【課題】高精度な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】本発明のエンコーダは、移動可能な格子スケールと、前記格子スケールに照射した光束の反射光または透過光を光電変換して、互いに位相差が異なるＮ相（Ｎは６以上の整数）の周期信号を生成する複数の受光素子と、前記受光素子で生成された各相の前記周期信号に対してＭ組（Ｍは２以上の整数）の係数群を乗算し、該係数群を乗算して得られた値の総和からＭ相の正弦波状周期信号を生成する増幅器とを有する。 （もっと読む）

【課題】エッジ検出動作（装置の稼動）を中断することなく、貼り合わせウエハの製造プロセス全体にわたって必要とされるエッジ検出精度を確保することが可能なウエハアライメント装置を提供する。
【解決手段】このウエハアライメント装置１００は、シリコンウエハ１１１とウエハ支持ガラス基板１１２とを含む貼り合わせウエハ１１０のエッジを検出するとともに、開始端２１ａが貼り合わせウエハ１１０の中心側に設定されたラインセンサ２１と、ラインセンサ２１に対向する光源２２と、貼り合わせウエハ１１０のエッジの検出時に、ラインセンサ２１を貼り合わせウエハ１１０の中心側からエッジ側に向かって走査するとともに、所定の場合に、シリコンウエハ１１１のエッジ検出と、ウエハ支持ガラス基板１１２のエッジ検出とを切り替えるように制御するコントローラ４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】数値処理可能な鮮明且つ正確なエッジ画像を撮像しつつ、測定する工具の両端のエッジの位置関係を正確に測定する形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状測定装置９は、平行光を発する光源モジュール１１と、光源モジュール１１の発する平行光の光軸１６に沿って配置された対物レンズ２３と、対物レンズと共焦点を有する投影レンズ２４と、この共焦点に配置され入射光のうちの０次光の光線を遮光するアンチピンホールフィルタ２５とを備えた投影光学系を備えたレンズ鏡筒１３と、光軸１６を含む基準面に対して対称に、光束の方向を変えずに平行移動させて離間させる光線分離器３３と、結合させる光線結合器３４とを備えた光路シフト手段と、投影光学系により投影された映像を撮像するように撮像素子を備え、大型のワーク１７であっても正確な形状を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 測定物の位置に関わらず、正しい演算結果が得られるように校正する作業を簡略化することができる測定システムを提供する。
【解決手段】 センサ出力から測定値ｙ２を求める子機コントローラ３０と、センサ出力から測定値ｙ１を求める親機コントローラ２０により構成される。親機コントローラ２０は、測定値ｙ１及びｙ２から測定物の厚さを示す演算値ｚを求め、第１及び第２校正用測定物の既知の厚さとして、第１及び第２目標値を記憶し、第１校正用測定物から得られた測定値ｙ２を記憶する。そして、第１校正用測定物を測定軸方向に移動させて得られた測定値ｙ２と測定値記憶部２４ａ内の測定値ｙ２との間の変化量に基づいて、測定値ｙ１の校正を実行する。また、第１校正用測定物から算出された第１演算値を記憶し、第１及び第２目標値と第１演算値と第２校正用測定物から算出された第２演算値とに基づいて、演算値ｚの校正を実行する。 （もっと読む）

【課題】小型で広い範囲の曲率を精度よく測定できる曲率測定装置を提供する。
【解決手段】被検査体３を載置台５に載置し、レーザ発光器１０により発光されたビーム光をポリゴンミラー２２で等角速度走査し、ｆθレンズ５０を介して、被検査体３表面を走査する。被検査体３表面から反射されたレーザ光をシリンドリカルレンズ６０で集光し、載置台５の一点から等距離で、互いの距離が一定である位置に配置され、被検査体３から反射されるビーム光を検出する２つのビーム光検出センサ（第１及び第２レーザ光検出センサ３０，３２）でレーザ光を検出した時間差及び２つのビーム光検出センサ３０，３２の間の距離ｄ２、被検査体３表面からの距離Ｌに基づいて、被検査体３の表面の曲率を算出する。 （もっと読む）

【課題】
車体歪みによる基準レーザ光の上下変動の範囲を抑えることで車両の床下と車体フレームとの間に車体歪み測定装置を設置することが可能でかつ検測車の床上には多くの機器、測定装置を搭載するスペースを確保することができる検測車の車体歪み測定方法および測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、レーザ投光器と第１の受光器との間にレーザビームを受けてその光軸の角度を調整する角度調節器を設けることで歪みによるレーザビームの光軸の変動、特に、上側への変動を角度調節器で調節できるようにして検測車の床下に設ける第１，第２の受光器の高さを低く抑え、この角度調節器とレーザ投光器と第１および第２の受光器とを検測車の車体フレーム上でかつ検測車の床下に配置することができるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】
エッチング完了後の溝底ショート欠陥やスクラッチを検出するための高仰角照明による暗視野欠陥検出方法において、レンズ反射光などの迷光が像面に到達することによる検査感度を阻害することを防止する。
【解決手段】
欠陥検査装置を、本来同一の形状となるべきパターンが繰り返して形成された試料上の異なる領域に異なる光学条件で同時に照明光を照射する照射手段と、照明光を照射した領域からの反射光を異なる領域ごとに検出する検出手段と、検出した反射光の検出信号を処理して異なる領域ごとに異なる光学条件の元での欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手段と、異なる光学条件の元で抽出した欠陥候補を統合して欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、抽出した欠陥の特徴量を求めて該求めた特徴量に基づいて前記欠陥を分類する欠陥分類手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】誤測定しやすい測定領域が存在する測定対象物であっても、物体形状評価が適正に行われる物体形状評価装置を提供することである。
【解決手段】物体形状評価装置は、対応する測定点と基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて測定点と基準点とを位置合わせする位置合わせ処理手段５０と、位置合わせ処理後の前記測定点データと前記基準点データとに基づいて前記測定対象物の形状を評価する形状評価手段６とを備えている。位置合わせ処理手段５０は、測定点データから測定対象物のエッジに対応するエッジ点を検出するエッジ検出部によって生成されたエッジ点群と、エッジ基準点群とを位置合わせするエッジ位置合わせを行い、当該エッジ位置合わせによって得られたエッジ合同変換パラメータを用いて測定点データ全体の測定点が基準点に向かう位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】
ハードディスク用のパターンドメディアの光学的な検査において、下地膜の膜厚変動，膜質変動の影響を受けることなくパターンの検査を行えるようにする。
【解決手段】
パターン検査装置を、試料を載置して回転可能な回転テーブル手段と、試料に照明光を照射する照明手段と、照明手段で光を照射された領域からの反射光を分光して検出する分光検出手段と、分光検出手段で分光して検出した基板のパターンが形成されていない領域からの反射光検出信号を処理して多層膜の光学特性を検出するとともに多層膜を含むパターンからの反射光検出信号を処理して多層膜を含むパターンからの反射光の光学特性を検出する光学特性検出手段と、光学特性検出手段で検出した多層膜からの反射光の光学特性の情報を用いて多層膜を含むパターンからの反射光の光学特性の情報を処理することにより多層膜上に形成されたパターンを検査するパターン検査手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】使用環境が制限されず、測定原理が簡単で、且つ、より高い感度及び精度でひずみを測定できる、光学ひずみゲージ、光学的ひずみ測定装置及び光学的ひずみ測定方法を提供すること。
【解決手段】測定対象物１に取り付けられ、光を反射可能であり且つ測定対象物１のひずみ変形に伴って角度が変化する複数の反射面５を備えるように、光学ひずみゲージ１０を構成した。また、光学的ひずみ測定装置１００に当該光学ひずみゲージ１０を備えた。 （もっと読む）

【課題】光干渉断層画像診断を精度よく行うのに好適な基準格子等を提供する。
【解決手段】本発明に係る基準格子１００は、光干渉断層画像の診断に用いられる基準格子であって、光を透過する部材から構成され、当該部材に複数のグリッド線１１０を備え、複数のグリッド線１１０は、光干渉断層画像に表示される。そして、基準格子１００を対象物に固定し、基準格子１００及び対象物に低干渉光を照射し、当該基準格子１００及び当該対象物により当該低干渉光が反射された反射光に基づいて、当該基準格子１００及び当該対象物を測定し、基準格子１００が備えるグリッド線１１０間の測定寸法と当該グリッド線１１０間の実寸法との差に基づいて、測定された対象物の測定寸法に含まれる誤差を特定する。 （もっと読む）

【課題】判定時間が短く、かつ、小形化や低コスト化が可能な外形判定装置を提供する。
【解決手段】被判定物を載置する矩形状の載置面３ａを有する載置台３と、載置面３ａの周縁に設置される、横方向送光用光導波路１Ｘと、横方向受光用光導波路２Ｘと、縦方向送光用光導波路１Ｙと、縦方向受光用光導波路２Ｙと、載置面３ａから上方に起立する高さ方向送光用光導波路１Ｚと、高さ方向受光用光導波路２Ｚと、上記縦方向，横方向および高さ方向の送光用光導波路１Ｘ，１Ｙ，１Ｚの送光用光コア２２に接続された光源Ｄ１と、上記縦方向，横方向および高さ方向の受光用光導波路２Ｘ，２Ｙ，２Ｚの受光用コア２３に接続された光電変換素子Ｃ１と、この光電変換素子Ｃ１からの光遮断信号を受けて演算処理し被判定物の外形を算出する外形算出手段４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】近接場光エッチングを実行しつつ、リアルタイムで表面粗さを計測する。
【解決手段】原料ガス雰囲気中に光学素子２を配置し、原料ガスのガス分子の吸収端波長よりも長波長からなる光を光学素子２に照射することにより、当該光学素子２表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させて上記角部をエッチングし、更にエッチング中に光学素子２表面に対して表面粗さ計測用のレーザ光を照射し、そのレーザ光が光学素子２表面で散乱された散乱光の強度を測定し、測定した散乱光強度に基づいて角部へのエッチングによる表面粗さを計測する。 （もっと読む）

【課題】基板上の膜厚を測定可能な検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、表面に薄膜が設けられたウェハＷを支持するステージ１０と、ステージ１０に支持されたウェハＷの表面に照明光を照射する照明系２０と、照明光が照射されたウェハＷの表面からの光を検出する撮像装置３５と、撮像装置３５により検出された光の情報から薄膜の膜厚を測定する膜厚算出部５０と、照明光の実際の波長を測定する画像処理部４５とを備え、膜厚算出部５０は、画像処理部４５により測定された照明光の実際の波長を用いて、撮像装置３５により検出された光の情報から膜厚を求める。 （もっと読む）

【課題】回転工具の刃先の三次元位置を非接触で測定することができ、繰り返し精度が高く、工具刃先形状の違いによる測定誤差が小さい工具位置測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】回転する回転工具１２の刃先１２ａを、Ｚ軸方向から見た回転刃先画像を撮像する回転刃先撮像工程Ｓ１１を有する。回転刃先画像から、回転軸αの概略位置の仮回転軸位置を原点として、Ｘ軸上及びＹ軸上の輝度分布を求める。原点及びその近傍のＸ軸方向の複数の位置であるＸ反転位置から、Ｘ軸方向に同一距離だけ離れた位置同士の輝度の差分を所定範囲でＸ軸方向に積分したＸ積分値を、Ｘ反転位置ごと算出する。同様にＹ軸方向に、同一距離だけ離れた位置同士の輝度の差分を積分したＹ積分値を、Ｙ反転位置ごと算出する。Ｘ積分値及びＹ積分値が最も小さくなるＸ積分値差最小位置及びＹ積分値差最小位置とで定まる座標を回転軸位置とする。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の移動機構を使用せずに高さ方向のダイナミックレンジを拡大可能とする。
【解決手段】本発明の干渉測定装置は、可干渉距離が有限の光束を生成する生成手段（９、２０）と、光束を２つの光束に分岐し、それら２つの光束の一方を測定対象面（２５ａ）へ照射すると共に他方を参照面（２４ａ）へ照射する分岐手段（２２）と、測定対象面を経由した測定光束と参照面を経由した参照光束とを同一光路に統合して統合光束を生成する統合手段（２２、２１）と、分岐手段により分岐される光束の可干渉距離を走査する走査手段（２０）と、可干渉距離の走査位置と統合光束の強度との関係を示す関係情報を取得する測定手段（２７、３０）と、関係情報に基づき、測定光束と参照光束とが干渉する走査範囲と、測定光束と参照光束とが干渉しない走査範囲との境界を、測定対象面の高さ情報として取得する演算手段（３０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 物体の変位量を高精度に測定可能な変位測定装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の一側面としての変位測定装置は、格子パターン６が形成されたスケール７と、スケール７に光を照射する光源と、スケール７の格子パターン６で回折された光を受光する受光素子と、を備える。格子パターン６の形状は、その格子パターン６の格子方向Ｙに一定の周期で変化している。受光素子は、格子パターン６上の、格子方向Ｙにその周期の自然数倍の長さを有する領域１００で回折された光を受光する。 （もっと読む）

【課題】被検物の三次元形状を測定する際に必要なメモリの容量を効率的に削減する。
【解決手段】形状測定装置において、ステップＳ５において、スポット光の照射位置が変化したと判定され、ステップＳ６において、過去にデータセットを記録した照射位置でないと判定された場合、測定データ、中間データおよび測定用画像データを含むデータセットを記録する。また、スポット光の照射位置が変化したか否かに関わらず、ステップＳ７において、現在のスポット光の照射位置でまだＮ回データセットを記録していないと判定された場合、データセットを記録し、すでにＮ回データセットを記録していると判定された場合、データセットを記録しない。本発明は、例えば、三次元形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の上面位置を正確に計測することができる計測装置および計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源６１からの光を第１の経路に導くとともに第１の経路を逆行する反射光を第２の経路に導く第１の光分岐手段６２と、コリメーションレンズ６３によって平行光に形成された光を第３の経路と第４の経路に分ける第２の光分岐手段６４と、第３の経路に配設され第３の経路に導かれた光をチャックテーブル３６に保持された被加工物Ｗに導く対物レンズ６５と、集光レンズ６６と、第４の経路に導かれた平行光を反射して第４の経路に反射光を逆行せしめる反射ミラー６７と、第２の経路に導かれた反射光を回折する回折格子６９と、回折格子６９によって回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサー７１とを具備している。 （もっと読む）

【課題】物体の表面の形状を測定する精度の点で有利な測定方法を提供する。
【解決手段】物体の表面の形状を測定する測定方法であって、他の領域と重なり合う領域を有する前記表面の複数の領域のそれぞれに対する表面測定によって前記複数の領域のそれぞれの形状のデータを得るステップと、得られた前記形状のデータに基づいて、前記重なり合う領域での形状の差が最小になるように、前記表面測定の誤差を求めるステップと、前記形状のデータと前記誤差とに基づいて、前記表面の形状を求めるステップと、を有し、前記形状のデータは、要求精度に基づいて決定された閾値を超える空間周波数を有する成分を含まないように得られる、ことを特徴とする測定方法を提供する。 （もっと読む）