【課題】
結像光学系の検出視野内にアライメントマークが複数存在するときにおいても、支障なくマーク位置を検出できる位置検出方法を提供する。
【解決手段】
基板Ｗ上のアライメントマークＡＭの位置を検出するにあたり、ラインアンドスペースパターンで形成され本来ライン部Ｌ，Ｌ，…の整列方向の位置関係からこの整列方向の座標をマーク位置として検出するために用いるアライメントマークであって、ライン部整列方向に複数のアライメントマークＡＭ，ＡＭ，…が所定間隔を置いて並んでおり、これを検出光学系３５の検出視野内３５ｆに収めたときに、いずれか１つのアライメントマークＡＭのライン部Ｌの両端ＹＴ，ＹＢの位置関係からライン部Ｌの整列方向に直行する方向の座標を求めてマークの位置検出を行う。 （もっと読む）

【課題】安定なコントラストの状態を保つことが可能な線幅測定方法を提供する。
【解決手段】透明基板２１上に不透明パターン２２を形成し透明基板と不透明パターンにまたがって半透明膜２３を形成してなる測定試料の両側を反射光と透過光で同時に照明して半透明膜の線幅を測定する線幅測定装置において、半透明膜の線幅を測定する際に、透明基板と不透明パターンにそれぞれ調光エリア２６，２７を指定して個別に調光し、その後半透明膜の線幅を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
寸法測定位置の補正を効率的に行うことにより、測定時間を短縮する。
【解決手段】
測定位置の補正は、測定装置に固定された被測定対象物の被測定箇所の位置ずれが大きい場合のみ、位置ずれを補正するために移動してから測定する。しかし、被測定箇所の位置ずれが小さい場合には、位置ずれを補正しないで測定する。
また、測定倍率や、測定画像内の被測定箇所の位置等、測定条件の違いに対応して位置ずれ量の許容値を予め定め、測定するガラス基板等の被測定対象物上の被測定箇所の位置ずれ量を検出し、位置ずれ量が許容値未満の場合にはそのまま測定し、位置ずれ量が許容値以上の場合のみ位置を補正してから測定を行う。 （もっと読む）

【課題】 ランプ光源からの出射光の損失を可及的に防止しながら受光部で均一且つ高強度の光分布が得られるような光学検出装置を提供することにある。
さらに、フラットパネルディスプレイ用として有用な光学検出装置を提供することにある。
【解決手段】 ランプ光源とライン状ライトガイドの入射部との間に凹レンズを配設することにより、上記課題を一挙に解決するに至った。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、細長い穴の深さや内径等の被測定物の形状を測定できるようにすること。
【解決手段】 測定用光を出力する発光素子１０４及び被測定物１０３で反射してきた測定用光を検出するための光検出素子１０５を有する測定装置本体部１０１と、１対の光反射部材１０７、１０８を有する導光部１０２とを備えており、被測定物１０３の底面１１０、１１１で反射した発光素子１０４からの測定用光は、導光部１０２の光反射部材１０７、１０８によって交互に反射されながら進行し、光検出素子１０５によって検出される。算出手段は、光検出素子１０５で検出した測定用光に基づいて穴の深さ等の被測定物１０３の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】 薄型かつ小型を図った入力装置を提供する。
【解決手段】 基板２ＢＴと、該基板に沿って移動する移動体３とを備える入力装置１Ａであって、前記移動体または前記基板のいずれか一方が磁界発生体３を含むと共に、前記移動体または前記基板のいずれか他方が前記磁界発生体の外側部に生じた磁界を検出するように配置した電磁変換素子５−１〜５−４を含んでいる。入力装置１Ａは、電磁変換素子が磁界発生体の外側部に生じた磁界を検出するので、磁界発生体と電磁変換素子との高さ位置を同じレベルにすることができる。よって、この入力装置は薄型を促進できる。また、この入力装置は外側部の直線的な磁界を検出するように電磁変換素子を配置するので磁路を形成するための補助ヨーク等を必要としないので構造を簡素化して小型化を促進できる。 （もっと読む）

小型、低電力かつ広範囲の物体を高精度かつ高速に検出できる物体監視センサであって、ステレオ効果を位相差として感知する複数のモノパルス方式を採用するパッチアンテナ（１）と高周波回路を有し、放射電磁波の反射波から相対速度と相対距離を検出するドップラーレーダと、光の侵入角度を定義するプリズムレンズ（４）と１次元のアレイ上に受光体（３）が配置した光イメージセンサとを組合わせて構成される。
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【課題】 受光部にて均一の光強度分布が得られるように、ライトガイドからの出射光分布を調整できる光学検出装置を提供すること。
【解決手段】 ライトガイドの出射端並びに受光部が共にライン状にあるような光学検出装置にあっては、該ライトガイドの入射部の光軸に対する光源の光軸の傾き角（α）が１０＞α＞０°、好ましくは、３°〜７°の範囲にあるとき、該受光部で均一な光強度分布が得られることを究明した。 （もっと読む）

【課題】表面に緩やかな凹凸があった場合や欠陥とは言えない浅い傷などがあった場合重欠陥であるクラック状欠陥と区別できない問題を解決し、傷や付着物の性状を判定するとともに、さらに欠陥の程度を評価する表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】移動する検査対象物の鏡面状表面を拡散光によって照明する拡散光照明手段と検査対象物の鏡面状表面の画像を撮像するテレセントリック光学系とリニアセンサアレイで構成された撮像手段と設け拡散光照明を検査対象物への入射角度が広角である第１の拡散光照明手段と照射方向が狭い第２の拡散光照明手段とから構成しさらに第１の拡散光照明手段および第２の拡散光照明手段を用いて得られる撮像データを比較して欠陥を評価する欠陥評価手段を設けて構成した。 （もっと読む）

【課題】物体表面を投影光学系の最良結像面に位置させて、パターンを精度良く物体上に転写する。
【解決手段】制御装置７０により、湿度に少なくとも依存する計測装置（１０２ａ、１０２ｂ）の計測値の変化に関する情報を考慮して、前記計測装置近傍の雰囲気の湿度が制御される。この湿度の制御が行われた結果、計測装置の湿度に起因する計測値の変化量が最小（例えば零）となるようにすることができる。従って、湿度（の変化）に起因する計測装置の計測誤差の発生を低減して計測装置により精度良く物体表面の位置を計測し、この計測結果に基づいて物体Ｗ表面を投影光学系ＰＬの最良結像面に位置させて、レチクルＲのパターンを精度良く物体上に転写することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 安価に乗員等の物体の位置を精度よく検知する。
【解決手段】 物体検知装置１０の投光手段はＬＥＤ１２ａ〜１２ｄからの光を受けてこの光を集光して均一の光強度を有する光ビームを生成するライトガイド１３ａ〜１３ｄを有している。そして、視野ビームと光ビームとが交差する検知領域４３ａ〜４３ｊが規定され、受光部では検知領域４３ａ〜４３ｊから光を受けると当該検知領域に物体が位置することを検知する。 （もっと読む）

本発明によって得られるのは、照明面（２５０）に配置された複数の発光素子（１２０ａ，１２０ｂ）を有する照明装置（１００）であり、ここでこれらの発光素子は、照明面（２５０）に対して平行に配向された照明ライン（１４０，２４０）を照明するように取り付けられている。これらの発光素子（１２０ａ，１２０ｂ）は、つぎのように２つのグループに配置される。すなわち、発光素子からなる各グループ（１２０ａないしは１２０ｂ）が光ライン（１３０ａないしは１３０ｂ）に沿って配置され、また２つの光ライン（１３０ａ，１３０ｂ）が、平行にずれされて互い間隔が開けられて照明ライン（１４０，２４０）に平行になるように調整されて配置されるのである。さらに２つの光ライン（１３０ａ，１３０ｂ）は照明ライン（１４０，２４０）に対して対称に配置されているため、２つの光ライン（１３０ａ，１３０ｂ）から送出された光ビームは、異なる入射面において照明ライン（１４０，２４０）に当たる。発光素子（１２０ａ，１２０ｂ）は有利には、送出した光ビームを照明ライン（１４０，２４０）に集束する光学系（１２１）を有しているため、少なくとも近似的に一定であると同時に高い光強度が照明ライン（１４０，２４０）内で可能となる。本発明によってさらに得られるのは、本発明の照明装置（１００）およびラインセンサ（２６１）を有する、対象物を検出するための光学的測定システムである。
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【課題】 本発明は指内散乱光を利用して指紋を検出する方式の指紋センサにおいて、検出精度の向上を図ることを目的とする。
【解決手段】 インターポーザ５１上に、光センサチップ５２及び赤外発光ダイオードチップ５３−１〜５３−５等が実装してあり、更に、光センサチップ５２上に導光イメージガイド部材６０が実装してあり、赤外発光ダイオードチップ５３−１〜５３−５を跨ぐように導光部材７０が実装してあり、更に、全体が、合成樹脂モールド部５７によって覆われている。導光部材７０は、導光イメージガイド部材６０側に斜めに傾斜している。光センサチップ５２と赤外発光ダイオードチップ５３−１〜５３−５との間の距離は従来に比較して離れており、導光部材７０の上面７２は従来に比較して導光イメージガイド部材６０に接近している。 （もっと読む）

本発明は例えばエレベーターなどの、水平または垂直方向の運搬機のための位置参照システムに関する。位置参照システムは、昇降路または誘導路のドアフレームなどの固定構造（４０）に取り付けられた、複数の間隔を置いた色要素つまり反射体（４２）と、反射体の一つを照射するための光源（１２）と、照射された反射体の画像を取得するための検知装置（１０、４８、４８’）とを含む。検知装置によって取得された画像は例えばエレベーターかごなどの運搬機の位置および／または速度を決定するのに用いられる。
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【課題】中空糸膜をコントラスト良く撮像でき、人工腎臓モジュールの透析性能等の低下の原因となる中空糸膜の外径および内径異常、真円度異常、偏肉異常等についても検出することが可能な、中空糸膜の断面形状測定方法および装置を提供する。
【解決手段】中空糸膜モジュールの端面に紫外線を照射し、前記端面での散乱光を波長２００ｎｍから４５０ｎｍの光を透過するレンズにより集光して中空糸膜モジュールの端面を撮像し、撮像した画像から中空糸膜を検出し、検出した中空糸膜について断面形状の測定を行うことを特徴とする、中空糸膜の断面形状測定方法および装置。 （もっと読む）

【課題】可変の形状を有する移動する目標表面上に、画像機構の焦点合わせを動的に行う方法を提供する。
【解決手段】（１）目標表面の形状のモデルを作成すること、（２）目標表面の所定数の箇所の相対位置を測定すること、（３）その目標表面の所定数の箇所を用いて、そのモデルを目標表面に適用すること、（４）そのモデルの目標表面への適用によって得られたデータを用いて、移動する目標表面上へ画像機構の焦点合わせすること、によって、目標表面上に画像機構の焦点合わせを動的に行う。 （もっと読む）

【課題】 検査対象部位や検査の目的が変わっても、同じ構成の照明系を用いて検査に適した照明を実施できるようにする。
【解決手段】 基板４の上方に、カメラ１を光軸を下方に向けて配備し、このカメラ１の撮像対象領域を、複数のフルカラーＬＥＤランプを有する照明装置により照明する。照明装置の各ＬＥＤランプは、前記カメラ１の光軸を取り囲み、かつ基板４上の撮像対象領域の中心点Ｏに対し、所定の角度幅をもつ範囲に配置される。これらのＬＥＤランプを、角度範囲の異なる複数の領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに分類し、領域単位で制御することによって、検査の内容に応じた照明パターンを実現する。 （もっと読む）

【課題】 立体物のイメージスキャナにおいて大きい立体物の全体像を良好な画質で取得する。
【解決手段】 スキャニングユニット２４は、リニアイメージセンサとテレセントリック結像系を内蔵し、前方の鉛直な線状のターゲット平面領域４８にピントが合っている。鉛直で線状の２本の光源３４A、３４Bがスキャニングユニット２４の左右両側に配置され、ターゲット平面領域４８を照明光する。光源３４A、３４Bの全箇所からの照明光の鉛直面に沿った出射角度が規制され、それにより、ターゲット平面領域４８の全箇所にて、照明光の鉛直面に沿った入射角と光量が一定にされる。スキャニングユニット２４と光源３４A、３４Bが一緒にX、Y、Z方向に移動して、被写体の空間１５を多数のレイヤとバンドに分割してスキャンする。スキャンで得た画像データからピントの合った画素が抽出され合焦点画像が合成される。 （もっと読む）

【課題】搬送される対象物を平面分光器を用いて、高い分解能で異種品の検出を可能とすること。
【解決手段】本発明では、搬送手段（11）と、近赤外線の照射手段（４）と、反射光を平面分光する平面分光手段（２）と、撮像手段（３）と、反射光のスペクトルデータを得て主成分分析手法を用いて異種品を検出する解析手段（５）とを備え、前記解析手段（５）は、前記スペクトルデータを平均化および標準化する前処理、波長軸平均化処理、ラグランジェ補間する補間処理、測定位置最適化処理、空間軸平均化処理、一次・二次微分および平滑化する変換処理、予め取得したローディングベクトルデータに基づいて主成分得点を算出する主成分得点算出処理、および異種品の判定を行う判定処理を行う。 （もっと読む）

放射散乱／反射要素の位置を判定するための方法及びシステムであって、放射透過性要素面で放射入射する面に放射エミッタが設けられる。この入射放射は散乱／反射要素により散乱／拡散／反射され、透過性要素により、この要素位置を判定できる検出器に向けてガイドされる。
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