【課題】回折次数の重なりを防止しつつ基板の特性を精度良く求める技術を提供する。
【解決手段】角度分解分光法に対しては、４つのクアドラントを有する照明プロファイルを有する放射ビームが使用される。第１および第３クアドラントが照明される一方、第２および第４クアドラントは照明されない。したがって、結果として生じる瞳面は４つのクアドラントに分けられ、ゼロ次回折パターンのみが第１および第３クアドラントに現れて一次回折パターンのみが第２および第３クアドラントに現れる。 （もっと読む）

【課題】ワークディスタンスが変化しても計測可能な位置計測装置でかつ、高分解能化可能な位置計測装置を提供する。
【解決手段】目盛部３０を、第１及び第２反射面３１，３２の相対距離が周期的に変化するように構成し、受光センサ１４によって、これら第１及び第２反射面３１，３２に反射された光によって形成された干渉光の光強度を計測する。この干渉光の光強度の周期変化を演算部２０によって位置情報に演算することにより、ワークディスタンスの変化に係わらず計測対照の位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】検出用走査を行うことなく、ワンショット撮影により、高さ方向のダイナミックレンジの大きい、被検面の１ライン上の微細な凹凸形状情報を容易に取得し得る、形状測定装置および形状測定方法を提供する。
【解決手段】 空間的にインコヒーレントで広帯域スペクトルを有する光を射出する面状の光源１０からの照明光を、対物レンズ１３Ａ、Ｂを介して参照面１４および被検面２０に照射し、得られた参照光と測定光を干渉させ、その干渉光をスリット１６Ａにより線状に整形し、分光器１６により分光し、２次元撮像手段１７により得られたスペクトル干渉情報に基づき被検面２０の形状を解析する。光源１０、被検面２０、スリット１６Ａ、および光源１０、参照面１４、スリット１６Ａは各々互いに共役である。被検面２０を介する系路の光路長と、参照面１４を介する経路の光路長との間にオフセットが設けられる。 （もっと読む）

【課題】操作入力手段に直接触れずに、非接触に操縦することのできるマニピュレータ装置を提供する。
【解決手段】アーム４０ａを有するマニピュレータ４０（スレーブ）と、このマニピュレータ４０の動作（動き）を制御する制御手段（スレーブコントローラ３０）と、光学式の入力インターフェースを備える操作入力手段（マスタコントローラ２０）とを備えるマニピュレータ装置において、上記操作入力手段の入力インターフェースとして、枠状のフレームの内側に物体検知用の光の格子が形成される光学式センサを、その厚さ方向に複数枚積み重ねて形成した３次元センサ１００を用いる。 （もっと読む）

【課題】検査対象からの反射光角度の変化に基づいて基板の欠陥を精度よく検査することができる検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る検査装置は、赤外光を出射する光源１１と、光源１１から出射される赤外光を平行光としてウエハ３０に略垂直に入射させ、当該ウエハ３０からの反射光を導く光学系と、光学系により導かれる反射光のうち、正反射光以外の光を検出するＩＲカメラ１９、２０とを備え、光源１１からの赤外光を導光する光ファイバ１３の出射端面面は、光学系の瞳位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】スピンドルに取り付けられて高い回転数で回転する極小径丸棒若しくは極小径工具の動的振れを測定可能な極めて実用性に秀れた測定装置の提供。
【解決手段】光源と、光源からの光線を被測定部材へ導くレンズ系と、被測定部材を介して光線を受光する複数のフォトダイオードとを備える光学系を有し、フォトダイオードでの受光量をもとに被測定部材の位置若しくは振れ量を測定する測定装置であって、光学系の光軸方向視において、複数のフォトダイオードにして被測定部材の軸心と交差する辺部が全て直線であり、複数のフォトダイオード間には、被測定部材の軸方向に対して傾斜する少なくとも１つのギャップを設け、このギャップの両端部は被測定部材の外形より外方に位置させ、ギャップを形成するフォトダイオードの辺部以外の被測定部材の軸心と交差する辺部がギャップと平行でないように構成する。 （もっと読む）

【課題】透過率の再現性が高い分光素子を用いながら、適正にレーザ光源の光量制御が可能な情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、発光装置１０と、受光装置２０と、を備える。発光装置１０は、レーザ光源１１０と、コリメータレンズ１２０と、リーケージミラー１３０と、リーケージミラー１３０によって反射されたレーザ光をドットパターンを有するレーザ光に変換するＤＯＥ１４０と、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光を受光して受光量に応じた検出信号を出力するＦＭＤ１６０と、リーケージミラー１３０とＦＭＤ１６０との間に配置され、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光の光量を減衰させるフィルタ１５０と、ＦＭＤ１６０の検出信号に基づいて、レーザ光源１１０の発光量を制御するＡＰＣ制御部２１ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成を採用しつつ検出光量ムラの発生を抑制可能とした走査型検出測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の走査型検出測定装置は、レーザ光を射出する発光素子と、発光素子から供給されるレーザ光を走査しつつ標本に照射する走査光学系と、標本から生じる光を検出する検出光学系と、発光素子と走査光学系との間に設けられレーザ光の一部を発光素子に向けて反射させる反射光学素子と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 原点出し用治具の設置再現性の問題を解決すると共に、原点出しを簡易にする。
【解決手段】 被測定対象物の煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置の６軸を同時に検出できる６軸測定装置を用いて、６軸基準位置を設定するための原点出し用治具１であり、治具本体１ａの面に、煽りの原点出しのための鏡面加工された第１の加工部２、高さの原点出しのための凹状の第２の加工部３並びに平面位置及び平面回転位置の原点出しのための穴状の第３の加工部４，５を設け、治具本体１ａにはこの治具本体原点位置を位置決めするための穴からなる位置決め部６，７を設けてある。 （もっと読む）

【課題】測定範囲を拡大できるとともに機器の簡略化が可能な斜入射干渉計を提供すること。
【解決手段】光源４１と、光源４１からの原光を分割する光束分割部と、測定光を被測定物Ｗに照射する照射部４３と、測定光と参照光とを合成する光束合成部４４と、合成された光束を受光する受光部４５とを有する斜入射干渉計１において、干渉計本体３０と、被測定物Ｗを保持する基台１０と、干渉計本体３０を被測定物Ｗに沿って移動可能な移動機構２０と、干渉計本体３０の移動軸線の延長上に配置された補助反射鏡５１と、光源４１からの原光から補助光を分割して補助反射鏡５１に照射する補助光束分割部５２と、干渉計本体に設置されかつ補助反射鏡５１で反射された補助光を受光する補助受光部５５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料表面の変位量が大きくても、フェーズラッピングの問題が生ずることなく、試料の微細な表面形状を高分解能で測定できる形状測定装置を実現する。
【解決手段】白色光源から出射した照明光は、入射光をシャーリングする第１の光路と入射光に対して可変光路長ないし可変位相量を導入してフリンジスキャンを行う第２の光路とを有する干渉光学系及び対物レンズを経て試料に入射する。試料上には、シャーリングされた参照ビームにより形成される第１の照明領域とフリンジスキャンされた測定ビームにより形成される第２の照明領域が形成される。第１及び第２の照明領域から出射した反射光は、対物レンズ及び干渉光学系を介して２次元撮像装置に入射し、２つの照明領域の画像が合成された干渉画像が形成される。フリンジスキャンにより、２つの画像を構成する反射光間に白色干渉が発生し、干渉信号を検出することで、試料の形状又は孔の深さが測定される。 （もっと読む）

【課題】吐出された液体の体積を精度よく測定する。
【解決手段】吐出手段１０１から吐出される液体２００を表面張力を用いて凸状に保持する保持面部１２１と、保持面部１２１の周囲に形成され、保持面部１２１からの液体２００の流出を抑止する抑止面領域１２２とを備える検査部材１０２と、保持面部１２１に保持される液体２００の形状に関する情報である形状情報を取得する形状情報取得手段１０３とを備える。 （もっと読む）

【課題】シャック−ハルトマンの波面センサを用いた平面度測定装置において、測定精度及び領域分解能を向上させる。
【解決手段】平行化が可能な光束である一次光束Ｂ１を射出する光源１と、前記光源１から射出された一次光束Ｂ１を前記測定対象領域ＡＲに導いて反射させ、その反射した光束である二次光束Ｂ２を、平面状の波頭を有する光束として出力する導光手段２と、前記導光手段２から出力された二次光束Ｂ２と直交するように設けられたレンズアレイ３と、前記レンズアレイ３を構成する各レンズの入射側光軸上に設けられて、各レンズに入射する光径をレンズの径よりもそれぞれ小さくするアパーチャ部材４と、前記レンズアレイ３を通ってレンズ毎に分離された光である分離光Ｄを検出する光検出手段５と、前記光検出手段５で得られた各分離光Ｄの位置又は傾きに基づいて、前記測定対象領域ＡＲの平面度に係る値を算出する平面度算出部６とを設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】船舶における操船性の向上が図れるプロペラレーシング監視装置を得る。
【解決手段】船体１０に設置され、水面１１にレーザ光１ａを照射するレーザ発振器１と、船体１０の側壁に設置されレーザ光が水面１１から散乱する散乱光を検出する複数の光センサ２を備え、これらにより水面位置を検出する水面位置検出装置と、水面位置検出装置で検出した水面位置と、プロペラの位置との関係からプロペラレーシングの可能性を判断するプロペラレーシング判断装置とを具備し、プロペラレーシングの可能性ありと判断したとき、推進器４に対してプロペラ３の回転数を下げるように指令を与えるもの。
水面位置検出装置は、船舶周辺の水面状態が逐次どのように変化しているのかを定量的に測定する。そして、プロペラ３の空気中への露出する可能性が高いと判断した場合、予めプロペラ３の回転数を下げるよう推進器４を制御する指令を送出する。 （もっと読む）

【課題】 すき入れ及び紙端を鮮明に撮像し、すき入れが施された位置をばらつきが生じることなく高い精度で測定する検査方法を提供する。
【解決手段】
あらかじめ紙端撮像ラインカメラの撮像条件を紙端が鮮明に撮れる撮像条件に設定し、すき入れ撮像ラインカメラの撮像条件をすき入れが鮮明に撮れる撮像条件に設定した後、各ラインカメラにおいて紙端画像とすき入れ画像とをそれぞれ取得し、紙端画像から紙端を示す座標を検出し、すき入れ画像からすき入れを示す座標を検出し、紙端の座標からすき入れの座標までの距離を算出した後、算出した各座標間の距離が許容範囲か否かを判定してすき入れが形成された位置の合否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で距離を測定可能なレーザ変位計を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射する光源部１１、出射光の光束径を拡張し、拡張後の出射光が反射手段３０で反射された反射光を集光する光束径変更部１４、反射光を受光する受光部１６、出射光と反射光を用い、反射手段３０までの距離を算出する算出部１８、その距離の変位を検出する変位検出部２１、検出された変位に関する出力を行う変位出力部２２、拡張前の出射光と、光束径変更部１４からの反射光との一方を透過させ、他方を反射させることによって、光源部１１からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部１４に透過または反射させ、光束径変更部１４からの反射光を、中心領域の外側の領域である外側領域を介して受光部１６に反射または透過させる反射部１７ａを備え、光束径変更部１４は、反射光に対する有効口径が出射光の光束径より大きい。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定機の被測定体保持位置補正方法において、曲率半径測定機に発生する被測定体保持位置のずれを精度よく迅速に補正することができるようにする。
【解決手段】曲率半径測定機の被測定体保持位置補正方法であって、保持工程と、校正用光学部材の校正面の面頂を測定光束の集光位置に位置合わせし、位置合わせ後の干渉縞画像に基づく干渉縞画像情報を記憶する基準調整工程（ステップＳ３）と、この位置を基準位置として、基準位置から位置ずれ測定位置に被測定体を相対移動して干渉縞画像を記憶する位置移動工程と、各位置での干渉縞画像に基づいて干渉計の光軸に対する位置ずれ量を測定する位置ずれ算出工程（ステップＳ６、Ｓ１３）と、この位置ずれ量に基づいて、位置補正量を算出する位置補正工程（ステップＳ１５）と、を備え、被測定面の曲率半径の測定を行う際に、位置補正量に基づいて保持台の位置補正を行う。 （もっと読む）

【課題】位置測定装置における可動部材をできる限り他の部材と機械的に接続せずに成る高精度の位置測定装置を提供すること。
【解決手段】検出ユニット２０と信号ユニット３０を構造的に分離されたユニットとして形成し、検出ユニット２０を測定標準１０に対して少なくとも１つの測定方向ｘに沿って変位可能に配置し、光源から照射されるビームを信号ユニット３０から検出ユニット２０の方向へ照射し、少なくとも１対の部分ビームを検出ユニット２０から信号ユニット３０の方向へ照射し、検出ユニット２０及び信号ユニット３０を互いに平行な平面内に配置し、信号ユニット３０と検出ユニット２０の間におけるビームの少なくとも一部の拡がり方向を前記平面に対して垂直に配向するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】ポリゴンミラーなどの静止物体の校正に使用されるエンコーダに有用な技術を提供する。
【解決手段】光源と、マークが一定のピッチで配列され相対移動するスケールと、スケールのピッチによって決定される周期の整数分の一の大きさの周期で偏光方向が回転する直線偏光を生成する光学系と、生成された直線偏光を第１直線偏光と第２直線偏光とに分割する分割部と、固定配置された第１偏光板を含み、スケールが相対移動する間における、第１偏光板を通過した第１直線偏光の偏光方向の回転の数を得る第１ユニットと、直線偏光の偏光方向に対して回転する第２偏光板を含み、スケールが静止したときにおける第２直線偏光の偏光方向を検出することによってスケールが静止したときにおける直線偏光の１回転内の位相を得る第２ユニットと、第１ユニットおよび第２ユニットにより得られた結果を統合してスケールの移動量を出力する出力部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】安価で小型の変位・ひずみ分布計測光学系と計測手段を提供すること。
【解決手段】複数の撮像素子を使用することで、光学素子の数を減らし、２次元の変位・ひずみ分布計測を行うことができる装置を小型にすることができる。さらに、計測対象物の近傍に鏡を設置することにより、撮像素子の数を減らし、さらに小型の装置とすることができる。 （もっと読む）