【課題】加工対象物から生ずるスパッタの蓄積をプローブビームを用いて監視する機能を有する高出力レーザ加工ヘッドにおいて、プローブビーム位置のずれの影響を抑え、かつ、低周波ノイズの影響を少なくして、精度及び感度の高い検出を可能とする。
【解決手段】１００Ｈｚ乃至１００００Ｈｚの一定周波数で出力変調された加工用レーザ光３を加工対象物上に集光させる集光レンズ１と、集光レンズ１と加工対象物４との間の位置に配置された保護ガラス５と、保護ガラス５に向けてプローブビーム６を照射する光源８と、保護ガラス５を透過、または、反射したプローブビーム６の偏向方向を検出する位置センサ７と、位置センサ７からの出力信号より加工用レーザ光３の変調周波数を中心とする周波数成分を抽出する信号処理回路とを備え、抽出された信号の振幅を保護ガラス５に付着した吸収不純物の量として評価する。 （もっと読む）

【課題】互いに平行に形成された２つの面の相対的な傾きを、該２つの面が不透明な部材の表裏両側に位置するような場合でも、１つの測定系により測定可能とする反射偏向素子、相対傾斜測定装置および非球面レンズ測定装置を得る。
【解決手段】干渉計３０からの測定光の一部を、反射偏向素子１０Ｂを介して第１被検面７１に対し垂直に照射するとともに、測定光の他の一部を、反射偏向素子１０Ｂを介さずに第２被検面７２に対し垂直に照射する。第１被検面７１から再帰反射され、反射偏向素子１０Ｂを介して干渉計３０に戻る測定光により形成される第１解析用画像と、第２被検面７１から再帰反射されて干渉計３０に戻る測定光により形成される第２解析用画像とに基づき、第１被検面７１および第２被検面７２の相対的な傾きが解析される。 （もっと読む）

【課題】互いに離間した複数の平面または回転対称な線織面からなる被検面の傾斜角度を、被検面を傷付けることなく、高精度に測定することが可能な傾斜角度測定装置を得る。
【解決手段】アライメント用反射平面４１および測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂを有する反射素子４０を、被検面９１Ａ，９１Ｂから離間した位置に保持し、干渉計１０から反射素子４０に向けて測定光を照射する。アライメント用反射平面４１からの戻り光により形成される干渉縞画像に基づき、干渉計１０に対する反射素子４０のアライメントが調整される。測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂにおいて偏向されて被検面９１Ａ，９１Ｂに照射され、再帰反射されて測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂを経由し干渉計１０に戻る被検光により形成される干渉縞画像に基づき、被検面９１Ａ，９１Ｂの相対傾斜角度が解析される。 （もっと読む）

【課題】第１透明体上に第２透明体を配設した透明積層体において、第１透明体の所定の位置に第２透明体が配設されているか否かを高精度に検査する。
【解決手段】第１透明体と、前記第１透明体の一方側面上に第２透明体が配設されてなる透明積層体において、撮像手段で前記第２透明体側の略直上から略直下に向けて前記透明積層体の外周端部を撮像する撮像工程と、前記撮像工程で撮像された画像の明／暗の違いを元にして、前記第１透明体の面取り部分および第２透明体の傾斜部分の領域を識別し、このそれぞれの領域が識別された場合には第１透明体の所定位置に第２透明体が配設されていると判断し、またこのそれぞれの領域が識別されない場合には第１透明体の所定位置に第２透明体が配設されていないと判断する識別工程を有する。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の上面位置を正確に計測することができる高さ位置計測装置を提供する。
【解決手段】高さ位置計測装置は、発光源からの光を第１の偏波保持ファイバーと第２の偏波保持ファイバーに導く光分岐手段と、光照射光路に導かれた光を平行光に形成する第１のコリメーションレンズと、平行光に形成された光を偏光する１／４波長板と、対物レンズと、第１の反射光と第２の反射光とを平行光に形成する第２のコリメーションレンズと、第１の反射光と第２の反射光との光路長を調整する光路長調整手段と、第１の反射光と第２の反射光との干渉を回折する回折格子と、回折格子によって回折した第１の反射光と第２の反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーと、検出信号に基づいて分光干渉波形を求め分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行する制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】測定光および参照光の光軸を容易に一致させることが可能な斜入射干渉計を提供する。
【解決手段】斜入射干渉計１は、光源２と、光を平行光にするレンズ３，４と、平行光を測定光および参照光に分離し、測定光を被測定面Ｓに対して斜めに射出する光分離部５と、参照光、および被測定面で反射された測定光を合成して干渉光とする光合成部６と、干渉光を検出する検出部と、光源２から光分離部５までの光路内に設けられるとともに、光の光断面サイズよりも小さいサイズの光通過孔８１を有し、この光通過孔８１でのみ光を通過させるスポット形成部８と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 被検面の形状や被検光学系の透過波面を簡便かつ迅速に計測する。
【解決手段】 被検面の形状又は被検光学系の透過波面を計測する計測装置であって、光源から出射された光を参照光と被検光とに分割する分割部と、前記被検光を回折することにより分割し、当該分割された被検光を前記被検面又は前記被検光学系の瞳の複数の領域へそれぞれ出射する回折光学素子と、前記参照光と前記被検面又は前記被検光学系の反射面で反射され前記回折光学素子で再度回折された前記被検光とによって生じた互いに部分的に重なり合う複数の干渉縞を検出する検出器と、前記検出器によって検出された互いに部分的に重なり合った複数の干渉縞から、前記複数の干渉縞それぞれの情報を分離して取得し、前記取得されたそれぞれの情報から前記複数の領域それぞれにおける面形状又は透過波面を算出する処理部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可干渉距離を超える奥行きを持つ被測定体の表面形状を迅速に測定できる装置を提供する。
【解決手段】フォトカプラ１３との間の光路長に差を設けられて配置される参照ミラー２５１、２５２、２５３、２５４、２５Ｎを有する参照光生成部２０を備える。参照ミラー２５１、２５２、２５３、２５４、…２５Ｎは、この順に可干渉距離ΔＺの光路長差を設けて配置されている。走査軸２４を中心に走査ミラー２３を揺動させることで、走査ミラー２３による反射光を参照ミラー２５１、２５２、２５３、２５４、…２５Ｎに順に照射することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス製の部材やプラスチック製の部材の品質安定化のためには、屈折率の分布を高精度に測定する必要があるが、従来の測定方法では、破壊検査であったり、有毒物を使用したり、平面でしか測れないといった課題がある。
【解決手段】光センサで得られた干渉信号に基づいて、被検物なしの基準反射面と、被検物の表面と、被検物の裏面と、被検物を透過後の基準反射面および被検物の手前で集光し平行光で反射する基準反射面の少なくとも一方との、それぞれの距離を測定し、これらの測定距離に基づいて被検物の屈折率を算出する。 （もっと読む）

【課題】非球面形状を高精度に測定する際に、被測定物の着脱が正確な位置に作業性よく行える測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物１０を保持する被測定物保持機構Ａと、測定光を照射して光干渉測定を行う干渉光学系２を有する干渉光学機構Ｂとは、それぞれ相対的に移動可能に設置されてなり、被測定物保持機構Ａに被測定物１０を先端に保持しエアスピンドルによる回転機構７０で回転駆動されるサンプルステージ６と一体に回転する回転体６４を設けるとともに、該回転体に形成された凹状の係合部６４ａに係合してその回転を規制する規制機構６５を設け、被測定物の着脱時にはサンプルステージの回転を規制する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の傾き精度の影響を受けず、構成が簡単かつ小型化が可能であって、回折格子の面方向の位置ずれに対しても影響が小さく、光学分解能の調整が可能な変位計測を行う。
【解決手段】レーザ光源１２からのレーザ光１３を、コリメータレンズ１４によって平行光１５とし、第１の回折格子１６を通過させて半透過半反射ミラー２２まで進行させ、一部を反射させて第１の回折格子１６を通過する第１の戻り光Ｌrev１とする。平行光１５の残りは全反射ミラー２４まで進行して反射され、半透過半反射ミラー２２と第１の回折格子１６を通過する第２の戻り光Ｌrev２となる。第１の回折格子１６による第１，第２の戻り光Ｌrev１，Ｌrev２の所定次数の回折光を、第１の光センサ２８で光量検出し、半透過半反射ミラー２２に対する全反射ミラー２４の軸方向の相対的移動量に対応する干渉縞もしくはその信号から変位量を得る。 （もっと読む）

【課題】被測定面の非球面形状を高精度に測定する際に、被測定物を保持するサンプルステージと干渉光学系の照射先端部との衝突による干渉光学系の照射先端部の破損を防止した構造を有する測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物１０を保持する被測定物保持機構Ａと、測定光を照射して光干渉測定を行う干渉光学系２を有する干渉光学機構Ｂとは、それぞれ相対的に移動可能に設置されてなり、被測定物保持機構Ａにおける被測定物１０を先端に保持するサンプルステージ６に干渉光学系２の照射先端部２ａと衝突した際に衝撃を吸収する低強度部６４を設けて干渉光学系２の破損を防止する。 （もっと読む）

【課題】測定対象膜に照明光を照射して測定される表面形状データ及び界面形状データから、この測定対象膜の屈折率を得ることができる膜構造測定方法及び表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】表面形状測定装置の制御用プロセッサで実行される膜構造測定方法は、撮像装置により、物体に形成された測定対象膜に光を照射し、当該光の反射光からこの測定対象膜の表面の形状である表面形状データ及び測定対象膜と物体との界面の形状である界面形状データを測定するステップ２２０と、平均値がほぼ０となるように表面形状データ及び界面形状データの各々を基準面を用いて補正することにより、補正された表面形状データ及び補正された界面形状データを算出するステップ２３０と、補正された表面形状データ及び補正された界面形状データから、測定対象膜の屈折率を算出するステップ２４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板の高さマップを決定するために使用する時間を短縮する。
【解決手段】測定位置に配置された基板の高さレベルを測定するように構成されたレベルセンサ１が開示される。レベルセンサ１は、基板２の複数の測定位置に複数の測定ビームを投影する投影ユニット３と、基板２で反射した後に測定ビームを受ける検出ユニット４と、検出ユニット４が受けた反射測定ビームに基づいて高さレベルを計算する処理ユニット５とを備え、基板２が測定位置に配置されると、投影ユニット３及び検出ユニット４は基板２に隣接して配置される。 （もっと読む）

【課題】 軸数センサを道路に埋め込むことなく、レーンを通行する車両の車軸を検出することを目的とする。
【解決手段】 強度変調したレーザ光を走査し、路面に向かって斜め下方にレーザ光を放射する微細電子機械素子スキャナと、物体から反射してくる反射光を受光する長尺フォトダイオードとを有した送受光学部を備えて、長尺フォトダイオードの出力光信号の検波信号からレーザ光の反射点までの距離を計測し、得られたレーザ光の反射点までの距離及びレーザ光の照射方向に基づいて車両のタイヤを検知し、軸数をカウントする。 （もっと読む）

【課題】ねじ加工が施された管端部のねじ要素をオンライン（ねじ加工ライン）で自動的に精度良く測定する方法を提供する。
【解決手段】本発明は、順次搬送される管Ｐの端部にねじ加工が施されるねじ加工ライン１００上で、ねじ加工後の管端部のねじ要素を自動的に測定する方法であって、ねじ加工後の管端部をねじ洗浄装置３０で洗浄する洗浄工程と、前記洗浄された管端部をねじ乾燥装置４０で乾燥させる乾燥工程と、前記乾燥後の管端部のねじ要素を自動ねじ要素測定装置５０で測定する測定工程とを含み、少なくとも前記測定工程においては、管端部が清浄雰囲気下におかれることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面に存在するソーマークなどの線状の凹凸について、短時間かつ容易に検査が可能であり、検査に対する振動の影響を低減できる技術を提供する。
【解決手段】半導体ウェハＷの表面の全域に光源装置２によって斜め方向から光を照射し、ＣＣＤカメラ４で半導体ウェハＷ全体を撮影する。これにより、半導体ウェハＷの各ポイントからの前記照射光の反射光または散乱光の強度を検出する。取得された光の２次元的な強度分布に基づいて、半導体ウェハＷの表面に生成されたソーマークなどの凹凸を検出し、またはその大きさを測定する。 （もっと読む）

【課題】
プリント配線基板等、特に光透過型電子基板の欠陥を、基板のずれを気にせずに光学的処理により高精度、迅速、かつ、自動的に検出することができる形状欠陥等の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】
可干渉性レーザ光源、可干渉性平行レーザ光束中に設置されたフーリエ変換レンズと、そのレンズの前方に設置された検査物体の回転を抑えるためのガイド溝を通して搬送する検査物体の導入手段または検査物体形状写出手段と、前記レンズの光軸中心の後焦点面または光軸中心の後焦点面付近に設置された形状識別手段としての光差分または排他的論理和を行う光学フィルタ(光差分フィルタまたは光相関フィルタ)を含む光差分器や光相関器と、光学フィルタを前焦点面として設置された逆フーリエ変換レンズと、逆フーリエ変換レンズからの画像を撮り込む電子カメラ、とで構成される画像の差異や画像欠陥を検査する方法および装置。 （もっと読む）

【課題】タイヤの一周分の厚みを、短時間で正確に計測することができるタイヤの形状測定方法および形状測定装置を提供する。
【解決手段】タイヤ外面および内面の画像データからタイヤの外面形状データおよび内面形状データを検出する外面および内面形状測定工程と、外面および内面形状データ中のタイヤ周方向に沿う一周分の凹凸をフーリエ変換してそれぞれの一次の波形成分を取り出す外面および内面一次成分抽出工程と、双方の波形成分のタイヤ周方向位置を合わせてそのタイヤ周方向位置を調整する周方向位置調整工程と、第一および第二のカメラの配置角度と位置情報とから外面形状データと内面形状データとのタイヤ半径方向断面内位置を調整する断面内位置調整工程と、調整されたタイヤ周方向位置およびタイヤ半径方向断面内位置に基づき、外面形状データと内面形状データとを合成する形状データ合成工程とを含むタイヤの形状測定方法である。 （もっと読む）

【課題】可視光、近赤外光または赤外光が透過する材料に設けられた高アスペクト比の穴の深さ等の段差構造の形状を正確且つ高速に測定する。
【解決手段】可視光、近赤外光または赤外光の測定用光Ｌを未貫通ビア１０４が形成されたシリコンウェーハ１０１の裏面１０３側から照射し、共焦点測定法により、測定用光Ｌがシリコンウェーハ１０１の表面１０２及び未貫通ビア１０４の底面１０５に焦点を結ぶ位置を測定することによって未貫通ビア１０４の見かけ上の形状を測定し、予め取得したシリコンウェーハ１０１の屈折率または屈折率を測定する屈折率測定手段によって測定したシリコンウェーハ１０１の屈折率を用いて、前記測定した形状を換算することにより未貫通ビア１０４の実際の形状を算出する。 （もっと読む）