【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の上面位置を正確に計測することができる計測装置および計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源６１からの光を第１の経路に導くとともに第１の経路を逆行する反射光を第２の経路に導く第１の光分岐手段６２と、コリメーションレンズ６３によって平行光に形成された光を第３の経路と第４の経路に分ける第２の光分岐手段６４と、第３の経路に配設され第３の経路に導かれた光をチャックテーブル３６に保持された被加工物Ｗに導く対物レンズ６５と、集光レンズ６６と、第４の経路に導かれた平行光を反射して第４の経路に反射光を逆行せしめる反射ミラー６７と、第２の経路に導かれた反射光を回折する回折格子６９と、回折格子６９によって回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサー７１とを具備している。 （もっと読む）

本発明は，少なくとも第１クラッチ部材と，軸線方向に可動とした第２クラッチ部材とを備えた車両トランスミッション用の形状密着結合型クラッチ装置，特に噛合いクラッチ装置を提案する。本発明では，両クラッチ部材（１，２）の対応する係合爪部（３，４）を互いに形状密着的に係合させるため，軸線方向に可動としたクラッチ部材（２）を，両クラッチ部材（１，２）の速度差が所定値に達したときに切り替え可能とする。更に，両クラッチ部材（１，２）の対応する係合爪部（３，４）における係合に際して必要とされる位置差を探知するため，少なくとも１つの検出手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 不変形レーザスペックル映像を用いて二次元の精密な定位を行う方法及び系統を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明において、予め広い同調性を有するレーザ光を定位母板に照射し、該定位母板から散乱された光が干渉して生成した不変形スペックルを記録し、スペックルテーブルを作成し、基準点を定義し、記録された各スペックルを定位する。該スペックルテーブルから、いずれのスペックルに対応する座標位置を獲得することができ、さらに定位物の定位を導くことも距離の測量を適用することもできる。本発明は、キャプチャしたスペックルを数マイクロメーターに制御し、高精度の定位を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】搬送中の貨物の寸法及び重量を高精度に測定できる寸法重量測定装置を提供する。
【解決手段】搬送路上を移動する貨物Ａの寸法と重量とを測定する装置であり、搬送方向と直交する方向に複数の受光センサを配列し、貨物Ａに投影した平行光束を受光センサで受光して、貨物Ａに遮光されて受光できない遮光受光センサの位置を検出する光学ゲート５０と、貨物Ａの搬送距離を検出する搬送距離検出手段１２と、搬送距離が所定量増加するごとに、光学ゲート５０の遮光受光センサの位置を記憶し、この動作を貨物Ａが光学ゲート５０を通過するまで繰り返すメモリと、貨物Ａが光学ゲート５０を通過した後、メモリに記憶されたデータに基づいて貨物Ａの寸法を算出する寸法測定手段と、搬送路上を移動する前記貨物の重量を測定する重量測定手段とを備える。この装置は、貨物Ａの搬送速度の影響を受けずに、貨物Ａの寸法及び重量を高精度に測定できる。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高感度で欠陥検査を行うことができる検査装置、及び検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかると、対物レンズ１３と、対物レンズ１３の視野の一部である検査領域５２を照明する反射照明光学系６１と、検査領域５２と検査領域５１とを照明する透過照明光学系６２と、透過照明光学系６２に設けられ、検査領域５２に入射する透過照明光の光強度を検査領域５１に入射する透過照明光の光強度よりも低くする部分透過板４と、検査領域５２において、透過照明光学系６２からの透過照明光のうち試料を透過した透過光と反射照明光学系６１からの反射照明光のうち試料で反射した反射光とを検出するＴＤＩカメラ１６ｂと、検査領域５１において、透過照明光学系からの光のうち試料を透過した透過光を検出するＴＤＩカメラ１６ａと、を備えるものである。 （もっと読む）

3Dモデルを生成し、および／またはダイヤモンドのような研磨原石におけるインクルージョンを検出する、方法および機器について示した。原石は、一連の個別の増分で回転される。原石の各回転位置では、原石に平行光が照射され、輪郭画像が記録される。また、原石には、各回転位置で、（更なる回転の前に）拡散光が照射され、拡散画像が記録される。画像は、解析され、原石の表面の3Dモデルが取得される。次に、拡散画像において、特徴物が同定され、これは、後続の拡散画像の間でトラックされる。トラック化特徴物は、原石による光線の反射および屈折を考慮して、原石の3Dモデルに対して配置される。その後、特徴物のいくつかまたは全てがインクルージョンとして同定される。
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薄膜の厚さに関するデータ（例えば、厚さ変化）は、以下の通りに本願明細書において決定される。前記膜および基板が、全体において、干渉計構造を形成するように、前記膜は基板上に配置される。その光放射線が膜および基板によって形成される干渉計構造の方へ発されて、前記干渉計構造から光学的に反射された後、放射線は測定される。前記薄膜の厚さ関連のデータ（例えば、厚さ変化）は、その後、スペクトル関連の情報の中で、例えば、前記光学的に反射された放射線によって決定される。 （もっと読む）

【課題】微粒子の接触体を用いて、矩形溝形状を有するマイクロマシン等の三次元形状を高精度で測定する。
【解決手段】接触体６は、可撓性の支持部材５と透明な固定部材４によってプローブ本体９に連結される。対物レンズ３にてレーザ光Ｇを集光させ、接触体６の底面に焦点を合わせて光放射圧によって接触体６を被測定物１３の表面に接触させる。レーザ光Ｇを音響光学偏向器２によって偏向させることで、接触体６を任意の方向に振動させることができる。被測定物１３が矩形溝形状を有する三次元構造体であっても、接触体６の振動方向を調整することで高精度な形状測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ダンパーの開口率を安価な設備で測定する空調装置。
【解決手段】吹き出しグリル１１の風上側にダンパー１２を備えた吹き出し口装置１と、吹き出しグリル１１の風上側に設けられた反射鏡１５と、ダンパー１２の風上側に配置された光学測定ユニット２と、光学測定ユニット２に設けられ、ダンパーの開口１２ｅ１の最大開口幅の１／２以上の幅を有する平行光線４を、反射鏡１５に垂直に投射する投光器２７と、光学測定ユニット２に設けられ、平行光線４が開口１２ｅ１を通過して反射鏡１５により反射された反射光４ａの強度を測定する光検知器２５と、平行光線４が吹き出し口装置１の開口１２１ｅ１を通過する位置に光学測定ユニット２を移動する移動手段５とを有し、反射光４ａの強度に基づきダンパー１２の開口率を算出する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の振れ量を正確に測定可能な振れ計測装置及び振れ計測方法を提供する。
【解決手段】振れ計測装置（１）は、検査対象物（１０）の中心軸と略平行な検査方向に移動可能なセンサ保持部（５）と、センサ保持部（５）に取り付けられ、検査方向に沿った複数の測定位置において、検査方向と直交する面における検査対象物の位置を表す位置情報を取得する位置センサ（７ａ、７ｂ）と、センサ保持部（５）を検査方向に沿って移動させる駆動部（６）と、複数の測定位置で取得された位置情報から、検査対象物（１０）の中心位置を求め、その中心位置と検査対象物（１０）の中心軸との位置関係から少なくとも一つの測定位置における検査対象物（１０）の振れ量を算出する処理部（８３）とを有する。 （もっと読む）

【課題】エッジ検出オペレーションのために適切なセンサ構成を提供する。
【解決手段】本発明の一態様の感光チップは、Ｙ方向に実質的に整列された少なくとも一組のフォトセンサと、複数の開口部を備える非透過的材料の層であって、前記複数の開口部における各開口部は、それぞれ中心線を有し、各フォトセンサの一部のみと重なり、前記各フォトセンサの前記一部のみが感光性を有する、非透過的材料の層と、を備え、フォトセンサの各組に対する開口部のそれぞれの前記中心線は、前記Ｙ方向の同一直線上になく、前記複数の開口部は、前記Ｙ方向に直交するＸ方向に実質的に整列されている開口部の行を少なくとも１つ含み、前記開口部のそれぞれは、前記Ｙ方向に直交するＸ方向で等しい幅を有する。 （もっと読む）

【課題】トナーパタンの位置およびトナー濃度の少なくとも一方を検出する反射型光学センサを実現する。
【解決手段】半導体発光素子ＥｉとフォトダイオードＤｉを、半導体発光素子の発光軸とフォトダイオードの受光軸とが平行となるようにし、発光軸および受光軸が間隔：Ｌとなるように相互に近接して配置一体化した一体型発光受光素子と、半導体発光素子から担持媒体２０４０表面に照射される光束に、収束作用を及ぼす照明用集光レンズＬＥｉとを有し、照明用集光レンズは光軸を発光軸と平行にしてフォトダイオード側へシフトし、半導体発光素子から発光軸上に放射される光線が、照明用集光レンズにより屈折されて、発光軸に直交する担持媒体表面に入射角：Θをもって斜め入射し、担持媒体表面により正反射されてフォトダイオードの受光部の中心部に入射するように半導体発光素子とフォトダイオードと照明用集光レンズとの位置関係が調整され、間隔：Ｌが１ｍｍ程度より小さく、入射角：Θが１０度より小さくなるように設定されている反射型光学センサ。 （もっと読む）

【課題】フーリエ変換法の解析誤差を確実に抑える波形解析装置、波形測定装置、波形解析プログラム、及び波形解析方法を提供する。
【解決手段】波形解析方法は、キャリアが重畳された入力波形へフーリエ変換法による波形解析処理を施すことにより前記入力波形の位相情報を抽出する波形解析方法であって、前記入力波形のフーリエスペクトルから＋１次スペクトルと−１次スペクトルとの少なくとも一方を狭帯化してからそれらのスペクトルを分離し、分離されたそれらのスペクトルの一方に基づき前記入力波形の位相情報を算出する解析手順と、前記入力波形のモデルに対して前記解析手段と同じ波形解析を試験的に施すことにより、前記入力波形を波形解析する際に前記解析手順で発生する解析誤差を見積もる見積もり手順と、前記見積もり手順で見積もった解析誤差により前記解析手段が算出した位相情報を補正する補正手順とを含む。 （もっと読む）

【課題】オートコリメータを使用したレンズの偏心測定精度を改善する。
【解決手段】オートコリメータ１００を用い、かつ光軸を有する光学素子１を回転させて上記光学素子における上記光軸と回転軸との偏心を調整する偏心調整方法であって、光源１３０が発する光束から回折光学素子１１２によりそれぞれ異なる次数の回折光１３１，１３２を上記光学素子の光学作用面１ａ及びフランジ面１ｃに照射し、受光部１２０で検出された検出結果から、上記光学作用面における光軸と上記光学素子の上記回転軸とが一致するように上記光学素子を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】円柱状の軸体と、その周囲が被覆層で被覆された被覆軸体の偏心度を容易に測定することができる偏心測定方法の提供。
【解決手段】磁性材を含む軸体と、該軸体の周囲を被覆している非磁性の被覆層とを有する被覆軸体の偏心測定方法であって、
（１）該被覆軸体の長手方向に磁場を形成して該軸体を磁化する工程と、
（２）該被覆軸体の長手方向に対して垂直な面内を移動可能に配置されている環状磁石の中央に該被覆軸体を通す工程と、
（３）該軸体と該環状磁石との間に生じる斥力により該軸体と同心状に移動した該環状磁石の外周の位置を測定し、該環状磁石の中心を算出する工程と、
（４）該被覆軸体の外周の位置を測定し、該被覆軸体の中心を算出する工程と、
（５）該環状磁石の中心と、該被覆軸体の中心とから、該被覆軸体の偏心を求める工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】露光装置の光学的像面を精度よく計測可能な装置を提供する。
【解決手段】露光装置５０により所定のマスクパターンが投影露光されて表面に半導体パターンが形成されたウェハ１０を支持するステージ５と、ステージ５に支持されたウェハ１０の表面に照明光を照射する照明系２０と、照明光が照射されたウェハ１０の表面からの光を検出する撮像装置３５と、撮像装置３５に検出されたウェハ１０の表面からの光の情報に基づいて、露光装置５０により投影露光されるマスクパターンの像面の傾きを求める画像処理部４０とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成により、参照ミラーを僅かに傾斜させるだけで、ウェハなどの試料（被測定物）の表面形状を計測し、ごみやポールピースなどの正確な座標位置を特定し、電子顕微鏡、描画装置などの荷電粒子ビーム装置にその正確なデータを送受信して、作業効率の向上に一層貢献することができる干渉顕微鏡及び測定装置を提供する。
【解決手段】ウェハなどの試料にレーザ光を照射し、干渉計を用いて、試料の表面内部を観察検査する干渉顕微鏡及び測定装置において、ビームスプリッターと参照ミラーとの間に光を導光するための参照光路を設けるとともに、ビームスプリッターと試料との間に光を導光するための測定光路を設けて、参照光路と測定光路において光学的光路差を設ける。しかも、参照ミラーを微小量傾けることによって、検出手段に干渉縞を形成する。 （もっと読む）

【課題】一つのセンサで同時に正反射面及び乱反射面の傾き角度の測定を行うことができるチルトセンサを提供する。
【解決手段】検出領域に向けて測定用光を出射する投光部、および、検出領域で反射された測定用光を受光する受光部からなる光学系を備え、投光部は、発光素子とコリメータレンズとを具備して構成され、受光部は、正反射光測定部と乱反射光測定部とを備え、正反射光測定部は、受光レンズと受光素子とを具備し、乱反射光測定部は、受光レンズと、受光素子と、乱反射光受光ミラーと、正反射光乱反射光合成ハーフミラーとを具備して構成され、正反射光測定部の受光レンズ及び乱反射光測定部の受光レンズを１枚の受光レンズで兼用し、また正反射光測定部の受光素子及び乱反射光測定部の受光素子を１つの受光素子で兼用する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ等の機構を必要とせずに被検物の表面形状を測定することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物Ｓの表面形状を測定するための形状測定装置１は、被検物Ｓに対して照射光Ｌ１を射出する光源部１０と、照射光Ｌ１が被検物Ｓの表面で反射された物体光Ｌ２と、照射光Ｌ１から分離された第１参照光との光路差によって得られる干渉縞に基づいて被検物Ｓの所定領域の変位を基準変位として取得する基準変位解析部２０と、物体光Ｌ２と、照射光Ｌ１から分離された第２参照光とが干渉して生じる干渉縞を用いて被検物Ｓの表面形状を参照強度として取得する参照強度解析部３０とを備え、参照強度に基づいて、被検物Ｓの移動量が基準変位に関連付けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電磁調理器を用いて調理するときに、調理ムラを防ぐため、加熱容器を加振する際の、電磁調理器からの離隔状況、離隔状態による電磁調理器の電源入切の特性を把握できる評価装置の提供。
【解決手段】発光部を一個又は複数個備えた発光装置、前記発光部から照射された光線の受光の有無を判定する受光装置、記録装置から構成され、調理器の天板上に設置された前記発光装置及び前記受光装置の間での一又は複数の光線が、加熱容器の加振により、通又は不通のいずれかとなることで、その導通又は不通の情報を前記受光装置にて判定し、その情報を前記記録装置に伝送し、前記天板上で加熱容器加振時の前記加熱容器の天板からの離隔状況を把握することを特徴とする。 （もっと読む）