【課題】
従来技術によれば、試料に熱ダメージを与えることなく、短時間で高精度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
試料の表面におけるある一方向について照明強度分布が実質的に均一な照明光を、前記試料の表面に照射し、前記試料の表面からの散乱光のうち互いに異なる複数の方向に出射する複数の散乱光成分を検出して対応する複数の散乱光検出信号を得、前記複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の存在を判定し、前記処理により欠陥と判定された箇所各々について対応する複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の寸法を判定し、前記欠陥と判定された箇所各々について前記試料表面上における位置及び欠陥寸法を表示する欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、比較的短時間であってｎｍオーダで、より高精度に、測定対象物の表面形状を測定し得る表面形状測定装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面形状測定装置ＳＡは、１つの測定箇所ＭＰに対し測定対象物Ｏｂの３つ以上、例えば３つの測定点Ｐ１〜Ｐ３に測定光ＭＬをそれぞれ照射するべく、測定光生成部１Ａで生成された測定光ＭＬを測定部２Ａで３つに分け、この分けられた３つの測定光ＭＬ１〜ＭＬ３を測定対象物Ｏｂの前記３つの測定点Ｐ１〜Ｐ３にそれぞれ照射し、それら３つの測定光ＭＬ１、ＭＬ２、ＭＬ３に対応する３つの反射光ＲＬ１、ＲＬ２、ＲＬにおいて、互いに共通な反射光ＲＬ２を用いるように、一対の反射光ＲＬ１、ＲＬ２および一対の反射光ＲＬ２、ＲＬ３を光干渉させ、この光干渉によって得られた第１および第２干渉光ＩＬ１、ＩＬ２に基づいて測定対象物Ｏｂの表面形状を求めるものである。 （もっと読む）

【課題】電力消費量が少なく高熱の発生を伴わずに太陽光に近い白色光で被測定物を照明できる照明手段を備えた二次元測定機を提供する。
【解決手段】
テーブル12に載置した被測定物Wに対して垂直を保持したままＸ−Ｙ方向に自在に移動する顕微鏡一体型ＣＣＤカメラ30と、顕微鏡光学系と同軸状の被測定物照明手段と、を備えた二次元測定機で、前記照明手段を、顕微鏡20の鏡筒21内のハーフミラー24と、ハーフミラー24に対応する鏡筒21側方延長位置に配置したクロスプリズム54と、該クロスプリズム54を取囲んで配置した赤,青,緑の単色ＬＥＤ52R,G,Bで構成し、単色ＬＥＤ52R,G,Bの発光がクロスプリズム54で合成されてハーフミラー24に導かれる。単色ＬＥＤ52R,G,Bの同時点灯で、太陽光に近い十分な光量の白色照明光が得られ、モニタ画面に映し出されるカラー画像が非常に見易い。照明用光源の電力消費量，発熱量が小さく、省エネルギー対策にも合致する。 （もっと読む）

【課題】効率的に検出精度を向上させることができる光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置は、照射光を出射する照射部ＥＵと、照射光が対象物に反射することによる反射光を少なくとも受光する受光素子ＰＤと、受光素子ＰＤの受光検出信号を増幅する増幅部１００と、増幅部１００が出力する信号に基づいて、対象物の位置特定情報を出力する検出部２００と、位置特定情報に基づいて対象物の位置を判定する判定部３００と、増幅部１００の出力ノードＮ１と検出部２００の入力ノードＮ２との間に設けられる結合キャパシターＣＡとを含む。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置に応じて効率良く位置検出ができる光学式位置検出装置、電子機器及び表示装置等を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に沿って設定される検出エリアＲＤＥＴに照射光ＬＴを出射する光出射部ＥＵと、検出エリアＲＤＥＴにおいて照射光ＬＴが対象物ＯＢに反射したことによる反射光ＬＲを受光する受光部ＲＵと、受光部ＲＵの受光結果に基づいて、対象物ＯＢの位置情報を検出する検出部５０とを含む。光出射部ＥＵは、検出エリアＲＤＥＴを設定する対象面２０からの対象物ＯＢの距離が短いと判断された場合には、第１の強度分布パターンＰＩＤ１の照射光ＬＴと第２の強度分布パターンＰＩＤ２の照射光ＬＴとを出射し、対象面２０からの対象物ＯＢの距離が長いと判断された場合には、第３の強度分布パターンＰＩＤ３の照射光ＬＴを出射する。 （もっと読む）

【課題】対象物の反射率の影響などを低減して精度の高い検出ができる処理装置、光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】処理装置１００は、第１、第２の光源部ＬＳ１、ＬＳ２からの照射光ＬＴ１、ＬＴ２が対象物ＯＢに反射されることによる反射光ＬＲ１、ＬＲ２を受光する受光部ＲＵの受光結果に基づいて、第１、第２の光源部ＬＳ１、ＬＳ２の発光制御を行う制御部１１０と、発光制御を行うための発光電流制御情報に基づいて、第１、第２の光源部ＬＳ１、ＬＳ２に対する対象物ＯＢの位置関係を判定する判定部１２０とを含む。判定部１２０は、対象物ＯＢが検出領域に存在しない第１の期間での発光電流制御情報である第１期間用発光電流制御情報ＬＣＮｉｎｉｔと、対象物ＯＢが検出領域に存在する第２の期間での発光電流制御情報である第２期間用発光電流制御情報ＬＣＮｄｅｔとに基づいて、対象物ＯＢの位置関係を判定する。 （もっと読む）

【課題】対象物体で反射した光を受光して対象物体の位置を検出する際、対象物体に反射率が異なる箇所が存在していても、対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、複数の検出用光源１２を順次点灯させて検出光Ｌ２を出射させ、検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂにより反射した検出光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光する。光検出器３０としては、互いに異なる波長帯域に感度ピークをもつ第１光検出器３１および第２光検出器３２が用いられており、第１光検出器３１での検出光の検出強度と第２光検出器３２での検出光の検出強度との差に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置に応じて効率良く位置検出ができる光学式位置検出装置、電子機器及び表示装置等を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に沿って設定される検出エリアＲＤＥＴに照射光ＬＴを出射する光出射部ＥＵと、検出エリアＲＤＥＴにおいて照射光ＬＴが対象物ＯＢに反射したことによる反射光ＬＲを受光する受光部ＲＵと、受光部ＲＵの受光結果に基づいて、対象物ＯＢの位置情報を検出する検出部５０とを含む。光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に直交するＺ軸での対象物ＯＢのＺ座標位置に応じて、対象物ＯＢの位置情報の検出精度を異ならせる。 （もっと読む）

【課題】対象物体で反射した光を受光して対象物体の位置を検出する際、対象物体に反射率が異なる箇所が存在していても、対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、複数の検出用光源１２を順次点灯させて検出光Ｌ２を出射させ、検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂにより反射した検出光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光する。検出用光源１２Ａ〜１２Ｄにおいて、第１発光素子１２Ａ₁〜１２Ｄ₁と第２発光素子１２Ａ₂〜１２Ｄ₂とは、互いに異なる帯域にピークを有する第１検出光Ｌ２ａ₁〜Ｌ２ｄ₁、および第２検出光Ｌ２ａ₂〜Ｌ２ｄ₂を異なるタイミングで出射する。そして、光検出器３０での第１検出光Ｌ２ａ₁〜Ｌ２ｄ₁の検出強度と第２検出光Ｌ２ａ₂〜Ｌ２ｄ₂の検出強度との差に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】対象物体で反射した光を光検出器で検出する方式を採用した場合において、検出空間の全体にわたって対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、複数の検出用光源１２を順次点灯させて検出光Ｌ２を出射させ、検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂにより反射した光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光した結果に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。Ｚ軸方向からみたとき、光検出器３０に近い位置にある検出用光源１２Ｂ、１２Ｄから出射された検出光Ｌ２ｂ、Ｌ２ｄは、検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｃに比して導光板１３から検出空間１０Ｒに到達するまでの減衰度合いが大である。従って、対象物体Ｏｂと光検出器３０との距離に起因する減衰度合いの差は、検出空間１０ＲにおけるＹ軸方向の一方側Ｙ１と他方側Ｙ２とにおける強度差によって相殺される。 （もっと読む）

【課題】広い範囲での対象物のセンシングが可能な光学式検出装置、表示装置及び電子機器等の提供。
【解決手段】光学式検出装置は、光源光を出射する光源部と、光源部からの光源光を曲線状の導光経路に沿って導光する曲線形状のライトガイドと、ライトガイドの外周側から出射される光源光を受け、曲線形状のライトガイドの内周側から外周側へと向かう方向に照射光の照射方向を設定する照射方向設定部と、照射光が対象物に反射されることによる反射光を受光する受光部ＲＵと、受光部ＲＵでの受光結果に基づいて、少なくとも対象物が位置する方向を検出する検出部５０を含む。 （もっと読む）

【課題】光検出器の感度指向性の影響を受けにくくすることにより、対象物体の位置にか
かわらず光検出器での受光強度を高いレベルとすることのできる光学式位置検出装置を提
供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、光検出装置３０は、光検出器３１を変位
させて光検出器３１の受光部３２を検出空間１０Ｒ内の複数領域１０Ｒ１、１０Ｒ２、１
０Ｒ３に向かせるアクチュエータ３５を備えており、光検出器３１は、受光部３２が検出
空間１０Ｒ内の複数の領域１０Ｒ１、１０Ｒ２、１０Ｒ３に向いた状態で、対象物体ＯＢ
で反射した検出光を検出する。このため、光検出器３１が感度指向性を有する場合でも、
光検出器３１の高感度角度範囲Θｈのみで検出空間１０Ｒ全体をカバーすることができる
。 （もっと読む）

【課題】撮像素子を用いなくても、検出空間全体にわたって対象物体の位置を正確に検出
することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた位置検出
機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、ピーク波長が８４０ｎｍから１０００ｎｍの帯
域の赤外光からなる検出光Ｌ２を検出空間１０Ｒに向かって出射する位置検出用光源装置
１１を設け、対象物体により反射した検出光Ｌ３を光検出器３０によって検出する。位置
検出用光源装置１１では、位置検出用光源１２から出射された検出光Ｌ２の光強度分布を
、光強度分布変換用液晶パネル１６０を備えた光強度分布変換用液晶装置１６によって変
換し、出射する。 （もっと読む）

【課題】
簡易に、かつ、精度良く被検体の姿勢を検出する。
【解決手段】
頭部に装着された個別光発生部１２１Ａ_j（ｊ＝１，２，３）のそれぞれが、波長λ_jのビーム光を射出している間、処理部は、第１光検出部１３０Ａ及び第２光検出部１４０Ａの両方の検出部からのビーム光の到達検出結果を得るため、透過設定指令及び不透過設定指令を第１光検出部１３０Ａへ送る。第１及び第２光検出部１３０Ａ，１４０Ａは、個別光発生部１２１Ａ_jのそれぞれから射出された光の到達を検出すると、検出結果を処理部へ送る。そして、処理部は、第１及び第２光検出部１３０Ａ，１４０Ａのそれぞれにおいて、いずれの個別光検出部が波長λ_jの光を検出したかに基づき、頭部の位置及び姿勢を特定する。 （もっと読む）

【課題】簡素な回路構成で第１光源と第２光源とを交互に点灯させることのできる光学式位置検出装置、およびかかる光学式位置検出装置を備えた位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０の位置検出用光源装置１１では、発光素子１２Ａ（第１光源）と発光素子１２Ｂ（第２光源）とが直列に電気的接続されて光源対１２１を構成しており、かかる光源対１２１の両端には定電圧が印加されている。光源駆動回路１４は、発光素子１２Ａと発光素子１２Ｂとの電気的接続個所にパルス信号Ｖ１を印加する。このため、パルス信号Ｖ１に連動して、発光素子１２Ａに印加される電圧、および発光素子１２Ｂに印加される電圧が変化するので、１つの信号Ｖ１（パルス信号）のみで発光素子１２Ａと発光素子１２Ｂとを交互に点灯させることができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象の特性を簡易に測定可能な測定システムを提供する。
【解決手段】蛍光を発する蛍光体２と、蛍光体２から発せられた後に測定対象である膜１００の特性に依存する変調を波長選択的に与えられた蛍光を受光する光学系１０と、変調を与えられた蛍光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、測定対象である膜１００の特性を特定する特定部３０２と、を備える測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】露光工程のスループットを高め、基板の複数のパターン形成領域に互いに異なるパターンを露光できるようにする。
【解決手段】シート基板Ｐの露光装置であって、シート基板Ｐを走査方向Ｄ１に移動する基板駆動装置１０と、マスクＭ１〜Ｍ３を保持して上面ＭＢａに沿って移動するマスクステージＭＳ１〜ＭＳ３と、駆動対象のマスクステージＭＳ２の走査方向Ｄ２の位置情報を計測する干渉計３３ＸＡ，３３ＸＢと、この計測結果に基づいて、マスクステージＭＳ２を走査方向Ｄ２に移動する駆動装置と、マスクステージＭＳ１〜ＭＳ３の走査方向Ｄ２の位置を相互に入れ替えるステージ入れ替え装置２４と、を備える。 （もっと読む）

光源を備えるシーンを照明するための構造化光生成器であり、光導波路（３０４）が、長手方向軸線を有し、かつ万華鏡風にシーンに向かって光源の個別の画像の配列を投射するように配置される略反射側部を有する筒状部を備え、前記光生成器は、投射軸線および光導波路軸線が互いに対して傾斜しているように光を再配向する光偏向素子を含む。このように、概して細長い構造体である光導波路は、光投射の方向から遠ざかるように「折り畳まれる」ことができ、それにより、投射の方向の厚さが望ましく最小限にされる光生成器のパッケージによって利点が提供される。
（もっと読む）

【課題】判定時間が短く、かつ、小形化や低コスト化が可能な外形判定装置を提供する。
【解決手段】被判定物を載置する矩形状の載置面３ａを有する載置台３と、載置面３ａの周縁に設置される、横方向送光用光導波路１Ｘと、横方向受光用光導波路２Ｘと、縦方向送光用光導波路１Ｙと、縦方向受光用光導波路２Ｙと、載置面３ａから上方に起立する高さ方向送光用光導波路１Ｚと、高さ方向受光用光導波路２Ｚと、上記縦方向，横方向および高さ方向の送光用光導波路１Ｘ，１Ｙ，１Ｚの送光用光コア２２に接続された光源Ｄ１と、上記縦方向，横方向および高さ方向の受光用光導波路２Ｘ，２Ｙ，２Ｚの受光用コア２３に接続された光電変換素子Ｃ１と、この光電変換素子Ｃ１からの光遮断信号を受けて演算処理し被判定物の外形を算出する外形算出手段４とを備えている。 （もっと読む）