【課題】テーブル等の移動に伴う誤差を排除することができ、被測定物の形状を高精度に測定可能な手段を提供する。
【解決手段】形状測定装置ＬＭＳは、被測定物Ｗと第１、第２プローブ光とを相体移動させるワーク移動ユニット１０及びミラーユニット３０と、被測定物Ｗの測定面に照射位置が所定間隔離れた第１,第２プローブ光を照射するとともに、反射光の位置に応じた第１，第２受光信号を出力する光学入ニット２０と、これらの作動を制御する制御ユニット５０とを備える。制御ユニット５０は、測定面の測定部位を測定ラインに沿って前記所定間隔と同程度離間した位置に順次移動させ、各測定部位ごとに第１、第２プローブ光の照射位置の傾斜角度を算出させ、算出された複数の測定部位の傾斜角度情報に基づいて測定ラインに沿った測定面の形状を導出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】撮像環境の変化を検出し、工具寸法を高精度に測定できるように撮像条件を自動的に調整したり、画像を補正するようにした、撮像式工具測定装置および撮像式工具測定方法を提供する。
【解決手段】撮像部１２からの工具像にかかる信号、または画像前処理部２０からの処理信号に基づいて撮像環境・条件を検出する撮像環境・条件検出部２５と、撮像環境・条件検出部２５の検出情報を基に、撮像の適正条件を判断し、調整指令を導出する撮像条件判断・調整指令部２７と、前記撮像条件判断・調整指令部２７からの調整指令信号により、撮像条件を調整する調整手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】微小な領域の薄膜の厚さや光学定数の２次元分布を高速かつ高精細に計測することのできる測定機の提供。
【解決手段】入射・受光光学系と偏光測定モジュール１０５と解析装置とを具えるエリプソメータで、入射光学系は平行光ビームを出射する機構と光ビームの偏光状態を定める偏光子１０２あるいは波長板を有し、受光光学系は測定試料１０３から反射された光ビームを受光し、測定試料面の像を前記偏光計測モジュールに含まれるエリアセンサ１０６に結像させるレンズ系、偏光計測モジュールは波長板アレイ１０７と、均一偏光子１０８と、エリアセンサとを含む。波長板アレイは１次又は２次元的に繰り返し配置された複数の単位ユニットを含み、該ユニットは同異方性軸の方向が異なる少なくとも４種類の波長板を含む。均一偏光子は一方向の透過軸を有し、エリアセンサは前記波長板アレイおよび前記均一偏光子の順に通過した光を独立にその強度を測定できる。 （もっと読む）

【課題】断面円形材である高温の棒鋼、線材や鋼管の外径を測定しても測定精度が良く、かつ、スケールや粉塵が投光部及び受光部に付着し難い外径測定装置を提供する。
【解決手段】外径測定装置１は、棒鋼Ｗの外径を測定する外径測定器２と、棒鋼Ｗを挿通させる挿通部材３とを備えている。外径測定器２は、棒鋼Ｗに光Ｌを投光する投光部２１と、光Ｌを受光する受光部２２と、棒鋼Ｗの外径を演算する制御演算部２３とを有している。挿通部材３は、棒鋼Ｗを挿通させる挿通口３１を有しており、挿通口３１が投光部２１から受光部２２への光路に対向するように設けられている。挿通部材３は、挿通口３１を囲繞する環状の送風口３２を有しており、送風口３２は、棒鋼Ｗの径方向外方の周囲を棒鋼Ｗの軸方向にエアーＦを送風してエアーカーテンＡを形成する。送風口３２から送風されるエアーＦの送風方向には遮蔽物がない。 （もっと読む）

【課題】検出エリア内におけるレーザ光の実際の照射高さを容易に計測し得るレーザ測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ測定装置１００は、レーザレーダ装置１と検出用基準物体９０とを備えている。検出用基準物体９０の反射部は、所定の高さ方向における各位置が高さに応じた構造をなし、且つレーザ光Ｌ１が入射したときに、当該レーザ光Ｌ１が入射する高さに応じた内容の特定反射光を発するように構成されている。一方、レーザレーダ装置１は、回動反射機構４０から照射されるレーザ光Ｌ１の走査エリア上に検出用基準物体９０が配置されたときにこの検出用基準物体９０からの特定反射光を検出している。そして、反射光の状態と高さ情報とを対応付ける対応データを参照して特定反射光の状態に対応する高さ情報を求め、検出用基準物体９０におけるレーザ光の照射高さを計測している。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３７で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からガラス管Ｇに対して、サーボ用レーザ光を測定用レーザ光の光軸と測定用レーザ光の反射光の光軸との中心線の方向であるＺ軸方向に照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからの反射光を受光し、Ｙ軸方向サーボ回路１２０が、圧電アクチュエータ２５を駆動することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するように光ヘッド１００をＹ軸方向にサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】光格子の解像度を改良すること。
【解決手段】相互に平行な監視ビーム１８の場２０を互いの間に形成する複数の光送信器１４及び受光器２６を備え、光送信器１４及び受光器２６にビーム成形光学系１６、２４が割り当てられる、光電センサ１０の光学系１６、２４は、場２０に対して斜め方向、特に垂直方向における該光学系１６、２４の相互重複をもたらす幾何学形状及び配置を含む。 （もっと読む）

【課題】透明体シート状物表面に発生した曲率変化の小さな凹凸状欠陥を、最も鮮明な明暗像になる状態で結像させることにより、欠陥を漏れなく検出し、信頼性の高い欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、光源から発した平行光の照射方向に配置したミラーによって反射させる機構を有した照明手段と、この平行光をシート状物の走行方向に対して斜めに透過させ、透過した光を結像させるための曲面状のスクリーンと、スクリーンの曲面に結像した光を、合焦するように、スクリーンの曲面の曲率半径上に合焦点を起点として角度調節できる機構を有する撮像手段と、撮像手段によってスクリーンに結像した光を明暗信号として検出する信号処理手段とを具備することを特徴とするシート状物の表面欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】高さの異なる第一物面および第二物面の位置合わせマーク像を同時に倍率を変えることなく取り込むことができる結像型の観察装置および観察方法を提供する。
【解決手段】観察装置１Ａは、同軸上に配置された部分反射ミラー２，３と、部分反射ミラー２，３を経由して、ホログラム面２１ａおよび光検出器面２２ａ上の物点から発せられた光線を検出する光学顕微鏡１９とを備える。光学顕微鏡１９は、光検出器面２２ａ（第一物面）については部分反射ミラー２，３の透過光により観察し、ホログラム面２１ａ（第二物面）については部分反射ミラー２と部分反射ミラー３との間を往復後の透過光により観察する。これにより、観察装置１Ａは、同軸上に配置された高さの異なる光検出器面２２ａ（第一物面）およびホログラム面２１ａ（第二物面）を光学的に同時に観察することができる。 （もっと読む）

【課題】測定の省力化及びシステム構成の最小化を可能とする。
【解決手段】浸せき試験用自動測定装置１は、アーム４によりゴム試験片Ｐが供給されゴム試験片Ｐの長さを測定するレーザ測長器６と、レーザ測長器６による測定後にてアーム４によりゴム試験片Ｐが供給されゴム試験片Ｐの質量及び体積を測定する質量体積測定器８と、ターンテーブル３によりゴム試験片Ｐが供給されゴム試験片Ｐの硬さを測定する硬さ測定器９と、各部位の動作を制御プログラムに基づき制御すると共に測定値のそれぞれを取り込んで外部出力するコントローラ２０と、を備えている。ターンテーブル３は、第１及び第２テーブル間で組替可能に構成され、レーザ測長器６は、アーム４によるゴム試験片Ｐの移送中に当該ゴム試験片Ｐの長さを測定し、コントローラ２０は、第１及び第２制御プログラムを制御プログラムとして有している。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の向きにかかわらず、凹部に存在する突起や付着物などの寸法が許容範囲にあるか否かを短時間で、複数の対象物を連続して検査する。
【解決手段】第一の照明手段１３により検査対象物５の第一の面５１に略平行に光を照射しながら第一の撮像手段１１により検査対象物５の第一の面５１を撮像して第一の画像データを生成し、画像処理手段１７が、第一の画像データに写っている凹部５１１の輪郭を抽出して凹部５１１の位置を特定し、第二の照明手段１４により検査対象物５の第一の面５１に対して所定の角度をもって傾斜する方向から光を照射しながら第一の撮像手段１１により検査対象物５の第一の面５１を撮像して第二の画像データを生成し、画像処理手段１７が第二の画像データに含まれる凹部５１１を抽出し、閾値を超える輝度値を有する領域の面積を算出し、面積に基づいて、検査対象物５が良品であるか不良品であるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】複数の光ファイバ（導光手段）を備えた光プローブに測定光を与えて断層画像を取得する光断層画像化装置において、有効に断層画像を取得できる測定光の光量の低減をできだけ抑止して断層画像の品質向上等を図る光断層画像化装置及び光断層画像取得方法を提供する。
【解決手段】複数チャンネルの光ファイバを備えたＯＣＴプローブに測定光を供給するＯＣＴプロセッサにおいて、ＯＣＴ光源１３から出射された光をＯＣＴプローブの光ファイバに選択的に与える光スイッチ１３が設けられる。そして、プレスキャンによって、ＯＣＴプローブ全周囲の断層画像を取得した後、その断層画像に基づいて有効な断層画像を取得することができるチャンネルの光ファイバを決定し、光スイッチ１３によってその光ファイバのにみ測定光を順次切り替えて供給する。 （もっと読む）

【課題】 製作や小型化が容易であり、物体の性質や環境に依存すること無く形状を計測可能な形状計測装置及びそのシステムを提供する。また、光学式触覚センサへの応用へ応用し、光学式触覚センサ自体の機能を失わずに新たに形状計測が可能になるような、形状及び計測触覚情報抽出装置及びそのシステムを提供する。さらに、形状計測装置を利用した形状計測装置を利用した硬度計測方法及び硬度計測システムを提供する。
【解決手段】 形状計測装置１は、タッチパッド３と、タッチパッド３の挙動を撮影するＣＣＤカメラ４を備える。ＣＰＵ１２は、ＣＣＤカメラ４からの画像情報を画像処理し、画像内の色情報を利用して、タッチパッド３内の各地点での深さを抽出する。即ち、ＣＰＵ１２は、情報抽出手段としての機能を有している。ＣＰＵ１２は、タッチパッド３内の各地点での深さから最終的に物体Ｗ１の形状を抽出する。 （もっと読む）

【課題】画像処理によらず、測定位置を適切に調整することができるエッチングモニタリング装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るエッチングモニタリング装置は、光源１０から被処理基板Ｓ上に導入される入射スポット光の照射位置を移動させるための微小移動ステージ１６と、被処理基板Ｓ上を入射スポット光の光径以下の間隔で走査した照射位置の各々に対し、CCDラインセンサ１８により取得される検出信号から干渉成分の強度を取得する干渉強度取得部２５と、干渉強度取得部２５により取得された干渉成分の強度に基づき、その強度が最大となる被処理基板Ｓ上の位置を探索し、その位置をエッチング深さの測定位置とするよう照射位置を移動させる測定位置決定部２６と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】精度の高い測定結果を得る。
【解決手段】広帯域スペクトルを有する光源からの光を被測定対象と参照面とに導きその光路長差により干渉光強度分布画像を生成する光学系と、干渉光強度分布画像を撮像する撮像手段と、光路長差を変化させる光路長差変更手段と、干渉光強度分布画像から各測定位置における光軸方向の位置を求める演算手段とを備える。演算手段は、複数の信号発生手段と、その出力信号に重み付けをして出力する重み付け手段と、周期信号を加算して検出信号として出力する第１の信号加算手段と、直流信号と検出信号とを加算する第２の信号加算手段と、干渉強度列から第２の信号加算手段の出力を減算して誤差信号を出力する信号減算手段と、誤差信号から重み付け手段の重みを調整する適応アルゴリズム部とを有する適応信号処理ブロックと、検出信号のピーク位置を検出するピーク検出ブロックとを有する。 （もっと読む）

【課題】物体表面の角度の検出感度を向上させることができると共に、計測装置から物体表面までの計測距離に依存することなく精密に物体表面の角度を計測することができる表面角度計測方法及び表面角度計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
計測対象２の表面に計測光を照射すると共に、当該計測対象２で反射した計測反射光を受光することで計測対象２の表面の傾斜角度を計測する表面角度計測装置１において、計測反射光を金属薄膜１１で受光すると共に、金属薄膜１１で表面プラズモン共鳴を生じさせるプラズモンフィルタ部９を備える。さらに、その表面プラズモン共鳴が生じた金属薄膜１１からの反射光の強度を計測する強度検出部１５と、強度検出部１５で計測された反射光の強度を基に、計測対象２の表面の傾斜角度を算出する傾斜角度算出手段を有する演算部４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転中の工具と被加工物間の間隙を直接測定する手法を確立する。
【解決手段】回転工具とそれに対向配置した被加工物との間の間隙を超える幅を有するパルス化レーザ光を発生して、発生レーザ光の光軸を被加工平面に対して傾斜させて間隙に照射する。パルス化レーザ光は、回転工具の１回転又は整数回転当たり１パルスの発振パルス周期を有し、該発振パルスオン期間の間に回転工具の同一角度範囲に照射する。間隙に照射されて該間隙により遮蔽されずに回折した光を受光センサーにより検出して、間隙長さを測定する。 （もっと読む）

【課題】 複数のワークについて、輪郭の不一致度合いを容易に識別することができる画像測定装置を提供する。
【解決手段】 ワーク画像Ａ２からエッジを抽出するエッジ抽出手段と、ワーク画像Ａ２及び予め保持されたマスター画像Ａ１を比較する画像比較手段と、比較結果に基づいて、ワーク画像Ａ２のエッジ位置とこのエッジ位置に対応するマスター画像Ａ１上の位置との変位量を示す誤差を算出する誤差算出手段と、複数のワーク画像Ａ２について算出された誤差の統計情報をエッジ位置ごとに算出する統計情報算出手段と、統計情報を、その値に応じた表示態様でワーク画像Ａ２又はマスター画像Ａ１から抽出されたエッジ位置に沿って表示する統計情報表示手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】 製造及び加工が容易なペンタ光学素子ユニット及びペンタ光学素子ユニットを用いた面形状測定装置を提供する。
【解決手段】 ペンタ光学素子ユニット（１１０）は、入射光の一部の光を反射させるとともに入射光の一部の光を透過させるハーフミラー面（１１）と、このハーフミラー面から所定角度傾いて配置されハーフミラー面で反射された光を反射させる第１ミラー面（２１）とを有する第１ペンタ光学素子（１１１）と、ハーフミラー面に対して所定の頂角（α）をなす透過面（１２）を有するくさび光学素子（１０）と、ハーフミラー面及び透過面を透過した光を反射させる第２ミラー面（３１）と第２ミラー面で反射された光を反射させる第３ミラー面（４１）とを有する第２ペンタ光学素子（１１２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置では検出倍率を上げて微細欠陥検出感度を向上させるため、焦点深
度が浅くなり、環境変動によって結像位置がずれ、欠陥検出感度が不安定になる課題があ
る。
【解決手段】被検査基板を搭載して所定方向に走査するＸＹステージと、被検査基板上の
欠陥を斜めから照明し、その欠陥を上方に配した検出光学系で検出する方式で、この結像
状態を最良の状態に保つために、温度及び気圧の変化に対して、結像位置変化を補正する
機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）