【課題】回転対称で複雑な被検面の形状を高精度に光干渉計測できるようにする。
【解決手段】面中心軸Ｃが測定光軸Ｌと一致した基準姿勢から、被検面８０を径方向に分割してなる複数の輪帯状領域上に測定光軸Ｌが順次移動するように、被検面８０の相対姿勢を順次変更し、相対姿勢が変更される毎に被検面８０を回転軸Ｅ回りに回転せしめる。回転する被検面８０に対して、ミロー対物干渉光学系２３より収束しながら進行する測定光を照射し、複数の回転位置毎に、各回転位置別干渉縞を１次元イメージセンサ３２により撮像する。撮像された各回転位置別干渉縞に基づき各輪帯領域別形状情報を求め、これらを繋ぎ合わせることにより測定領域全域の形状情報を求める。 （もっと読む）

【課題】容易にかつ確実に撮影カメラの位置を算出可能な、被写体の映像を撮影するために撮影スタジオを移動機構により移動する撮影カメラのカメラ位置算出装置を提供する。
【解決手段】撮影カメラの位置算出装置１は、カメラパラメータが入力されるカメラパラメータ入力手段１０と、傾斜誤差値と回転誤差値とが入力される誤差情報入力手段１５と、カメラパラメータを記憶するカメラパラメータ記憶手段２０と、カメラパラメータ記憶手段２０が記憶する更新カメラパラメータを更新するカメラパラメータ更新手段３０と、カメラパラメータを用いて、初期カメラ位置と更新カメラ位置とを算出するカメラ位置情報算出手段４０と、撮影予定位置入力手段５０と、カメラ位置情報と撮影予定位置より撮影カメラの移動量及び方向を算出する移動量算出手段６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】斑点の形状変化及び斑点の強度変動を避ける画像不変光斑点の捕獲装置と方法を提供する。
【解決手段】高コヒーレント光を用いて表面を照射し表面で散乱し、正反射角度から±１０°の方向で捕獲する。斑点捕獲装置が表面に対して相対運動する場合、センサーの視野角が制限されるように光制限モジュールを設計し、斑点は画像上を移動するだけでその形状と強度はほぼ一定に保持することで、高精度の光学パターン認識と位置決めが可能となる。 （もっと読む）

【課題】観察対象である標本の濃淡変化が乏しい領域の適切な高さ情報を得る。
【解決手段】画像処理部２０７は、まず、顕微鏡画像の構成画素のうちの一部の画素群である第一画素群に属する各画素について、その画素で表されている標本２０３の部位の高さを、標本２０３の高さ方向に焦点位置が互いに異なり視野範囲は同一である標本２０３の複数の顕微鏡画像に基づいて取得する。次に、画像処理部２０７は、顕微鏡画像を複数の小領域に分割し、この複数の小領域の各々に対し、小領域に表されている標本２０３の部位の高さの代表値を、第一画素群に属する画素について取得した高さに基づき生成する。そして、顕微鏡画像の構成画素のうち第一画素群に属さない画素群である第二画素群に属する各画素について、その画素で表されている標本２０３の部位の高さを、複数の小領域の各々に対して生成した高さの代表値に基づく補間演算により算出して取得する。 （もっと読む）

【課題】混雑度をより正確に把握することが可能な混雑検知装置を提供する。
【解決手段】エスカレータ１０の乗降口等に、手すり１２や床面１４を含まない範囲で監視空間１６を設定し、上方に設置された２台のカメラ１８，２０で撮影された画像から、監視空間１６内の人物集団の三次元形状および／または人物集団の動きを表わす複数のベクトルを決定し、それに基いて体積占有率および／または三次元フローを算出して混雑度を判定する。 （もっと読む）

【課題】カメラ画像からワークの姿勢を認識するときの処理時間を短縮する。
【解決手段】ランダムな姿勢で供給されるワークＷの姿勢を認識するワーク姿勢認識方法であって、前記ワークＷは、外面Ｆごとに方向性を有する異なる種類のマークＣが付与されており、前記ロボット１０は、前記ワークＷの前記マークＣを撮像する撮像手段１２と、複数の種類の前記マークＣに対して前記撮像手段１２により撮像されたマスタ画像Ｍを予め格納するマスタ画像格納手段４２とを有し、前記撮像手段１２により撮像されるマーク画像Ｐを取り込む画像入力工程Ｓ３と、取り込まれた前記マーク画像Ｐと前記マスタ画像格納手段４２に格納される前記マスタ画像Ｍとを比較し、前記マーク画像Ｐと前記マスタ画像Ｍとの一致度もしくは差異を検出する画像比較工程Ｓ４と、前記画像比較工程Ｓ４で得られた比較結果から前記ワークＷの姿勢を判定する姿勢判定工程Ｓ５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ表面全体のような広い領域の膜厚分布を高速に測定可能な膜厚測定方法および装置を提供する。
【解決手段】表面に薄膜を有する基板を支持するステージと、基板を略平行光で照明する照明部と、略平行光で照明された前記基板の正反射像を一括して撮像する撮像部と、正反射像と、前記基板上のいずれかの位置における膜厚情報とに基づいて、前記一括して撮影された範囲の前記薄膜の膜厚分布を求める膜厚分布検出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面の一部に傾斜面あるいは曲面が存在する計測対象物体、あるいは傾いた計測対象物体に対して高精度な計測を可能とする光学式計測装置を提供する。
【解決手段】遮光部２１２は、拡散反射光５７の受光中心軸５６に対する入射角度範囲を規定するように構成される。すなわち開口２１２ａの径によって、拡散反射光５７が遮光部２１２の開口２１２ａを通過するときに拡散反射光５７の進行方向と受光中心軸５６とがなす最大角度θが規定される。また、投光部２０２は、計測対象物体５の表面５Ａで正反射された投光ビーム（すなわち反射光ビーム５６）のうちレンズ部２１１により集光される成分について、受光中心軸５６上での集光位置Ｐが受光中心軸５６上における遮光部２１２の範囲内に含まれるように投光ビーム５３を投光する。 （もっと読む）

【課題】測定対象に設けられた穴の傾斜角を高精度で測定すること。
【解決手段】測定対象１３０の穴１３２を含む領域の原画像データを取得し、断面が面状の第１測定用光を測定対象１３０の穴１３２を含む領域に照射した状態で前記領域の第１画像データを取得し、断面が複数の線状光である第２測定用光を穴１３２を含む領域に照射した状態で前記領域の第２画像データを取得し、第１画像データと原画像データの差をとることによって、穴１３２を含む領域における第１測定用光に関する第３画像データを取得し、第２画像データと原画像データの差をとることによって、穴１３２を含む領域における第２測定用光に関する第４画像データを取得し、第３画像データにおける穴１３２周縁部と第４画像データにおける第２測定用光との複数の交点の位置データを算出し、前記位置データを用いて穴１３２の傾斜角を算出する。 （もっと読む）

【課題】カメラの移動を伴う対象物の三次元位置計測時に、より高精度の計測を行う。
【解決手段】三次元計測装置（７）は、複数の軸回りで回転可能または該軸沿いに並進可能に互いに結合された複数のアーム要素を備えたロボット（１０）の末端軸の回転中心線（６）における末端軸の可動端側に取付けられた撮像手段（３０）と、ロボットの末端軸の動作によって該撮像手段を末端軸の回転中心線回りにのみ移動させる移動手段（１９）と、移動手段による撮像手段の移動の前後における撮像手段の位置と、これら位置において撮像手段によりそれぞれ撮像された対象物の画像とに基づいて、対象物の三次元位置を計測する計測手段（２５）とを具備する。ロボットの末端軸の可動端側に位置する部分の重心が前記ロボットの末端軸の回転中心線上に概ね位置するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】位置計測用のマークが存在しない移動体の位置を管理することを可能にする。
【解決手段】 所定形状のプレート５０が着脱可能に搭載された移動体ＷＳＴの位置をその移動座標系を規定する計測装置１８等で計測しつつ、プレート５０の一部をアライメント系ＡＬＧで検出するとともにその検出結果と対応する前記計測装置の計測結果とに基づいてプレート５０の外周エッジの位置情報を取得する。このため、その移動体ＷＳＴ上に位置計測用のマーク（基準マーク）などが存在しなくても、プレートの外周エッジの位置情報に基づいて、プレートの位置、すなわち移動体の位置を前記計測装置で規定される移動座標系上で管理することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】外光の影響を排除し処理時間の短縮も可能な形状計測装置を構成する。
【解決手段】レーザ投光器Ａと、デジタルカメラＢの光電変換面と、光学レンズとをシャインフリュークの条件に従って配置する。計測対象物Ｍにレーザ投光器Ａからスリット状のレーザ光を照射し、計測対象物ＭをデジタルカメラＢで撮影して画像データを取得する。この画像データをマスク処理手段２３の１次元マスクでの処理で外光を排除し、この画像データから表面形状を抽出する。この後、複数の表面形状のデータから３次元形状データ生成手段２７が３次元形状データを生成する。 （もっと読む）

【課題】回転対称で複雑な被検面の形状を高精度に光干渉計測できるようにする。
【解決手段】面中心軸Ｃが測定光軸Ｌと一致した基準姿勢から、被検面８０を径方向に分割してなる複数の輪帯状領域上に測定光軸Ｌが順次移動するように、被検面８０の相対姿勢を順次変更し、相対姿勢が変更される毎に被検面８０を回転軸Ｅ回りに回転せしめる。回転する被検面８０に対して平面波からなる測定光を照射し、複数の回転位置毎に、各回転位置別干渉縞を１次元イメージセンサ３２により撮像する。撮像された各回転位置別干渉縞に基づき各輪帯領域別形状情報を求め、これらを繋ぎ合わせることにより測定領域全域の形状情報を求める。 （もっと読む）

【課題】実物モデルとカメラとの位置関係を任意に変更して３次元計測を行い、各計測により復元された３次元情報を位置合わせして統合する方法でも、精度の良い３次元モデルを作成できるようにする。
【解決手段】３次元認識の対象とするワークの実物モデルＷＭの所定箇所に、向きを一意に特定できる形状の多角形のマークＭを取り付ける。そして、このマークＭが各カメラ１１，１２，１３の視野に含まれる状態が維持されるように実物モデルＷＭの姿勢を変更して３次元計測を行う処理を、複数回実行する。さらに、毎回の計測により復元された３次元情報のうちの２以上の所定数を選択し、これらを位置合わせして統合した後、統合された３次元情報からマークＭに対応する情報を削除または無効化し、その処理後の３次元情報を３次元モデルに設定する。 （もっと読む）

【課題】白色干渉計測装置において、比較的短時間でカラー画像を取得し、かつ同時に複数の波長を使用して高さ情報を求める。
【解決手段】白色干渉計測装置（１）は、対象物（６００）に対して、相互に異なる波長を夫々有する第１光、第２光及び第３光を相互に独立に照射可能な照明手段（１１０）と、照明手段から照射された第１光、第２光及び第３光の各々の光路に配置された干渉対物レンズ（１３０）と、対象物を撮像可能な撮像手段（１２０）と、対象物及び干渉対物レンズ間の距離を変更可能な距離変更手段（１４０）と、距離を連続的に変更するように距離変更手段を制御しつつ、第１光、第２光及び第３光の各々を、所定の時間間隔で順次照射するように照明手段を制御すると共に、干渉対物レンズを介し、第１光、第２光及び第３光の各々の照射と同期して対象物のモノクローム干渉画像を複数撮像するように撮像手段を制御する制御手段（２５０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】使用者が使用環境下で簡便に実施できる斜入射干渉計における測定感度の校正方法を提供すること。
【解決手段】対象物３０を傾斜ステージ１５に載置して第１干渉縞を取得後、所定の角度だけステージ１５Ａを傾斜させて、その傾斜角度の変化量σを取得するとともに、第２干渉縞を取得する。第１干渉縞の像中の２点の各位相φ1Ａ，φ1Ｂの差である第１位相差Δφ1、および、第２干渉縞の像中の２点の各位相φ2Ａ，φ2Ｂの差である第２位相差Δφ2を算出し、第１位相差Δφ1と第２位相差Δφ2との差分ΔΦを取得する。２点間の距離Ｌおよび傾斜角度の変化量σに基づく傾斜前後の対象物面上の２点の高低差の変化量ΔＨを算出し、変化量ΔＨを差分ΔΦで叙した算出値を用いて測定感度である縞感度Λを校正する。 （もっと読む）

【課題】複数の被写体から主被写体を自動的に選択し、距離や速度等の被写体情報を表示する。
【解決手段】撮影システムは、撮影範囲内に設けられた複数の測距エリア１〜１６のそれぞれにおいて被写体距離を算出する距離算出手段１１４と、複数の測距エリアのそれぞれにおいて被写体速度を算出する速度算出手段１１６と、被写体距離、該被写体距離間の差、被写体速度、及び該被写体速度間の差のうち少なくとも１つを表す被写体情報を生成する情報生成手段１１４，１１６と、複数の測距エリアのうち、速度算出手段により算出された被写体速度が第１の範囲ＳＡ内である測距エリアを抽出する抽出手段１１７と、カメラにより生成された撮影映像と抽出手段により抽出された測距エリアに対応する被写体情報とを含む出力映像を生成する出力映像生成手段２０３とを有する。 （もっと読む）

【課題】被塗布面が目視不可能な箇所に配置されている被塗布材の被塗布面に塗布される塗布材の分布を非破壊検査によって測定することが可能な塗布分布測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】目視不可能な箇所に配置される車体２のフード３の内面４に塗布される加温ワックス７の塗布分布を測定する分布測定工程であって、加温ワックス７が内面４に塗布された直後に、目視可能なフード３の表面８を赤外線カメラ１１で撮像し、赤外線カメラ１１により得られた熱画像データ２０を、解析アルゴリズム２２を用いて処理することにより加温ワックス７の塗布分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定精度を向上させる。
【解決手段】投影パタン２４により、投影パタンが被検物１３に投影され、像面パタン３２ａ乃至３２ｃにより、被検物１３において反射または拡散した光が、像面パタンに応じて透過されて、CCDセンサ３４ａ乃至３４ｃに入射させる。そして、投影パタン２４と像面パタン３２ａ乃至３２ｃとの位相関係に基づく、CCDセンサ３４ａ乃至３４ｃの画素ごとの校正データと、像面パタン３２ａ乃至３２ｃの位相が、投影パタン２４の位相に対して相対的にずらされた複数の状態の被検物１３をCCDセンサ３４ａ乃至３４ｃが撮像して得られた画像の輝度情報とを用いて、被検物１３の形状が算出される。本発明は、例えば、被検物の形状を測定する形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】ロボットアーム先端のフランジにカメラを取り付けてなる視覚検査装置において、カメラによってフランジ座標Ｆとカメラ座標Ｃとの関係を求める。
【解決手段】フランジ１１をフランジ座標ＦのＸＹＺ軸に沿って移動させた時のカメラ１２の撮像画面上での移動ベクトルを求め、これに基づいてフランジ座標Ｆに対するカメラ座標Ｃの傾きを演算する。フランジ１１をカメラ座標ＣのＺｃ軸を中心に回転させたときのマーカＭの撮影画面およびフランジ１１をフランジ座標Ｆの原点を通るカメラ座標ＣのＺｃ軸と平行な直線を中心に回転させたときのマーカＭの撮影画面によってフランジ座標Ｆ上でのカメラ座標Ｃの位置を求める。 （もっと読む）