【課題】回路パターンの欠陥検査方法では、基準となるパターンの画像データを膨張・収縮といった操作を行い、許容できる最大の寸法と最小の寸法を有するマスタパターンを作製し、被検査物から得た画像データをこのマスタパターンと比較することで欠陥を発見する。このマスタパターンを作製する膨張・収縮という画像処理においては、画素毎にその周囲の画素を加減する処理が行われるが、様々な線幅が含まれる基準パターンの場合は線幅の比率によって一定の割合で膨張・収縮することが困難であった。
【解決手段】基準パターンに属する画素に背景からの距離データを付与し、周辺の画素に自分より大きな距離データがなくなるまで画素を削除し、基準パターンの骨格を代表する骨格パターンを作製する。この骨格パターンに属する画素が有する距離データに所定倍率をかけた範囲にある画素をマスタパターンとする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、連続的な光路長調整を行うことができ、かつ小型な装置であっても大きな光路長調整幅を実現することができる光路長調整方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、光サーキュレータ２３の入力ポート２３１に入射した光を入出力ポート２３３を経由して中空構造の光導波路２４に入射させ、光導波路２４に入射した光を光導波路２４に挿入された反射材２５１の端面で反射させ、反射した光を光サーキュレータ２３の入出力ポート２３３を経由して出力ポート２３２から出射させる際、反射材挿入手段２５で、反射材２５１の端面を光導波路２４の長手方向に移動させることにより、光サーキュレータ２３の入力ポート２３１から反射材２５１の端面を経由して出力ポート２３２までの光路長を所定の値に設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透明膜で形成されたパターンは、コントラストの変化が場所によりことなる現象が発生し、輝度変化のパターンと一致しないパターンを測定することができなかった。透明膜パターンのコントラストの変化が変化した場合でも測定が可能な線幅測定方法を実現する。
【解決手段】透明膜のコントラスト変化に合わせて、複数の輝度変化パターンを登録し、登録された複数の輝度変化パターン毎に対応する測定条件を設定し、複数の測定条件で測定する。 （もっと読む）

【課題】光学式の位置検出手段を低コストに構成する。
【解決手段】位置検出装置１００は、多角形状に構成された検出平面範囲１０Ｒ内において対象物体の平面位置を光学的に検出するための装置であり、第１の位置検出光Ｌ２ａを放出する第１の位置検出用光源１２Ａと、第２の位置検出光Ｌ２ｂを放出する第２の位置検出用光源１２Ｂと、第１の位置検出光を内部に採り込む第１の光入射面１３ａ、第２の位置検出光を内部に採り込む第２の光入射面１３ｂ並びに内部を伝搬する第１の位置検出光及び第２の位置検出光を出射し第１の光入射面及び第２の光入射面と隣接するとともに交差する光出射面１３ｓを有する導光板１３と、導光板に対し第１の位置検出光及び第２の位置検出光の出射側に配置され、検出平面範囲に向けられた受光部１５ａを備え、検出平面範囲の角部の外側に隣接配置された光検出器１５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】２つの光デバイスの端面間の距離を高精度に測定して光接続した光モジュール及びその作製方法を提供する。
【解決手段】光モジュール１００は、第１ＰＬＣ１１０と第２ＰＬＣ１２０の２つのＰＬＣを接続して構成されている。そして、第１ＰＬＣ１１０および第２ＰＬＣ１２０を跨いでＭＺＩ回路１０１が形成されている。ＭＺＩ回路１０１は、一部が第２ＰＬＣ１２０に形成され、他の部分が第１ＰＬＣ１１０に形成されている。ＭＺＩ回路１０１を端面距離測定用光回路として用い、これにより端面間距離Ｄを高精度に測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 プリントメディア等の物体の移動を高い精度で検出することが可能な方法の提供。
【解決手段】 イメージセンサを用いて、物体の同一領域を複数の異なる方向から撮像して画像を取得する。同一領域に対応する、イメージセンサ上での分離された複数の領域の位相差を求めて、これに基づいて取得した画像の倍率を補正して補正画像を生成する。物体の移動に伴って上記の処理を繰り返し、得られた複数の補正画像をパターンマッチングにより比較して、物体の移動量を検出する。 （もっと読む）

【課題】反射型検出を高度化する。
【解決手段】表示面１１と、表示面１１内で少なくとも一方向に非連続な出射領域をもつ赤外光Ｌ(IR)を出力する検出光出力部５０と、赤外光Ｌ(IR)が表示面１１から外部に出射され、外部で反射されて表示面１１から入射するときの反射検出光を受光し、当該反射検出光の分布に応じた検出信号を出力する複数の受光素子３６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能である３次元センサ用光導波路およびそれを用いた３次元センサを提供する。
【解決手段】下記（α）の光導波路単層体Ｖが、その厚み方向に同軸的に複数積層されることにより、その積層された枠状の光導波路単層体Ｖの内側空間を測定用空間Ｈにした３次元センサ用光導波路Ｗ₁ が形成されている。
（α）コア３Ａ，３Ｂと、このコア３Ａ，３Ｂを被覆した状態で形成されたオーバークラッド層４とを備え、全体が枠状に形成され、光を出射するコア３Ａの端部が上記枠状の内側の一側部に位置決めされ、上記出射された光を入射するコア３Ｂの端部が上記枠状の内側の他側部に位置決めされた光導波路単層体Ｖ。 （もっと読む）

【課題】気体や液体等の媒体中を、略一定速度で移動する粒子サイズを簡易な構成且つ簡易な演算処理で検出する。
【解決手段】液滴の移動速度Ｕを検出し、液滴の飛翔方向の幅が所定幅Ｌである孔４４ａ，４４ｂを備え、これらの孔の有効視野において液滴の占める面積情報を所定時間置きに複数回取得し、取得した面積情報Ａ１〜Ａｎを取得回数ｎで平均化し、複数回取得に要した総時間Ｔを、液滴が上記所定幅Ｌを移動するのに要する時間Ｌ／Ｕで除算して、取得回数ｎを正規化した正規化枚数Ｎを得て、平均面積情報Ｂと正規化された取得回数Ｎとの積を実粒子面積Ｓとし、実粒子面積を１．５乗して実粒子体積Ｖを得る。 （もっと読む）

媒体の減衰及び他の光学的特性を利用して、センサーとターゲット面との間の該媒体の厚さを測定する。本明細書には、種々の画像形成状況において、これらの厚さ測定値を取得して、ターゲット面の３次元画像を得るために使用可能な種々の媒体、ハードウェアの配列、及び処理技術が開示されている。これには、内面／凹面並びに外面／凸面を撮像するための一般的な技術、並びに、外耳道、人間の歯列などの画像形成へのこれらの技術の具体的な適用が含まれる。
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【課題】表層のＳｉ層が研磨されるにしたがって短い周期で反射率波形が移動するＳＯＩウェーハの研磨において、該Ｓｉ層の研磨終了点を確実にモニタする研磨終点検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、研磨中、ＳＯＩウェーハの表面から反射された光を解析する解析ステップを有するとともに該解析ステップは、周期性を有する実測分光波形の波長ないしは波数に対し、リアルタイムにフ−リエ変換する第１のステップと、該フ−リエ変換された各周期成分のうち、ＳＯＩウェーハにおけるＳｉ層の膜厚に対応した周期成分を抽出する第２のステップと、該抽出した周期成分からＳｉ層の膜厚量をリアルタイムに換算する第３のステップとを有する研磨終点検出方法を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサ等の撮像素子を移動させて画像取得する方式において、取得画像の品質の劣化を抑制しつつ、生体情報取得装置の薄型化を図る。
【解決手段】生体情報取得装置７０は、ヒトの指に対する光照射に基づいてヒトの指の静脈像を取得する。生体情報取得装置７０は、ライトガイド１６を介して発光素子８からの出射光をヒトの指に照射する光照射部と、複数の画素の配置により形成された１列以上の画素列を有する撮像部９と、画素列に含まれる画素の配置方向に交差する方向に光照射部及び撮像部を直接的又は間接的に移動させる駆動機構と、を備える。ライトガイド１６を介して発光素子８からの出射光をヒトの指に照射する光照射部を採用し、かつこの光照射部を撮像部とともに移動させる。 （もっと読む）

【課題】２次元画像生成時にＺ軸真直度の機械的な誤差に基づく画素のずれを補正し、２次元画像の２点間の幅測定を正確に行える次元測定装置を提供する。
【解決手段】共焦点顕微鏡１０は、Ｚステージ２１によりＺ軸方向に移動可能に設けられ、試料１６に対して異なるＺ位置での焦点画像を測定カメラ１８で撮像し、制御ユニット２０へ出力する。制御ユニット２０は、Ｚステージ２１のＺ軸真直度のずれに基づく画素のずれを補正する補正テーブル２０１を備えている。制御ユニット２０は、カメラ画像取込時にＺ軸の高さ位置をリニアスケール２３から読取り、補正テーブル２０１に記憶されている補正データに基づいてカメラ画素の位置を補正し、最大値メモリに保持されている最大輝度値と比較して２次元画像を生成し、Ｚ軸真直度のずれに起因する画素の位置ずれを防止する。 （もっと読む）

【課題】物体表面の形状を特定することができる画像処理システムを提供すること。
【解決手段】画像処理システムであって、照射光を物体に照射する光照射部と、照射光が照射された物体の表面の画像である表面画像を取得する画像取得部と、照射光の照射方向を算出する照射方向算出部と、表面画像の画像内容、および照射方向算出部が算出した照射光の照射方向に基づいて、照射光が照射された物体の表面の形状を算出する形状算出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】プローブ部分を損傷しにくく、かつ、プローブ部分を交換容易な距離測定装置を提供する。
【解決手段】光源２からの光を、コリメータレンズ３により平行光束とし、出射面１４から、穴１の内壁にほぼ垂直に照射する。散乱された光を、微小開口１５で受光し、ミラー１７，１８で繰り返し反射させながら、受光レンズ４まで導いて受光する。受光レンズで受光された光は、リニアセンサ５上に結像する。リニアセンサ５での受光位置が分かると、微小開口１５に入射した散乱光の入射角度が分かり、これから三角測量の原理で、出射面１４から穴１の内壁までの距離が算出できる。 （もっと読む）

【課題】散乱媒体の厚さを算出することができる光学システムを提供すること。
【解決手段】光学システムであって、光を散乱する散乱媒体、および散乱媒体の下部にあり、光が入射された場合に偏光された光を入射側に戻す下部媒体を有する物体に向けて、光を照射する光照射部と、光照射部から照射されて散乱媒体によって散乱された光、および下部媒体からの光を受光する受光部と、受光部が受光した光の非偏光成分および偏光成分の少なくとも一方に基づいて、下部媒体までの散乱媒体の厚さを算出する厚さ算出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】接触物の正確な光学式マークのコード情報の認識と、複数の接触物の入力位置の特定とを容易かつ確実に行うこと。
【解決手段】導光板２に設けられた発光素子３が制御部５ｅによる点灯走査の制御により発光し、その光がタッチエリア２ａへの光学式マークを有するマーク部を備えた接触物１０，１３による接触に応じて散乱光を発生させる導光板２内に入射され、タッチエリア２ａへの接触物１０，１３による導光板２での散乱時に生じる発色光が導光板２の一辺に沿って設けられた受光素子４により受光されると、制御部５ｅにより、受光素子４によって散乱光が受光されたときの座標と、その受光素子４の受光時にたとえば点灯走査させた発光素子３の座標とから、接触物１０，１３によるタッチエリア２ａへの入力位置が特定され、さらに受光された散乱光からマーク部の光学式マークのコード情報が認識されるようにした。 （もっと読む）

【課題】測定対象が大きくても内視鏡を利用して精度良く測定対象の寸法を測定することを可能とする内視鏡用測定アタッチメント及び内視鏡システムを提供する。
【解決手段】内視鏡用測定アタッチメント３０は、内視鏡挿入部３Ａの先端部３ｃに装着されて、内視鏡挿入部３Ａが有する測定手段６を利用して測定対象の寸法を測定するためのもので、内視鏡挿入部３Ａの中心軸に略直交する測定方向Ｐの一方側に向かって測定手段６が有する基準点Ｏ６から測定対象の一端部までの距離を測定手段６によって測定可能に、内視鏡挿入部３Ａの先端部３ｃに固定される本体ブロック３１と、本体ブロック３１から測定方向Ｐの一方側と反対側の他方側に向かって突出し、測定対象の他端部に当接可能な当接部５１ａを有する当接ブロック３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が積層構造であり、表面が透過性の有る光沢面であっても、表面の凹凸欠陥を検出することが可能な表面欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】照明部１から明暗が交互に存在する線状の光を検査対象物４に照射しその検査対象物４からの反射光をラインカメラ６により撮影して第１の原画像を得る。画像処理部８は、予め、表面に凹凸欠陥が存在しない基準物に照明部１からの光を照射しその基準物からの反射光を撮影して得た第２の原画像を記憶しており、これらの第１と第２の原画像を基に、検査対象物４の表面に存在する凹凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を利用した微小変位測定において、高精度で、構成が簡易で、製造が容易で、小型化が可能な微小変位測定装置を提供する。
【解決手段】平面光波回路基板３に干渉計を構成する光導波路４，５，６，７，８，９，１２を形成し、その光導波路の一部の屈折率を可変する屈折率可変器１１を設ける。被測定物３０が変位したときの被測定物３０からの反射光６と参照光７との干渉光９の光強度を光検出器１０で検出し、この光強度が初期値に戻るように屈折率可変器１１で光導波路の屈折率を可変し、そのときの屈折率の変化量から被測定物３０の変位量を算出する。この装置では、検出光の光損失による影響を受け難く、被測定物の変位の高精度な測定が可能になる。 （もっと読む）