【課題】面位置計測装置の校正を行うための基準部材の表面形状を効率的に計測する。
【解決手段】投影光学系を用いてウエハＷ上に明暗パターンを露光する露光方法であって、Ｘスケール部３９ＸＡを用いて多点ＡＦ系９０の複数の検出基準点のＺ位置情報を計測する多点ＡＦ系９０の校正工程と、Ｘスケール部３９ＸＡをＸ方向に多点ＡＦ系９０の複数の計測点の間隔だけ移動しつつ、多点ＡＦ系９０によりＸスケール部３９ＸＡの表面の複数箇所のＺ位置情報を複数回計測する計測工程と、この計測工程で得られた複数のＺ位置情報を統計処理してＸスケール部３９ＸＡのＺ方向の形状情報を算出する算出工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】画像（２００）の取得のためのシステムを提供する。
【解決手段】システムは、画像（２００）を取得するための主軸Ｈに沿って配置されたキャプチャ手段（２１０）と、拡散光を生成するための照明手段（２２０）とを備えている。照明手段は、導光手段（２２１）と、少なくとも１つの光源（２２２）とを備えて、その放射光が導光手段（２２１）内に入射されつつ、導光手段（２２１）内を伝播するように構成されている。導光手段（２２１）は、導光手段内を伝播する光が拡散状態で導光手段（２２１）の少なくとも１つの側面（２２３）上に抜け出るように設計されている。 （もっと読む）

【課題】高いパターン欠陥検出精度を有する表面検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査基板１４に所定の方向に偏光された光を照射する照明光源装置１１と、前記被検査基板で反射された光により、前記被検査基板の表面像を検出する撮像素子１９と、前記撮像素子の光入射側に配置され前記所定の方向と略直交する方向の偏光を透過する検光子１７と、前記照明光源装置と前記検光子との間に配置された反射鏡１３、１５とを有し、前記反射鏡の有効光束に対するＦナンバーが４．５以上である表面検査装置１００。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、被検基板の表面に照明光を照射する照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルター６５が光路上に挿入されて、ＵＶカットフィルター６５を透過した光が波長選択機構７０，７５のバンドパスフィルターに照射されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 歯車の歯面に沿って移動しながら歯面粗さの測定を行うことができる粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】 歯車における歯面の粗さおよび前記歯面との間の距離の変動の和を測定する測定光学系１２Ｓと、歯面と測定光学系１２Ｓとの間の距離の変動を検出する変動検出光学系１２Ｄと、測定光学系１２Ｓおよび変動検出光学系１２Ｄを、歯面に沿って導くガイド部１５と、が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は測定対象を光学的に検査する光学的プローブ（１）に関する。このプローブは、固定プローブ部材と、該固定プローブ部材に機械的及び光学的に結合された、回転軸（３）を中心として回転可能なプローブ部材（５）とを有しており、回転可能プローブ部材（５）は測定光線を出力させる少なくとも２つの光出力側（１０ａ；１０ｂ；１０ｃ）を有しており、測定光線は互いに異なる焦点距離ｄ（１５）を以て前記光出力側から前記回転軸（３）に対して垂直に出射する。本発明はまた、前記光学的プローブ（１）と接続された干渉計を含んだ、測定対象を干渉法により測定するための装置にも関する。
（もっと読む）

【課題】被検面の近傍に被検面以外の面が存在しても被検面の面位置情報を高精度に検出できること。
【解決手段】本発明にかかる面位置検出装置は、物体の所定の面（１４ａ）の位置情報を検出する面位置検出装置であって、所定の面に対して傾斜した方向から光を投射する第１の光学系（５１Ｅ）と、物体からの光を受光する第２の光学系（５２Ｅ)と、第２の光学系（５２Ｅ)からの光を受け取り、該光に基づいて、所定の面の当該所定の面に交差する方向における位置情報を検出する検出系（１３）と、第１及び第２の光学系（51E, 52E)の少なくとも一方の光路中に設けられ、第２の光学系（５２Ｅ）からの光のうち物体の所定の面以外の面を介した光中の異なる部分の間に位相差を付与する位相差付与系と、を備える。 （もっと読む）

少なくとも部分的に正反射性の挙動を示し、露光領域内に位置する対象物（２）の構造細部の反射による観察のための装置であって、放射線の流れを放射する少なくとも２つの別個の領域（２６、２７）を有する放射面（６）を伴い、少なくとも１つの特性が１つの領域と隣の領域とで異なる少なくとも１つの放射線源と、露光領域に対して放射線源と一直線を成して放射線の経路に位置する光学投影系と、光学投影系の入口絞り（１４）と放射面（６）とを光学的にリンクさせるようになっている光学露光系（１８）と、露光領域内の対象物と光学的にリンクされるとともに、その受けられる放射線が対象物（２）における偏向に依存する投影面（１０）とを含む装置。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの検査工程を効率化することのできる半導体ウェハの表面検査装置を提供すること。
【解決手段】光照射手段２、受光手段、光電変換手段６、信号増幅手段２６、計測手段２２、及び計数手段２３を備えた半導体ウェハの表面検査装置は、信号増幅手段２６による増幅倍率を固定したときに、予め標本測定により算出された半導体ウェハ表面の異物又は欠陥の大きさに応じて設定された信頼区間幅が格納された信頼区間幅格納手段２５と、信号増幅手段２６による増幅倍率を固定して、異物又は欠陥の大きさに応じた信頼区間幅に基づいて、計測手段２２により計測された半導体ウェハ表面の異物又は欠陥の大きさを算出し、該半導体ウェハ表面の異物又は欠陥の大きさに応じた計数値から、半導体ウェハ表面の良否判定を行う良否判定手段２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置で回転中の回転体の所要位置を必要な方向から適切に観測、計測できるようにした、優れた回転体の計測装置を提供する。
【解決手段】先端に対物レンズ１を有し中間に光導出入部たるハーフミラー２を有する光学系ＯＰと、この光学系ＯＰの基端側に光学的に接続される画像取得手段たるカメラ３と、ハーフミラー２に明滅光Ｘを導入すべく設けられる明滅光源４とを具備し、明滅光源４からの明滅光Ｘをハーフミラー２を介して光学系ＯＰの先端側より導出し、これを計測対象である回転中の回転体Ｒに対し空隙を介して照射した後、反射した明滅光Ｘ´を光学系ＯＰの対物レンズ１及びハーフミラー２を介してカメラ３に計測可能な状態で取り込み、仮想停止状態で回転体Ｒの計測を行い得るように構成した。
（もっと読む）

【課題】輪郭測定装置及び動作方法を提供する。
【解決手段】輪郭測定装置（１２）は、対象物（２２）上に縞パターンを投影するように構成されている縞投影デバイス（３２）と、対象物（２２）によって変調された歪み縞パターンの画像を取得するように構成されている光学ユニット（３４）とを含む。輪郭測定装置（１２）はまた、光学ユニット（３４）からの取得した画像を処理して、該画像からノイズをフィルタリングし且つ対象物（２２）の製造又は修理に関連したパラメータについての実時間推定値を求めるように構成されている信号処理ユニット（６０）を含む。 （もっと読む）

【課題】被験者をできるだけ拘束せず、ハーフミラーの持つ欠点を低減しつつも、所定の向きの顔の三次元形状のデータを求めることができるようにする。
【解決手段】レンジファインダ１００のカメラ１１０の上方に鏡１３０を設ける。被験者が顔を鏡１３０に映すと、その顔の向きはカメラ１１０に対して所定の向きを向いた状態となる。カメラ１１０は、鏡１３０を向いた顔を、幾分下方から見上げる角度（例えば１２度）で撮影する。これにより、鼻の下部や顎の下面など顔の特徴的な部位の三次元形状を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】リードフレームの最終検査における各種の不良項目の検査を、同時かつリアルタイムに高い信頼性の下で行うことが可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】板状金属製品の検査装置であって、板状金属製品に照明光を照射する複数種類の照明手段と、板状金属製品を撮像する複数の撮像手段と、板状金属製品を一定速度で一方向へ移動する搬送手段と、搬送手段上に板状金属製品を１枚ずつ供給する供給部と、複数の撮像手段により板状金属製品を撮像して得られた画像データを用いて板状金属製品に存在する不良を検出し良否判定する検査部と、検査部によって良否判定された板状金属製品をその良否により仕分けして排出する排出部と、検査装置全体の動作制御を行う制御部とを備え、各撮像手段が搬送手段と同期を取りつつ各撮像手段の撮像位置に到達した板状金属製品の撮像を行うことを特徴とする板状金属表面検査装置。 （もっと読む）

【課題】
安定した測定を簡便に行うことができる光学測定装置、及び基板保持装置を提供する。
【解決手段】。
本実施の形態にかかる光学測定装置は、試料を透過した透過光を用いて測定を行う光学測定装置であって、試料５０の端部が載置される載置台１２と、試料５０の下側においてＹ方向に移動可能に設けられ、試料を吸着する吸着口を有する吸着台１８と、吸着台１８に設けられ、前記試料を下側から照明光を出射する照明光源４１と、照明光源４１から試料を透過した透過光を試料５０の上側で受光する測定ヘッド２２と、試料５０の下側に設けられ、載置台１２よりも内側において試料５０を支持する複数の支持部材１６と、吸着台１８に設けられ、支持部材１６と当接することによって一部の支持部材１６の上端を試料５０から離間させる当接部４８と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】同様の膜厚を有する層が複数存在する多層薄膜であっても、各層の膜厚を独立して短時間に高精度で測定することができる膜厚測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置１は、被測定フィルムＦに照射する白色光を発光するキセノンフラッシュランプ１１ａ，１１ｂと、白色光の反射光を分光して反射分光スペクトルを得る分光器１４ａ，１４ｂと、演算部１５とを備える。演算部１５は、分光器１４ａ，１４ｂで得られた反射分光スペクトルに対して複数の波長帯域を設定する設定部２２と、反射分光スペクトルのうち、設定された複数の波長帯域における反射分光スペクトルを波数域反射分光スペクトルに変換する波数変換部２３と、波数域反射分光スペクトルをパワースペクトルに変換するフーリエ変換部２４と、パワースペクトルから被測定フィルムＦの厚みを求める膜厚算出部２６とを備える。 （もっと読む）

本発明は、測定対象物の自由形状面の形状を測定するための装置であって、所定の移動経路に沿って移動可能な、点測定による光学式及び／又は干渉式の走査アームと、測定しようとする前記自由形状面に集束される測定光線とを有している形式のものに関する。この場合、前記走査アームは、前記測定光線が、測定しようとする自由形状面に、垂直に又は走査アームの導入角度内で当たるように、前記走査アームの走査ポイントに関連して少なくとも一平面内で回転せしめられるようになっている。
（もっと読む）

【課題】印刷回路基板の光を照射する対象部分に均一に光を当て、かつ印刷回路基板への光の入射を均一とすることで、微細配線パターンにおける突起や凹みといった三次元的な欠陥の検出を可能とする。
【解決手段】印刷回路基板の配線パターンの光学的検査に使用される装置であって、印刷回路基板の上方に設けられ該基板に向けて光を照射する光源と、照射された光を印刷回路基板上に導く円筒状の導光手段を有し、該導光手段の内壁面が、光の反射率が０％以上２０％以下である部材で構成されていることを特徴とする印刷回路基板の光学検査装置、および光学検査方法。 （もっと読む）

【課題】取得された蛍光画像を精度よく補正して、病変部の正確な診断を可能とする。
【解決手段】観察対象部位Ｘに対して拡散する励起光Ｌ１を出射する励起光出射端１０と、該励起光出射端１０からの励起光Ｌ１の照射により観察対象部位Ｘの各位置から発生する蛍光を検出する蛍光検出部２１と、励起光出射端１０と観察対象部位Ｘの各位置との距離を検出する距離検出部と、該距離検出部により検出された距離に基づいて、励起光出射端１０と観察対象部位Ｘの各位置とを結ぶ直線と、観察対象部位Ｘの各位置における法線とのなす角度を算出する角度算出部２６と、距離検出部により検出された距離と、角度算出部２６により算出された角度とに基づいて、蛍光検出部２１により検出された蛍光の輝度情報を補正する補正部２７とを備える蛍光観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】液体など測定対象物の界面を精度よく検出する。
【解決手段】空間内の少なくとも１つの照明位置に光を投光する装置と、受光された光に応じて測定信号を出力するために、少なくとも１つの受光素子で少なくとも１つの照明位置を結像する少なくとも１つの装置と、投光装置が、複数個の照明位置に光を同時に投光する装置であり、および／または投光装置が同じ照明位置に異なる角度で光を同時に投光する装置であり、および／または複数個の受光素子が実在し、少なくとも１つの測定信号を分析するために少なくとも１つの受光素子に接続される分析装置とを備える液体処理装置における光学センサシステム。 （もっと読む）

センサヘッド（２）と光学ユニット（３）との互いにマッチングされたパーツを含む、対象物表面の非接触式光学走査のための走査センサシステム。前記光学ユニット（３）は、取り付け装置（４）によって、前記センサヘッド（２）上に高精度で取り付け、位置決めすることができる。前記取り付け装置（４）は、そこに前記光学ユニット（３）を取り付け、位置決めすることが可能な三つの軸受け（２０，２１，２２）を備え、これら三つの軸受け（２０，２１，２２）のそれぞれは、その軸受け部対の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）のそれぞれが、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ｂ，１８ｂ，１９ｂ）の少なくとも１つの軸受け面と接触する軸受け面を備える、その形状と位置とが互いにマッチングされた一対の軸受け部（１７ａ，１７ｂ；１８ａ，１８ｂ；１９ａ，１９ｂ）を有し、前記軸受け部対の一方の軸受け部（１７ｂ，１８ｂ，１９ｂ）は前記光学ユニット（３）上に配設され、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）は前記センサヘッド（２）上に配設されている。前記軸受け部対は、前記軸受け（２０，２１，２２）を貫通して延出する軸受け面に対して、側方方向において、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ｂ，１９ｂ，１９ｂ）に対する一方の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）の側方移動に対して異なる移動制約を加えるように、即ち、第１軸受け部対（１７ａ，１７ｂ）については、全く側方移動が許容されないように、そして、第２の軸受け対部（１８ａ，１８ｂ）については、一空間方向における直線側方移動のみが許容され、そして第３の軸受け対部（１９ａ，１９ｂ）については、二つの空間方向における二次元的側方移動が許容されるように、構成されている。
（もっと読む）