【課題】照明光学システムおよび投影光学システムを有するスキャトロメータの収差を測定する方法が提供される。
【解決手段】スキャトロメータ内で、透過性開口のアレイを備えるアパーチャプレートが、投影光学システムの瞳面と共役である照明光学システムの面に挿入される。光学システムの収差は、瞳面における輝点の相対位置を測定することによって測定することができる。 （もっと読む）

【課題】電子部品のリード線位置の検出精度を向上させる。
【解決手段】第２ミラー部２３には、第１照明部２４から第１ミラー部２２を介して、電子部品１のリード線２の影響を受けた光が入る。同様に、第１ミラー部２２には、第２照明部２５から、第２ミラー部２３を介して、電子部品１のリード線２の影響を受けた光が入る。撮像部２６は、第１ミラー部２２と第２ミラー部２３に写された画像を２次元データとして取得する。制御装置１９は、撮像部２６のデータと第１，第２ミラー部２２，２３の成す角度情報より、リード線位置の演算を行う。電子部品１のリード線２の位置を対象部品等の回転誤差の影響なしに高精度に検出することができる。 （もっと読む）

本発明は、三次元輪郭の非接触検出のための装置に関する。装置は、イメージング素子（１）を有するプロジェクタと、イメージング素子（１）上に生成されたストライプパターンを物体空間（３）内にイメージングする投影レンズ（２）とを備える。本発明は、２つのカメラレンズ（４）を有し、物体区間（３）を２つの異なる方向から監視するカメラ配列もさらに備える。プロジェクタおよびカメラ配列は、手に持てる測定ヘッド内に共に収容される。本発明は、さらに、当該装置を用いてｓ何次元輪郭を検出する方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】長尺工具エッジの曲率半径の測定を高速かつ高精度に行うことのできる計測装置および計測方法を提供する。
【解決手段】長尺工具エッジ１１をその長手方向に直交して臨むようにラインカメラ２０が設置される。ラインカメラ２０を長尺工具の長手方向と平行に駆動するＸ軸移動ステージ５２と長尺工具エッジ１１にラインカメラ２０の焦点を合わせるためのＹ軸移動ステージ５３を有するカメラステージ５０がある。カメラステージ５０上にラインカメラ２０を載架する。 （もっと読む）

【課題】光強度分布が均一な、波長２００ｎｍ以下の光を照射する光を出射することができる照明装置、及びその均一な光強度分布を有する光を用いた高感度のマスク検査装置を提供する。
【解決手段】波長２００ｎｍ以下の光源１１１と、光源１１１からの光が入射され、光が伝播する矩形の光導波部１１３ａと、光導波部１１３ａを、光導波部１１３ａの対向する側面から挟持した１組のクラッド部１１３ｂとから構成された光導波路１１３とを有する照明装置であって、クラッド部１１３ｂは、光導波部１１３ａと当接する面と垂直な２組の側面を有し、側面は、光導波部１１３ａのクラッド部１１３ｂと当接する面と垂直な側面と同一の平面上に配設され、光導波部１１３ａとクラッド部１１３ｂはフッ化物によって作成されることを特徴とする照明装置。 （もっと読む）

【課題】新規な膜厚測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】膜厚測定装置は、光源４、偏光板３，６、ビームスプリッタ７、1/4波長板９、対物レンズ８、結像レンズ２、CCDセンサ１より構成される。この膜厚測定装置では、白色偏光干渉法によって、接触状態にあるガラス板１１と試料１０の間の干渉画像を取得する。ガラス板１１には、クロム薄膜１２とシリカ薄膜１３が形成されている。その色情報をHSV色空間に変換して色相値を求め、二面間のすきまの厚さとの校正結果に基づき、すきまの厚さあるいは膜厚ゼロに相当する真実接触部を可視化する。すきま厚さ測定の分解能は±3nmを超える性能を有する。 （もっと読む）

【課題】光透過率及び長さが異なる２つの部材を交互に配置させた円筒状光拡散体の部材配列状態を安定して検査することができる画像データを算出する検査装置を提供する。
【解決手段】特徴量抽出処理部（４）は、ラインセンサ（３）の副走査毎に、画像データの品質を示す特徴量を検出し、検出した特徴量を記録処理部（５）に送信する。例えば、特徴量は予め決められた一定の値の閾値以上で検出された画像データの階調度のレベルの合計である。記録処理部（５）は、画像データと特徴量を関連付けて記録する。範囲特定処理部（６）は、記録処理部（５）を参照し、最も検出に有効である副走査の範囲を特徴量に基づいて特定する。画像抽出処理部（７）は、範囲特定処理部（６）から受信した副走査の範囲に基づいて、記録処理部（５）に記録された画像データを抽出し、抽出した画像データより計測処理用の画像データを合成する。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された膜の膜厚変化の勾配を容易に確認する。
【解決手段】ムラ検査装置では、光照射部から基板上の膜に光を照射し、膜にて反射された特定の波長の干渉光を撮像部にて受光することにより、膜の元画像が取得される。元画像から導かれる対象画像において、互いに範囲が隣接する１対の濃度範囲の境界をそれぞれが示す複数の等濃度線７２１が求められ、各評価位置７２２に設定される評価領域７２３中に存在する等濃度線７２１の本数を求めることにより、当該評価位置７２２に対して対象画像中の濃度変化の勾配を示す評価値が取得される。その結果、評価値を参照して、基板上の膜の膜厚変化の勾配を容易に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】測長方向が可変である干渉測長機を提供する。
【解決手段】干渉測長機１０は、測定軸Ｘに沿って移動可能な移動鏡と、移動鏡に測定光を照射し、移動鏡から反射された測定光を参照光と重畳して干渉光を生成する干渉計と、を含む測長光学系１２と、測長光学系１２を支持するベース部１６と、測定軸Ｘの向きが可変となるように、測長光学系１２をベース部１６に対して回転可能に連結する回転機構１８とを有する。 （もっと読む）

【課題】チップの形状感知システム及びこれを用いた感知方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一つのチップ１２２がそれぞれ分離されて付着された支持板１２０と、支持板１２０の下部に配置されて、チップ１２２の間の支持板１２０を透過するように光を放出する下部照明部１１２と、支持板１２０を透過した光を感知する光認識部とを備えるシステム及び方法であって、前記チップ１２２は、電気的な信号を処理するためのものであることを特徴とし、前記チップ１２２は、許容された範囲内で変形された形状を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】載置すべきワークを位置決めして載置可能であり、ワークパレットに載置すべきワークが適正位置で載置されているか否かを検出可能なワークパレットおよびそれを備えるワーク位置検出装置を提供する。
【解決手段】 位置決め突起１７ａ，１７ｂを、ワーク１２の嵌合孔２６ａ，２６ｂに嵌合させて、ワーク１２を位置決めすることができる。位置決め片１７ａ，１７ｂは出没自在であり、各嵌合孔２６ａ，２６ｂの深さ寸法Ｈ２６ａ，Ｈ２６ｂが互いに異なり、ワーク１２が適正位置に配置される場合にだけ、各位置決め突起１７ａ，１７ｂの貫通孔２５が、導光路１６に連通し、導光路１６による信号伝送が許容される。したがって導光路１６による信号伝送が可能か否かを、別途設けられる光電センサなどの検出手段で検出することによって、ワークが適正位置に配置されているか否かを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】最適な測定特性を有するが、断面が少なくとも１つの空間方向において可能な限り小さな寸法を有する測定ヘッドを有する装置の実現。
【解決手段】曲面26の非接触測定のための装置であって、(a)連続したスペクトルを有する光を生成する光源と、(b)光源に対応する光出口面と、(c)光出口面を投影するための色収差を有する光投影システムを有する測定ヘッド10と、(d)光システム22を通して測定される表面に向けられ及びそこから反射される光のスペクトル強度分布を記録する光スペクトル装置と、(e)光システムと表面の間の距離が記録された強度分布が部分的な最大値を有する各波長に対応付けることができるようにする評価ユニットと、を備え、測定される表面26がX方向では平坦であり、光システム22の光軸はX方向において表面26に垂直で、光軸24に対して垂直なこのX方向において光システム22の幅が小さくされている。 （もっと読む）

【課題】被検査体の表面の、複雑な形状の単位パターンからなる繰り返しパターンに生じた欠陥を良好に検出できると共に、被検査体を支持するステージを含む装置構成を容易化できること。
【解決手段】単位パターンが規則的に配列されてなる繰り返しパターンを表面に備えたフォトマスク５０の、上記繰り返しパターンに発生した欠陥を検査するパターン欠陥検査装置１０であって、フォトマスク５０の分割検査領域５８に所望の入射角で光を照射する光源装置１２と、上記フォトマスクを支持する支持面を備えたステージと、上記フォトマスクの繰り返しパターンからのｎ次回折光を受光する観察装置１３と、上記フォトマスクへ異なる方向から光を照射するために、光源装置のコリメータレンズ１９をステージの支持面と平行な面内で所定角度回転させる回転装置１６とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】光伝導度が高い導波路を用いた光学式位置センサー部品、光学式位置センサー及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光学式位置センサー部品は、入力用導光部１３と受光用導光部２３とを備える。入力用導光部１３は、近赤外の発光源１１において発光した光を入射し、入射した光を複数の末端からコリメート用のレンズ１４へ出射する高分子導波路からなる。受光用導光部２３は、入力用導光部１３から出射された光を末端から入射し、入射した光を近赤外の受光素子２１へ出射する複数の高分子導波路からなる。また、入力用導光部１３及び受光用導光部２３において、高分子導波路を構成するコア部分に感光性樹脂組成物の硬化物を用いている。 （もっと読む）

【課題】帯状体表面の欠陥を、蛇行しているときにも検出できること、及び欠陥の大きさ、種類、形状も認識できること。
【解決手段】ガイドロール(4)(5)に巻装されて走行する磁気テープ(3)に対向して配設されるラインＣＣＤカメラ(6ａ、6ｂ、6ｃ、6ｄ、6ｅ)と、磁気テープ(3)を照射する光照射手段(9)と、磁気テープ(3)の走行速度を検出するパルス発生器(11)と、ラインＣＣＤカメラの撮像した画像を処理する画像処理手段(7ａ、7ｂ、7ｃ)とを具備し、画像処理手段(7ａ、7ｂ、7ｃ)は少なくとも磁気テープ(3)の一方の縁部と表面上の欠陥を認識させ、パルス発生器(11)の出力に基づく磁気テープ(3)の走行方向における欠陥の位置と、縁部から欠陥までの距離とを演算するようにした。 （もっと読む）

【課題】対象物を照明し、対象物の反射光から、対象物を撮像する撮像装置に関し、装置の小型化と組み立ての容易化を図る。
【解決手段】イメージセンサ（３０）の周囲の位置に、複数の発光素子（２２，２４）を搭載し、この複数の発光素子の光を、導光体（１０）で、撮像範囲に導き、照明する。又、この撮像系と照明系とが近接している撮像装置を、導光体（１０）の突起（１６）を、撮像範囲外の光を遮断するフード（７８）の下端（７８−５）で、押さえ、且つフード（７８）の上端をフィルタ（７６）で押さえる。このため、接着を最小限とする小型の撮像装置を実現でき、撮像装置の組み立ての作業性を向上し、不良率の低減、生産効率の向上に寄与する。 （もっと読む）

【課題】距離測定機能を有する撮像装置に関し、撮像装置の小型化、コストダウンを図る。
【解決手段】反射光を受光して、撮像するイメージセンサ（３０）と、対象物にスポット光を照射する距離測定用発光素子（５２）と、距離測定時に、距離測定用発光素子を駆動し、イメージセンサ（３０）の撮像画像から前記距離測定用発光素子のスポット光の位置を検出し、前記対象物との距離を求める制御回路（９０）とを設ける。対象物の撮像のためのイメージセンサ（３０）を距離測定用の受光素子に利用することができる。このため、距離測定用の受光素子を別に設ける必要がなく、撮像装置を小型化でき、且つコストダウンも可能となる。 （もっと読む）

【課題】より有利なコストで製造することができ、より簡易かつ小型の構造を有する光学式検知装置を提供する。
【解決手段】第１及び第２部分部材１６、１８と、光学式検知装置を、パネル２２のうち対向する片面、特に、自動車のワイドスクリーン、に連結するための結合面２０と、を有する光伝導体構造、を備え、更に、光ビームを第１部分部材１６に接続する光学式送信部１０と、第２部分部材１８から出射する光ビームを受ける光学式受信部１２と、光学式送信部１０及び光学式受信部１２が配置されたプリント回路基板１４と、を含む。プリント回路基板１４は、結合面２０に対して平行に配置され、光学式送信部１０の中心光２８が、結合面２０に対して垂直に第１部分部材１６内へ入射し、結合面２０に対して垂直に第２部分部材１８から出射するように、光伝導体構造は構成されている。 （もっと読む）

【課題】被検体に光を照射する投光部先端と被検体との距離を精度よく測定し、精度の高い被検体の画像を取得する。
【解決手段】体腔内に挿入される挿入部３の先端に、被検体Ａに対して光を照射する投光部１０と、被検体Ａから戻る観察光Ｌ_１，Ｌ_２を受光する受光部１３とを有し、該受光部１３において受光された観察光Ｌ_１，Ｌ_２を画像化する内視鏡観察装置１であって、低コヒーレンス光Ｌ_３の干渉により挿入部３の先端と被検体Ａとの絶対距離を計測する距離計測手段１５と、該距離計測手段１５により計測された絶対距離に基づいて観察光Ｌ_２の輝度情報Ｓ_３を補正する補正手段２８と、該補正手段２８により補正された観察光Ｌ_２の輝度情報Ｓ_４に基づいて被検体Ａの画像を形成する画像形成手段２９とを備える内視鏡観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 基板の大型化に伴い、従来のマクロ観察機構では、マクロ照明部に大きなスペースを必要とする。また、大型ガラス基板を搭載する試料台自体を傾斜させるために構造が複雑で、試料台を傾斜させるための空間も必要になり、設計工数や製作時間、または調整時間が多くなり、高額な費用が必要になる上、装置も大きくなってしまう。本発明により、小さく、安価で、簡易的に使用できるマクロ観察機能を実現できる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定対象物を搭載する移動可能なマクロ台車を備えた。また、光源から出射する光を拡散するロッドレンズと、該ロッドレンズを通った光を反射し、マクロ観察のために被測定対象物に照射するために自在に位置と角度を調整可能とした。 （もっと読む）