第１面と第２面とはほぼ平行である。 （もっと読む）

【課題】被測定体によって形成される光束の波面を高精度（例えば、高空間周波数のうねり成分まで）、且つ、短時間で測定することができる測定方法を提供する。
【解決手段】参照面を有する光学系と、検出面を有する検出部とを備え、前記光学系によって前記検出面に形成される被測定体又は基準面からの被検光束と前記参照面からの参照光束との干渉パターンを前記検出部で検出する測定装置を用いて、前記被測定体によって形成される光束の波面を測定する測定方法であって、前記測定装置における位相伝達関数及びパワースペクトル密度を用いて、前記測定装置による測定結果から前記光学系に起因する波面誤差を分離する測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を計測精度の低下を抑制できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、位置が固定された回折格子を含むスケール板と、供給された光をスケール板に導く導光光学系の少なくとも一部を含む、移動体に配置されたエンコーダヘッドと、移動体と離れた位置で光を射出して、導光光学系に供給する光源とを備えている。 （もっと読む）

【課題】一つの撮像手段による簡易な装置構成によって、デバイスの外観検査項目を網羅的に実施可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】撮像手段であるカメラ２と、照明手段３と、４つのミラー４とからなる。カメラ２は、ターンテーブルに設けられた吸着ノズルＮの垂直方向（Ｚ軸方向）に光軸を持つように、デバイスの底面に対向する位置に設けられている。ミラー４は、図２（ｂ）に示すように、搬送されてくるデバイスＤの停止位置において、そのデバイスの周囲を囲むように四方に設けられている。すなわち、デバイスＤのリードが設けられた２面に対して平行に２つのミラー４ａ及び４ｂを設け、さらに、リードが設けられていない２面に対して平行に２つのミラー４ｃ及び４ｄを設けている。 （もっと読む）

【課題】エンコーダステージ位置測定の正確なキャリブレーションを実現する。
【解決手段】ステージのエンコーダ位置測定システムをキャリブレーションするためのキャリブレーション方法において、エンコーダ位置測定システムが、エンコーダ格子、ならびにエンコーダ格子と協働する、水平および垂直方向の位置感度を示すセンサヘッド出力信号をそれぞれがもたらす少なくとも２つのセンサヘッドを含む方法であって、ａ）センサヘッドがエンコーダ格子に対して、またはその逆に移動されるように、ステージを移動させること、ｂ）移動させることの間に、２つのセンサヘッドによって、エンコーダ格子に対するステージの位置を測定すること、ｃ）２つのセンサヘッドのセンサヘッド出力信号から垂直位置データマップを求めること、ｄ）垂直位置データマップから水平位置データマップを計算すること、およびｅ）計算された水平位置データマップを利用することによって、エンコーダ位置測定システムをキャリブレーションすることを含む方法。 （もっと読む）

【課題】被加工物の上面高さ位置を検出しつつ加工用のレーザー光線の集光点位置を追随させることができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】集光器７によって集光される加工用レーザー光線の集光点位置を変位せしめる集光点位置調整手段と、高さ位置検出手段８からの検出信号に基いて該集光点位置調整手段を制御する制御手段とを具備し、高さ位置検出装置８は検出用レーザー光線をのスポット形状を環状に形成する環状スポット形成手段８２と、チャックテーブルに保持された被加工物の上面で反射した反射光は通過させるが被加工物の下面で反射した反射光は遮断するピンホールマスク８４と、ピンホールマスク８４を通過した反射光を分析し分析結果を該制御手段に送る反射光分析手段８５とを具備ており、集光器７は対物レンズ７２と、加工用レーザー光線は集光しないがスポット形状が環状の検出用レーザー光線は集光するウインドウレンズ７３を備えている。 （もっと読む）

【課題】高い感度で高速に検査を行うことが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、ウェハＷの表面に照明光を照射する照明部１０と、照明光が照射されたウェハＷの表面からの光を検出する２次元撮像素子３３と、２次元撮像素子３３により検出された光情報を読み出して、当該光情報に基づきウェハＷの表面を検査するとともに、２次元撮像素子３３における検査に適する部分を求めるＣＰＵ４３とを備え、２次元撮像素子３３は、光情報を画素単位で部分的に読み出すことが可能なＣＭＯＳイメージセンサであり、ＣＰＵ４３は、２次元撮像素子３３における検査に適する部分の光情報のみを読み出して検査するようになっている。 （もっと読む）

アライメントシステム（AS）と機能的に複合されているサンプル調査システム（ES）、およびマッピングエリプソメーターまたは同様のシステムへの適用を用いた著しく迅速に（例えば秒単位の）、サンプル高さ、入射角度および入射面の調整を可能にする方法論。
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【課題】複数波長を搭載した暗視野検査装置では、波長に応じて回折光の位置が異なるため、全ての回折像を遮光した場合、解像度が低下する問題がある。また、液晶フィルタのような２次元アレイ状のデバイスを用いる場合、特定の偏光しか検出できず、検出する偏光と直交方向に振動する偏光特性を有する欠陥の散乱光を遮光して欠陥を見逃すことになる。このため、レンズの解像度を低下せず、欠陥散乱光の偏光特性にも依存されずに検出感度の高い欠陥検査方法とその装置を提供する。
【解決手段】検出光路を波長分岐或いは偏光分岐の少なくても一つ以上の分岐を行い、分岐後に２次元アレイ状の空間フィルタを配置し、回折光のみを前記２次元アレイ状の空間フィルタにて遮光することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
走査型露光装置を用いる基板上のショット配列の精度を計測する計測方法において、より短時間でショットの配列精度を評価する計測方法を提供する。
【解決手段】
第１の露光においてウェハ上に転写されたショットＡ(i,j+１), Ａ(i,j)と、そのウェハを９０°回転させた第２の露光においてウェハ上に転写されたショットＢ(i,j), Ｂ(i+１,j)とを重畳させ、その重畳領域において、ショットＡ(i,j+１), Ｂ(i+１,j)に含まれる中実箱型マークとショットＢ(i,j)に含まれる中空箱型マークが重なり合い、ショットＡ(i,j)に含まれる中空箱型マークとショットＢ(i,j)に含まれる中実箱型マークが重なり合う。形成した重ね合わせマーク３７〜４２を、全ての重畳領域内のマークに関して計測し、これら重畳領域を形成する全てのショットの相対的な位置誤差および回転誤差を一括して演算する。 （もっと読む）

【課題】移動体に設けられた回折格子の歪みに起因するエンコーダヘッドの計測値を高精度に補正する。
【解決手段】Ｘ軸方向を計測方向とするエンコーダヘッド（Ｘヘッド）６６₇，６６₀とそれらに対向してステージＷＳＴ上に設けられたＸスケール３９Ｘ₁を用いて、ステージＷＳＴのＸ位置を計測する。ステージＷＳＴをＸ軸方向に移動させ、Ｘ軸方向に所定間隔で設定された計測点毎に、両ヘッド６６₇，６６₀の計測値の差分を求める。全てのステップ位置についての差分より、Ｘスケール３９Ｘ₁の歪みを求める。同様に、その他のスケールの歪みを計測する。計測された歪みに基づいて、ステージＷＳＴの位置を計測するエンコーダの計測値を補正する。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａ_１，１６Ｙａ_２から、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ１_１，Ｌｙ１_２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２_１，Ｌｙ２_２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂ_１，１６Ｙｂ_２を用いて受光して、テーブルＷＴＢのＸ，Ｙ，θｚ位置情報を計測する。それにより、テーブルＷＴＢの周辺雰囲気の揺らぎの影響が小さいため、高精度なテーブルＷＴＢの位置計測が可能になる。さらに、エンコーダシステムを用いて得られるテーブルＷＴＢの位置情報に基づいて、テーブルＷＴＢを駆動する。従って、高精度にテーブルＷＴＢを駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】位置情報の計測精度の低下を抑制し、露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、液体を介して露光光で基板を露光する。露光装置は、露光光を射出する光学部材と、基板の露光中に、光学部材と基板との間の露光光の光路が液体で満たされるように液浸空間を形成可能な液浸部材と、露光光の照射位置を含む所定面内を移動可能な物体の位置情報を計測可能な計測器を支持する支持部材と、液浸部材の変形が支持部材へ伝達されないように支持部材と液浸部材とを接続する接続機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａから、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂを用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。それにより、テーブルＷＴＢの周辺雰囲気の揺らぎの影響が小さいため、高精度なテーブルＷＴＢの位置計測が可能になる。さらに、エンコーダシステムを用いて得られるテーブルＷＴＢの位置情報と、位置情報に含まれるテーブルの傾斜に起因する計測誤差の補正情報と、に基づいて、テーブルＷＴＢを駆動する。従って、補正情報を用いて位置情報を補正し、補正された位置情報に基づいて高精度にテーブルＷＴＢを駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】補正情報の作成に要する時間的及び資源的なコストを現実的な範囲に抑える。
【解決手段】ステージＷＳＴの位置を計測するために使用されるエンコーダ及び面位置センサの計測値には、様々な計測誤差が含まれる。そこで、補正量Ｒを加えて、計測値を補正する。ここで、補正量Ｒを、計測面（スケール）ＳＣに起因する計測誤差Ｇと、ヘッドＥｈに起因する計測誤差Ｈと、に分類（Ｒ＝Ｇ＋Ｈ）して扱う。ここで、一般に、前者Ｇは、計測ビームＬＢの投射点のスケールＳＣ上の位置（ｘ，ｙ）の関数として、後者Ｈは、ヘッドＥｈとスケールＳＣ間のクリアランス（ｚ）と傾斜・回転（ψｘ，ψｙ，ψｚ）の関数として、表現することができる。 （もっと読む）

【課題】移動体に設けられた計測面への位置計測センサの計測ビームの投射を制御することにより、計測面の歪みを回避する。
【解決手段】所定平面内を移動するステージＷＳＴの位置を計測するために、ヘッドユニット６２Ａ〜６２Ｆが設置されている。ヘッドユニット６２Ａ〜６２Ｆは、それぞれ、複数のエンコーダヘッド等を備えている。各エンコーダヘッドから、計測ビームが、ステージＷＳＴの上面に設けられているスケール３９Ｙ₁、３９Ｙ₂、３９Ｘ₁、３９Ｘ₂に投射される。ここで、長時間、同一位置に計測ビームが投射され続けると、スケール３９Ｙ₁、３９Ｙ₂、３９Ｘ₁、３９Ｘ₂に照射熱に起因する変形が生じ、エンコーダ（位置計測センサ）の計測誤差が発生する。そこで、計測ビームを、切る、間欠投射する、或いは強度を変えて投射することにより、その投射量を制御することで、スケールの変形を抑制する。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａから、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂを用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。それにより、テーブルＷＴＢの周辺雰囲気の揺らぎの影響が小さいため、高精度なテーブルの位置計測が可能になる。干渉計システムを用いてエンコーダシステムの計測誤差を補正する補正データを作成し、その補正データを用いてエンコーダシステムの計測結果を補正し、補正された計測結果に基づいてテーブルＷＴＢを駆動することができるので、高精度なテーブルの駆動制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ又はチップ上の構造に対する整列データを決定する方法及びシステムを提供する。
【解決手段】 例えば樹脂又は膜のような、オーバー・バンプ・アプライド材料により被覆されたウエハ又はチップのような被処理体上の構造に対する整列データを決定し、ダイシング又は接続のような後続の動作においてウエハ又はチップを整列させるために上記データを使用する方法及びシステムを提供する。整列のための一データは、被処理体に対する焦点の位置の深さを変更し、光学走査により捕捉されるイメージからほぼ最大値の信号対雑音比（ＳＮＲ）を調べることにより構造の位置を同定することにより生じられる。閾値以上のＳＮＲが使用される。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
露光領域ＩＡの中心ＩＡａを含む第１領域では、エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａ_１から、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２_１を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２_１を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂ_１を用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。アライメント系ＡＬＧの検出中心ＡＬａを含む第２領域では、光源１６Ｙａ_２から計測光Ｌｙ２_２をグレーティングに入射させ、回折光Ｌｙ２_２を光検出器１６Ｙｂ_２を用いて受光して位置情報を計測する。さらに、テーブルＷＴＢの位置情報に応じて、使用する計測装置を切り換える。それにより、全領域において、高精度なテーブルの位置計測が、ひいては高精度な駆動制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】陽炎による位置検出誤差を効果的に低減し、ボンディング位置精度を向上させるリードフレームを加熱するダイボンディング装置の提供。
【解決手段】リードフレーム３１を保持する表面に位置合わせ用マークである孔２３を備えるボンディングステージと、孔２３とリードフレーム３１のアイランド３２とを同一視野内で撮像するカメラを備え、リードフレーム３１の基準位置とボンディング位置とにおいて孔２３とアイランド３２を含む基準画像と検出画像を取得する。そして、基準画像と検出画像とを比較し、アイランド３２の基準画像上の位置と検出画像上の位置との位置ずれによりアイランド３２の見かけ上の位置を取得し、孔２３の基準画像上の位置と検出画像上の位置との位置ずれにより位置補正量を取得し、アイランド３２の見かけ上の位置を位置補正手段によって取得した位置補正量だけ補正してアイランド３２の位置を認識する。 （もっと読む）