【課題】参照光の位相設定精度に限界がある場合でも、測定対象物による位相シフト量を用いた計測する光位相測定装置を提供する。
【解決手段】コヒーレント光源８１、光源よりの光波を２分岐する光分岐手段８２、光波のうちの参照光波８９を周波数ωｍで位相変調する位相変調手段８３ａ、分岐された後に被測定対象物８５を透過又は反射した信号光波と位相変調された参照光波８９とを合成する光合成手段９７と、合成された干渉光の強度を測定する光強度測定手段８８を有する光干渉計を備えた光位相測定装置で、干渉光の強度を一定の時間に亘って取得し、取得した時系列の強度信号をフーリエ変換し、位相変調の周波数ωｍの整数倍の周波数成分のうち少なくとも２つの成分の光強度を演算して、位相変調手段の変調指数ｍを同定して、該変調指数ｍに基づいて前記被測定対象物８５による信号光波の位相変化量φを算出する演算手段９５を備えた光位相測定装置。 （もっと読む）

【課題】
試料表面に非接触で超音波励起を行い、超音波を励起した点を光干渉計測する手段を用いた非接触で試料内部の観察を行うことにより、稼動部分が無く、コンパクトな構成で、高感度で非破壊・非接触に内部欠陥を検査する。
【解決手段】
検査対象の試料から離れた場所から超音波を発射してこの超音波を試料に照射し、この試料の表面の超音波が照射された箇所に偏光の状態が制御された偏光光を照射し、この偏光光が照射された試料の表面からの反射・散乱光のうち照射した偏光光と同じ偏光特性を持つ光を光検出器で検出し、この光検出器で検出した信号を処理して試料の内部の欠陥を検出する内部欠陥検査方法及びその装置とした。 （もっと読む）

【課題】対象物体が傾いている場合や対象物体のサイズが部分によって相違している場合でも、対象物体の位置を精度よく検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、検出用光源１２から検出光Ｌ２を出射し、検出対象空間１０Ｒの対象物体Ｏｂで反射した検出光Ｌ２の一部を光検出器３０で受光して対象物体Ｏｂの位置を検出する。また、入射光選択部２０は、検出対象空間１０Ｒ（空間１０Ｒ1、１０Ｒ2、１０Ｒ3）のうち、一部の空間についてはこの一部の空間から光検出器３０への反射光Ｌ３の入射が許容された選択状態とし、他の空間については他の空間から光検出器３０への反射光の入射が阻止された非選択状態とする。また、入射光選択部２０は、選択状態とされる空間および非選択状態とされる空間をＺ軸方向で切り換える、 （もっと読む）

【課題】移動体の絶対位置を高い精度で求めること。
【解決手段】絶対位置測定装置は、移動体２に形成された２つの減圧空間部３，２３に個々に収容されて、中心波長が単一の光源を用いて移動体に光を照射して干渉信号を得る２つの干渉計６，２５と、２つの減圧空間部の少なくとも一方を減圧して、２つの減圧空間部を互いに異なる圧力にする真空ポンプ４及び真空排気流路５，２４と、２つの干渉計より得られる干渉信号の位相を検出する２つの位相検出器１７，３５と、２つの位相検出器で検出される位相を比較する位相比較器１９と、位相比較器１９における位相比較結果に応じて原点を設定する原点信号発生器２１と、原点信号発生器２１で設定される原点を基準として移動体の絶対位置を求める絶対位置算出器２２，３７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】フィルムの表面と裏面から反射した光の分光スペクトルによるパワースペクトルのピークからこのフィルムの膜厚を測定する膜厚測定装置は、フィルムの膜厚が厚いと測定ができなくなり、また複屈折性を有するフィルムはピークが双峰性を有するので、誤差が大きくなる。本発明は、膜厚が厚くかつ複屈折性を有するフィルムでも正確な測定ができる膜厚測定方法および装置を提供することを目的にする。
【解決手段】フィルムに偏光した光を照射し、フィルムを透過した光からリタデーションを演算し、このリタデーションとフィルムの屈折率差から膜厚を演算する。膜厚が厚く、かつ複屈折性を有するフィルムの膜厚を正確に測定できる。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ素線の切断面の被覆寸法に関する特性値の測定において、ばらつきの極めて小さい、真の値を得ることである。
【解決手段】光ファイバ切断面測定方法は、光ファイバ素線１０をカッティング器により切断する切断工程と、切断された光ファイバ素線１０の切断面１０ａを加熱器３０により加熱する加熱工程と、加熱された光ファイバ素線１０の切断面１０ａの被覆寸法に関する特性値をエンドビュー測定器により測定する測定工程と、を含む。前記加熱工程において、光ファイバ素線１０の切断面１０ａの被覆表面温度を４７［℃］以上にする加熱を７［秒］以上の加熱時間で行う。 （もっと読む）

【課題】施工ブロック毎に分割して構築されるコンクリート構造物のひずみを効率の良い作業で精度良く計測する。
【解決手段】施工ブロック毎に順次コンクリートを打設して構造物を構築するものとし、一つの施工ブロックのコンクリートを打設した後、隣接する施工ブロックのコンクリートを打設するための型枠内には、先の施工ブロックに埋設された可撓管に接合して連続する可撓管を配置する。複数の施工ブロックのコンクリートの打設が終了すると可撓管１６内に光ファイバケーブル１８を挿入するとともにグラウト１７を注入し、光ファイバケーブルとコンクリート１ａとを一体化する。その後、光ファイバケーブルの一端にひずみ測定器を接続し、光パルスを入射して後方散乱光を検知する。後方散乱光の周波数の変化及び後方散乱光を検知した時間から橋桁の各位置に生じたひずみの大きさを計測する。 （もっと読む）

【課題】管状部材の内周面にひずみ検出部を簡単に接着してこの管状部材のひずみを容易に測定することができるひずみ測定装置とその製造方法及び載荷試験装置を提供する。
【解決手段】ひずみ検出部５Ａ〜５Ｌは、模型鏡ボルトＢの各検出位置Ｐ_A〜Ｐ_Lに発生するひずみを検出する光ファイバ式のひずみゲージである。挿入部材１０は、模型鏡ボルトＢの内周面にひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを接着するために、このひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを接着剤層１１によって外周面に保持した状態で、この模型鏡ボルトＢに挿入される。挿入部材１０は、ひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを模型鏡ボルトＢ内に案内し検出位置Ｐ_G〜Ｐ_Lに位置決めするための治具として機能する。接着剤層１１は、挿入部材１０の外周面に装着された多孔質材に流動性接着剤を含浸させて形成されている。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させてガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３９で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からのサーボ用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させて、ガラス管Ｇにおける測定用レーザ光の照射位置又はその近傍位置にＺ軸方向から照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからのサーボ用レーザ光の反射光を受光し、Ｙ軸方向エラー信号生成回路１１９、Ｙ軸方向サーボ回路１２０及びＹ軸方向ドライブ回路１２１が、モータ３６を駆動制御することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するようにガルバノミラー３５のＸ軸線周りの回転をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】ブラッグ波長の推定誤差を低減し、且つＲ値−波長特性を容易に校正することを目的とする。
【解決手段】FBGセンサ部１を含む光ファイバ２と、広帯域光源３と、光サーキュレータ４と、光学フィルタ５と、第一の光電変換器６と、第二の光電変換器７と、第一の出力電圧（ＶＴ）及び第二の出力電圧（ＶＲ）により無次元量のＲ値を算出する処理部９と、予め取得したＲ値と−ブラッグ波長特性を用いてFBGセンサのブラッグ波長を推定する波長推定部１０とを備え、
処理部は、光学フィルタ５の波長における透過率（ＰＴｘ）と、第一の光電変換器６の波長において正規化された第一の光電変換特性（ＬＥＴ）との積、及び光学フィルタ５の波長における反射率（ＰＲｘ）と、第二の光電変換器７の波長において正規化された第二の光電変換特性（ＬＥＲ）との積を用いてＲ値−ブラッグ波長特性を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】回転駆動される被測定物１の回転軸１ａにロータリエンコーダ２の回転軸３を取り付けるとともに、被測定物１の回転軸１ａとロータリエンコーダ２の回転軸３との偏心を許容するように、ロータリエンコーダ２の回転軸３に直交する面内におけるエンコーダ本体２ａの変位を一定の遊び範囲内に規制し、被測定物１の回転軸１ａに対するロータリエンコーダ２の回転軸３の偏心量を非接触で検出し、ロータリエンコーダ２の読取部の読み取ったコードに基づいてロータリエンコーダ２の回転軸３の回転角度を測定し、ロータリエンコーダ２を用いて測定された回転角度を、少なくとも前記検出された偏心量に基づいて、補正する。 （もっと読む）

【課題】計測時間を短縮化でき、装置構成が複雑化することを防ぐ。
【解決手段】三次元形状測定装置１は、測定対象物１１上に投影パターンを照射する投影部１３と、測定対象物１１を撮像する撮像部１４と、投影部１３に縞パターンを照射させ、照射させる縞パターンの位相を変化させながら、撮像部１４に測定対象物１１を繰り返し撮像させるとともに、測定対象物１１上に照射させた縞パターンの画像を複数取得する第１の制御部と、第１の領域のみに所定の光を照射させて撮像した第１の画像と、第２の領域のみに所定の光を照射させて撮像した第２の画像とを取得する第２の制御部と、第１の画像と第２の画像との差分に基づいて、縞パターンに含まれる縞の夫々を識別する基準線を検出する基準線検出部と、基準線に基づいて、測定対象物１１の三次元形状を測定する形状測定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】回転駆動される被測定物１の回転軸１ａにロータリエンコーダ２の回転軸３を取り付けるとともに、被測定物１の回転軸１ａとロータリエンコーダ２の回転軸３との偏心を許容するように、ロータリエンコーダ２の回転軸３に直交する面内におけるエンコーダ本体２ａの変位を一定の遊び範囲内に規制し、ロータリエンコーダ２のエンコーダ読取ヘッドの読み取ったコードに基づいてロータリエンコーダ２の回転軸３の回転角度を測定するとともに、非接触角度検出手段２０によりロータリエンコーダ２の回転軸３の回転角度測定開始時点からのエンコーダ本体２ａの変化した角度を検出し、ロータリエンコーダ２を用いて測定された回転角度を非接触角度検出手段２０で検出されたエンコーダ本体２ａの変化した角度に基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】
ＦＢＧセンサを用いた計測方法およびその装置において、1箇所のＦＢＧセンサに対して歪みと温度を感知するＦＢＧ部と温度のみを感知するＦＢＧ部に分けることで、歪みと温度を同時計測することができるようにする。
【解決手段】
コアに回折格子を形成した光ファイバの一部を被測定物の歪みに依存する状態で固定し、コアに回折格子を形成した光ファイバの他の部分を被測定物の歪みに依存しない状態で固定し、光ファイバの被測定物の歪みに依存する状態で固定した部分から検出された信号と光ファイバの被測定物の歪みに依存しない状態で固定した部分から検出された信号とを用いて被測定物のひずみと温度とを計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】白色干渉法を用いて、μメートルオーダの高精度で測定対象物の位置を決定し、さらに測定対象物の振動周波数をｋＨｚオーダの高速で検出でき、かつナノメートルオーダの振動変位量を測定できる振動測定装置及び振動測定方法を提供する。
【解決手段】白色光を参照光と測定光に分割する光カプラと、参照光の進行方向を変える光学素子、参照光の進行方向を反転する反射素子、光学素子を往復移動させる直動ステージ及び光学素子の位置を取得するスケールヘッドからなる参照光路長スキャナ部と、測定光を発散又は収束させる集光レンズと集光レンズを移動させるレンズ移動機構からなるセンサ部と、反射して返った参照光と測定光を合成して干渉信号を出力する光検出器と、所定時間取得した干渉信号の強度を高速フーリエ変換処理で解析して、測定対象物の振動周波数及び振動変位量を求める処理装置とからなる振動測定装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】測定対象物上に薄膜が形成されている場合でも、測定対象物の温度を従来に比べて正確に測定できる温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を、基板上に薄膜が形成された測定対象物の測定ポイントまで伝送する工程と、基板の表面での反射光による第１の干渉波と、基板と薄膜との界面及び薄膜の裏面での反射光による第２の干渉波を測定する工程と、第１の干渉波から第２の干渉波までの光路長を算出する工程と、第２の干渉波の強度に基づいて、薄膜の膜厚を算出する工程と、算出した薄膜の膜厚に基づいて、基板の光路長と算出した光路長との光路差を算出する工程と、算出した光路差に基づいて算出した第１の干渉波から第２の干渉波までの光路長を補正する工程と、補正された光路長から測定ポイントにおける測定対象物の温度を算出する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】対象面に対して光を照射し、その反射光を検出することによって当該表面の位置を検出するにあたって、適切な出射光量の値を簡易に決定できる技術を提供する。
【解決手段】光源から、光源に対して相対的に移動する対象面（基板Ｗの上面）に対して、出射光量を変化させながら間欠的に光を照射させるとともに、その反射光の光量分布データを受光部に取得させて、対象面内の異なる位置Ｐ（１），Ｐ（２），・・・Ｐ（Ｎ）で反射した反射光の光量分布データをサンプルデータとして次々と取得していく。続いて、取得された複数のサンプルデータのうち、受光量が許容範囲内にあるものを有効データとして抽出し、有効データを与えた最大の出射光量を、位置検出を行う位置検出用光源の出射光量の最適値とする。 （もっと読む）

【課題】高空間分解能で且つ高周波数分解能を有する分布型光ファイバセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、空間分解能に基づく第１パルス光ｆ_１と周波数分解能の逆数に基づく第２パルス光ｆ_２とを位相差θを設けて合成した検査光ｆを光ファイバ１２の一端部１２ａに射出する検査光生成部２６，２７と、一端部１２ａから射出されるブリルアン散乱現象に係る光からスペクトルＶを検出する検出部３０と、ブリルアン周波数シフト量を計測する計測部４０と、を備え、検査光生成部２６，２７は、位相差θが異なる複数の検査光ｆを生成し、検出部３０は、ブリルアン散乱現象に係る光から各検査光ｆに対応するスペクトルＶをそれぞれ求める検波部３１と、スペクトルＶ同士を合成する合成部３６と、を有し、計測部４０は、合成スペクトルＶ_Ｓに基づいて前記周波数シフト量を計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の波長毎の反射率を精度良く測定することができる反射率測定装置及び反射率測定方法、並びに本発明による反射率測定装置を備えた膜厚測定装置及び本発明による反射率測定方法を含む膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】
反射率測定装置１は、照射光Ｌ１を測定対象物へ供給する測定光源３０と、照射光Ｌ１の強度及び測定対象物からの反射光Ｌ２の強度を波長毎に検出する分光検出部８０と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値を、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度の検出値に相当する値に変換する変換係数Ｋ（λ）を記録する係数記録部９２と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値及び変換係数Ｋ（λ）より求まる、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度に相当する値に基づいて、波長毎の反射率を算出する反射率算出部９３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】空孔付き光ファイバの空孔径の測定に際して、空孔付き光ファイバを切断することなく、簡便にその空孔径、空孔位置、空孔の表面粗さ、曲げ損失などの特性値を知ることができるようにする。
【解決手段】空孔付き光ファイバ３の両端にレファレンス用光ファイバ２をそれぞれ接続し、この接続光ファイバ２の両端からから測定光をそれぞれ入射して後方散乱光を計測する双方向ＯＴＤＲ測定を行い、これにより得られた２つの後方散乱光波形からレファレンス用光ファイバ２部分における相加平均値Ｉｒｅｆと、空孔付き光ファイバ３の位置ｘでの相加平均値Ｉｈｆ（ｘ）とを算出し、相加平均値Ｉｈｆと相加平均値Ｉｒｅｆとの差分（Ｉｈｆ−Ｉｒｅｆ）ΔＩを求め、予め求められた差分ΔＩと空孔付き光ファイバ３の空孔径との相関関係に基づいて、位置ｘにおける空孔径、空孔径、空孔位置、空孔の表面粗さ、曲げ損失を求める。 （もっと読む）