マルチコアファイバを使用して形状センシングを行うための正確な測定方法および装置が開示される。マルチコアファイバの中のコアのそれぞれに対して、マルチコアファイバの上のある点までの光学長の変化を検出する。検出した光学長の変化に基づいて、マルチコアファイバの上のその点における、位置および／またはポインティング方向を求める。測定の精度は、マルチコアファイバの上のその点までのマルチコアファイバ光学長の０．５％よりもよい。好適な実施例では、測定するステップは、検出した光学長の変化に基づいて、少なくともマルチコアファイバの一部分の形状を測定するステップを含む。
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【課題】蒸気流を阻害しない構造であって、多方向に飛散する液滴を迅速かつ高精度に計測できる蒸気タービン内の液滴計測装置を提供する。
【解決手段】光ファイバ１に液滴Ｄが当たることにより液滴径と速度を計測する蒸気タービン内の液滴計測装置において、光ファイバ１を内部に格納する液滴防護筒２と、液滴防護筒２の内部で光ファイバ１を支持する支持板４_１とを備え、支持板４_１に液滴流出孔５_１を設けた。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、光源部からの光を干渉計本体部に導入するファイバを光源部に対して容易に着脱することができるようにする。
【解決手段】光源部５２、干渉計本体部、およびファイバ１２を有し、光源部５２からの平行光３１ａをファイバ１２の入射端に入射してファイバ１２の出射端から干渉計本体部の内部に導入する干渉計であって、ファイバ１２の入射端側を保持するとともに、光源部５２に対して着脱可能に設けられたファイバ保持部材２５と、ファイバ保持部材２５の内部に、ファイバ１２の入射端に焦点位置を合わせて配置された集光レンズ２６と、を備え、光源部５２は、平行光３１ａを出射するレーザ光源２０と、ファイバ保持部材２５を着脱可能に保持し、装着時に平行光３１ａが集光レンズ２６の光軸に沿って入射するようにファイバ保持部材２５を位置決めする固定部材２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に取り付ける際に光ファイバーが折れたり、破断したりするのを防止すると共に、計測精度の向上を図る。
【解決手段】本発明に係るセンサー１０は、縦糸１１に略直交するように横糸１２が織り込まれて形成された織物１３を備え、織物１３の縦糸１１と横糸１２のうちの少なくともいずれか一方の繊維に光ファイバー１４が含まれていることを特徴とし、光ファイバー１４はＦＢＧセンサーとして機能してもよい。 （もっと読む）

【課題】オブジェクト表面上のポイントの三次元位置情報を測定する好適な装置および方法を提供すること。
【解決手段】一実施形態において、上記方法は、スペクトル分布を有する２つの放射ソースを提供する工程と、上記ソースの各々で上記表面を照射して第１の縞パターンを生成する工程と、上記第１の縞パターンを第２の位置に移動させる工程と、第１のラップされたサイクルマップを生成する工程と、該第１の縞パターン中の縞数を推定する工程と、該第１の縞パターンを変化させる工程と、該第２の縞パターンを第２の位置に移動させる工程と、第２のラップされたサイクルマップを生成する工程と、該第２の縞パターン中の縞数を推定する工程と、上記第２の縞パターンおよび上記第２のラップされたサイクルマップ中の推定された縞数に応答して位置情報を判定する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】計測用の光学系を大型化することなく、投影光学系の光学特性を効率的にかつ高精度に計測する。
【解決手段】投影光学系ＰＬの光学特性を計測する計測装置において、物体面の複数の計測点Ｐ（ｉ，ｊ）に配置される位相マーク２０が形成されたレチクルマーク板ＲＦＭと、計測点Ｐ（ｉ，ｊ）に対応する像面上の位置に配置される周期パターン３９が形成された蛍光膜３５と、位相マーク２０、投影光学系ＰＬ、及び周期パターン３９を通過した照明光ＩＬによって生成される検出光ＤＬを検出面に導くＦＯＰ３７と、検出光ＤＬを検出する撮像素子３８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】スケール用のパターンが形成されたパターン形成面の法線方向の位置情報を高精度に計測する。
【解決手段】スケール体２８ｅは、Ｙスケール３９Ｙ₂が形成されたパターン板４ｅと、パターン板４ｅに設けられ、Ｙスケール３９Ｙ₂を覆うカバーガラス５と、カバーガラス５の表面に形成され、互いに異なる波長域の第１の光及び第２の光に対して波長選択性を有する波長選択膜７と、を備え、波長選択膜７を介してカバーガラス５を透過する第１の光の透過率は、カバーガラス５のみを透過する第１の光の透過率より低く、波長選択膜７を介してカバーガラス５を透過する第２の光の透過率は、波長選択膜７で反射する第２の光の反射率より高い。 （もっと読む）

【課題】複数の基準座標系相互間のずれを較正する。
【解決手段】 ステージＷＳＴ１上に搭載された４つのヘッド６０_１〜６０_４のうち、互いに異なる１つのヘッドを含む３つのヘッドが属する第１ヘッド群と第２ヘッド群とに含まれるヘッドがスケール板上の対応する領域に対向する領域Ａ_０内で、第１ヘッド群を用いて得られる位置情報に基づいてステージＷＳＴ１を駆動するとともに、第１及び第２ヘッド群を用いて得られる位置情報を用いて対応する第１及び第２基準座標系Ｃ_１，Ｃ_２間のずれ（位置、回転、スケーリングのずれ）を求める。その結果を用いて第２ヘッド群を用いて得られる計測結果を補正することにより、第１及び第２基準座標系Ｃ_１，Ｃ_２間のずれが較正され、４つのヘッド６０_１〜６０_４のそれぞれが対向するスケール板上の領域の相互間のずれに伴う計測誤差が修正される。 （もっと読む）

【課題】計測用の光学系を大型化することなく、マスクの面形状の情報を効率的にかつ高精度に計測する。
【解決手段】レチクルの形状情報を計測する計測装置において、投影光学系ＰＬの物体面側に配置され、複数の位相マーク２０が形成されたパターン面を有するレチクルＲと、投影光学系ＰＬの像面側に配置され、位相マーク２０に対応して複数の周期パターン３９が形成された蛍光膜３５と、位相マーク２０、投影光学系ＰＬ、及び周期パターン３９を通過した照明光ＩＬから生成される検出光ＤＬを検出するＦＯＰ３７及び撮像素子３８と、撮像素子３８の検出信号からそのパターン面の形状情報を求める演算装置とを備える。 （もっと読む）

様々な計測システムおよび計測方法が提供される。 （もっと読む）

【目的】光損失の小さい1550nm付近の帯域光を使用するBOTDRといわゆるＣバンド帯域の波長分割多重化方式FBGとを組み合わせて測定することによって、最大10kmに及ぶ範囲のひずみ測定を高精度に行うことができる、ひずみ・変形の計測監視装置を提供する。
【構成】ＦＢＧ光測定器とＢＯＴＤＲ光測定器と、両測定器の使用を切り替える光スイッチと、光スイッチを介して両測定器に接続された光ファイバと複数個のＦＢＧセンサとにより構成された測定部とを備え、複数個のＦＢＧセンサに略１５５０ｎｍ付近の波長光を検出するＦＢＧセンサを使用してなり、光スイッチによりＦＢＧ光測定器とＢＯＴＤＲ光測定器とを切り替え、両測定器による測定が時間をずらして同一の前記測定部で行える、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ドリフトをほとんど発生させることなく、動いているターゲットを正確に測定するＡＤＭを提供する。
【解決手段】絶対距離計（ＡＤＭ）は、放出光を放出する光源を含み、スイッチ制御信号に応答して少なくとも２つの位置間で切り換わる少なくとも１つの光スイッチを有するファイバ交換網２００を含み、これらの位置の第１の位置は放出光がファイバ交換網からターゲットの方へ放出され、測定光としてファイバ交換網内へ後方反射される測定モードにし、これらの位置の第２の位置は光ビームがファイバ交換網内の基準光を含む基準モードにする。ＡＤＭは、時間的に間隔を空けて多重化した形で測定および基準光を検出し、測定ビームおよび反射された光ビームの電気信号を提供する単一チャネル検出器、それに応答した電気信号を提供する単一チャネル信号処理装置、その電気信号を処理してターゲットまでの距離を決定するデータ処理装置４００とを含む。 （もっと読む）

【課題】干渉膜厚計１００において、検査ワークの光反射率測定時に都度必要であった付随計測（特に校正サンプルの計測）を省略可能にして、測定時間の短縮や装置構成の簡単化を促進する。
【解決手段】ヘッド４の内部に光反射率一定の内部反射機構８を配置するとともに、該内部反射機構８で反射した光が、光検出器２で受光されるように構成しておき、光が実質的に導入されていない状態での光検出器２の出力値と、光を実質的に反射しないダークサンプルを用いたときの前記光検出器２の出力値と、光反射率が既知の校正サンプルを用いたときの光検出器２の出力値と、測定対象である検査ワークを用いたときの光検出器２の出力値とに基づいて、前記検査ワークの光反射率を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】露光装置の光学的像面を精度よく計測可能な装置を提供する。
【解決手段】露光装置５０により所定のマスクパターンが投影露光されて表面に半導体パターンが形成されたウェハ１０を支持するステージ５と、ステージ５に支持されたウェハ１０の表面に照明光を照射する照明系２０と、照明光が照射されたウェハ１０の表面からの光を検出する撮像装置３５と、撮像装置３５に検出されたウェハ１０の表面からの光の情報に基づいて、露光装置５０により投影露光されるマスクパターンの像面の傾きを求める画像処理部４０とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】クロマティックコンフォーカル変位計の高分解能且つ高速応答化及び小型化を可能とする。
【解決手段】対物レンズ１２に対し、測定対象（８）と反対側の共焦点に広帯域光源２２を配置し、測定対象からの反射光が戻るときの共焦点位置に空間フィルタを設けて透過させ、測定対象に合焦した波長の被測定光を抽出し、該被測定光の波長を特定することにより、測定対象の位置を測定する光学式変位計において、コリメートされて一方向に伝播される被測定光を、その伝播方向Ｚと直交する２方向のＸ、Ｙの直線偏光に分ける偏光子５２と、該２方向の直線偏光を通過させて、光波長に応じた位相差を持つ楕円偏光とする波長板５４と、該楕円偏光を、ＸＹ間の２つの方向の偏光成分に分ける偏光分離素子５６と、各偏光成分の光量を検出する受光素子５８Ａ、５８Ｂとを備え、該受光素子で検出した光量信号Ａ、Ｂを用いて、（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）の演算を行う。 （もっと読む）

【課題】画像測定装置のための入射角高速可変照射装置を提供する。
【解決手段】画像測定装置のための入射角高速可変照射装置は、ビームを第１光路部に沿うように方向付ける光源と、ビームを受けるとともにビームを第２光路部に沿うように指向させるビーム指向構成と、それぞれの入射角度をなして構成された複数の表面部を含み、ビームを受けるとともにビームを第３光路部に沿うように視野に偏向させるビーム偏向構成とを含む。ビーム指向構成は、ビーム偏向構成へ向かうビームに狭いまたは広い発散のいずれかを提供する異なるビーム指向表面部を含む。照射装置は、照射の入射角度の高速調整だけでなく、角度前後の角度の範囲（狭いまたは広い）の高速調整をも可能にする。照射装置は、高輝度遠隔光源により提供される光とともに用いるために特に好適である。 （もっと読む）

【課題】
回転対称形状であり、主に球面若しくは球面に近似できる非球面の形状で、曲率半径が小さな被測定物の表面の形状を、短時間で１ｎｍ程度の形状精度で測定可能、低コスト化可能な回転対称形状の超精密形状測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】
計測ビームが被測定物表面で反射され、反射ビームを光検出器で検出して表面の任意計測点の法線ベクトルを計測することから形状を求める法線ベクトル追跡型超精密形状測定方法において、光検出器５が受光面における反射ビームの変位を計測可能であり、光学系２の光軸と被測定物の中心線を一致させて計測ビームと反射ビームとが重なるように初期設定した後、試料系３又は光学系２の一方のみを２軸１組のゴニオメータ６，７で駆動して計測ビームで被測定物表面の測定範囲を走査し、反射ビームの角度変化からその点での法線ベクトルを算出する。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板１０の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルターが光路上に挿入され、また前記ＵＶカットフィルターの保持基板に「(1)熱線吸収膜(2)熱線反射膜及び熱線吸収膜の積層膜(3)熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜(4)熱線反射膜及び熱伝導性膜の積層膜(5)熱線反射膜、熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜の」うちのいずれかが設けられている。 （もっと読む）

【課題】一つのセンサで同時に正反射面及び乱反射面の傾き角度の測定を行うことができるチルトセンサを提供する。
【解決手段】検出領域に向けて測定用光を出射する投光部、および、検出領域で反射された測定用光を受光する受光部からなる光学系を備え、投光部は、発光素子とコリメータレンズとを具備して構成され、受光部は、正反射光測定部と乱反射光測定部とを備え、正反射光測定部は、受光レンズと受光素子とを具備し、乱反射光測定部は、受光レンズと、受光素子と、乱反射光受光ミラーと、正反射光乱反射光合成ハーフミラーとを具備して構成され、正反射光測定部の受光レンズ及び乱反射光測定部の受光レンズを１枚の受光レンズで兼用し、また正反射光測定部の受光素子及び乱反射光測定部の受光素子を１つの受光素子で兼用する。 （もっと読む）

【課題】微小穴の内径等の微細形状の測定に際して、測定の非接触化による高精度化を図ると共に、光量変化の検出という単純な検出原理によるシステムの簡素化、低価格化を図る。
【解決手段】側面がセンシング面１２Ｂであるコア１２のみで構成され、該コア１２の端面１２Ａ、または、前記センシング面１２Ｂとコア端面１２Ａとの間の該コア１２内、もしくは該コア端面１２Ａの外側の少なくともいずれか一つに反射面を有する光ファイバ１０を備え、前記センシング面１２Ｂへの誘電体ワーク１６の近接により生じる、前記光ファイバ１０に入射され、前記反射面で反射されて戻ってきた光の減衰を検出する。 （もっと読む）