【課題】被加工物の上面位置を計測する高さ位置計測装置およびレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源からの光を第１の経路に導き、反射光を第２の経路に導く光分岐手段と、第１の経路に導かれた光を平行光に形成するコリメーションレンズによって平行光に形成された光を被加工物に導く対物レンズと、コリメーションレンズと対物レンズとの間に配設され、対物レンズ側の端面に反射ミラーが形成され、光路長を伸ばす透明体からなる円筒状の基準光路長設定部材と、反射ミラーによって反射し第１の光分岐手段から第２の経路に導かれた反射光と、被加工物で反射し第１の光分岐手段から第２の経路に導かれた反射光との干渉を回折する回折格子と、回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーからの検出信号に基づいてチャックテーブルの表面から被加工物の上面までの距離を求める制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】汎用性が高く長尺化が可能であり、長手方向のどの位置においても曲げを検出でき、かつ、曲げ方向を検出することが可能なファイバセンサを提供する。
【解決手段】少なくとも１本の光ファイバ５を有するセンサケーブル２を有し、光ファイバ５は、コア７と、コア７の周囲を覆うクラッド８と、コア７の中心を軸とする同軸円上にその中心が位置するようにクラッド８に形成された複数の空孔９と、を有し、隣り合う空孔９の同軸円に沿った間隔が、少なくとも１箇所、他の同軸円に沿った間隔よりも広く且つ光の閉じ込め効果が弱い光漏洩部１０であり、センサケーブル２を光漏洩部１０が外側にくる方向に曲げた際に、光漏洩部１０が外側にこない方向に曲げたときと比較して光ファイバ５の曲げ損失が大きくなるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】
レーザ暗視野方式の基板検査装置では，照明光の可干渉性が高いことにより，酸化膜(透明膜)が表面に形成された基板の検査においては膜内多重干渉による反射強度の変動が生じる。また，金属膜が表面に形成された基板の検査においては，金属膜の表面粗さ(ラフネス，グレインなど)による散乱光が干渉して背景光ノイズが大きくなり，欠陥検出を感度低下させていた。
【解決手段】
指向性の良いブロードバンド光源（スーパーコンティニュアム光源など）を用いた低干渉かつ高輝度な照明により上記課題を解決する。また，従来のレーザ光源も併用し，光源を使い分けることでウエハの状態に応じて高感度な検査を可能とする。さらに，調整機構を設けた照明光学系により，両光源の照明光学系を共通化し，簡略な光学システムで上記効果を実現する。 （もっと読む）

【課題】マスク基板に対して洗浄加工を行なった場合の洗浄加工後にマスク基板に残る欠陥が洗浄加工プロセスによるものなのか、マスク基板自体の内部欠陥によるものなかを容易に判定する。
【解決手段】第１及び第２の受光手段に受光された散乱光に基づいて基板の両面（表面及び裏面）に存在する欠陥を検出することができるので、基板の洗浄加工の前後で両面の欠陥の存在位置をそれぞれ比較することによって、洗浄加工によって基板両面に存在していた欠陥が除去されたか否かを容易に判定することができる。すなわち、基板の洗浄加工処理によって基板から所定数の欠陥が除去されなかった場合には、マスク基板の内部に欠陥が存在する可能性が高いので、基板内部の欠陥の検出処理行い。その結果に基づいて洗浄加工によって除去できなかった欠陥が基板内部の欠陥であるのか、洗浄加工プロセスの問題によるものかを容易に判定することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】 調整の容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】 光源から射出された光を２つの光束に分割し該２つの光束を重ね合わせることによって生成された干渉光の強度の変動を観測することによって被検物の変位を計測する干渉計測装置は、複数の部分領域を有する受光領域を備え、前記複数の部分領域のそれぞれで前記干渉光を受光する受光部と、前記複数の部分領域のそれぞれでの受光結果に基づいて、前記受光領域における前記干渉光の位相分布の均一性を示す指標を求める処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転対称な線織面または互いに離間した複数の平面からなる被検面の傾斜角度、形状および径の大きさ等を短時間で測定可能な被検面測定装置を得る。
【解決手段】円錐レンズ３１と回折光学素子３２とからなる光偏向素子３０を配置し、測定光を照射する。光偏向素子３０に入射した測定光の一部は、参照基準面３１ｂにおいて参照光として反射され、その余は光偏向素子３０により放射状に偏向されて被検面７１の各部に垂直に照射される。被検面７１の各部から再帰反射された測定光の一部は、光偏向素子３０を経由し被検光として参照基準面３１ｂに戻る。この被検光と参照光の光路長差が低干渉光源１１からの出力光の可干渉距離以下となるように迂回路部１３における迂回距離の調整がなされ、撮像カメラ２３により撮像された干渉縞画像に基づき、被検面７１の各部の傾斜角度、形状および径の大きさが測定解析される。 （もっと読む）

【課題】ひずみセンサが取り付けられたひずみ計測パイプを、変形させることなく裏込材を介して切羽前方地山に安定した状態で埋設設置させて、切羽前方地山のひずみ計測を精度良く行えるようにするひずみ計測パイプの設置方法を提供する。
【解決手段】トンネルの切羽前方地山３１のひずみ変化を捉えるために、外周面にひずみセンサ１１が取り付けられたひずみ計測パイプ１０を、切羽前方地山３１に穿孔形成された計測孔１２に設置するためのひずみ計測パイプ１０の設置方法であって、ひずみ計測パイプ１０の内部に充填流体として好ましくは水１３を充填した状態でひずみ計測パイプ１０の略全体を計測孔１２に配置し、しかる後に、ひずみ計測パイプ１０の外周面と計測孔１２の内周面との間の隙間に裏込材１４を注入充填して固化させることにより、ひずみ計測パイプ１０を切羽前方地山３１に一体として埋設設置する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバーでファイバーヒューズが発生した場合に、光ファイバーの損傷を抑制するために、容易にその発生を検知し、できるだけ早く措置を取れる様にする。
【解決手段】光パルス発生器と、その出力を光ファイバーに入射する光結合手段と、発生したファイバーヒューズによる戻り光を分岐する分岐手段と、戻り光から光パルスの戻り光を選択する盧波手段と、その出力光を光電変換する変換手段と、その出力を時間の関数として測定する測定手段と、その測定手段の出力で一方向に移動する特徴点を見出す信号処理手段と、このような特徴点を見出した場合に警報信号を発する警報手段と、を備える。この警報信号で、例えば、光伝送を中断して、損傷を抑制する。特徴点を見出すには、パルスの往復時間の変化を検出するか、シングルパルスやダブルパルスまたはマルチパルスの短縮を検知する。 （もっと読む）

【課題】油田における坑井ボアの内部寸法を計測するための装置において、過酷な環境（高温または高圧）でも、使用に耐えられるものを提供する。
【解決手段】坑井ボアＷＢの内部寸法を計測するための検層システムＬＳは、坑井ボアＷＢの内部に配置されるようになされた検層工具１を備える。検層工具１はセントラライザー５を含み、全体として、検層工具１および下ノーズ５’に連結された複数の機械式アーム６、７等を含む。機械式アーム６、７等は、坑井ボア壁ＷＢＷと接触し、検層工具１が正しく位置決めされるように、半径方向に展開するとともに、坑井ボアＷＢの内部寸法を計測するために使用される光学式センサのカリパーアームを形成する。また、検層工具１は、光ファイバライン２に連結されており、適合した地表ユニット（例えば、車輛３および対応するシステム４）によって坑井ボアＷＢの内部へ展開される。 （もっと読む）

【課題】装置又は部品の加工誤差又は製作誤差や、流体固有の屈折率の影響等に起因する画像データ取得の困難性を解消し、マイクロスケールの微小流動場の流体速度等を解析するために有効な画像を単一の撮像装置によって取得する。
【解決手段】微小流動場撮影装置は、微小流動場(M)の可視化流体の粒子画像を撮像する撮像装置(11)と、撮像装置に光学的に連結した顕微鏡(12)とを備える。複数の第１反射面(17,17a)と、第１反射面の各々に対面し且つ顕微鏡の光路に配置された複数の第２反射面(16,16a)とが顕微鏡と微小流動場との間に配置される。微小流動場撮影装置は、第１又は第２反射面の角度を調整する角度調整機構と、第１又は第２反射面の位置を調整する位置調整機構とを備える。微小流動場の粒子の反射光が第１及び第２反射面によって反射して顕微鏡内の光路に入射し、異なる視点から得られた同一粒子の複数の像が撮像装置の単一の結像面に結像する。 （もっと読む）

【課題】 安定且つ高速に被検体の光学プロファイルを測定することができる周波数偏移干渉計及びその方法を提供する。
【解決手段】 連続同調型光源１６により被検体１２の光学プロファイルを測定する周波数偏移干渉計１０が提供される。被検体１２の一連の干渉画像が捕捉されると共に、干渉画像が形成された時のビーム周波数が取得される。捕捉された被検体の干渉画像から、監視ビーム周波数が所定のビーム周波数間隔パターンに略一致する限定された数の干渉画像が選択される。選択された干渉画像に基づいて更に処理が継続される。 （もっと読む）

【課題】表面反射と裏面反射を有し、且つ、厚さを有する物体のチルト角と厚さを同時に測定できる厚さチルトセンサを提供する。
【解決手段】厚さチルトセンサは、測定対象物に向けて測定用光を出射する投光部と、測定対象物の表面反射光及び測定対象物の裏面反射光を受光する受光部とからなる光学系を備えており、投光部は、投光素子と投光レンズと平行光を細くする手段とを具備し、平行光を細くする手段により得られた細い平行光を測定用光とし、受光部は、表面反射光を受光するチルト角測定部と、表面反射光及び裏面反射光を受光する厚さ測定部とを具備し、チルト角測定部は、チルト角測定用受光レンズとチルト角測定用受光素子とを具備し、測定対象物のチルト角を測定し、厚さ測定部は、厚さ測定用受光レンズと厚さ測定用受光素子とを具備し、測定対象物の厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】ズームレンズの変倍動作により移動する入射瞳の位置に対物レンズの射出瞳の位置を略一致させるように構成された結像光学系、及び、この結像光学系を有する形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００に用いられる結像光学系３０は、測定物体の像を結像する対物レンズ２５と、この像を変倍するズームレンズ３２と、変倍動作により光軸に沿って移動するズームレンズ３２の入射瞳の位置に、対物レンズ２５の射出瞳の位置を略一致させる瞳移動光学系としてのリレーレンズ３１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】被測定面の位置をその反射率に左右されず、安定して高精度に測定し得る共焦点分光方式の光距離計及び距離測定方法を提供する
【解決手段】光距離計２１は、白色光源２２からの照明光を複屈折板２７により常光成分と異常光成分とに分離し、被測定面３４ａの光軸上の異なる位置で結像するように投射する。被測定面からの反射光を合波し、回折格子２９により波長毎に分散させ、複屈折板３０により再び常光成分と異常光成分とに分離して撮像素子３１に入射させる。信号処理部３３が、撮像素子から出力された電気信号を処理して常光成分及び異常光成分の光強度Ｐ１，Ｐ２を検出しかつ差分ΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２を算出する。差分ΔＰが０となる波長λ０を検出することによって、被測定面の位置が求まる。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の上面位置を正確に計測することができる高さ位置計測装置を提供する。
【解決手段】高さ位置計測装置は、発光源からの光を第１の偏波保持ファイバーと第２の偏波保持ファイバーに導く光分岐手段と、光照射光路に導かれた光を平行光に形成する第１のコリメーションレンズと、平行光に形成された光を偏光する１／４波長板と、対物レンズと、第１の反射光と第２の反射光とを平行光に形成する第２のコリメーションレンズと、第１の反射光と第２の反射光との光路長を調整する光路長調整手段と、第１の反射光と第２の反射光との干渉を回折する回折格子と、回折格子によって回折した第１の反射光と第２の反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーと、検出信号に基づいて分光干渉波形を求め分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行する制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】例えばマニピュレータを構成する径が細い管状の細径管の内部にも配設可能な光ポテンショメータ、及び該光ポテンショメータを具備するマニピュレータを提供すること。
【解決手段】一端が閉じられた金属パイプ１１４と、金属パイプ１１４に対して入れ子構造の関係を有し、金属パイプ１１４をその長手方向に移動可能に案内する金属パイプ１１２と、金属パイプ１１４内部に光を供給する光源１２２及び光ファイバ１１８と、金属パイプ１１４内部からの反射光量の変化を検出する光パワーメータ１２４と、を光ポテンショメータに具備させる。金属パイプ１１４は、その長手方向に沿ってスリット１３２を備え、光パワーメータ１２４は、金属パイプ１１４の長手方向における移動に伴って生じるスリット１３２の開口量の変化に起因する金属パイプ１１４内部からの反射光量の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】高い空間分解能を維持しつつ、歪み又は温度を高感度且つ高精度に計測することができる分布型光ファイバセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、光ファイバ１０と、レイリー散乱現象を利用して光ファイバ１０の歪み又は温度に基づくレイリー周波数シフト量Δνｒを計測するレイリー計測手段１１と、レイリー周波数シフト量Δνｒから光ファイバ１０の歪み又は温度を算出する算出手段とを備え、レイリー計測手段１１は、スペクトル拡散方式を用いた光パルスを生成してこの光パルスを光ファイバ１０内に入射させる光パルス出射手段１３と、光ファイバ１０から射出される光に対してスペクトル拡散方式に対応したパルス圧縮を行う整合フィルタ５５１と、整合フィルタ５５１で圧縮された光に基づいてレイリー散乱現象に係る光を検出する検出手段５６０とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造物にひび割れが発生した場合に、そのひび割れの発生を、光ファイバを使用した簡易な構成でより確実に確認することができるひび割れ検知センサを提供する。
【解決手段】可視光が導入される光ファイバ２であり、その全長内の一部の区間部分２axが、検知対象部Ｗに発生するひび割れに応じて破断するように検知対象部Ｗに固定される光ファイバ２と、区間部分２axを被覆するように光ファイバ２に装着されており、区間部分２axが破断した状態で光ファイバ２に可視光を導入した時に区間部分２axの破断箇所から漏出する可視光を透過させつつ散乱させる可視光散乱機能と区間部分２axの防水を司る防水機能とを有する被覆部材３とを備える。 （もっと読む）

【課題】可干渉距離を超える奥行きを持つ被測定体の表面形状を迅速に測定できる装置を提供する。
【解決手段】フォトカプラ１３との間の光路長に差を設けられて配置される参照ミラー２５１、２５２、２５３、２５４、２５Ｎを有する参照光生成部２０を備える。参照ミラー２５１、２５２、２５３、２５４、…２５Ｎは、この順に可干渉距離ΔＺの光路長差を設けて配置されている。走査軸２４を中心に走査ミラー２３を揺動させることで、走査ミラー２３による反射光を参照ミラー２５１、２５２、２５３、２５４、…２５Ｎに順に照射することができる。 （もっと読む）

【課題】巻線端部コンポーネント対の相対変位をモニタするためのシステムの提供。
【解決手段】巻線端部コンポーネント１０２，１０４に取り付けられる構造体と構造体の非湾曲面１２６に取り付けられるファイバ・ブラッグ回折格子１１６を備える。ファイバ・ブラッグ回折格子１１６は、ファイバ・ブラッグ回折格子１１６の歪みに基づくそれぞれの波長にピーク強度を有する入射放射を反射するように構成されている。構造体は、巻線端部コンポーネント対１０２，１０４の相対変位の全範囲に渡って、構造体に生じる歪みがファイバ・ブラッグ回折格子１１６の歪みの大きさを所定の範囲に限定するように構成されている。 （もっと読む）