【課題】重複画像における誤対応点を自動判定することで、三次元形状の測定に必要な初期値を始めとする測定値を自動で取得する。
【解決手段】
形状測定装置１は、重複撮影領域で測定対象物１８を撮影する撮影部２〜９と、撮影部２〜９によって撮影された重複画像における測定対象物１８の特徴点の位置を対応付ける特徴点対応付部２１と、特徴点対応付部２１で対応付けた特徴点に基づき、測定対象物１８のモデルを形成する測定モデル形成部２３と、測定モデル形成部２３で形成した測定モデルと、別の測定対象物の基準モデルとに基づいて、誤対応点を判定する誤対応点判定部２４と、誤対応点判定部２４で誤対応点と判定された点を除いた特徴点の位置等に基づき、測定対象物１８の三次元形状を求める三次元形状測定部２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出された液滴を、より実機に近い状態で観測できる観測システムを提供する。
【解決手段】ノズルから吐出された液滴３の画像をインターバルＴｉをおいて断続的に取得する取得部２３と、時間的に前後に得られた第１の画像φ３１と第２の画像φ３２の間で、それらに含まれる液滴３の同一性を判断する認識部２４とを有する測定ユニット１０を提供する。画像毎に含まれている液滴３の同一性を判断することにより、速度の測定の最初の画像に含まれた液滴と、最後の画像に含まれた液滴とが同一であることを保証できるので、飛翔方向が予測できないような液滴でも自動的に観察でき、速度や飛翔方向を測定できる。 （もっと読む）

【課題】少ない情報量で単純に画像処理することができ、簡易かつ迅速に欠陥を検出する欠陥検出方法、欠陥検出装置、これらを用いたフィルムの製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】（１）検査対象物を撮像する工程と、（２）前記（１）の工程で得られた画像信号から複数の特徴信号を得る工程、（３）前記特徴信号のうちのいずれか１以上の強度が、特徴信号ごとに予め設定された閾値を超えている部位を欠陥と特定する工程と、（４）前記欠陥と特定した部位の各特徴信号のピーク値が、前記各特徴信号ごとに予め設定された閾値を超えているか否かに基づいて２値化して、前記欠陥と特定した部位ごとにビットパターンを得る工程と、（５）前記ビットパターンに基づいて、前記欠陥を分類する工程と、を含む、欠陥検出方法。 （もっと読む）

本発明は、当該工業過程において品質制御を行うために、サーモグラフィ技術を利用することによりリアルタイムに透明な被写体の３次元モデル化を行うことができる３次元スキャナ（１）に関し、摺動部（２）、ヒータ（３）、サーマルカメラ（５）及び制御ユニット（６）を含む。
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【課題】見えにくい箇所に付着した異物を効率良く除去する手段の提供。
【解決手段】測定ユニット１６の外装部には、プローブカード２の触針３_ｎを上方、左方、右方の異なる３方向からブラッシングするための３種類のブラシが取り付けられたクリーニングプローブを有するクリーニングユニット２１が設けられており、このクリーニングユニット２１は、プローブカード２と測定ユニット１６とが３次元方向に相対的に移動することで、３種類のブラシによって、上方、左方、右方の異なる３方向から触針３_ｎをブラッシングする。これにより、触針３_ｎの見えにくい箇所に付着している異物を効率良く取り除くことが可能となり、プローブカードに設けられた触針の形状を測定する測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】複雑な構造を有する軸物工具の表面における欠陥を検査することができる軸物工具表面の欠陥検査方法および装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置が、軸物工具の表面を撮影した画像が入力され、該入力された画像を予め定められている画像サイズに分割する画像分割部と、画像分割部の分割した画像を入力データとして、予め学習されている第１のニューラルネットワークにより出力値を算出する第１のニューラルネットワーク処理部と、第１のニューラルネットワーク処理部の算出した出力値に基いて、軸物工具の表面に欠陥があるか否かを判定する欠陥有無判定部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】自動車のナンバープレート等の標板等の表示内容を、出荷される形態で画像処理技術によって確実に検査すること。
【解決手段】予め設定された生産データを基に、検査対象の標板を一連の撮像工程によって撮像し、画像処理を用いた判定工程によって、前記検査対象の標板が前記生産データにて指示されたものであることを照合して確認するともに、照合の結果生成された標板データを用いて管理用データを生成する標板検査方法である。具体的には、外部から収納物を撮像可能な構造の収納袋に、複数枚の標板の表面の文字や図形を同時に撮像可能な状態に収納する収納工程と、前記複数枚の標板の表面の文字や図形を同時に撮像する撮像工程と、撮像された画像を解析して、前記複数枚の標板に、それぞれ所定の文字や図形が標示されているか否かを判定する判定工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ステレオマッチングにおける相関演算を高速処理できるステレオカメラユニット及びステレオマッチング方法を提供する。
【解決手段】このステレオカメラユニット１０は、ｋ（ｋ＞１）の基線長比を持つ少なくとも２組の基準画像及び参照画像を取得する複数台のカメラと、基線長の短い組の基準画像及び参照画像にウインドウをそれぞれ設定し、両ウインドウで相関演算を実行することで基線長の短い組における視差ｄｓ（ｕ，ｖ）を算出する予備相関実行部１２と、予備相関実行部１２からの視差ｄｓ（ｕ，ｖ）をｋ倍したｋ×ｄｓ（ｕ，ｖ）の視差を生じる条件で制限される範囲の相関演算を短い組と同じ画像位置の基線長の長い組の基準画像及び参照画像に対して実行する相関実行部１４と、を備え、相関実行部の相関演算結果から導き出される視差ｄｌ（ｕ，ｖ）を出力する。 （もっと読む）

【課題】目視観察用のモニター装置を用いて、大型基板上の欠陥部位を観察するに当たり、当該部位が該モニター画面上のどこにあるのか容易に認識できる手段及びこの手段を備える目視検査システムを提供する。
【解決手段】自動欠陥検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、目視検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、蓄積された前記パターンの欠陥に関する情報を目視検査支援システムに備わるモニター装置で閲覧する手段と、被検査基板上に形成されたパターンの撮像映像を目視検査装置に備わるモニター装置に表示する手段と、被検査基板上に形成されたパターンの欠陥部位を、前記欠陥情報データベースに蓄積された情報に基づいて、レーザポインタにより照射する手段と、を備えることを特徴とする目視検査システム。 （もっと読む）

【課題】投影されるパターンのピッチと対物レンズの開口数とを最適化して、十分な高さ検出精度を得ることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１は、投影パターン１３の像を、対物レンズ１７の焦点面に結像して検査対象物Ｓに照射する照明光学系２と、検査対象物Ｓの像を結像する撮像光学系３と、検査対象物Ｓの像を検出して画像信号を出力する撮像素子２１と、検査対象物Ｓ又は対物レンズ１７を相対的に移動させて、撮像素子２１により、合焦状態の異なる複数の像の画像データを取得して検査対象物Ｓの形状を得る制御部２０と、を有し、対物レンズ１７の焦点面に形成された投影パターン１３の像のピッチ及び対物レンズ１７の開口数が、撮像光学系３により、検査対象物Ｓから出射する回折光のうち、少なくとも３次の回折光までを取り込むことができるように設定する。 （もっと読む）

【課題】校正治具上の特徴部を、照明条件に依存せず安定的に精度よく検出できると共に、低コストで取り扱いが容易な画像計測システムにおけるキャリブレーション用の校正治具を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明による校正治具１０ａは、画像計測システム１００におけるキャリブレーション用の校正治具において、上面１８を有する本体１４と、キャリブレーションの基準となる特徴部２０ａであって、上面１８に隣接して本体１４に凹状に形成される特徴部２０ａとを具備し、特徴部２０ａは、上面１８に交差する方向へ延びる側面２４ａと、側面２４ａに交差する方向へ延びる底面２６ａとを有し、底面２６ａが、上面１８が示す光の反射率よりも、同じ光に対して低い反射率を示すこと、を特徴とする。 （もっと読む）

本願発明は物体の三次元測定のための装置に関し、その装置は移動可能な第一のパターンを物体に投影する第一の赤外線光源を有する第一の投影装置、および赤外線スペクトル領域において物体の画像を記録する少なくとも一つの画像記録装置により構成される。本願発明はさらに物体の三次元測定のための方法に関し、その方法は物体(5)を三次元測定する方法で、第一の赤外線光源(1a)を備える第一の投影装置(1)により第一の赤外線パターンを物体に投影し、赤外線放射を感受する最低一つの画像記録装置(3)でその物体の映像を記録し、そのパターンは映像の記録のたびに移動する、というステップにより構成される。
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【課題】パン方向、チルト方向、更には、ROTATION方向の回転角度を広範囲で、磁場影響を受けずに、高精度で小型の光学式角度センサを提供すること。
【解決手段】測定対象部に設けられた２色以上の色パターンと、前記色パターン上に照射する光源と、前記色パターンの透過又は反射光を前記色パターンに集光する光学レンズと、前記光学レンズで集光された光強度検出する多画素光センサを備え、第一色パターンのＰａｎ方向の移動量を測定しＰａｎ方向角度を算出し、第二色パターンを第一色パターンから分離検出してチルト方向の移動量を測定しチルト方向角度を算出することで、色パターンを測定対象の回転に応じ回転する球面上に設置し、その所定位置を観測することで、広角度範囲で高精度で小型で測定可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機能液滴ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の着弾ドットの体積について、信頼性の高い測定結果を得ることができる着弾ドットの体積測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド１の検査吐出により、検査基板に着弾した着弾ドット１０の体積を、干渉計９９を用いて測定する着弾ドット１０の体積測定方法であって、撥水性の異なる複数種の検査基板１６を用意し、周囲雰囲気の湿度と、測定のための着弾ドット１０が適正ドーム形状となる複数種の検査基板１６と、の関係を表した湿度−撥水性データ２０に基づいて、測定した周囲雰囲気の湿度に応じた１の検査基板１６を用いて、検査吐出および着弾ドット１０の体積測定を実施する。 （もっと読む）

【課題】光学的に透明な球体の表面形状に関する好適な測定が可能となる、球体の真球度の測定方法および球体の曲率半径の測定方法を実現する。
【解決手段】光学的に透明な球体１０の上面での第一反射光Ｒ１と、球体１０の下面での第二反射光Ｒ２とが干渉した干渉縞を生成させて、例えば、フィゾー型干渉計を応用した干渉計１００を用いて、その干渉縞に基づき球体１０の上面と下面との間の光路差の分布を算出することができ、その光路差分布に基づいて球体１０の真球度を算出することができる。
また、第一反射光Ｒ１と第二反射光Ｒ２とが干渉して干渉縞を生成させる、光源１から照射された光の焦点が球体１０の中心Ｏとなる第一配置と、光源１から照射された光の焦点が球体１０の表面となる第二配置とを検出して、その第一配置から第二配置までの移動量に基づいて球体１０の曲率半径を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】圧延により薄板状に加工されたアルミ圧延板の表面における品質管理上検出すべき凹凸を，その凹凸よりも微小な筋状の凹凸や表面粗さに起因する反射光の干渉の影響を受けずに，光学的手法により非接触で簡易に検出することができること。
【解決手段】アルミ圧延板１の被検査面に対し，幅方向Ｒｘに伸びて形成された長尺光源１０から拡散光を照射し，照射光の正反射光の像をカメラ２０により撮像し，画像処理装置４０により，撮像画像における前記正反射光の像を表す高輝度部の座標に基づいて前記被検査面の凹凸を検出する。例えば，前記被検査面は，アルミ圧延板１を幅方向Ｒｘに沿って折り曲げた状態で支持することによって長手方向Ｒｙにおいて湾曲させた前記アルミ圧延板の凸側の表面である。 （もっと読む）

本発明は、対象物をモニタリングする、特に人の形態の変化をモニタリングする方法に関する。本方法は、モニタリングするために対象物上に放射線のパターンを投影するステップと、第１の時点に、対象物上の放射線の投影パターンの少なくとも一部分を表す第１の画像データを記録するステップであり、第１の画像データが、第１の時点における対象物の３次元形態を表す、ステップと、第２の時点に、対象物上の放射線の投影パターンの少なくとも一部分を表す第２の画像データを記録するステップであり、第２の画像データが、第２の時点における対象物の３次元形態を表す、ステップと、第１の画像データ及び第２の画像データを処理して、第１の時点と第２の時点との間の対象物の形態の変化を表す差分データを生成するステップとを含む。本発明はさらに、本発明による方法を実施する装置及びソフトウェアに関する。 （もっと読む）

【課題】外乱光の影響を抑制し、物体の形状の測定精度を向上する。
【解決手段】物体にパタンを投影して、その像を撮像素子６０により撮像することによって物体の形状を測定する形状測定装置の制御部６１のFFT部１０２は、A/D変換部１０１を介してフォトセンサ５９から取得した受光信号に基づいて、撮像素子６０に入射する入射光の周波数成分を検出する。ピーク検出部１１１は、周波数成分の検出結果に基づいて、撮像素子６０への入射光に含まれる外乱光の光量が所定の閾値以上かつ最大となる周波数fpを検出する。露光時間設定部１１３は、周波数fpに対応する周期Tpの倍数に撮像素子６０の露光時間を設定する。本発明は、例えば、光学式の形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】ノッチ部を精度良く検査できる周部検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る周部検査装置は、周部にノッチ部１４が形成されたウェハ１０を保持する保持部と、ウェハ１０の周部を撮像可能な撮像部９０とを備え、撮像部９０により撮像されたウェハ１０の周部の画像を用いてウェハ１０の表面検査を行うように構成され、保持部に保持されたウェハ１０と撮像部９０とを撮像部９０の光軸方向に沿って相対移動させる駆動部と、撮像部９０の光軸上にノッチ部１４を位置させた状態で、駆動部により相対移動させながら撮像部９０により撮像したノッチ部１４を含んだ複数の画像について、それぞれの画像の画素毎に信号強度を求めるとともに複数の画像における同じ画素同士の信号強度を比較して、信号強度が最大となる画素を抽出し、抽出された複数の画素の画像を対応する画素位置に並べて合成しノッチ部１４の検査用画像を生成する画像処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】透明膜で形成されたパターンは、コントラストの変化が場所によりことなる現象が発生し、輝度変化のパターンと一致しないパターンを測定することができなかった。透明膜パターンのコントラストの変化が変化した場合でも測定が可能な線幅測定方法を実現する。
【解決手段】透明膜のコントラスト変化に合わせて、複数の輝度変化パターンを登録し、登録された複数の輝度変化パターン毎に対応する測定条件を設定し、複数の測定条件で測定する。 （もっと読む）