【課題】 掘削作業を行う際に、より確実かつ容易に、地下埋設物への損傷を監視する。
【解決手段】 地下埋設物１００の上方に埋設された光ファイバ２と、光ファイバ２の一端から光パルスを入射し、反射された光に基づいて光ファイバ２における曲げや切断などの異常を検出する検出器３とを備える。地下埋設物１００の埋設場所を油圧ショベル１０１で掘削すると、バケット１０１ａがまず光ファイバ２に当たり、光ファイバ２が曲がったり切れたりし、検出器３によって光ファイバ２の異常が検出される。 （もっと読む）

【課題】評価ユニットとたわみボディとの間に生じるノイズの影響を受けにくい、光ファイバー手段を用いた干渉法原理による、たわみ測定機器を提供すること。
【解決手段】第１の光ファイバー手段と第２の光ファイバー手段は、たわみボディにのみ配置されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は入力側で、ビーム源を備えた唯一の光供給ファイバーと接続されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は出力側で、評価回路を備えた唯一の光評価ファイバーと接続されている。 （もっと読む）

【課題】
光干渉を用いた変位計測装置において、プローブ光路と参照光路とが空間的に分離して
いるため、空気の揺らぎ等による温度分布や屈折率分布、あるいは機械振動が生じた場合
、両光路間で光路差が変動し、測定誤差となってしまう。
【解決手段】
プローブ光の光軸と参照光の光軸を外乱の影響を受けない距離まで近接させて、プロー
ブ光を対象物に、参照光を参照面に各々照射し、その反射光同士を干渉させ、生じた干渉
光から対象物の変位量を求める （もっと読む）

【課題】光ファイバの設置毎に、事前に試験を行う必要がなく、不均一なひずみを有する変位であっても、正確に変位を計測することができる光ファイバ構造物変位計測装置及びその計測方法を提供する。
【解決手段】構造物２０は、非直線形状であり、かつ変位が発生した場合に不均一なひずみが発生する構造物である。構造物２０に固定された光ファイバ１に発生するブリルアン散乱光を検出して、ブリルアン散乱光から観測パワースペクトルデータを計測する。一方、構造物の変位の大きさに対応して発生するブリルアン散乱光のモデルパワースペクトル形状を理論的に算出し、このモデルパワースペクトル形状を観測パワースペクトルデータにあてはめる。あてはめられた最も適合する曲線形状のモデルパワースペクトル形状に基づき、構造物の変位を算出する。 （もっと読む）

【課題】２つの表面領域を同期測定できるクロマティックポイントセンサ装置（ＣＰＳ装置）の動作方法を提供すること。
【解決手段】２光束アッセンブリが取り付けられた１光束ＣＰＳ光学ペンを用いたセンサ装置の第１測定光束および第２測定光束を、それぞれ第１表面領域および第２表面領域に位置合わせする。２つの反射光が２光束ＣＰＳの共焦点開口部を通過する。第１測定光束および第２測定光束にそれぞれ起因する第１測定および第２測定を含んだ少なくとも１の測定セットを実行する。様々な位置での測定セットの実行のため、少なくとも第１表面領域を移動させる。各測定結果は、極めて良好な分解能（例えば、少なくとも１０ｎｍの分解能）で決定される。本センサ装置と動作方法は、干渉計または他の高額で複雑な構成要素を使わないで、高い分解能と精度を必要とする測定に適用できる。 （もっと読む）

【課題】画像処理によらず、測定位置を適切に調整することができるエッチングモニタリング装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るエッチングモニタリング装置は、光源１０から被処理基板Ｓ上に導入される入射スポット光の照射位置を移動させるための微小移動ステージ１６と、被処理基板Ｓ上を入射スポット光の光径以下の間隔で走査した照射位置の各々に対し、CCDラインセンサ１８により取得される検出信号から干渉成分の強度を取得する干渉強度取得部２５と、干渉強度取得部２５により取得された干渉成分の強度に基づき、その強度が最大となる被処理基板Ｓ上の位置を探索し、その位置をエッチング深さの測定位置とするよう照射位置を移動させる測定位置決定部２６と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度が変化しても安定した検出精度を得ることができる光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置は、照射光を出射する照射部ＥＵと、照射光が対象物に反射することによる反射光を少なくとも受光する受光素子ＰＤと、受光素子ＰＤからの受光検出信号を増幅する増幅部１００と、増幅部１００が出力する信号に基づいて、対象物の位置特定情報を検出する検出部２００と、位置特定情報に基づいて対象物の位置を判定する判定部３００と、温度を検出する温度検出部ＴＳＵと、温度検出部ＴＳＵの検出結果に基づいて、増幅部１００が有する回路素子の回路定数ＣＮＴを設定する処理を行う制御部４００とを含む。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドに起こった環境状態の異常を検知することができる光学式センサを実現する。
【解決手段】本発明に係る光学式圧力センサ１のセンサヘッド２は、光源５から発せられた光を伝送する出射用光ファイバ１０と、出射用光ファイバ１０の端面に対する相対位置が圧力に応じて変位し、出射用光ファイバ１０の端面から出射された光を反射する反射板１５と、反射板１５が反射した光が入射される端面を有し、入射した光をそれぞれ第１および第２光検出器６・７に伝送する第１受光用光ファイバ１１および第２受光用光ファイバ１２とを備え、さらに、センサヘッド２内の湿度の変化に応じて、出射用光ファイバ１０の伝送損失を変化させる損失変化部１６を備える。 （もっと読む）

【課題】安定した検出精度を得ることができる光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置は、検出用光源部ＬＳ１、ＬＳ２と調整用光源部ＬＳＤとを有する照射部ＥＵと、照射部ＥＵからの照射光が対象物に反射することによる反射光を少なくとも受光する受光素子ＰＤと、受光素子ＰＤからの受光検出信号を増幅する増幅部１００と、増幅部１００が出力する信号に基づいて、対象物の位置特定情報を検出する検出部２００と、位置特定情報に基づいて対象物の位置を判定する判定部３００と、調整用光源部ＬＳＤの発光時における受光素子ＰＤの受光結果に基づいて、増幅部１００が有する回路素子の回路定数ＣＮＴを設定する処理を行う制御部４００とを含む。 （もっと読む）

【課題】保護テープが貼着された被加工物の厚みを正確に検出し、被加工面に傷を付けることがない厚み検出装置および厚み検出装置を装備した研削機を提供する。
【解決手段】チャックテーブルに保持され加工され厚みが減少する被加工物の厚みを検出する厚み検出装置であって、被加工物の上面および下面で反射する反射光を受光したイメージセンサーの検出信号に基づき分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づき波形解析を実行し、被加工物の上面および下面で反射した反射光間の光路長差に基づき被加工物の厚みを求める第１の演算手段と、イメージセンサーの検出信号に基づき特定波長を通過する分光干渉波形の数をカウントする第２の演算手段とを備え、被加工物の厚みが所定の厚みに達するまでは第１の演算手段により被加工物の厚みを求め、被加工物の厚みが所定の厚みに達したならば第２の演算手段により被加工物の厚み減少量を求める。 （もっと読む）

【課題】
１本の光ファイバにより歪と温度の両方を測定し、より正確な歪情報を測定することが可能であると共に、コストの増加を抑制した光測定システムを提供すること。
【解決手段】
光ファイバを用いて温度及び歪みを測定可能な光測定システムにおいて、１本の光ファイバ２を用いて温度及び歪みに係る測定光を検知し、測定対象物に配置された該光ファイバの一部に、該測定対象物から該光ファイバに加わる応力を遮断するシールド部材３が配置され、該シールド部材内に配置される該光ファイバの状態に基づく測定光から温度を検出する温度検出手段と、該シールド部材以外に配置される該光ファイバの状態に基づく測定光から歪みを検出する歪検出手段と、該歪検出手段の結果を、該温度検出手段の結果で補償する温度補償手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 同一の測定対象物について、干渉反射光の光強度分布を繰り返し取得することにより、高精度の膜厚測定を行う干渉膜厚計を提供する。
【解決手段】 検出光を生成する光源と、検出光の参照面による反射光及び測定対象物による反射光からなる干渉反射光Ｌ３を生成する干渉光学系と、干渉反射光Ｌ３を分光する分光手段と、分光された干渉反射光Ｌ３を検出し、波長ごとの光強度分布を取得する光強度分布取得手段と、光強度分布に基づく特性曲線について、空間周波数ごとの特性強度分布を求める特性強度分布算出手段と、タイミングを異ならせて取得した２以上の光強度分布からそれぞれ求められた２以上の特性強度分布を合成する特性強度合成手段と、合成後の特性強度分布に含まれる２以上のピークの空間周波数に基づいて、測定対象物の膜厚を算出する膜厚算出手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】可動基板上に改良された発光蛍光体構造を有する蛍光体点光源を提供する
【解決手段】蛍光体点光源素子は、基板と、基板上に配置された発光蛍光体粒子を備えることで、動作トラック領域の平坦な動作表面の近くに密集状態の粒子配置を有する円形の動作トラックを提供する。動作トラック領域は、高輝度点光源を提供する点において照射されながら回転される。密集状態の粒子配置は、キャビティ内の蛍光体粒子を回転させてキャビティ周辺の基板上で蛍光体を圧縮することにより、または他の機械的な圧縮方法により達成され得る。密集状態の粒子配置を、キャビティを囲む形成要素に当てて圧縮するか、機械加工することにより、平坦な動作表面を提供することができる。蛍光体粒子に浸透した接着結合剤を硬化させることで、密集状態の粒子配置を固定することができる。 （もっと読む）

【課題】非接触で口腔内から患者、歯科医師の負担を軽減させながら直接歯科用補綴物の三次元形状データを取得して、正確な歯科補綴物を製造する。
【解決手段】被写口腔内物を静止的に撮影する画像データ化手段、計測時に被計測物の三次元形状が計測可能な状態で前記画像データ化手段の位置が固定された固定部位を持ち口腔内に挿入可能な大きさを持つ支持体、前記画像データ化手段で得られた撮影情報から、被写口腔内物の三次元形状を得る三次元形状取得手段を有する。 （もっと読む）

【課題】電力消費量が少なく高熱の発生を伴わずに太陽光に近い白色光で被測定物を照明できる照明手段を備えた二次元測定機を提供する。
【解決手段】
テーブル12に載置した被測定物Wに対して垂直を保持したままＸ−Ｙ方向に自在に移動する顕微鏡一体型ＣＣＤカメラ30と、顕微鏡光学系と同軸状の被測定物照明手段と、を備えた二次元測定機で、前記照明手段を、顕微鏡20の鏡筒21内のハーフミラー24と、ハーフミラー24に対応する鏡筒21側方延長位置に配置したクロスプリズム54と、該クロスプリズム54を取囲んで配置した赤,青,緑の単色ＬＥＤ52R,G,Bで構成し、単色ＬＥＤ52R,G,Bの発光がクロスプリズム54で合成されてハーフミラー24に導かれる。単色ＬＥＤ52R,G,Bの同時点灯で、太陽光に近い十分な光量の白色照明光が得られ、モニタ画面に映し出されるカラー画像が非常に見易い。照明用光源の電力消費量，発熱量が小さく、省エネルギー対策にも合致する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、比較的短時間であってｎｍオーダで、より高精度に、測定対象物の表面形状を測定し得る表面形状測定装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面形状測定装置ＳＡは、１つの測定箇所ＭＰに対し測定対象物Ｏｂの３つ以上、例えば３つの測定点Ｐ１〜Ｐ３に測定光ＭＬをそれぞれ照射するべく、測定光生成部１Ａで生成された測定光ＭＬを測定部２Ａで３つに分け、この分けられた３つの測定光ＭＬ１〜ＭＬ３を測定対象物Ｏｂの前記３つの測定点Ｐ１〜Ｐ３にそれぞれ照射し、それら３つの測定光ＭＬ１、ＭＬ２、ＭＬ３に対応する３つの反射光ＲＬ１、ＲＬ２、ＲＬにおいて、互いに共通な反射光ＲＬ２を用いるように、一対の反射光ＲＬ１、ＲＬ２および一対の反射光ＲＬ２、ＲＬ３を光干渉させ、この光干渉によって得られた第１および第２干渉光ＩＬ１、ＩＬ２に基づいて測定対象物Ｏｂの表面形状を求めるものである。 （もっと読む）

【課題】個々の光学要素が理想的に位置決めされていない場合にも、測定エラーを回避でき、更に、基準反射器を軸にして測定光束を旋回できる光学式距離測定機器を提供する。
【解決手段】光源により発光された光束は、基準反射器の中心を軸にして旋回自在である。光源から届く光束を、光束分割要素を介して少なくとも一つの測定光束と基準光束に分割する。少なくとも一つの測定光束は、測定反射器の方向に進み、そして基準光束が、少なくとも一つの測定光束に対して同一線上を基準反射器の方向に進む。測定反射器により測定光束の逆反射が、そして基準反射器により基準光束の逆反射が、光束結合ユニットの方向に行われ、その時に少なくとも一つの測定光束が、測定反射器での反射の前後で基準反射器に対して対称に延伸する。光束結合ユニットが測定光束と基準光束を干渉させる。検知ユニットを介して、距離に関係する干渉信号を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】高精度に高さ方向の位置を検出可能な変位検出装置を提供する。
【解決手段】光源１から出射される光を２つの光束に分割する第１の光束分割手段３と、分割された第１の光束を反射する反射部材８と、第１の光束分割手段によって分割された第２の光束を被測定面上に集光する対物レンズ５と、反射された第１の光束と、被測定面によって反射された第２の光束との干渉光を受光する第１の受光手段３０と、受光した干渉光強度に基づいて被測定面の高さ方向の相対位置情報を出力する相対位置情報出力手段６０と、第２の光束の一部を取り出す第２の光束分割手段２０と、取り出された第２の光束に非点収差を発生させる非点収差発生手段１０と、非点収差が発生した第２の光束を受光する第２の受光手段４０と、検出された受光強度に基づいて被測定面の高さ方向の絶対位置情報を出力する絶対位置情報出力手段５０とを含む。 （もっと読む）

【課題】被測定面の面粗度、汚れ、微細なゴミ等の付着によって被測定面の変位量の測定に誤差が生じる可能性を減少させる変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置１では、対物レンズ３が光源２からの出射光を被測定面１０１に向けて集光する。被測定面１０１からの反射光の光路は、分離光学系４により光源２から出射光の光路と分離される。分離光学系４を通った反射光は、集光手段７により集光され、非点収差発生手段８により非点収差が発生した状態で受光部９に入射する。位置情報生成部１０は、受光部９で検出した光量から得られるフォーカスエラー信号を用いて被測定面１０１の位置情報を生成する。そして、集光手段７、非点収差発生手段８又は受光部９は、対物レンズ３により集光された出射光の焦点が被測定面１０１の奥側に位置するときに、フォーカスエラー信号の値が０になるように光軸上の位置が設定されている。 （もっと読む）

【課題】粉塵や飛沫のある場所でも撮像や検出が可能な光学検出装置を提供する。
【解決手段】気体供給孔１９８,１９９は、圧縮空気源から内部空間１９２へ与圧気体を供給する。気体供給孔１９８,１９９を通して内部空間１９２に供給された気体は、開口１９３からハウジング１９１の外部に噴き出される。開口１９３から気体を噴き出すことで、切削液や削り屑又はその混合物による検出部１９５のレンズあるいは照明部１９７の汚染を防止できる。また、開口１９３がオリフィスの役割をし、気体の流速を増加させ、ワーク上の切削液等を吹き飛ばすことができる。 （もっと読む）