【課題】対象物が太陽に直接照らされていても、対象物が遠くに位置していても、対象物を撮像して得た画像において、対象物の位置を識別できるようにする。
【解決手段】第１の波長域の光を吸収し、かつ、第２の波長域の光を反射する光学特性部３を、対象物１に取り付ける。第１の波長域の光を第１撮像部５ａに入射させ、かつ、第２の波長域の光を、第１撮像部以外の位置へ反らし、または、吸収する第１光学系６と、第２の波長域の光を第２撮像部５ｂに入射させる第２光学系８と、を用意する。第１撮像部５ａにより、第１光学系６を介して、対象物１を含む領域を撮像して第１画像を生成するとともに、第２撮像部５ｂにより、第２光学系８を介して、対象物１を含む領域を撮像して第２画像を生成する。第１画像の各画素の輝度Ａと、対応する第２画像の画素の輝度Ｂとの比率Ｂ／Ａを求め、この比率に基づいて、光学特性部３の位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】影の影響を除去し正確に位相シフト法による三次元データを高速に取得する。
【解決手段】直交する第一方向と第二方向とに撮像画素が行列状に並ぶエリアイメージセンサ１１１を有するカメラ１０１と、カメラ１０１と測定対象物２００とを第一方向に相対的かつ連続的に移動させる移動手段１０２と、第一アングルで第一周期光を照射する第一照射手段１３１と、第二アングルで第二周期光を照射する第二照射手段１３２と、第一照射時間と第二照射時間とが重ならないように制御する照射制御手段１０４と、エリアイメージセンサ１１１の複数の第一ライン１７１を用い、第一照射手段１３１が照射する際の対象部分の像を取得し、複数の第二ライン１７２を用い、第二照射手段１３２が照射する際の像を取得する像取得手段１０５とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、対象体本来の形状のうち部分的な形状の情報を欠いた計測点群を用いる場合であっても、対象体の３次元位置・姿勢を適切に認識可能な３次元位置・姿勢認識装置およびその方法、プログラムの提供を目的とする。
【解決手段】本発明にかかる３次元位置・姿勢認識装置は、計測点群と、対応するモデル点群とをマッチングさせ、モデル点群のうち、マッチング結果に基づいて特定される点を削除処理するモデル処理手段１０と、計測点群と、モデル処理手段１０において削除処理したモデル点群とをマッチングさせ、対象体３の３次元位置・姿勢を認識する認識手段１１とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ステレオカメラにより取得されるステレオ画像を利用して、階段等の段差部の踏面の先端側エッジの空間的な位置及び方向を含む該段差部を配置位置を精度良く認識することができる装置を提供する。
【解決手段】カメラ３Ｒ，３Ｌのうちの基準画像に、複数条の演算処理領域Ｒ３min(k2)を設定すると共に、複数条の演算処理領域Ｒ３min(k2)のそれぞれにおける実エッジ投影線Ｌ52rの複数の候補位置ｖ(k1)を設定し、各演算処理領域毎に、各候補位置の実エッジ投影線（段差部の先端側エッジの投影線）の位置に対する適合度を表す評価関数の値を射影変換を利用して算出する。実エッジ投影線を推定してなる推定エッジ投影線を、複数条の演算処理領域Ｒ３min(k2)のそれぞれにおける推定エッジ投影線の位置の適合度を合成してなる合成適合度が最も高くなるように決定する。推定エッジ投影線と段差部の踏面の平面パラメータとに基づいて段差部の空間的な配置を認識する。 （もっと読む）

【課題】基板の面内領域から取得できる情報を用いて、基板の位置を迅速かつ確実に検出できる技術を提供する。
【解決手段】位置検出装置は、基板９を載置するステージ１１と、ステージ１１に載置された基板９の面内領域を撮像する撮像部と、撮像部が取得した撮像データに基づいて基板９の位置を特定する位置特定部と、を備える。位置特定部は、撮像データを解析して、基板の表面に形成されたスクライブラインのうち最外周に配置されている最外周スクライブライン９１０を検出し、最外周スクライブライン９１０の検出位置に基づいて、レイアウト領域９３の中央に配置されている中央チップ領域９２０の位置を特定する。そして、中央チップ領域９２０の位置に基づいて、基板中心９０の位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】画像解析の処理負荷および精度を改善するための画像処理装置、画像処理方法、プログラム、および画像処理システムを提供する。
【解決手段】距離画像センサにより取得される対象空間における各位置の距離が表現された距離画像の解析結果に基づき、前記対象空間を撮像する撮像装置により取得される撮像画像から注目領域を決定する注目領域決定部と、前記注目領域決定部により決定された前記注目領域を画像解析する画像解析部と、を備える画像処理装置。 （もっと読む）

【課題】ランダム柄を正確に計測しやすい柄計測装置を提供する。
【解決手段】凹凸型を用いてプレス成型された基材３０の凹凸柄を計測する柄計測装置に関する。前記凹凸型の三次元の加工データを記憶する加工データ記憶手段１１。前記加工データから選択された任意の特徴部ｓのデータを記憶する特徴部データ記憶手段１２。前記基材に形成された前記凹凸柄を全面計測して得られる三次元データを記憶する凹凸柄データ記憶手段１３。前記特徴部データと前記凹凸柄データとを比較することによって、前記特徴部により前記基材に形成される特徴柄が基材３０の一端からどの位置に現れるかを検出すると共に、検出された前記特徴柄の位置を基準にして前記加工データと前記凹凸柄データとを比較することによって、前記加工データと前記凹凸柄データとのズレを算出する算出手段１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】ステレオマッチング処理において互いに異なる部品９１a〜９１c間で対応付けが行われるといった誤対応の発生を抑制する。
【解決手段】認識対象部品９１aを含む複数の部品９１a〜９１cを異なる視点から撮像した複数の撮像画像Ｉ1、Ｉ2それぞれから、認識対象部品９１aが写る対象領域Ｒ1、Ｒ2が抽出される。複数の撮像画像Ｉ1、Ｉ2それぞれの対象領域Ｒ1、Ｒ2に対して、ステレオマッチング処理が実行される。つまり、ステレオマッチング処理を行う領域Ｒ1、Ｒ2を、撮像画像Ｉ1、Ｉ2のうちの認識対象部品９１aを含む対象領域Ｒ1に限定する。そのため、対象領域Ｒ1から認識対象部品９１a以外の部品９１b、９１cを外してステレオマッチング処理を実行することができ、その結果、ステレオマッチング処理において互いに異なる物体間で対応付けが行われるといった誤対応の発生を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】部品９１の三次元認識を正確に実行する。
【解決手段】互いに異なる場所から部品９１を撮像した２枚の撮像画像Ｉ1、Ｉ2に対してステレオマッチング処理が実行されて、２枚の撮像画像Ｉ1、Ｉ2間の視差ｐを示す視差画像Ｉsが取得される。また、撮像画像Ｉ1からエッジＥが抽出されて、部品９１のエッジＥを示すエッジ画像Ｉeが取得される。そして、エッジ画像Ｉeが示す部品９１のエッジＥ上の位置での視差ｐが、視差画像Ｉsに含まれる視差ｐから抽出されるとともに、こうして抽出された視差ｐに基づいて、三次元における部品９１の位置および姿勢が認識される。これにより、部品９１のエッジＥ部分の視差ｐに基づいて、三次元における部品９１の位置および姿勢を認識することが可能となり、その結果、この三次元認識を正確に実行することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】透明性基板上に形成された不透明なデバイスパターンを観察像において明確に識別することができる観察方法、および観察装置を提供する。
【解決手段】デバイスパターン３が形成されている側に粘着シート４を貼り付けたうえで透明なステージ７に固定し、ステージ７の上方から同軸透過照明光Ｌ１と斜光透過照明光Ｌ２とを重畳的に照射するとともに、ステージ７の下方側からステージ７を介して裏面観察手段６で観察することで、観察像においては、デバイスパターン３に対応して、暗い（黒色の）デバイスパターン像が観察され、デバイスパターン像ＩＰ１以外の部分は明るく観察される。また、気泡５に対応する部分ＩＢ１についても十分に明るく観察される。これにより、観察像においてデバイスパターン３の形状を明確に特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤやＣＭＯＳセンサなどの撮像素子を用いた薄型の撮像装置が多く用いられており、位置計測対象を複数の撮像装置で撮像して所定の画像処理を施すことにより、位置計測対象の位置を計測している。この時、視野を広くしても、分解能の低下を抑制できる撮像装置、位置計測装置及び撮像方法並びに位置計測方法を提供する。
【解決手段】視野Ｖ１〜Ｖ３の像を撮像する撮像素子２を備える。複数の視野の像を重ねて撮像素子に撮像可能とする像重ね部３を備える。前記像重ね部は、入射した光の少なくとも一部を前記撮像素子に入射させるビームスプリッターを有する。 （もっと読む）

【課題】 遮光位置のずれを低減する技術の提供。
【解決手段】 原版を光で照明する照明系、前記原版のパターンの像を基板に投影する投影系を有する光学系を備える露光装置で、前記光学系の光路上の前記投影系の物体面と共役な面かその近傍に配置され、前記像が前記基板上に投影される領域の外縁の一部を円弧状に規定する円弧状部を有する遮光板と、前記光学系の光路に沿った回転軸まわりに前記遮光板を回転駆動する回転駆動部と、前記回転軸と交わる方向に前記遮光板をシフトするシフト駆動部と、前記回転駆動部により前記遮光板を回転駆動させ、前記光学系により前記像を前記基板に投影する際の基準となる基準軸と前記回転軸との相対位置の情報を取得する取得部と、前記基板の周辺部に対して前記像を投影する場合、取得した前記相対位置に関する情報に基づき、前記遮光板が所定の位置になるように前記回転駆動部と前記シフト駆動部を制御する制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】製造ラインを連続して搬送される開口を塞ぐシール部を有する被検査物に対して、特殊領域特定のために準備工程を必要とせず、検査時間の大幅な短縮が可能な、効率の良い検査性能に優れた検査装置を提供する。
【解決手段】容器を搬送する手段と、第一の光学手段と、第一の光学手段の容器搬送方向の下流に設けられた第二光学手段と、第一の特殊領域特定手段と、第一の特殊領域に基づいてシール部の液漏れ欠陥を検出する第一の検査手段と、前記エッジ座標と、第一の撮像手段と第二の撮像手段の取り付け角度の角度差と、第一の撮像手段と第二の撮像手段から得られた撮像画像における検査領域の中心座標から、第二の撮像手段によって得られた画像の第二の特殊領域を特定する第二の特殊領域特定手段と、第二の撮像手段によって撮像した画像の第二の特殊領域に基づいて容器の異物欠陥を検出する第二の検査手段と、を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び検査方法を提供すること。
【解決手段】検査方法は、測定対象物を撮影して測定対象物のピクセル別にイメージデータを取得し、測定対象物のピクセル別に高さデータを取得し、測定対象物のピクセル別にビジビリティデータを取得し、取得されたイメージデータと、ピクセル別の高さデータ、及びビジビリティデータのうちの少なくとも１つとを乗算して結果値を算出し、算出された結果値を利用してターミナル領域を設定すること、を含む。よって、より正確にターミナル領域を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】コントラストの高いパターン画像の表示を低コストにて実現する。
【解決手段】パターン画像表示装置の画像取得部１３は、光照射部１３１、ラインセンサ１３２、角度変更機構、および、表示対象であるガラス基板９を移動する移動機構を備える。光照射部１３１からは、ガラス基板９の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部１３１からの光の照射角θ１およびラインセンサ１３２により撮像が行われる検出角θ２は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン画像表示装置では、予め画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてコントラストの高い画像をラインセンサ１３２により取得し、ディスプレイに表示することができ、パターン画像表示装置の製造コストも削減することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、深度に関して解像度の良い、広い、三次元撮像方法の実現。
【解決手段】位相感知分光的符号化撮像を使用する、三次元表面測定値を得るための方法および装置が記述される。横方向および深度の両者についての情報は、単一モード光ファイバを介して送信され、本手法を小型プローブへの組み込むことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】都市部の駅ホームや、地下鉄の駅ホームでは、駅ホームのスペースが狭く、列車の乗降口または可動式ホーム柵の開閉部を広範囲にするための監視用カメラ装置のカメラ部の設置スペースを十分に確保できない。
【解決手段】本発明の可動式ホーム柵監視用カメラ装置は、可動式ホーム柵と、反射鏡と、前記可動式ホーム柵内に設置し前記反射鏡を介して前記可動式ホーム柵を撮像するカメラ部と、前記カメラ部が撮像した画像から乗客を検出する画像処理部と、モニタとを備え、前記画像処理部は、前記カメラ部が撮像した画像から前記可動式ホーム柵の開閉部およびその周辺を切り出して合成した合成画像を作成し、前記モニタは、前記合成画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】複数の視野に分割された対象を高精度に測定することができるマシンビジョン検査システムおよびその位置測定結果の決定方法を提供する。
【解決手段】マシンビジョン検査システムは、第１動作状態においてスケールベースの測定により第１対象ＦＥ１の位置を測定する。第２動作状態では、第１対象から第２対象に至る途中で重複画像ＣＩＡ〜ＣＩＣを撮影し、画像相関を利用して重複画像ＣＩＡ〜ＣＩＣの相互の画像変位を測定し、第１対象の位置と画像変位のセットとを合わせて第２対象ＦＥ２の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】ローリングシャッタ法で駆動される２台の車載用カメラであって、車両から対象物までの距離を正確に測定することができる車載用カメラを提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る車載用カメラは、行列に配置された撮像素子を有し、隣接する行間のシャッタ時間に所定のずれ時間を有しつつ先頭行から最終行に向かって順次シャッタを切るＸＹアドレス読み出し法で駆動される２台の車載用カメラであって、２台の車載用カメラの中心を結ぶカメラ間中心線が路面となす角が垂直となるように、かつそれぞれの撮像素子の行方向がカメラ間中心線に平行となるとともにそれぞれの先頭行から最終行への向きが一致するように、車両に配置されるものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ヘッド部を大型化することなく、コントローラ部に対してヘッド部を交換することが可能なように互換性を持たせることができる光学計測装置を提供する。
【解決手段】本発明に従った光学計測装置では、計測対象物２００に対して光を用いて計測を行ない、ヘッド部１０と、コントローラ部２０と、光ファイバ１１と、記憶部４０とを備えている。本発明に従った光学計測装置では、ヘッド部１０とコントローラ部２０とを光ファイバ１１で接続する。記憶部４０は、製造されるヘッド部１０のそれぞれの個体に対して関係付けられ、コントローラ部２０で行なう演算に必要な情報をヘッド部１０の個体情報として記憶する。コントローラ部２０は、コントローラ部２０に対して物理的に独立して存在する記憶部４０から個体情報を読出し、読出した個体情報を用いて演算を行なう。 （もっと読む）