【課題】
鏡面検査装置において，高感度にかつ定量的に表面の凹凸を検出することが，困難であった。
【解決手段】
光源から発射された照明光を略平行光にして鏡面状の表面を有する試料に照射し、照明光が照射された試料からの反射光を集光レンズで集光し、集光レンズで集光した試料からの反射光をピンホールを通過させて反射光以外の光を遮光し、ピンホールを通過した試料からの反射光を集光レンズの焦点位置からずれた位置に配置された検出器で検出し、検出器で検出した信号を処理する鏡面検査方法において、検出器はピンホールを通過した試料からの反射光を異なる複数の条件で検出し、検出器で異なる複数の条件で検出した反射光の検出信号を用いて試料上の局所的な凹凸度の分布を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】高精度に高さ方向の位置を検出可能な変位検出装置を提供する。
【解決手段】光源１から出射される光を２つの光束に分割する第１の光束分割手段３と、分割された第１の光束を反射する反射部材８と、第１の光束分割手段によって分割された第２の光束を被測定面上に集光する対物レンズ５と、反射された第１の光束と、被測定面によって反射された第２の光束との干渉光を受光する第１の受光手段３０と、受光した干渉光強度に基づいて被測定面の高さ方向の相対位置情報を出力する相対位置情報出力手段６０と、第２の光束の一部を取り出す第２の光束分割手段２０と、取り出された第２の光束に非点収差を発生させる非点収差発生手段１０と、非点収差が発生した第２の光束を受光する第２の受光手段４０と、検出された受光強度に基づいて被測定面の高さ方向の絶対位置情報を出力する絶対位置情報出力手段５０とを含む。 （もっと読む）

【課題】小型であり、かつ構成部材の位置合せが容易なエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】エンコーダヘッド２０は、光源部からの計測光をスケール５（回折格子）に向けて反射させる第１プリズム２１と、第１プリズム２１により反射された計測光を二つの直線偏光に分割する偏光ビームスプリッタ膜２２と、偏光ビームスプリッタ膜２２を透過した直線偏光を円偏光に変換してスケール５上の一方の位置に照射させる第１波長板２３と、偏光ビームスプリッタ膜２２で反射した直線偏光を円偏光に変換してスケール５上の他方の位置に照射させる第２波長板２４と、スケール５で反射回折した±１次回折光を干渉させて光検出器に向けて反射させる第２プリズム２５とを有し、偏光ビームスプリッタ膜２２が第１プリズム２１と第２プリズム２５に挟まれて設けられ第１プリズム２１、第２プリズム２５および偏光ビームスプリッタ膜２２が一体に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】円板状の２組の基板を上下に積層して成る貼合わせ基板において、素子形成などにあたって、基板中心位置のズレ量を一括して求められるようにする。
【解決手段】輪郭測定手段３によって、貼合わせ基板２の厚み方向の投影像から２組の基板２１，２２を合わせた輪郭形状を検出する一方、エッジ形状測定手段４によって、周方向の複数点において、貼合わせ基板２の接線方向の投影像から２組の基板２１，２２それぞれのエッジ形状を検出する。そして、演算手段６が、輪郭測定手段３の検出結果から、いずれか一方の組の基板の形状データを検出し、直径および中心位置を求める一方、他方の組の基板については、その一方の組の基板の形状データを基準に、エッジ形状測定手段４で検出された２組の基板間の相対的な位置関係から、形状データを求め、直径および中心位置を求める。その後、２組の基板間の中心位置の距離から、前記ズレ量を求める。 （もっと読む）

【課題】被検円錐面と球面測定用干渉計とのアライメント調整を高精度に行い、被検円錐面の径測定の精度を向上させることが可能な円錐面測定装置を得る。
【解決手段】平面測定用干渉計２０、２軸傾き調整ステージ３２、ＸＹステージ３４およびＺステージ３５により、被検円錐面９１と球面測定用干渉計１０とのアライメント調整を行うとともに、基準レンズ１２のキャッツアイポイントが被検円錐面９１上に位置する基準位置に、被検レンズ９０を配置する。球面測定用干渉計１０からの測定光の一部が被検円錐面９１上の円弧状の領域に対し垂直に入射する被検円錐面測定位置に、被検レンズ９０を移動させ、基準位置と被検円錐面測定位置との間の距離をレーザ測長機４１の検出値により求め、その距離に基づき被検円錐面９１の径の測定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】高速で走行する透明フィルムに生じた欠陥をリアルタイムに高い検出率で検査できる欠陥検査装置及び該装置を用いる透明フィルムの欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】暗室環境下で、透明フィルムの欠陥を検査するための装置において、透明フィルムの下方に設置された平行光源から照射される光が格子状チャートユニットを介して透明フィルムに垂直に当たり、キャプチャーされた画像に写る欠陥箇所の異常屈折を検出する。キャプチャー時に発生するノイズは、画像処理ユニットにより除去を行い欠陥部分とノイズ部分を誤認識することを避け、レンズの歪みによる補正は、取り込む画像を制限することにより処理効率の向上を図りリアルタイム処理を実現している。 （もっと読む）

【課題】従来の光アナログ法は、画像情報の並列実時間処理には適するが光学装置の小型化が困難で装置構成に利便性を欠いていた。そのために複数画像の識別に、小型で並列画像処理を可能とする光アナログ画像処理法と装置を提供する。
【解決手段】識別物体導入手段または識別物体形状写出手段を、フーリエ変換レンズの前側で前焦点面に限定することなく設置し、多重マッチトフィルタ作成光学系の光路を短縮し、鮮明な光回折パターン取得光学系で多重マッチトフィルタの作成を容易にした。複数形状の同時並列実時間識別の小型簡便な方法と装置を提供した。 （もっと読む）

【課題】面ずれと面倒れを互いに分離して高精度に測定することができ、かつ種々の被検体を測定対象とすることが可能な面ずれ面倒れ測定装置を得る。
【解決手段】回折格子２２Ａを介して、光軸Ｃ_２２Ａに対する波面の進行角度が互いに異なる２つの円錐状光束を第１被検面９０Ａに照射するとともに、回折格子２２Ｂを介して、光軸Ｃ_２２Ｂに対する波面の進行角度が互いに異なる２つの円錐状光束を第２被検面９０Ｂに照射する。第１被検面９０Ａからの戻り光により形成される２つの干渉縞を解析することにより、光軸Ｃ_２２Ａに対する第１被検面９０Ａの面ずれおよび面倒れを求め、第２被検面９０Ｂからの戻り光により形成される２つの干渉縞を解析することにより、光軸Ｃ_２２Ｂに対する第２被検面９０Ａの面ずれおよび面倒れを求め、それらの結果から、被検レンズ９の面ずれおよび面倒れを求める。 （もっと読む）

【課題】被加工物の上面位置を計測する高さ位置計測装置およびレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源からの光を第１の経路に導き、反射光を第２の経路に導く光分岐手段と、第１の経路に導かれた光を平行光に形成するコリメーションレンズによって平行光に形成された光を被加工物に導く対物レンズと、コリメーションレンズと対物レンズとの間に配設され、対物レンズ側の端面に反射ミラーが形成され、光路長を伸ばす透明体からなる円筒状の基準光路長設定部材と、反射ミラーによって反射し第１の光分岐手段から第２の経路に導かれた反射光と、被加工物で反射し第１の光分岐手段から第２の経路に導かれた反射光との干渉を回折する回折格子と、回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーからの検出信号に基づいてチャックテーブルの表面から被加工物の上面までの距離を求める制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】被測定面の面粗度、汚れ、微細なゴミ等の付着によって被測定面の変位量の測定に誤差が生じる可能性を減少させる変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置１では、対物レンズ３が光源２からの出射光を被測定面１０１に向けて集光する。被測定面１０１からの反射光の光路は、分離光学系４により光源２から出射光の光路と分離される。分離光学系４を通った反射光は、集光手段７により集光され、非点収差発生手段８により非点収差が発生した状態で受光部９に入射する。位置情報生成部１０は、受光部９で検出した光量から得られるフォーカスエラー信号を用いて被測定面１０１の位置情報を生成する。そして、集光手段７、非点収差発生手段８又は受光部９は、対物レンズ３により集光された出射光の焦点が被測定面１０１の奥側に位置するときに、フォーカスエラー信号の値が０になるように光軸上の位置が設定されている。 （もっと読む）

【課題】物体光について光路長を変えて何度も多数の干渉縞を撮影する必要なく、バンプの高さ測定や形状検査を、簡単かつ正確に行うことを可能とする。
【解決手段】２つの光源２１、２２からの互いに異なる波長の光を重ね合わせたビート光を、分割して、一方を参照ミラー２８で反射させて参照光とし、他方をバンプ２３に照射し反射させて物体とし、参照光と物体光を重畳し干渉させて生じる干渉縞をＣＣＤ３０で撮影して、干渉縞像からバンプの高さ測定又は形状検査を可能とし、ビート光の波長Λ／２は、測定すべきバンプ２３の設計仕様における高さより大きくなるように、２つの光源のそれぞれの波長λ１、λ２を設定する。 （もっと読む）

【課題】
レーザ暗視野方式の基板検査装置では，照明光の可干渉性が高いことにより，酸化膜(透明膜)が表面に形成された基板の検査においては膜内多重干渉による反射強度の変動が生じる。また，金属膜が表面に形成された基板の検査においては，金属膜の表面粗さ(ラフネス，グレインなど)による散乱光が干渉して背景光ノイズが大きくなり，欠陥検出を感度低下させていた。
【解決手段】
指向性の良いブロードバンド光源（スーパーコンティニュアム光源など）を用いた低干渉かつ高輝度な照明により上記課題を解決する。また，従来のレーザ光源も併用し，光源を使い分けることでウエハの状態に応じて高感度な検査を可能とする。さらに，調整機構を設けた照明光学系により，両光源の照明光学系を共通化し，簡略な光学システムで上記効果を実現する。 （もっと読む）

【課題】 大変形を高精度かつ動的に計測可能な計測装置及び計測方法を提案する。
【解決手段】 スペックル干渉を用いた変形計測において、２光束のうち一方の光束が非コリメート光となる光路と平行平面状の透明物体を利用し、キャリア縞を形成することが可能となる。具体的には、非コリメート光となる光路上に上記透明物体を設置、または光路上からの除去、もしくは光路上に設置した透明物体の屈折率、厚み、光軸に対する傾斜角を変更する。上記処理とスペックル干渉パターンの取得を繰り返し行うことにより、変形に応じた縞画像からの位相解析を行うことができ、大変形を高精度かつ動的に計測できる。 （もっと読む）

【課題】 ワークの進入による受光量の変化と粉塵の付着などの影響による受光量の変化とを識別して、自動的に測定値を補正することができる測定器を提供する。
【解決手段】 ワークＷが測定領域２に進入していないときの受光量を示す基準受光量Ａを保持する基準受光量記憶部３２と、基準受光量Ａ及び受光量Ｘの比に基づいて、測定領域２に対するワークＷの進入量を示す測定値ｙを算出する測定値算出部３３と、基準受光量Ａ及び受光量Ｘの比が予め定められた値に近づくように、基準受光量Ａを補正する基準受光量補正部３８と、ワークＷの測定領域２への進入速度Ｖに応じた受光量Ｘの変化率を求める変化率算出部３５により構成される。基準受光量補正部３８は、変化率が予め定められた閾値Ｔｈ１よりも小さく、かつ、受光量Ｘが基準受光量Ａに基づき定められる閾値Ｔｈ２よりも大きい場合に、基準受光量Ａを補正する。 （もっと読む）

【課題】 調整の容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】 光源から射出された光を２つの光束に分割し該２つの光束を重ね合わせることによって生成された干渉光の強度の変動を観測することによって被検物の変位を計測する干渉計測装置は、複数の部分領域を有する受光領域を備え、前記複数の部分領域のそれぞれで前記干渉光を受光する受光部と、前記複数の部分領域のそれぞれでの受光結果に基づいて、前記受光領域における前記干渉光の位相分布の均一性を示す指標を求める処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 安定且つ高速に被検体の光学プロファイルを測定することができる周波数偏移干渉計及びその方法を提供する。
【解決手段】 連続同調型光源１６により被検体１２の光学プロファイルを測定する周波数偏移干渉計１０が提供される。被検体１２の一連の干渉画像が捕捉されると共に、干渉画像が形成された時のビーム周波数が取得される。捕捉された被検体の干渉画像から、監視ビーム周波数が所定のビーム周波数間隔パターンに略一致する限定された数の干渉画像が選択される。選択された干渉画像に基づいて更に処理が継続される。 （もっと読む）

【課題】表面反射と裏面反射を有し、且つ、厚さを有する物体のチルト角と厚さを同時に測定できる厚さチルトセンサを提供する。
【解決手段】厚さチルトセンサは、測定対象物に向けて測定用光を出射する投光部と、測定対象物の表面反射光及び測定対象物の裏面反射光を受光する受光部とからなる光学系を備えており、投光部は、投光素子と投光レンズと平行光を細くする手段とを具備し、平行光を細くする手段により得られた細い平行光を測定用光とし、受光部は、表面反射光を受光するチルト角測定部と、表面反射光及び裏面反射光を受光する厚さ測定部とを具備し、チルト角測定部は、チルト角測定用受光レンズとチルト角測定用受光素子とを具備し、測定対象物のチルト角を測定し、厚さ測定部は、厚さ測定用受光レンズと厚さ測定用受光素子とを具備し、測定対象物の厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】カメラの台数を増やすことなく、帯状部材の端部位置などの複数箇所の変位量を計測して、帯状部材の形状を効率良く測定する方法とその装置、及び、この装置に用いられる変位センサーとを提供する。
【解決手段】帯状部材４０の表面に帯状部材の長手方向に沿って延長するレーザー光を照射するレーザー装置１２１と、レーザー光の反射像を撮影する撮像手段１４と、前記反射像から帯状部材４０の変位量を計測する変位量計測手段１５とを備え、変位量計測手段１５で計測された帯状部材４０の変位量に基づいて、帯状部材の表面形状を測定する帯状部材の形状測定装置において、照射するレーザー光を透過光と回折光とに回折分離して、帯状部材の幅方向に互いに離隔した複数のレーザー光Ｔ１〜Ｔ３を帯状部材４０に照射することで、帯状部材４０の幅方向の複数箇所の変位量を計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】シート状の被検体の厚みおよび厚みムラの測定において、厚み測定の精度を向上させることが可能な被検体測定装置を得る。
【解決手段】低可干渉光源１１から出力された低可干渉光を迂回路部２において２光束に分岐し、一方の光束が他方の光束よりも光路長が長くなるように該２光束を別々の経路を進行させた後に１光束に再合波して被検体９０に照射する。被検体９０を透過した光束のうち、該被検体９０での内部反射の回数が２回だけ異なる光束同士が干渉するように迂回路部２における２光束の光路長差を調整し、撮像素子４３上に結像された干渉縞を撮像する。撮像された干渉縞のコントラストと、迂回路部２における２光束の光路長差との対応関係に基づき、被検体９０の厚みを算出するとともに、撮像された干渉縞を解析して被検体９０の厚みムラを求める。 （もっと読む）

【課題】回転対称な非球面からなる被検面の形状を、干渉計と被検面との相対位置を変えることなく測定可能な回転対称非球面形状測定装置を得る。
【解決手段】白色光源１１からの低可干渉光からなる測定光を、回折光学素子３２を有する光偏向素子３０を介して被検面７１に照射する。また、被検面７１から再帰反射された被検光と参照光の光路長差が低干渉光の可干渉距離以下となるように迂回路部１３における迂回距離の調整がなされる。被検光と参照光との干渉光は、回折格子板の傾斜角度と干渉光の波長とが所定の関係を満たす場合のみ撮像カメラ２８内に入射し、撮像素子２９上に干渉縞画像が形成される。干渉光の波長別に撮像された各干渉縞画像および該各干渉縞画像の撮像時点における、参照基準面３１ａから被検面７１までの測定光の光路上における光学距離に基づき、被検面７１の形状が測定解析される。 （もっと読む）