【課題】 本発明は、半導体ウエハの下面の外観異常箇所が、何れの半導体素子領域に存在しているかを正確に識別することができる外観検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 複数の半導体素子領域５２が形成された半導体ウエハ５０の下面５０ｂの外観異常を検査する方法であって、半導体ウエハ５０の下面５０ｂに各半導体素子領域５２を示す映像を投影した状態で、半導体ウエハ５０の下面５０ｂの外観異常箇所５６を目視で特定する検査工程を有する外観検査方法。 （もっと読む）

【課題】 対象物への反射部材の装着や取付けを行うことなく、撮影により、対象物を検出できる物体検出装置を提供することである。
【解決手段】 スクリーン１５に取付けられ、受けた光を再帰反射する再帰反射シート１７−１〜１７−３，１９−１，１９−２と、これら再帰反射シートを撮像する撮像ユニット７と、撮像により得られた差分画像を解析するＭＣＵ３３と、を備える。ＭＣＵ３３は、差分画像から、プレイヤ２５の足により再帰反射シートが遮蔽された部分に対応する遮蔽領域を検出する。遮蔽領域の検出は、プレイヤ２５の足を検出することに相当する。足が再帰反射シート上に位置する場合、その部分は差分画像に現れず、遮蔽領域となって現れるからである。足への再帰反射シートの装着や取付けを行うことなく、撮影により、足を検出できる。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測をより短時間で実現することのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】三次元計測装置を有する基板検査装置は、クリームハンダの印刷されてなるプリント基板に対し縞状の光パターンを照射する照射装置と、プリント基板上の照射された部分を撮像するＣＣＤカメラと、これにより撮像された画像データに基づき三次元計測を行う制御装置とを備えている。制御装置は、周期２μｍの第１光パターンを第１位置にて照射して得られた画像データに基づき各画素毎の第１高さデータを算出する。また、半画素ピッチ斜めにずれた第２位置にて、周期４μｍの第２光パターンを照射して得られた画像データに基づき各画素毎の第２高さデータを算出する。そして、第２高さデータを基に、各第１高さデータの縞次数を特定し、当該第１高さデータの値を縞次数を考慮した値に置き換える。 （もっと読む）

【課題】移動機構部の先端に着脱可能なヘッド部を、空間内の目標位置に高精度に位置決めすることができる作業装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置（作業装置）１００は、形状センサ部１７が内蔵されたプローブ（ヘッド部）１２と、所定の空間内でプローブ１２を移動させるアーム部（移動機構部）１１に、このプローブ１２を取り付け可能な取付部１６と、空間内における所定の目標位置にプローブ１２を位置決めする空間位置決定部３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高速な振動現象の下にあっても、エンジンマウントのマウント軸として配設されるボルトの中心の３軸並進量、及び、該ボルトの３軸回転量を高精度に算出することができる、エンジンマウントの変位量計測方法を提供する。
【解決手段】ボルト１２の一端に配設した検出体３４の３次元座標をステレオカメラ３３で計測することにより、ボルト１２の中心Ｋの位置座標Ｏ及びボルト１２の姿勢角を算出するカメラ計測工程と、ボルト１２の一端に配設した加速度ピックアップ３１で計測したボルト１２の３軸加速度を二階積分することにより、ボルト１２の３軸変位量を算出する加速度検出具計測工程と、ボルト１２の姿勢角に基づいてボルト１２の３軸変位量をカメラ座標系における変位量に変換する変位量変換工程と、ボルト１２の中心Ｋの位置座標Ｏに基づいて加速度検出具計測工程において行う二階積分の初期値を修正する座標修正工程とを備える。 （もっと読む）

物体(12)の振動特性を測定するための方法および装置が開示される。この方法は、少なくとも2つの光源(17)を使用して物体(12)を照光するステップであって、少なくとも2つの光源(17)は、異なる色の光を発光し、少なくとも2つの光源(17)のそれぞれは、それぞれの遅延でストロボ発光させられるステップと、結果として物体(12)の1つの画像となるように、物体(12)からの反射光を取り込むステップであって、画像は、光の異なる色を識別することが可能な、少なくとも2つの識別可能色チャネルを含むステップと、画像の少なくとも2つの識別可能色チャネルで、物体(12)上の点の位置から、物体(12)に関連する振動特性を計算するために、画像を処理するステップとを含む。
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【課題】露光光の強度が大きいか又は露光時間が長い場合にも高い重ね合わせ精度を得る。
【解決手段】露光用の照明光ＩＬでレチクルＲのパターンを照明し、照明光ＩＬでそのパターン及び投影光学系ＰＬを介してウエハＷを露光する露光方法において、空間像計測系３４でレチクルＲのパターンの像の位置を計測し、そのパターンの像の位置の変動量をレチクルステージＲＳＴの温度情報から予測し、この予測結果に基づいてそのパターンの像とウエハＷとの位置合わせ情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】手袋注文製作方法とその装置を提供する。
【解決手段】注文管理サーバ３００は、計測注文処理装置２００から顧客情報と人体をスキャンした結果を入力し、パターン生成装置３３０で手袋を製作するためのパターン情報を生成し、これに対応して皮革加工装置４００に手袋を製作するように要請することを特徴とする。本発明によれば、寸法計測から製作に至るまで全ての注文と生産過程をオンライン上で自動化でき、また人体スキャンのための装備として、高価な３次元人体スキャナ装備の代わりに、安価な２次元人体スキャナ装備を用いてスキャンを行うことによって、製作費用を下げると共に、精密な皮革手袋を生産できるというメリットがある。 （もっと読む）

【課題】被検面としての非球面の形状を高精度に測定することができる測定方法を提供する。
【解決手段】球面波の光束を用いて非球面を有する被検面を照明し、前記被検面の形状を測定する測定方法であって、球面波の曲率中心が前記非球面の非球面軸上にある状態で前記非球面軸の方向に前記被検面を駆動して複数の位置ｚｉ（ｉ＝１〜Ｎ）に順に位置決めし、前記複数の位置ｚｉのそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と参照面からの光束との干渉パターンを検出する第１の検出ステップと、前記複数の位置ｚｉのそれぞれから前記非球面軸に垂直な方向に既知の量だけシフトした複数のシフト位置ｓｉ（ｉ＝１〜Ｎ）のそれぞれに前記被検面を位置決めし、前記複数のシフト位置ｓｉのそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と参照面からの光束との干渉パターンを検出する第２の検出ステップと、を有することを特徴とする測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡単な方法で、棒状回転工具の逃げ面の特徴及び逃げ面内の欠陥の特徴を抽出することが出来る画像を撮像する棒状回転工具の検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】検査対象である角度が相互に相違する複数の逃げ面を有する棒状回転工具の刃先に照明装置により照射しつつ撮像し、得られた画像を基に検査対象の棒状回転工具の良否を判定する棒状回転工具の検査方法であって、棒状回転工具の先端部から外周までを同心円状に撮像すると共に、棒状回転工具の刃先と該棒状回転工具の刃先の一部または全部をその周囲から照射する照明装置との距離を変えて、棒状回転工具の特定の角度をなす逃げ面が他の角度をなす逃げ面に対して明暗が相互に逆転する画像が得られる複数の位置で撮像する棒状回転工具の検査方法及び検査装置。 （もっと読む）

【課題】作業者の熟練度に左右されることなく、プローブの角度を能率的かつ高精度に調整することができるプローブのアライメント調整方法および形状測定機を提供。
【解決手段】軸部の先端に接触部を有するプローブと被測定物とを相対移動させるとともに、その相対移動方向に対して直交しかつ軸部と交差する方向からプローブの移動軌跡画像を撮像する工程ＳＴ２と、撮像されたプローブの移動軌跡画像から相対移動方向を示す基準直線Ｌ１および軸部の傾きを示すプローブ軸線Ｌ２を抽出する工程ＳＴ３と、抽出された基準直線Ｌ１に対するプローブ軸線Ｌ２の傾きを演算して求める工程ＳＴ４と、求められたプローブ軸線Ｌ２の傾きに基づいてプローブの傾きを調整する工程ＳＴ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】軸上色収差量が可変の結像光学系を提供する。
【解決手段】結像光学系は、結像レンズ３と、結像レンズ３の光軸方向に移動可能な第１レンズ１及び第２レンズ２とを備え、第１レンズ１及び第２レンズ２のうち少なくとも一方のレンズを光軸方向に移動させることにより結像光学系の軸上色収差量が可変的に調節され、第１レンズ１及び第２レンズ２の光軸方向の位置関係を変化させることにより、軸上色収差量の変動に伴う結像光学系の倍率色収差の変動が抑制される。 （もっと読む）

【課題】上下方向に縦振動をする平面又は曲面上に刻印された凹凸文字をを精度高く読取ることができる凹凸文字抽出のための画像処理方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る凹凸文字抽出のための画像処理方法は、凹凸文字が施され且つ該凹凸文字の凹凸方向に沿った振動を起こしている平面又は曲面から、凹凸文字の画像を抽出する画像処理方法であって、前記凹凸文字を含んだ平面又は曲面の３次元データを取得する３次元計測ステップと、取得された前記３次元データから、前記凹凸方向に沿った振動を除去する振動除去ステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】干渉計の原点の検出に関して、光源からの光の波長が変化した場合にも（実環境においても）高い再現性を実現できる。
【解決手段】第１の波長の第１光源からの光による第１の干渉信号と第２の波長の第２光源からの光による第２の干渉信号との位相差が０となる位置を原点とする干渉計の調整方法であって、前記第１の波長がλ１、前記第２の波長がλ２である場合における原点に対する前記第２の干渉信号の振幅が最大となる位置の相対位置Ｄを求めて、パラメータの値ＰをＰ＝Ｄ／λ２（λ２−λ１）の式に従って算出し、このパラメータの値Ｐに基づいて、前記第１の波長がλ１からλ１’、前記第２の波長がλ２からλ２’に変化した場合における前記原点の移動量ＢをＢ＝Ｐ・（λ１’・λ２’−λ１・λ２）の式に従って算出し、この原点の移動量Ｂに基づいて、前記第１の波長がλ１’、前記第２の波長がλ２’である場合における原点を決定する調整方法。 （もっと読む）

【課題】光学式撮像装置によって被写界深度を越える長さを持つ撮像対象物を、ピント位置を変えて順に複数回撮像し、各画素を単位として、得られた複数の画像の中から最もピントが合った画像を抽出する際に、コントラストがある境界部を適切に処理し、真にピントが合った画像を見出すこととなる技術を提供する。
【解決手段】棒状回転工具の刃先を順に撮像して得られた画像を基に、各画素位置の画素あるいは当該画素に加えて当該画素に隣接する画素の濃度を順に記録し、記録した画素の濃度の変化について、ラプラシアンフィルタにかけること、記録した画素の濃度の変化について平均化フィルタにかけること、さらに順に比較を行なうことを含む所定の処理を行って定まる画像が当該画素位置においてピントが合っていると判断する棒状回転工具の深度形状合成方法。 （もっと読む）

【課題】テレセントリック光学系を用いることなく、計測精度の向上を図ることのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】三次元計測装置を具備する基板検査装置は、クリームハンダの印刷されてなるプリント基板の表面に対し縞状のパターン光を照射するための照射装置４と、プリント基板上の照射された部分を撮像するためのＣＣＤカメラ５と、ＣＣＤカメラ５により撮像された画像データに基づきプリント基板上の各座標位置における高さ計測を行う制御装置とを備えている。また、制御装置は、ＣＣＤカメラ５のレンズ５ａの画角により生じ得る計測データのズレを、ＣＣＤカメラ５の高さＬcoと、プリント基板に対し照射されるパターン光の照射角αとに基づき補正する。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構成で高精度の内面形状測定ができると共に、測定対象の内面形状が複雑な形状であってもより確実に測定を行い得る内面形状測定装置および内面形状測定方法を提供する。
【解決手段】２台の撮像装置１５，１６により、ビーム発射手段（１１，１２）が発射する放射状光ビーム１８が被測定物４０の内面４１に照射されてできる光跡を撮像し、演算処理装置３０により、撮像装置１５，１６による光跡撮像画像と、ビーム発射手段および２台の撮像装置１５，１６の相対的位置関係とに基づき、ビーム発射手段の光学中心（基準位置）と被測定物４０の内面４１との距離を算出する。 （もっと読む）

【課題】作業性を低下させることなく、被検物の測定結果のＳＮ比を向上させる。
【解決手段】形状測定装置１１は、光源２６から測定光を射出して被検物１２に照射するとともに、受光部２７により被検物１２からの測定光を受光し、被検物１２の形状を測定する。光センサ部２５には、その外周部分を覆うように、笠状の遮光部２８が設けられており、遮光部２８は、被検物１２に照射され受光部２７に入射する外乱光が、被検物１２に照射されないように、外乱光を遮光する。これにより、受光部２７に外乱光が入射することを防止することができ、受光部２７が測定光を受光して得られる電気信号のＳＮ比を向上させることができる。また、遮光部２８が邪魔になって測定者が被検物１２を視認できなくなるようなこともないので、作業性が低下することもない。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハを検査するための方法およびシステム。
【解決手段】 このシステムは、光検査ヘッド、ウェーハテーブル、ウェーハスタック、ＸＹテーブルおよび振動絶縁装置を含む。光検査ヘッドは、複数の照明器、画像収集装置、対物レンズおよび他の光学部品を含む。このシステム及び方法は、明視野画像、暗視野画像、３Ｄ形状画像および検査画像の収集を可能にする。収集画像は、画像信号に変換され、かつ処理のためにプログラマブルコントローラに伝送される。ウェーハが動いている間、検査が実行される。収集画像は、ウェーハ上の欠陥を検出するための基準画像と比較される。基準画像を作り出すための例示的な基準作成プロセスおよび例示的な画像検査プロセスもまた、本発明によって提供される。基準画像作成プロセスは、自動プロセスである。 （もっと読む）

波長選択器５が広帯域光源４の波長を選択する。光導波器ＢＳ１、ＢＳ２が、波長選択器からの光を測定経路に沿ってサンプル表面の領域に向けて誘導すると共に基準経路に沿って基準表面に向けて誘導し、サンプル表面の領域によって反射された光及び基準表面によって反射された光が干渉してインターフェログラムを生成するようにしている。コントローラ２０が、波長選択器を制御して、波長選択器によって選択される波長を変更する。記録器６３が、連続した画像を記録し、各画像は、波長選択器によって選択された波長のそれぞれ１つによって生成されたインターフェログラムを表す。データプロセッサ１８、１８０が、記録された画像を処理して、サンプル表面の少なくとも一部の表面プロファイル及び表面高マップのうちの少なくとも一方を作成する。基準経路を制御して、振動、熱的効果及び乱流のような環境影響を補償することができる。データプロセッサは、グラフィックス処理装置を用いて、ピクセルデータを並列に処理することを可能にすることができる。
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