【課題】 立体物イメージスキャナにおいて大きい立体物の全体像を良好な画質で取得する。
【解決手段】 スキャニングユニット２４は、リニアイメージセンサとテレセントリック結像系を内蔵し、直線状のターゲット平面領域４８を撮像する。直線状の２本の光源３４A、３４Bがスキャニングユニット２４の左右両側に配置され、ターゲット平面領域４８を照明する。スキャニングユニット２４と光源３４A、３４Bは一緒に三次元的（X、Y、Z方向）に移動し、それにより、ターゲット平面領域４８が被写体空間１５を三次元的にくまなくスキャンする。一方の光源３４Aのみを点灯して三次元スキャンを行い、得られた画像データ中のピントの合った画素を繋いで合焦点画像を形成し、次に、他方の光源３４Bのみを点灯して同様に合焦点画像を形成し、そして、両合焦点画像を加算平均する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出精度が高く、製造コストが廉価な表面粗さ測定用センサを提供することにある。
【解決手段】単一波長の光を発光する発光素子２と、発光素子２の発光光に受光感度を有する２個の受光素子３ｆ、３ｎを備え、受光素子３ｆ、３ｎは夫々の光軸Ｘ_ｄｆ、Ｘ_ｄｎが略平行となるように配設され、発光素子２と受光素子３ｆとは夫々の光軸Ｘ_ｅとＸ_ｄｆとが反射型光学センサ１から所定の距離Ｆ_ａだけ離れた位置Ｐ_ｘｆで、発光素子２と受光素子３ｎとは夫々の光軸Ｘ_ｅとＸ_ｄｎとが反射型光学センサ１から所定の距離Ｎ_ｅだけ離れた位置Ｐ_ｘｎで夫々交差するように配置されている。測定ポイントＳに発光素子２の光軸Ｘ_ｅと受光素子３ｆの光軸Ｘ_ｄｆとが交差する受発光光軸クロスポイントＰ_ｘｆが位置し、且つ測定ポイントＳにおける法線ＳＮに対して発光素子２の光軸Ｘ_ｅと受光素子３ｆの光軸Ｘ_ｄｆとが同一角θとなるように反射型光学センサ１をセットして測定する。 （もっと読む）

物体の表面１３，１４の走査用、特に、座標測定機用の走査システム。走査センサ１は、少なくとも１つの流体マウント式光伝送モジュール２を有し、流体が前記光伝送モジュール２とマウント部３との間のマウントギャップ７に配置され、光伝送モジュール２は、筒状外壁の軸心に対して、軸心方向に移動可能、かつ、回転も可能に取り付けられている。光源からの一次光は、光伝送モジュール２の内部空間８を通って光出射位置（１２ａ，１２ｂ）へと伝送され、光出射位置は軸心方向に離間するとともに、そこから、一次光が物体表面１３，１４へと放射される。物体表面１３，１４によって反射された二次光も、光伝送モジュール２の内部空間８を通って、二次光入射位置１６ａ，１６ｂから軸心方向に離間した二次光出口位置１７へと伝送される。光伝送モジュールは、軸心方向と回転との両方において回転／平行駆動機構２７によって駆動される。
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【課題】シリコンウエーハの終端縁部あるいは終端縁部に設けられるノッチなどの立体的な鏡面状の表面の欠陥検査を行う表面欠陥検査装置の場合、精密な画像を得ようとすると、多数台の撮像カメラが必要となる。本発明は、シリコンウエーハの終端縁部あるいは終端縁部に設けられたノッチ部のような立体的な部位の撮像検査において、装置の構成を簡単化するとともに、装置にかかる費用の削減を図ることを目的とする。
【解決手段】 検査対象物を撮像する１台の撮像手段と、扁平光源照明装置などの広い角度で入射する均一な拡散光照明手段と、前記撮像手段の光学系の光軸と同軸に照射する第２の拡散光照明手段と、撮像手段と正対しない撮像対象部位を撮像する光路屈折手段と、前記撮像手段の撮像データを演算処理する画像処理手段とから構成され、立体的形状の検査対象物の複数の部位を１台の撮像手段で同時に撮像する。 （もっと読む）

【課題】 視野内での被検マークの位置が変化しても１ｎｍ以下の繰り返し精度で再現性よく位置検出を行う。
【解決手段】 基板１１上の被検マーク１１Ａに照明光Ｌ１を照射する照明手段(１３〜１９)と、被検マークからの光を結像して該被検マークの像を形成する結像手段(１９〜２４,４０)と、被検マークの像に基づいて該被検マークの位置検出を行う手段(２５,２６)とを備える。結像手段は、複数の光学レンズユニット(２１,２２など)を含み、複数の光学レンズユニットのうち少なくとも１つは、該光学レンズユニットの透過波面収差の回転対称成分のＰ-Ｖ値をδとし、照明光の中心波長をλとして、次の条件式(１)「−０.００５λ ＜ δ ＜ ＋０.００５λ」を満足する。 （もっと読む）

【課題】様々な典型的な実施形態で、検査対象物のストロボ照明のシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】このシステムは、照明光源、画像取込み装置、および制御システムを含むことができる。照明光源は、検査対象物に対する過渡的なフラッシュとして可視光、紫外光、または近赤外光を放出することができる。この過渡的なフラッシュは、ランプトリガーに対応して発生する。照明光源は、フラッシュ継続期間中に、開始閾値からピークに上昇し、その後、停止閾値まで低下する照度で光を放出することができる。画像取込み装置は、露光トリガーから開始する露光継続期間中に検査対象物に関連する光をキャプチャすることができる。制御システムは、フラッシュ継続期間中に露光継続期間が終わり、フラッシュの残りの部分が画像露光に影響しないように、照明光源および画像取込み装置を制御してランプトリガーを同期化させることができる。 （もっと読む）

【課題】 孔の内面形状、特に、入口が狭く、奥に進むに従って広くなる孔の内面形状を精度よく測定する。
【解決手段】 低コヒーレント光Ｌ_０を出射する低コヒーレント光源１４と、低コヒーレント光Ｌ_０の一部を分岐する低コヒーレント光分岐部１６と、該低コヒーレント光分岐部１６により分岐された一方の低コヒーレント光Ｌ_１の光路長を調節する光路長調節部２１と、低コヒーレント光分岐部１６により分岐された他方の低コヒーレント光Ｌ_２を、先端部から、長手方向に交差する方向に配置された計測対象２に照射する直棒状のプローブ５と、該計測対象２において反射されて戻る低コヒーレント光Ｌ_２と、光路長調節部２１により光路長調節された一方の低コヒーレント光Ｌ_１とを合波する低コヒーレント光合波部１６と、合波された低コヒーレント光Ｌ_３を検出する光検出器２２と、プローブ５と計測対象２とをプローブ５の長手方向に沿う軸線回りに相対回転させる回転機構４とを備える内面計測装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】
従来の欠陥検査は、各ブロックについて、比較する各視野の画像同士が同一のパターンである必要がある。そのため、例えば、欠陥の位置が分かっていても、その位置へ移動し、より拡大した画像を取得して、自動的に欠陥を抽出することは困難であった。
【解決手段】
低倍のレンズで周囲画像と輝度比較し、そこからレンズの倍率を段々高倍率に設定しながら、画像処理を行って欠陥の検査していく。またこのとき、同一パターンとの比較をせず、本来のパターンと欠陥とは、輝度波形の傾斜の傾きで区別する。 （もっと読む）

【課題】 分解能の高いシリコンウエハの観察装置を提供する。
【解決手段】 ハロゲンランプからなる光源１からの光は、レンズ２によってコリメートされ、赤外線カット用フィルタ３、バンドパスフィルタ４を通って、レンズ５により平行光束となり、ハーフミラー６で反射される。反射された照明光は、対物レンズ７により、シリコンウエハ８上に集光され、シリコンウエハ８の被観察面を落射照明する。シリコンウエハ８の下面には回路パターンが形成されており、シリコンウエハ８を透過して照明された回路パターンからの反射光は、再びシリコンウエハ８を透過し、対物レンズ７を通ってハーフミラー６を透過し、結像レンズ９により、撮像装置であるＣＣＤカメラ１０の撮像面に結像する。このようにして、回路パターンの像が観察される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、反射防止フィルムの製造中、フィルム走行状態でフィルム全巾にわたり連続的に反射防止層の膜厚を測定することが可能な、反射防止フィルムの反射防止層の膜厚を測定する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】反射防止フィルムの反射防止層の膜面に３６５〜４００ｎｍの長波長域紫外光を照射し、その膜面および膜の裏面からの反射光を相互に干渉させ、その干渉により得らた濃淡の光像（光信号）によって薄膜の膜厚を測定することを特徴とする反射防止フィルムの反射防止層の膜厚を測定する方法である。 （もっと読む）

【課題】 ウエハのプロセス条件が変化しても、重ね合わせ測定値を高い信頼性で求めることができる重ね合わせ測定装置を提供する。
【解決手段】 基板１１の異なる層に形成された第１マークと第２マークの像を形成する結像光学系１９〜２５と、基板と結像光学系との相対位置を調整し、第１マークと第２マークの焦点合わせを行う手段１２,２７,２８と、焦点合わせの後、相対位置のオフセットおよび／または結像光学系の像面に入射する光の波長域を変化させて光学条件を順に設定する手段１２,３Ｂ,２７と、各光学条件で第１マークと第２マークの画像を取り込み、該画像から重ね合わせずれ量を求める手段２７と、オフセットが同じで波長域が異なる複数の光学条件での重ね合わせずれ量のばらつきを、各オフセットごとに求め、該ばらつきが最も小さいオフセットをレシピに登録すべき情報として決定する手段２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 柔軟性を有する材料をセンサ部位に用いて、被測定物Ｍの変位がすべりによるか転がりによるかを判別可能なすべり・転がり検出システム及び検出方法を提供する。
【解決手段】 圧力により透過光量が変化する複数の感圧部ｐ１を面内に配置した第１のセンサアレイ２１と、第１のセンサアレイ２１上に重ねて設けられ、圧力により透過光量が変化する複数の感圧部ｐ２を面内に配置した第２のセンサアレイ２２とでセンサ部位２を構成し、被測定物Ｍが第２のセンサアレイ２２上で変位した時に、光検出器３で検出された第１のセンサアレイ２１の各感圧部ｐ１における圧力の変化と第２のセンサアレイ２２の各感圧部ｐ２における圧力の変化に、時間的差異又は空間的差異が見出された場合に被測定物Ｍの変位がすべりによると判定し、差異が見出されなかった場合に被測定物Ｍの変位が転がりによると判定する。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成で露光装置のスループットを向上可能な位置計測方法及び位置計測装置を提供する。高集積度のデバイスを効率及び歩留まりよく製造可能な露光方法及び露光装置、デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 複数のフォーカス位置で、各フォーカス位置毎にＲＡマークＲＭの中心線パターンＲＭｃの像を撮像して得られた複数のマーク信号に基づいて、ＲＡマークＲＭの位置を計測するのに最適なフォーカス状態を特定する。複数のマーク信号の中から、特定された最適なフォーカス状態下もしくはその近傍のフォーカス状態下に相当するマーク信号を抽出し、該抽出されたマーク信号に基づいてＲＡマークＲＭの位置計測を行う （もっと読む）

【課題】 高速かつ低コストで全数インライン検査に適した接触式検査装置を提供する。
【解決手段】 光照射手段１００と、この光照射手段１００からの光Ｌが内部に入射される透明板１１０と、全反射現象乱れ検出手段１２０とを備え、透明板１１０を構成する面のうち少なくとも１つの面が、その内部に入射された光Ｌを全反射し、かつ、外表面側に被検査物が接触される第１反射面１１１であり、全反射現象乱れ検出手段１２０は、第１反射面１１１における光の全反射現象の乱れを検出する接触式検査装置。 （もっと読む）

【課題】 自動制御型加工機とともに使用する光学式測定装置において、構成を簡単にすること。
【解決手段】 ＮＣ加工機１は、測定対象物４の加工時に、加工用テーブル２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動制御すると共に主軸ヘッド６をＺ軸方向に移動制御し、測定対象物４の測定時に、加工用テーブル２を加工時と同一の制御によって移動させると共に主軸ヘッド６を所定のＺ軸座標値に保持する。測定時に、レーザ変位計１５は、光路変更用のプリズム１６及び主軸ヘッド６に装着された平行プリズム１２を介して、測定対象物４に測定用光を照射し、測定対象物４からの測定用光を逆経路で検出する。レーザ変位計１５は、ＮＣ加工機１の加工用テーブル２のＸ座標値及びＹ座標値に同期して検出した前記測定用光に基づいて測定対象物４の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】対象物に既知の位置からスポット光を照射し、反射光をカメラで受けて三角測量を行う三次元計測において、ベースライン距離が短いにもかかわらず、量子化誤差を軽減し、距離分解能を向上させる。
【解決手段】１回の計測において、レンズ単体を移動させるか、レンズ及び撮像素子をともに移動させるか、カメラのレンズは固定したまま、撮像面を元の平面と平行に移動させることにより２以上の計測値を得て、これらの数値の統計的処理により量子化誤差を軽減する。
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【課題】照明光を短波長化しないで、繰り返しピッチの微細化に対応できる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板２０を照明するための直線偏光の発散光束を射出する光源手段Ｌｓと、前記直線偏光の発散光束を、その光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して、前記被検基板に導く光学部材３５と、前記被検基板からの光束のうち前記直線偏光と偏光方向が直交する直線偏光成分を受光する受光手段３８、３９と、前記光源手段と前記受光手段との間の光路中に配置される補正部材に、応力歪を設定することにより、前記光学部材に起因して発生する偏光面の乱れを解消する補正手段１０と、前記受光手段で受光した光に基づいて前記被検査基板の表面の欠陥を検出する検出手段１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学補償フイルム等の僅かな厚みムラや塗工ムラまでを検出できるようにする。
【解決手段】連続的に搬送されるフイルム７の下側の面に光源部１５を配してあり、フイルム７に光を照射する。フイルム７からの透過光を受光する受光器１６は、フイルム７を俯瞰するように配置されており、その光軸Ｐとフイルム７に垂直な基準線（法線）Ｌｎと交差角度θ１が３０°≦θ１≦５０°となっている。また、受光器１６は、基準線Ｌｎを回転中心として搬送方向Ｓを基準に回転角度θ２だけ回転してあり、−６０°≦θ２≦＋６０°を満たすようになっている。 （もっと読む）

【課題】清浄で且つ高温環境下となる検出領域にて被検出体の有無を精度よく検出できるようにする。
【解決手段】石英ボックス１の側壁１ａに開口部２を設け、パイプ状の結合用部材６を貫通するよう取り付ける。結合用部材６内にて、細長い円柱形状として、先端部が石英ボックス１内の検出領域４の近傍まで達するよう配置した石英ガラス部材３ｃの基端部と、反射型光ファイバセンサ８の平行型光ファイバ１７の先端部を取り付ける。平行型光ファイバ１７の投光用光ファイバ素線１０を通して導かれる光１３を、石英ガラス部材３ｃを通して損失が少ない状態で検出領域４の近傍まで導いてから、検出領域４に向けて投光させる。検出領域４に被検出体５が存在する場合に生じる反射光１３ａは、検出領域近傍にて石英ガラス部材３ｃの先端面で受けた後、石英ガラス部材３ｃ内を損失が少ない状態で導いてから、受光用光ファイバ素線１２へ受光させる。 （もっと読む）

【課題】
複数の基板の位置測定を効率的に行う。
【解決手段】
ステージを水平移動して結像光学系の検出視野における測定有効範囲内に測定マークを収めて行う位置測定方法において、それぞれ同位置に測定マークを形成した複数の基板を順次載せ換えて所定の測定を行うようになっており、予め記憶された所定位置にステージが位置するようにステージ駆動機構を駆動させ（ステップＳ２）、ステージ移動後に測定マークから測定有効範囲までの距離を算出し、この距離を記憶するとともに所定位置にこの距離を加算して新たな所定位置を導出し（ステップＳ５）、測定マークが測定有効範囲を外れたときにステージを上記算出された距離だけ移動させて測定マークを測定有効範囲内に収めて所定の測定を行い、次の基板を載せたステージが上記導出された新たな所定位置に位置するようにステージ駆動機構を駆動させることを特徴としている。 （もっと読む）