【課題】対象物体の少なくとも２次元座標を検出することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、検出領域１０ＲのＸＹ平面に沿う方向に検出光Ｌ２を出射する複数の位置検出用光源１２を備え、かかる位置検出用光源１２は、互いに異なる方向に光軸を向けた発光素子１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄからなる。発光素子１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄから出射された検出光Ｌ２によって検出領域１０Ｒに、Ｘ軸方向で検出光Ｌ２の強度が変化するＸ座標検出用光強度分布およびＹ軸方向で検出光Ｌ２の強度が変化するＹ座標検出用光強度分布を形成し、この状態で、対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で形成する。 （もっと読む）

【課題】対象物体で反射した検出光を検出して対象物体の位置を検出するにあたって、検出光の出射強度を適正に設定することのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、光強度分布形成用の発光素子１２Ａ〜１２Ｄによって検出領域１０Ｒに検出光Ｌ２の強度分布を形成し、対象物体Ｏｂで反射した検出光Ｌ２を光検出器３０で検出した結果に基づいて、対象物体Ｏｂの位置を検出する。また、光学式位置検出装置１０は、検出領域１０Ｒを経由せずに光検出器３０に入射する参照光を出射する参照用発光素子１２Ｅ〜１２Ｇが設けられている。このため、駆動条件を設定する際、発光素子１２Ａ〜１２Ｄから出射された検出光Ｌ２が光検出器３０に入射しない場合でも、光強度分布のバランスをモニターでき、かかる光強度分布のバランスを最適化するような駆動条件を設定することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、演奏者が演奏する楽器において、操作による操作感を与えながら演奏操作子の操作状態の検出を行うことで、演奏者の得られる操作感と発音内容とのずれによる違和感を低減することを目的とする。
【解決手段】楽器１０は、加えられる押力によって変形する変形部材３０と光を出射する光源２１と光を検出する光検出素子４１とを備える。変形部材３０は、第１の方向に沿って配置される光ファイバ３１ａと第１の方向とは異なる第２の方向に沿って配置される光ファイバ３１ｂとを内部に有する。光ファイバ３１は、変形部材３０が変形するのに伴って変形する。楽器１０は、光源２１が出射し、変形した光ファイバ３１が伝達する光が光検出素子４１に到達する際に発生する遅れ時間を測定し、この値と光ファイバ３１の位置に関する情報とに基づいて、部材変形量および加力位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡易に、半導体ウェハのエッジ位置の検出範囲を拡げることが可能なエッジ位置検出器およびアライメント装置を提供する。
【解決手段】エッジ位置検出部５０は、半導体ウェハ１２のエッジを挟んで対向するように配置された投光部５４および受光部５２を備える。投光部５４は、ＬＥＤ基板５４０、導光板５４４、および拡散板５４６を備える。ＬＥＤ基板５４０は、半導体ウェハ１２に対して光を照射するように構成され、かつ、アレイ状に配列された複数のＬＥＤチップ５４２を備える。導光板５４４は、ＬＥＤ基板５４０と対向する入射面および半導体ウェハ１２と対向する出射面を有する。拡散板５４６は、導光板５４４の出射面に設けられる。受光部５２は、ＬＥＤチップ５４２の配列方向に沿って延びるように設けられたＣＣＤ５２２およびＣＣＤ５２４を備える。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターンの被検査体に対し、回折光によるコントラストから正常部と変動部とを精度良く識別でき、かつ、モアレのような外乱要素を含まない被検査画像を取得すること。
【解決手段】本発明の実施の形態１に係るむら検査装置は、透過照明部１０、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０、アライメント用撮像部３０、回折光強度測定部兼撮像部４０及び処理・制御部１００を具備している。Ｘ−Ｙ−θステージ部２０は、被検査基板６０の位置決め動作及び基板搬送動作が可能である。アライメント用撮像部３０は、被検査基板６０の位置決めを実施する。回折光強度測定部兼撮像部４０は、被検査基板６０からの回折光強度を取得し、また、被検査画像取得を実施する。処理・制御部１００の情報処理手段１０１は、透過照明部１０、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０、アライメント用撮像部３０及び回折光強度測定部兼撮像部４０の動作管理及び制御を行う。 （もっと読む）

【課題】複数の位置検出用光源から出射された位置検出光の強度分布を利用して位置検出を行なう場合でも、複数の位置検出用光源の全てに対して出射光量の校正を行なうことのできる光学式位置検出装置、光学式位置検出装置の校正方法、および光学式位置検出装置を備えた位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、検出領域１０Ｒに形成した位置検出光の強度分布を利用して対象物体Ｏｂの位置を検出することから、位置検出用光源１２Ａ〜１２Ｄの出射光量の校正を行なう。かかる校正の際、位置検出用光源１２Ｂ、１２Ｄは、光検出器１５が位置する側とは反対の第２方向Ｙ２に発光部１２１が向いている。そこで、第１補助光源１２Ｖおよび第２補助光源１２Ｗから出射された光の検出結果に基づいて、位置検出用光源１２Ｂ、１２Ｄのみを点灯させた状態での出射光量の校正を行なう。 （もっと読む）

光学検査システム及び方法が提供される。加工対象物輸送機構が加工対象物（１２）をノンストップで移動させる。照明装置（４０）が、ライトパイプを含み、第一及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。第一（３）及び第二（５）のカメラ（２）アレイが、加工対象物（１２）の立体画像化を提供するために配設されている。第一のカメラアレイ（３）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第二の複数の画像を生成するように構成されている。第二のカメラアレイ（５）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第三の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第四の複数の画像を生成するように構成されている。処理装置が、第一、第二、第三及び第四の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、他の装置に提供する。
（もっと読む）

【課題】 光反射型センサの検出性能を向上させる。
【解決手段】 光透過性の受光ガイド部６と、該受光ガイド部６の基端部に設けられ、前記受光ガイド部６に入射された検出対象からの反射光を受光する受光部３と、遮光部材５を介在して前記受光ガイド部６の周部を囲むように配設された光透過性の筒状発光ガイド部４と、該発光ガイド部４の基端部に設けられ、前記発光ガイド部４を通して前記検出対象に発光光を照射する発光部２とを備える。前記発光ガイド部４の内側の先端角部が面取りされている。 （もっと読む）

統合された視覚及び表示システムは、表示面を通じて見るために表示画像を送信するように構成された表示画像形成層と、表示面の法線に対して狭い範囲の角度の、表示面上又は表示面の近くの１つ以上の物体からの反射を含む、赤外光を結像するように構成された結像検出器と、物体を照らすために赤外光を放射するように構成された視覚システムエミッターと、対向する上面及び／又は下面を有し、視覚システムエミッターから赤外光を受信し、上面及び下面からＴＩＲによって赤外光を導き、表示面の法線に対して狭い範囲の角度の外側の物体上へ赤外光を投影するように構成された、可視光及び赤外光を伝達可能な導光路とを具備する。
（もっと読む）

【課題】安価な回路構成で高い検出精度を得ることのできる光学式位置検出装置、位置検出機能付き表示装置、および光学式位置検出方法を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、位置検出用光源１２Ａ、１２Ｂに駆動パルスＶｐを供給して検出領域１０Ｒ内に位置検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂの強度分布を形成するとともに、対象物体Ｏｂで反射した位置検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂを光検出器１５で受光する。そして、受光量監視工程では、駆動パルスＶｐのパルス幅を時系列的に変化させるとともに、光検出器１５の受光量が閾値を越えたか否かを監視する、そして、位置検出工程では、受光量が閾値を越えたときのパルス幅に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】より低消費電力で高速・高精度に指示体の検出が可能な光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置は、複数の光源部１０とカメラ部２０と検出部３０と制御部４０とからなる。複数の光源部１０は、検出面の所定の領域を照らす光をそれぞれ発し、これらを組み合わせて検出面全面を選択的に照らす。カメラ部２０は、検出面全面を撮像可能な画角を有し、光源部１０により照らされる指示体２の像を撮像する。検出部３０は、カメラ部２０により撮像される指示体２の像を用いて指示体２の指示位置を算出する。制御部４０は、初期スキャン時に複数の光源部１０を所定の順序で点灯させると共に、一旦検出部３０により指示体２の指示位置が検出されると、検出される指示体２の指示位置をカバーする範囲を照らす光源部１０を点灯させ、それ以外の光源部１０を消灯させるよう制御する。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、少なくとも熱線及び紫外光を射出する光源部と、所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に、前記紫外光の直線偏光を照射する照明部と、前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が交差する偏光成分を検出する検出部と、前記検出部で検出された前記偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、
前記照明部または前記検査部の光路上に、前記直線偏光または前記偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設されると共に、前記密閉部材３６のうちの前記紫外光の透過領域表面に紫外光透過性熱線吸収膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】内視鏡の挿入部の太径化を極力避けつつ、照明光の出射端から被観察部位までの距離および照明光の照射角度を測定する。
【解決手段】内視鏡１０は、光源４０ｂからの赤外光を伝搬するライトガイド２２ｂ、光源４０ｃからの測定光を伝搬するライトガイド２２ｃ、および測定光の投影パターンを撮像するＣＣＤ２４ａを有する。画像処理回路３４ａは、ＣＣＤ２４ａからの画像内の投影パターンを抽出し、その大きさを算出して、赤外光の出射端から被観察部位までの距離、および被観察部位への照射角度を算出する。ＣＰＵ３０は、算出された距離および照射角度に応じて、光源４０ｂの動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】被測定膜の厚さを簡便に測定可能とするレーザ変位計を提供する。
【解決手段】レーザ変位計は、波長可変レーザ光源１１と、軸上色収差光学系１３と、被測定膜ＳＡの表面及び裏面にて反射されたレーザ光を軸上色収差光学系１３を介して受光してレーザ光の被測定膜ＳＡの表面及び裏面上での結像状態を検出する光検出部１４と、波長可変レーザ光源を制御して出力されるレーザ光の波長を変化させる制御部２１とを備える。制御部２１は、光検出部１４により被測定膜ＳＡの表面及び裏面上でのレーザ光の合焦が検出された場合におけるレーザ光の波長に基づき被測定膜ＳＡの表面位置ｈｓ及び仮の裏面位置ｈｂｄを求め、表面位置ｈｓ及び仮の裏面位置ｈｂｄから被測定膜ＳＡの仮の厚さＴｄを特定する。制御部２１は、被測定膜ＳＡの膜種、仮の裏面位置ｈｂｄ、仮の厚さＴｄに基づき被測定膜ＳＡの真の厚さを特定する。 （もっと読む）

物体（８）の、特に、半透明な物体の少なくとも１つの部分の形状、例えば、歯の部分の形状を、好ましくは広帯域スペクトルを有する光を発生させるための光源（１）と、多焦点の照射パターンを作成するための装置（３）と、照射パターンの複数の焦点を物体に結像するための、大きな色収差を有する対物レンズ（６）と、対物レンズを介して物体に共焦点に結像される複数の焦点の波長スペクトルを決定するための検出装置（１０）とを用いて、測定するための方法であって、各々の波長スペクトルから、各々の焦点のスペクトルのピーク位置を決定し、該ピーク位置から、結像光線（Ｚ座標）の方向における物体の広がりを計算し、多焦点の照射パターンを、光源（１）と、大きな色収差を有する対物レンズ（６）との間に設けられた複数のライトガイド（５）によって形成し、対物レンズ（６）は、ライトガイドの、物体側の端部を物体に結像し、物体から反射された光を、ライトガイドの物体側の端部に結像し、ライトガイドによって導かれかつ反射された光を、検出装置（１２）へ向ける。構造的に簡単な措置によって極めて正確な測定を行なうことができ、サンプル上の測定点のできる限り良好な分布のみならず、検出装置における最適なスペクトル分布を可能にすることが意図されることを達成するために、物体側の照射パターンは、物体側の測定点分布が、照射側および検出側のマイクロレンズの分布またはピンホールの分布に依存していないように、ライトガイド（５）を介して、形成されることが提案される。 （もっと読む）

【課題】記録材の表面に光を照射して記録材の表面状態を検出する記録材表面検出装置、及びそれを備える画像形成装置において、その検出精度を向上させ、良好な画像品質を得る。
【解決手段】照射用ＬＥＤ４２、導光体４５Ｌ、ＣＭＯＳラインセンサ４３Ｌ、及び駆動・演算部を有する記録材表面検出装置４０であって、導光体４５Ｌは、記録材Ｐに当接して記録材Ｐを支持する導光体上流部４５Ａ、導光体下流部４５Ｂと、凹部４５Ｓと、を有しており、撮像領域を挟んだ両側の撮像領域外において導光体上流部４５Ａ、導光体下流部４５Ｂが記録材Ｐを支持し、撮像領域が凹部４５Ｓと対向することで撮像領域が導光体４５Ｌに接触せず、導光体４５Ｌによって導かれた光が記録材Ｐの表面に対して斜めから入射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エアギャップ画像と透明部材画像との間のコントラストを改善して、エアギャップを高精度で測定できるエアギャップ測定装置を提供する。
【解決手段】エアギャップ測定装置は、測定対象物ＯＢＪが、対向配置された一対の透明部材の間のエアギャップであって、前記一対の透明部材を前記エアギャップの厚さ方向に交差する方向から拡散光で照明するための面発光光源１０と、面発光光源１０と透明部材との間に設けられ、開口形状が可変である絞り部材２０と、透明部材およびエアギャップの透過画像を撮像するための撮像ユニット３０などで構成され、さらに撮像ユニット３０を光軸方向に位置決めするためのＺステージ４０を備え、撮像ユニット３０を光軸方向にスキャンして得られた複数の画像を合成する。 （もっと読む）

【課題】 立体物のイメージスキャナにおいて大きい立体物の全体像を良好な画質で取得する。
【解決手段】 スキャニングユニット２４は、リニアイメージセンサとテレセントリック結像系を内蔵し、前方の鉛直な線状のターゲット平面領域４８にピントが合っている。鉛直で線状の２本の光源３４A、３４Bがスキャニングユニット２４の左右両側に配置され、ターゲット平面領域４８を照明光する。光源３４A、３４Bの全箇所からの照明光の鉛直面に沿った出射角度が規制され、それにより、ターゲット平面領域４８の全箇所にて、照明光の鉛直面に沿った入射角と光量が一定にされる。スキャニングユニット２４と光源３４A、３４Bが一緒にX、Y、Z方向に移動して、被写体の空間１５を多数のレイヤとバンドに分割してスキャンする。スキャンで得た画像データからピントの合った画素が抽出され合焦点画像が合成される。 （もっと読む）

この発明は、光信号に基づく検出器表面に関するものであり、フレキシブルなエンベロープとして本体の周りに配置され、発光器からの光が本体に当ったか否か、本体のどこに当ったかを検出する。検出器表面は、一つあるいは複数の平面型の光導波路（１．１）を具えており、平面型の光導波路の少なくとも一つの層（１．２）は光輝特性を有し、光検出器が平面型の光導波路に取り付けられており、光導波路からの光を取り込んで検出できる。平面型の光導波路（１）は、厚さが３０乃至５００マイクロメートルの透明なポリマー製膜として作られており、光検出器（２）は、光導波路（１）の全てのエッジ部分から間隔を空けて取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの欠陥検査方法では、基準となるパターンの画像データを膨張・収縮といった操作を行い、許容できる最大の寸法と最小の寸法を有するマスタパターンを作製し、被検査物から得た画像データをこのマスタパターンと比較することで欠陥を発見する。このマスタパターンを作製する膨張・収縮という画像処理においては、画素毎にその周囲の画素を加減する処理が行われるが、様々な線幅が含まれる基準パターンの場合は線幅の比率によって一定の割合で膨張・収縮することが困難であった。
【解決手段】基準パターンに属する画素に背景からの距離データを付与し、周辺の画素に自分より大きな距離データがなくなるまで画素を削除し、基準パターンの骨格を代表する骨格パターンを作製する。この骨格パターンに属する画素が有する距離データに所定倍率をかけた範囲にある画素をマスタパターンとする。 （もっと読む）