【課題】巻線端部コンポーネント対の相対変位をモニタするためのシステムの提供。
【解決手段】巻線端部コンポーネント１０２，１０４に取り付けられる構造体と構造体の非湾曲面１２６に取り付けられるファイバ・ブラッグ回折格子１１６を備える。ファイバ・ブラッグ回折格子１１６は、ファイバ・ブラッグ回折格子１１６の歪みに基づくそれぞれの波長にピーク強度を有する入射放射を反射するように構成されている。構造体は、巻線端部コンポーネント対１０２，１０４の相対変位の全範囲に渡って、構造体に生じる歪みがファイバ・ブラッグ回折格子１１６の歪みの大きさを所定の範囲に限定するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの広い演算器が不要な干渉型光ファイバーセンサーシステムを提供する。
【解決手段】物理量を検知するセンシングファイバー１１ａおよびリファレンスファイバーを有する干渉計と、前記物理量の測定信号３を含む干渉光３２ａを、電気信号に変換するＯ／Ｅ変換器３３と、前記電気信号から、正弦波成分および余弦波成分を抽出するＡＭ復調器５１ａ、５１ｂと、該正弦波成分および該余弦波成分を用いて逆正接演算を行い、前記測定信号を含む信号を出力する逆正接演算器５３と、前記逆正接演算器から出力された信号の所定時間毎の差分を算出し、該差分信号を出力する差分器６１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定物の厚さや温度測定を、非接触により高精度で行うこと。
【解決手段】干渉測定装置は、スーパーコンティニューム光を放射する光源１０と、ＳＣ光を測定光と参照光とに分割する光ファイバカプラ１１と、ミラー１２と、ミラー１２の位置を調整する位置調整装置１３と、測定光と参照光との干渉強度の波長スペクトルを測定する受光装置１４と、干渉強度のスペクトルを空間座標に逆フーリエ変換して、干渉強度の空間分布を求め、その空間分布から測定物の厚さや温度を測定する干渉波形解析装置１５と、によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】モードロックレーザを用い高速で波長を掃引しても高コヒーレンス性を保つ光源を用いて光断層画像表示システムの分解能、および深達度を向上させること。
【解決手段】波長走査型レーザ光源１０に一対の回折格子３２，３３を対向して配置し、これを分散素子として用いる。この分散素子に半導体光増幅器３５を接続し、モードロック信号発生部３８よりクロック信号を与えて光信号を増幅する。このクロック信号のクロック周波数を変化させることによってクロック周波数に応じて発振波長を走査することで、高速で波長を可変でき、この光源を用いることで光断層画像表示システムの分解能、および深達度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された半導体ウエーハ等の被加工物の上面位置を計測する計測装置および計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源からの光を第１の経路に導くとともに第１の経路を逆行する反射光を第２の経路に導く第１の光分岐手段と第１の経路に導かれた光を平行光にし、この平行光を第３の経路と第４の経路に分ける第２の光分岐手段と第３の経路に配設され第３の経路に導かれた光を被加工物に導く対物レンズと、第２の光分岐手段と対物レンズとの間に配設された集光レンズと、第４の経路に導かれた平行光を反射し、この反射光を逆行せしめる反射ミラーと、第２の経路に導かれた反射光を回折する回折格子と、回折光の所定の波長域における各波長の逆数の光強度を検出するイメージセンサーと、検出信号からの分光干渉波形と理論上の波形関数に基づくフーリエ変換理論による波形解析を実行する制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】熱的に補償されたクロマティック共焦点センサ用のレンズ構成を提供する。
【解決手段】熱補償を含む色分散レンズ構成が色範囲感知用のクロマティック共焦点センサ光学ペンに用いられ得る。レンズ構成は負の屈折力の複レンズおよび正の屈折力のレンズ部分を含み得る。正の屈折力のレンズ部分は、クロマティック共焦点センサ光学ペンの全体的な熱感度を補償する少なくとも２つのレンズ素子を含む。熱感度を補償する正の屈折力のレンズ部分のレンズ素子は、小さくても１０ｐｐｍ／℃の範囲にある平均熱焦点ずれ係数を有する。レンズ構成は、標準の市販のクロマティック共焦点センサ光学ペンに適合する一方、色範囲感知に十分な光学性能レベルを維持する寸法で実装できる。 （もっと読む）

【課題】少なくとも裏側に高濃度ドープ層を有するシリコンウエハの厚さを測定する装置を提供する。
【解決手段】装置３４は，複数波長のコーヒレントな光を放射する光源２を有する。また，本装置は，シリコンウエハと非接触に配置され，シリコンウエハの少なくとも一部を複数波長のコーヒレントな光によって照射し，シリコンウエハからの反射光の少なくとも一部を受光する測定ヘッド３を含む。さらに，本装置は，分光器５，ビームスプリッター，及び評価装置６を含む。評価装置は，シリコンウエハからの反射光を，光コーヒレンストモグラフィー法により分析することで，シリコンウエハの厚さを測定する。コーヒレントな光は，中央波長Ｗ_Ｃを有する帯域幅ｂの複数波長で放射される。シリコンウエハの高濃度ドープ層の光吸収率を最少とする波長は，帯域幅ｂ内に存在する範囲である。 （もっと読む）

【課題】海底ケーブルの布設状況を容易に把握させること。
【解決手段】海底に布設されたケーブルに紐状部材１４０を介して連結された複数のブイ１１０と、複数のブイ１１０のそれぞれと通信可能な海底ケーブル探査装置１２０と、を備えた海底ケーブル位置把握支援システム１００において、複数のブイ１１０が、レーザー光を浮き状装置の外周方向に向かって全周にわたって送信するレーザー送信部と、外部から送信されたレーザー光を受信するレーザー受信部と、海底ケーブル探査装置１２０との間で通信をおこない、レーザー受信部によってレーザー光が受信された場合に海底ケーブル探査装置１２０に対して受信状態通知情報を送信する浮き状装置側通信部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 容易かつ正確に、集電ブラシの磨耗状態を検出、監視する。
【解決手段】 集電ブラシ１００の磨耗に追従して屈曲するように配設された光ファイバ２と、光ファイバ２の一端部から検出光を入力する発光部３と、光ファイバ２の他端部から検出光を受光する受光部４と、受光部４で受光した検出光の減衰量に基づいて、光ファイバ２の屈曲率を算出して集電ブラシ１００の磨耗状態を演算する演算処理部５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 所望の波長範囲で、安定的に発振可能で且つ高速に波長掃引可能な光源装置を提供する。
【解決手段】 発振波長を連続的に変化可能な波長掃引光源装置であって、共振器内に、光を増幅させる光増幅媒体と、該光増幅媒体より放出される光を波長に応じて分散させる第一の手段と、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成された第二の手段と、第二の手段により平行化した光束から所定波長の光束を選択する選択手段と、を備え、前記選択手段により選択された前記所定波長の光束を前記光増幅媒体に帰還させる波長掃引光源装置。 （もっと読む）

【課題】 平面、円筒、自由形状を含む各種形状の基板の外面および内面上に施したＤＬＣ薄膜の膜厚と屈折率を近赤外光を用いて精度良く測定することを目的とする。
【解決手段】 グラファイト成分を含むダイアモンド状カーボン薄膜が半透明な波長域の近赤外光を光源として利用することを特徴として垂直反射干渉スペクトル計測によって膜厚と屈折率の積を求める。
また、干渉測定する対象試料の同一点の屈折率を同一光源を用いて、傾斜入反射測定計で反射物質の屈折率のみで決まるブリュースター角を測定することで、屈折率を決定する。結果として、正確な膜厚が求まる。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、微小な曲げ変化を検出することが可能な光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサ１０は、コア１１及びコア１１の外周に設けられたクラッド１２から構成された光ファイバの、少なくともコア１１に光ファイバの光軸に非対称に、伝送する光の漏洩源となる欠陥１３がフェトム秒レーザで形成されている、光の漏洩が光ファイバセンサ１０の曲げ方向に依存する。 （もっと読む）

【課題】ファブリペロー干渉計を利用して位置を取得する装置及び方法の提供。
【解決手段】位置を取得する装置は、共焦点ファブリペロー干渉計２００を有する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ表面の膜を容易に高感度で検査することが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】表面に膜が設けられたウェハを支持するステージと、ステージに支持されたウェハの表面に照明光を照射する照明系と、照明光が照射されたウェハの表面からの反射光を検出する検出部と、検出部により検出された反射光の情報から膜の検査を行う検査部とを備えた検査装置による検査方法であって、目標膜厚および屈折率を設定する設定ステップＳ１０１と、目標膜厚および屈折率から、目標膜厚近傍における膜厚変化に対する反射率変化の特性を複数の波長毎に算出する演算ステップＳ１０２と、膜厚変化に対する反射率変化の特性に基づいて、反射率変化（すなわち感度）が最も大きくなる波長を照明光の波長として決定する決定ステップＳ１０３とを有している。 （もっと読む）

【課題】光の干渉現象を利用して検出した干渉光（光ビート信号）が正規の像を取得させるものであるのか折り返し像を取得させるものであるのかを簡易に判定することができる光干渉計測方法を提供する。
【解決手段】光源ユニットから射出された光を測定光と参照光とに分割し、前記参照光と、前記測定光が照射された測定対象１１から反射または後方散乱した光と、が干渉した干渉光を検出し、前記参照光の光路に設けられた光路長可変機構１３を駆動させて前記参照光の光路長を変化させ、前記参照光の光路長の変化に応じた前記干渉光の変化に基いて、検出された前記干渉光に基づく画像が正規の像か折り返し像かを判定し、その判定の結果に基いて前記干渉光から前記測定対象を計測する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で筐体の姿勢を速やかに判定でき、その姿勢に応じて画像の表示態様を変えることができる表示端末装置及び表示端末装置の表示制御方法を提供する。
【解決手段】表示端末装置１において、第１光センサ２１は、正面５の開口１６から正面５に対して直交して入射する光を入光路１７を介して受光する。第２光センサ２２は、正面５の開口１６から正面５に対して斜めに入射する光を入光路１８を介して受光する。第１光センサ２１及び第２光センサ２２における受光強度を、人工光と自然光とに分けてそれぞれで比較する。これにより、周囲の照明状況に応じて筐体２の姿勢を判定できる。判定された姿勢に応じて、ディスプレイ１５における画像の表示態様を制御する。 （もっと読む）

【課題】工事進捗に応じた構造物のたわみ量を算定することができる光ファイバセンサを備えた構造物のたわみ量の算定方法および装置を提供する。
【解決手段】構造物の上側のひずみと下側のひずみとを光ファイバセンサで計測し、光ファイバセンサで計測した上側のひずみと下側ひずみとの差を構造物の上下方向の高さで除算してたわみ量を規定するたわみ曲率を求め、たわみ曲率を構造物の水平方向に関して２回積分して任意の積分定数を含む数式からなる基本たわみ量を求め、基本たわみ量に対して構造物の所定の工事進捗における境界条件を適用して積分定数の値を決定し、決定した積分定数の値が代入された基本たわみ量に基づいて構造物の所定の工事進捗におけるたわみ量を算定するようにする。 （もっと読む）

【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）

【課題】光の干渉を利用した干渉測定装置において、測定精度を向上させること。
【解決手段】干渉測定装置は、スーパーコンティニューム光（ＳＣ光）を放射する光源１０と、ＳＣ光を測定光と参照光とに分割する光ファイバカプラ１１と、分散補償素子１２と、分散補償素子１２を移動させる駆動装置１３と、測定光と参照光との干渉波形を測定する受光手段１４と、によって構成されている。測定対象である測定物１５は、厚さ８００μｍのＳｉ基板である。分散補償素子１２は、厚さ７８０μｍのＳｉ基板である。つまり、分散補償素子１２は、測定物１５と同一の材料であり、測定物１５よりも２０μｍ薄い。測定物１５裏面と分散補償素子１２裏面での反射による干渉は、波長分散がほぼ打ち消されるためピーク幅が狭く、ピーク位置の測定精度が向上する。その結果、温度等の測定精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】光干渉断層画像診断を精度よく行うのに好適な基準格子等を提供する。
【解決手段】本発明に係る基準格子１００は、光干渉断層画像の診断に用いられる基準格子であって、光を透過する部材から構成され、当該部材に複数のグリッド線１１０を備え、複数のグリッド線１１０は、光干渉断層画像に表示される。そして、基準格子１００を対象物に固定し、基準格子１００及び対象物に低干渉光を照射し、当該基準格子１００及び当該対象物により当該低干渉光が反射された反射光に基づいて、当該基準格子１００及び当該対象物を測定し、基準格子１００が備えるグリッド線１１０間の測定寸法と当該グリッド線１１０間の実寸法との差に基づいて、測定された対象物の測定寸法に含まれる誤差を特定する。 （もっと読む）