【課題】
多点で変位を同時に光学的に行おうとした場合、各種光学式変位計を多数用いる方法で多点の同時変位検出を行うことができるが、各センサはそれぞれ、レーザ等の光源、投射レンズ、受光レンズ、受光素子、処理回路、電源等を持ち、また、各センサの出力を受けるための多チャンネルＡＤ回路や出力を処理するコンピュータおよびソフトウエアが必要であり、センサの数が多くなるほど非常に高コストになっていた。
【解決手段】
一端に色収差をもつレンズを備えた光ファイバと、他端に、一本が光源につながり、もう一本が検出器につながる光ファイバを備えた光ファイバカプラとを備えた多数のプローブと、多数のプローブの光源側の光ファイバを並べ、白色光または複数波長光を投入する光源と、多数のプローブの検出器側の光ファイバを並べ、そこに対向配置したカラーカメラとを備える多点変位検出装置とした。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、少なくとも熱線及び紫外光を含む光を射出する光源部と、前記光源部から射出された光のうち、紫外光を透過し、熱線を吸収する紫外光透過性熱線吸収膜と、所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に前記紫外光を用いた直線偏光を照射する照明部と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光のうち直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出する検出部と、検出部で検出された偏光成分に基づいて、繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、照明部または検査部の光路上に、直線偏光または偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設される。 （もっと読む）

二次元光路分布の絶対測定を行う装置であって、本装置は、複数の波長を有する光を物体（２６）に照射する光源（４）と、物体の少なくとも一部分の画像を形成する干渉計（１２）であって、この少なくとも一部分の画像は広帯域干渉図形を含む、干渉計（１２）と、干渉計と光通信を行い、広帯域干渉図形を複数の狭帯域二次元干渉図形（７２、７４、７６）にスペクトル的に分離するハイパースペクトル撮像装置（３０）と、狭帯域干渉図形を空間的に位置合わせする位置合わせ装置（３８）と、各狭帯域干渉図形内の対応する画素から一次元強度信号を抽出する抽出装置と、物体上の各点における周波数を、各点に関連付けられた一次元強度信号から計算する計算装置（１００）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、少なくとも熱線及び紫外光を射出する光源部と、所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に、前記紫外光の直線偏光を照射する照明部と、前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が交差する偏光成分を検出する検出部と、前記検出部で検出された前記偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、
前記照明部または前記検査部の光路上に、前記直線偏光または前記偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設されると共に、前記密閉部材３６のうちの前記紫外光の透過領域表面に紫外光透過性熱線吸収膜が形成されている。 （もっと読む）

照明デバイスと、対象物を受容する対象物スライド面を有する対象物スライド部と、を備えるプレート形状の対象物の処理システムを改良するために、照明デバイス及び対象物スライド部は、対象物スライド部に対するプレート形状の対象物の位置が正確に決定されうるように互いに対して移動可能である。本発明によれば、少なくとも一つの縁部照射ユニットを備える縁部取得デバイスが形成されており、縁部照射ユニットは、対象物縁部領域の少なくとも一部において照射領域を備えており、該照射領域内において、各対象物縁部領域に配置される対象物縁部は、光を面状に放出する対象物スライド部の複数の側面によって照射される。対象物スライド部の反対に配置される対象物の側面において、対象物スライド面から或る距離において、少なくとも１つの縁部画像取得ユニットが形成されており、該縁部画像取得ユニットは、照射領域に配置される対象物縁部の縁部区域を、縁部画像として画像面に像形成する。各縁部画像は、少なくとも1つの縁部画像取得ユニットを使用することにより、対象物スライド部に対する位置的な正確さを伴って取得されうる。
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【課題】オートコリメータ自身の発光光に対して光軸を表示する機能を、視野内スケールの組立精度を変えることなく実現する。
【解決手段】対物レンズから平行光を出射して被測定面の平面度を光学的に非接触で測定するオートコリメータにおいて、
前記平行光を出射する対物レンズと被測定面の間にコーナキューブを配置し、オートコリメータの視野にオートコリメータ自身の光軸位置を表示する。 （もっと読む）

観察スクリーンに背後から投射するように構成された光学コンパレータは、検査されるテスト部品の光学画像を観察スクリーンに投射する光学プロジェクタと、画素化テンプレートパターンの光学画像を同観察スクリーンに投射するビデオプロジェクタとを結合する。このテンプレートパターンは、テスト部品の描画された設計仕様を含む。テスト部品の形状を設計された形状と視覚的に比較するために、テスト部品の画像と画素化テンプレートパターンの画像が、観察スクリーンに同時に投射される。
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【課題】透過性の無い粒子であっても計測可能で、かつサブミクロン程度の粒子でも高精度に粒子径を測定できる球状粒子径の計測装置および計測方法を提供する。
【解決手段】球状粒子１を２方向から照射する２つのレーザ光源２および３と、この照射光が球状粒子１の表面で正反射して生じる２つの輝点間の距離を計測するための測長手段と、計測した２つの輝点間の距離から前記球状粒子の径を算出する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ユーザ所望の測定モードが正しく選択されているか否かを直感的に認識可能とし、かつ投光器の投光面及び受光器の受光面に汚れが付着した場合に速やかに適切な処置が可能な透過型寸法測定装置を提供する。
【解決手段】コントローラに測定領域の始点及び終点を選択するための複数の測定モードから一つの測定モードの選択を受け付ける測定モード選択手段を設け、選択された測定モードと測定対象物による遮光領域に基づいて設定される測定領域を、その他の領域と識別可能に表示する測定領域表示部を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象となる非球面体が鍔状の平面部を有していない場合でも、面ずれおよび面倒れを高精度に測定できるようにする。
【解決手段】第１干渉計１Ａと第２干渉計１Ｂとを用いた光干渉計測により、非球面レンズ９の第１レンズ面９１および第２レンズ面９２の各中心部の形状データを求め、各々の形状データから、第１レンズ面９１の第１臍点Ｐ_１、第１曲率中心および第１軸線の各位置データを第１測定座標系において求めるとともに、第２レンズ面９２の第２臍点Ｐ_２、第２曲率中心および第２軸線の各位置データを第２測定座標系において求める。これらの各位置データと、第１測定座標系および第２測定座標系の相対位置関係とに基づき、非球面レンズ９の面ずれおよび面倒れを求める。 （もっと読む）

【課題】非測定物の見かけの形状をできるだけ歪ませることなく形状計測できると共に、長い物や連続的に移動する物であっても形状計測できる非接触形状計測装置を提供する。
【解決手段】非接触形状計測装置は、長手方向であるｘ方向に沿ったライン状光源を有する照明装置であって、前記ｘ方向に垂直なｙ方向に沿って光強度が単調に変化する光強度パターンを有する光を被測定物に対して照射する照明装置と、前記ｘ方向に沿った１ラインごとに、前記被測定物からの反射光を画像信号として取り込むラインセンサカメラと、得られた前記画像信号に基づいて、前記被測定物の各箇所からの反射光の光強度を算出し、前記ｙ方向に沿った前記照明装置の光強度パターンにおけるｙ方向の位置と光強度との関係に基づいて前記被測定物の各箇所の高さを算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】生体組織の３次元的な定量評価を簡単に行う。
【解決手段】測定器５に接続可能な生体組織表面解析装置１は、生体組織を含む測定対象物Ａの表面の３次元形状を表す表面形状データを入力するデータ取得部１０５と、表面形状データにより表される表面の中で解析範囲を決定する範囲決定部１０６と、解析範囲における前記表面の凹凸を抑制した基準面を生成する基準面設定部１０７と、測定対象物Ａの表面と基準面とを比較することにより特徴領域を抽出する検出部１０８と、特徴領域の数、特徴領域の面積、および基準面に対する凹凸の体積のうち、少なくともいずれかを１つを計算する解析部１０９とを備える。 （もっと読む）

【課題】
フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では検査範囲がレンズの大きさにより制限されていた。
【解決手段】
光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光または反射光を受光する拡散板と、拡散板に投影された光点を結像レンズを介して受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】ＱＦＰのリードやＢＧＡ，ＣＳＰの半球状端子の高さのばらつきの検出精度をより一層向上させることができるようにする。
【解決手段】実装用部品Ｄのリードや半球状端子を第１のカメラ３６によって斜め方向から撮像する。実装用部品Ｄを垂直な軸線回りに所定角度だけ回転させた後に、前記第１のカメラ３６によって前記リードや半球状端子を斜め方向から撮像する。これらの二つの斜め画像に基づいて画像処理によりリードや半球状端子の高さを検出する。前記第１のカメラ３６は、撮像素子としてラインセンサをそれぞれ使用しているものである。このラインセンサのラインの方向は、実装用部品Ｄを撮像するときに実装用部品Ｄが移動する方向とは直交する方向である。 （もっと読む）

【課題】目標形状からの光学面のずれを測定する方法および装置において、精度を改善した方法および装置を提供する。
【解決手段】波長λを有する電磁光線の入射ビームを光学試験面に向け、光学試験面と相互作用した測定ビームを生成し、参照ビームに測定ビームを重畳して干渉計を用いた測定を行い、参照ビームからの測定ビームの波面ずれを決定し、この測定に基づいて決定した波面ずれにおける追跡エラーを除去して波面ずれを補正する。波面ずれを最小化するように光学試験面と干渉計の光学構成部材とを最適に整列した状態で測定を行った場合に１０×λより大きい波面ずれが得られるように光学試験面を構成し、測定中に測定ビームによって干渉計に蓄積された収差と、最適の整列状態で得られる波面ずれがλより小さくなるように光学試験面を構成した場合に測定ビームによって蓄積されたであろう仮想収差とが異なるようにし、蓄積された収差の差によって波面ずれに追跡エラーを生じさせる。 （もっと読む）

【課題】照明手段を備えた二次元測定機において、測定物を常に高コントラストで撮像できるようにするとともに、常に充分な光量を得ることできるようにする。
【解決手段】測定物（１）を拡大する顕微鏡（５）と、測定物を照明する照明手段（１１）とを備えた二次元測定装置において、照明手段は、それぞれ異なる波長（λ_１、λ_２、λ_３、λ_４、λ_５）の光（１４）を出射する複数のＬＥＤ照明（１２）を備えており、複数のＬＥＤ照明のうちから選択した１つのＬＥＤ照明から出射された光（１４）が、コリメータレンズ（１３）で平行光線とされ、顕微鏡内に配置された半透明プリズム（１６）で測定個所（２０）に向けて反射される。 （もっと読む）

【課題】投光器及び受光器の光軸をユーザが直感的に且つ容易に調整することが可能で、投光器の投光面及び受光器の受光面に汚れが付着した場合に速やかに適切な処置ができる透過型寸法測定装置を提供する。
【解決手段】光を投光する投光器と所定の間隔を置いて配置される受光器２に入光する投光スポットを受光器２に設けられた入光位置表示部が、入光位置に対応したＬＥＤを点灯させることにより擬似的に表現する。入光位置表示部は受光器２が基台に設置される面である底面と対向する上面側に設けられる。 （もっと読む）

【課題】 微細化トレンドに従って焦点深度が極めて小さくなるに従って、フォーカス検出の高精度化がますます重要となっている。しかしながら要求精度に合致する検出範囲は狭小化の一途にあり、ウエハ表面を確実に検出範囲内に位置付けることが難しくなっており、露光不良の一因となっている。
【解決手段】 ウエハを保持する可動ステージと、面位置計測手段を持った面位置計測方法において、ウエハ表面の全体、又は一部のウエハ表面形状を計測する段階と、計測したウエハ表面形状を記憶する段階を持ち、記憶したウエハ表面形状に沿った軌道で可動ステージを動かしながら面位置の変化量を計測する手段と、軌道からの変化量を駆動する手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の場所によって面の反射状態が異なる場合にも反射光を受光して面の位置が測定できる方法を提供する。
【解決手段】被測定物の形状を測定する形状測定方法にかかわる。投光器から被測定物に光を照射し、被測定物から反射される反射光を受光器が受光するときの光の輝度を推定した受光推定輝度を演算するステップＳ１の受光輝度推定工程と、被測定物に光を照射し、光が照射された場所を検出するステップＳ１１の照射場所検出工程と、被測定物に光を照射する場所を移動するステップＳ３の移動工程と、を有し、ステップＳ１１の照射場所検出工程は、受光器が受光する光の輝度に応じた信号を出力し、前記信号を用いて光が照射された場所を検出するステップＳ５の光検出工程と、受光推定輝度を用いて、受光器が受光する光の輝度を調整するステップＳ４の受光調整工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】補正回路が無くても精度のばらつきが無く、発光素子や受光素子の各個別の特性や、素子の多少の汚れなどによる受光量の差異に影響されることなく、種々のサイズの移動体に適応可能な端部位置検出装置を提供する。
【解決手段】Ｘ（Ｚ）方向に移動する移動体のＸ（Ｚ）方向の端部の位置を非接触状態で検出する装置において、Ｙ方向に光を発する発光素子と、移動体の通路を間にして前記発光素子とＹ方向に対向し、Ｘ（Ｚ）方向に昇（降）順に配列したｎ個（ｎは３以上の正の整数）の受光素子Ｄ１、Ｄ２、・・・Ｄｎと、隣り合う受光素子の受光の有無ないし受光量の差を各々比較し、比較した結果を異なる電圧もしくは信号で出力する比較器Ｃ１、Ｃ２、・・Ｃｎ−１と、前記各比較器の出力に基づいて、遮光された受光素子の数と比例又は反比例する電圧もしくは信号を出力する演算部とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）