【課題】フィルムロールの状態のままフィルムの平面性を非接触で且つ瞬時に検査できるフィルムの平面性検査装置および当該検査装置を使用した平面性検査方法を提供する。
【解決手段】平面性検査装置は、フィルムロール８の外周部を走査する走査装置１と、当該走査装置から得られた信号を処理する演算処理装置５とから成る。走査装置１は、レーザー光を照射する発光部２と、遮られなかったレーザー光を受光する受光部３と、受光した光量Ｆｚに応じて数値化信号を出力する信号変換素子４とを含み、かつ、フィルムロール８に対してその軸線と平行に且つ幅方向に沿って相対的に移動可能に構成される。演算処理装置５は、フィルムロール８の外径値およびそれらの平均値を演算し、各外径値と平均値との差を変位量として演算し、正の最大変位量を抽出する。平面性検査方法においては、正の最大変位量と予め設定された基準値とを比較してフィルムの良否を判別する。 （もっと読む）

測定されるべき表面（Ｓ１）が、そのガラス裏面において、測定方向においてそれより前にある空気−ガラス表面（Ｓ２）を通して光学測定ビームでサンプリングされることを特徴とする、光学レンズあるいはレンズ結合体の球面状あるいは非球面状に湾曲した空気−ガラス表面のトポグラフィーのゼロ接触測定方法を開示する。この方法を実行する装置は、ａ）光学レンズ（２）またはレンズ系は、回転可能に取り付けられた中空シャフト（１）の端部側に、レンズまたはレンズ系の光軸が中空シャフト（１）の回転軸（３）と少なくともおおよそ一直線に並ぶように、固定され、ｂ）光学測定ビーム（１０）のための合焦光学系（６）は、中空シャフト（１）の内側に配置され、ｃ）測定ビーム（１０）を発生させるための測定ユニット（７）は、中空シャフト（１）の回転軸（３）に対して垂直に変位し得るように配置され、ｄ）部分ビームを分離し、それを少なくとも１つの光学センサ（１２）に送るための少なくとも１つのビームスプリッタ（１１）が測定ビーム（１０）に挿入され、ｅ）オプトエレクトロニクトランスデューサおよび評価エレクトロニクスがセンサ（１２）に与えられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
コヒーレント照明イメージング・システムにおいて、スペックル雑音による画像の劣化を低減する。
【解決手段】
コヒーレント光源により照明されたオブジェクトの画像や、干渉縞パターンにより照明されたオブジェクトの画像等におけるスペックル雑音を低減する方法及び装置について記述した。一の方法では、投影軸に沿って投影されたコヒーレント放射の構造的な照明パターンによりオブジェクトが照明される。上記投影軸の角度方向が、画像取得期間に或る角度範囲において変調される。好ましくは、画像取得の間は、オブジェクトの表面に投影された構造的な照明パターンの形状特徴は変化せず、スペックル雑音の低減された画像が取得される。構造的な照明パターンとして、照明されたオブジェクトの表面情報を取得する３Ｄ測定システムにより生成される干渉縞パターンなどの縞パターンを用いることができる。 （もっと読む）

干渉計システムは、２つの間隔を空けて配置された参照フラットを含み得る。前記２つの間隔を空けて配置された参照フラットは、２つの平行参照表面間に光キャビティを形成する。第１のおよび第２の基板表面が対応する第１の参照表面および第２の参照表面に実質的に平行な様態で、前記第１のまたは第２の基板表面の間の空間が前記参照表面または減衰表面のうち対応するものから３ミリメートル以下の位置に来るように、前記基板を前記キャビティ内に配置するように基板ホルダが構成され得る。前記キャビティの直径方向において対向する両側においてかつ前記キャビティ光学的に結合して、干渉計デバイスが設けられ得る。
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【課題】半導体ウェーハなどの円盤状の測定対象物の端部の撮像画像に基づいて，その端部における面取り加工された端面以外の表面が鏡面であるか非鏡面であるかに関わらず，その面取り加工された端面の幅を測定でき，さらに，その測定を表裏各面それぞれの側について同時に行うことができること。
【解決手段】測定対象物１の端部に対しその測定対象物の表裏各面に平行な方向Ｒｂから光束を投光する第１投光部１０と，これにより光が照射された端部をその測定対象物１の表裏各面側におけるその表面に直角の方向Ｒａから撮像する２つのカメラ３０ａ，３０ｂと，その撮像画像における明部の像の幅を面取り加工された端面の幅として検出する画像処理装置４０とを備える。また，前記方向Ｒａから平行光を投光する２つの第２投光部２０ａ，２０ｂによる投光時には，画像処理装置４０は，撮像画像における暗部の像の幅を面取り加工された端面の幅として検出する。 （もっと読む）

【課題】膜厚測定対象が非平面でもテラヘルツエコーパルスのパルス幅の増大がなく、膜厚測定分解能が低下しない膜厚測定装置を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波パルスＬtを発生するテラヘルツ波発生手段１と、テラヘルツ波パルスＬtを膜厚測定対象に入射させる入射光学系５と、膜厚測定対象から反射されてくるテラヘルツエコーパルスＬteを受光する受光光学系６と、テラヘルツエコーパルスＬteのパルス幅を短パルス化する短パルス化手段１５と、テラヘルツエコーパルスＬteの電場振幅時間分解波形を検出する検出手段７と、を有する膜厚測定ユニット１７を備えることを特徴とする非接触膜厚測定装置。 （もっと読む）

【課題】高速に変化または移動する観察対象であっても精度よく厚さ寸法を測定する。
【解決手段】所定の波長の光を出射する光源３と、該光源３から出射された光を観察対象Ａに照射する照明光学系４と、該照明光学系４により観察対象Ａに照射された光の観察対象Ａにおける透過光を集光する集光光学系５と、透過光を複数の光路に分岐する光路分岐手段６と、該光路分岐手段６により複数の光路に分岐された透過光を撮影する複数の撮像素子７Ａ，７Ｂ，７Ｃとを備え、該撮像素子７Ａ，７Ｂ，７Ｃが、集光光学系５による焦点位置と撮像素子７Ａ，７Ｂ，７Ｃの撮像面７ａ，７ｂ，７ｃとの距離を光軸方向に異ならせて配置されている観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】測定範囲を拡大することが可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】格子パターンを有するパターン素子３０と、パターン素子３０と投影レンズ２２とビームスプリッタ４０とを介して格子パターンを測定対象物６０に投影する投影部と、測定対象物６０に投影された格子パターンをビームスプリッタ４０を介して撮像する撮像部７０と、撮像部７０によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定部８２とを有し、測定部８２が、焦点位置を変化させて撮像された２つの画像のコントラスト値を検出し、検出された２つのコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 光切断法による深さ高さの形状観察光学系と点光による深さ高さ測定法による光学系を融合したＺ測定システムを提供する。
【解決手段】 スリット光と点光を同軸上に照射し、スリット像上の中心に点光像が来るように配置した像を斜め方向からの光軸により測定対象物上に結像させ、この合成像を全反射方向の光軸を通して受光し、それぞれ観察側の素子上（１４）及び受光センサー側の素子上（１５）に結像させる光学系を発明。スリット像による深さ高さの形状認識と点光による高精度なＺ軸測定が同一光学系で実現できるのが特徴である。 （もっと読む）

【課題】高い感度を有し、相対的に濃縮された懸濁液に応答する単独粒子光センサ。
【解決手段】光学感知ゾーンを不均一に照明するために、相対的に幅の狭い光ビームを使用する。センサが流路を通って流れる粒子の総数のうちのごく一部に応答するように、ゾーンは流路より小さくなっており、どの関連粒径の粒子についても、統計的に意味ある数の粒子を検出する。異なる強さで照明されるゾーンの様々に異なる部分を様々に異なる粒子の軌跡が通過して流れるため、結果をデコンボリュートすることが必要である。修正行列反転と、逐次減算という２つのデコンボリューション方法が使用される。２つの方法は、共に、実験に基づいて測定されるか又は理論モデルから計算される少数の基本ベクトルを使用し、残る基本ベクトルはそれらの少数の基本ベクトルから取り出されるセンサは、濁りに関して補償される。 （もっと読む）

【課題】照射光や戻り光の減衰を抑え、反射率の低い被測定物であっても正確に測定や位置決めを行うことのできるオートコリメータを提供する。
【解決手段】被測定物２０に照射光を照射し、該被測定物２０から反射してきた戻り光に基づいて被測定物２０の傾きを測定するためのオートコリメータにおいて、光源１１と、光源１１から発する光の一部を通過させて前記照射光とする照射光形成手段１２と、前記照射光を平行光に変換すると共に、前記戻り光を収束光に変換する対物レンズ１３とを設け、被測定物２０が対物レンズ１３と所定の角度で対向している場合に、前記照射光の光軸及び前記戻り光の光軸が前記対物レンズ１３の中心からずれた互いに異なる位置を通るように光源１１及び照射光形成手段１２を配置する。 （もっと読む）

【課題】レンズの縁の迅速かつ正確な計測が保証される方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学レンズ１の縁１.１上の１つの点Ｐ１の座標Ｋを測定する方法であり、レンズ１は、保持装置３により保持され、光路２.１は、Ｚ軸方向で計測する光学マイクロメータ２のＹ軸方向に延びており、保持装置３とマイクロメータ２との間の相対位置が既知であり、ａ）縁１.１が光路２.１内でにある状態でレンズ１が保持され、ｂ）位置Ａに位置決めされた縁１.１の点Ｐ１について第１のＺ座標Ｚａが測定され、点Ｐ１のＸ座標Ｘａが光路２.１のＹ−Ｚ平面のＸ座標に対応しており、ｃ）レンズ１と光路２.１との間の相対位置の変化が保証され、ｄ）光路２.１内における縁１.１の点Ｐ１について、第２のＺ座標Ｚｂが測定され、ｅ）２つの相対位置における点Ｐ１についての２つの連立方程式に基づいて、欠けている座標およびが、従って点Ｐ１の位置が測定される。 （もっと読む）

【課題】隙間を通過する光の透過光像を検出して、対象物体の輪郭形状や位置を精度良く測定できる光学式の形状・位置測定方法を提案すること。
【解決手段】工具２の突起１の理想輪郭形状よりも一回り大きい凹状の端面３を備える板状の隙間形成用治具４を用意する。端面３の最奥部分には円弧状の凹状輪郭の端面５が形成されている。端面３の内部に突起１を進入させて、端面３と突起１の輪郭形状部分との隙間６の幅を観察しながら徐々に接近させ、隙間６の幅が寸法Δ１になった時点で接近を停止し、端面５と先端部分１ａの間に、隙間６よりも広い隙間７を局部的に形成する。工具２および隙間形成用治具４の厚み方向の一方の側に光源８を配置して隙間７に測定光を照射し、他方の側に配置したＣＣＤカメラ等の受光装置９で隙間７を通る光の透過光像を検出する。微小な曲率半径の先端部分１ａの実輪郭形状や位置を、透過光像から明確に把握できる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の所定の部位における測定感度及び横分解能が高く、簡単な構成の光断層画像撮像装置および光断層画像の撮像方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を測定光と参照光とに分割し、前記測定光を被検査物に導くと共に前記参照光を参照ミラーに導き、前記測定光による戻り光と、前記参照ミラーによって反射された参照光とを用い、
前記被検査物の断層画像を撮像するフーリエドメイン方式による光断層画像撮像装置であって、
前記参照光の光路長を調整する光路長調整手段と、
前記被検査物に前記測定光を集光させる集光手段の位置を調整する位置調整手段と、
前記被検査物の撮像を予定する部位に関し予め取得された情報に基づいて、前記光路長調整手段と前記位置調整手段とを制御する制御手段と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】計算負荷が低く、処理時間が短くて済む周波数推定方法、周波数推定装置、表面形状測定方法及び表面形状測定装置を提供すること。
【解決手段】干渉縞や電気信号などの有周期性の観測データにおける周波数を推定する周波数推定方法であって、観測データを取得するステップと、仮定した任意周波数の正弦波状関数をモデル信号として前記観測データに適合させるステップと、前記観測データと前記モデル信号との部分的な位相のずれ量を求めるステップと、前記モデル信号の周波数と、前記位相のずれ量についての位相勾配とに基づいて、前記観測データの周波数を算出するステップとを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パイプの進入角が搬送方向とずれた場合であっても全周にわたって外径を正しく測定する。
【解決手段】計算機は、パイプの入口に設置されたセンサー４１、４２の測定値から、入口側の水平方向及び垂直方向のずれの値を、出口側に設置されたセンサー６１、６２の測定値から、出口側の水平方向及び垂直方向のずれの値を取得する。さらに、パイプの回りを周方向に移動する外径計５２から外径の測定値を、ロータリーエンコーダー５３から外径計の回転角度の変化を示すパルスの入力を受ける。計算機は、入口側の水平方向及び垂直方向のずれの値からなる入口側の座標と、出口側の水平方向及び垂直方向のずれの値からなる出口側の座標とを、外径計の回転角度だけ回転した座標軸上の座標に変換し、変換された座標と、入口側及び出口側のセンサーの距離とから得られる、パイプの進入角度の余弦を用いて、計測された外径を補正して実外径を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象に設けられた穴の傾斜角等を高精度で測定すること。
【解決手段】光源部１０６は、断面が線状で所定間隔に配置された複数の平行な光ビームから成る測定用光１５０を出力する。光検出部１１１、１１４は、測定対象１３０の穴１３２周辺領域で反射した測定用光１５０を検出する。制御部１２６は、光検出部１１１、１１４が検出した複数の光ビームと穴１３２周縁部との交点の位置座標を用いて各光ビームの垂直２等分線を求め、穴１３２と交差しない複数の光ビームと前記垂直２等分線との交点の位置座標と前記光ビームの既知の間隔とを用いて穴１３２の傾斜角を算出する。 （もっと読む）

【課題】外周に切欠き溝を設けた回転テーブルを用いて軸体の搬送を行う搬送装置で問題となっていた投・受光部或いはそれに変わる投光部とカメラのスペース面での設置規制をなくし、光学的外径測定装置を用いて軸体の大径部の寸法測定や外径の良否判定を行えるようにすることを課題としている。
【解決手段】外周の切欠き溝４に軸体Ａの軸部ａ_１を適合して受け入れ、大径部ａ_２を下から支えて軸体Ａを搬送する回転テーブル２と外周の固定ガイド３にスリット９，１０を設け、そのスリット９，１０が、外径測定部７に切欠き溝４が到達したときに平面視においてその切欠き溝４に導入された軸体Ａの大径部ａ_２を間に挟んで切欠き溝中心Ｃを通る直線上で対向し、このスリットに光学的外径測定装置の測定光や照明光を縦向きに通せるようにした。 （もっと読む）

【課題】
被検体測定面の水平面に対する傾きと、回転する被検体の場合には回転中心に対する偏芯をほぼ同時に検出し測定する。
【解決手段】
レーザ光源１からの光束を回転する被検体Ｄに向かわせ、その測定面ｄ１からの反射光をテレセントリック対物レンズ７で検出して対物レンズ１０で受光部１１に投影する傾き測定用光学系１３を形成する。また被検体測定面ｄ１に予め施した指標をテレセントリック対物レンズ７で検出して対物レンズ１０で受光部１１に投影する顕微鏡用光学系１５を形成する。
両光学系１３、１５を結合し、夫々が検出した像を共通の受光部１１に投影し、表示部Ｃに表示して測定する。


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【課題】被検面としての非球面の形状を高精度に測定する測定方法を提供する。
【解決手段】球面波を形成する光束を用いて非球面を有する被検面を照明し、前記被検面の形状を測定する測定方法であって、球面波の曲率中心が前記非球面の非球面軸上にある状態で前記非球面軸の方向に前記被検面を駆動して複数の位置に順に位置決めし、前記複数の位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と参照面からの光束との干渉パターンを検出する第１の検出ステップと、前記複数の位置のそれぞれから前記非球面軸の方向に前記被検面を既知の量だけシフトした複数のシフト位置のそれぞれに位置決めし、前記複数のシフト位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と前記参照面からの光束との干渉パターンを検出する第２の検出ステップと、を有することを特徴とする測定方法を提供する。 （もっと読む）