パターン化と非パターン化ウェハの検査システムを提供する。１つのシステムは、検体を照明するように構成された照明システムを含む。システムは、検体から散乱された光を集光するように構成された集光器をも含む。加えて、システムは、光の異なる部分に関する方位と極角情報が保存されるように、光の異なる部分を個別に検出するように構成されたセグメント化された検出器を含む。検出器は、光の異なる部分を表す信号を生成するように構成されていてもよい。システムは、信号から検体上の欠陥を検出するように構成されたプロセッサを含むこともできる。他の実施形態におけるシステムは、検体を回転・並進させるように構成されたステージを含むことができる。１つの当該実施形態におけるシステムは、検体の回転および並進時に、広い走査パスで検体を走査するように構成された照明システムを含むこともできる。
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【課題】好適に円形エッジを有する物体の品質を、物体のエッジの確実で再現可能な検査を非常に高精度で可能なように、光学的に試験するための冒頭に記載したタイプの方法と装置を改良しさらに展開すること。
【解決手段】好適に円形エッジを有する物体の品質を、該円形エッジに光を当てる光学的に試験するための方法において、反射、屈折及び／又は回折により該物体から放射する光が測定ユニット（１）により検出され、該物体の表面及び／又は内部の欠陥が検出画像信号によって判定されることを特徴とする、物体の品質を光学的に試験する光学的試験方法。 （もっと読む）

走査システムは、対象物（４０）の定性的及び定量的不規則性を検出する１以上の立体カメラ（１０）を有する。各立体カメラセット（１０）は、２つのカメラ（１２，１４）と投影器（１６）とを有する、各カメラ（１２，１４）は、ＣＣＤマトリックス配列（１８）の配列不良による歪みと光学システムの欠損とを補正するために較正される。投影器（１６）は、測定されるべき対象物（４０）に絶対符号パターン（３２，３４，３６）を投影し、赤外、可視、紫外スペクトルの電磁気エネルギーを放射可能である。複数のカメラセット（１０）は、３次元空間（２６）の対象物（４０）の不規則性を検出可能な走査システムマトリックス（４２，４４）と結合され得る。３次元空間（２６）は、立体カメラセット（１０）の数に応じて、任意の所望の寸法であり得る。カメラ（１２，１４）からのデータは、測定の表示用にデジタル信号プロセッサ（６６）を介してコンピュータインターフェース（６４）に送信される前に、ゲートアレイ（６２）により予備処理される。結果的に、送信されるデータ量は、簡素化され、従って動作時間を減少させ、走査システムが非常に短い時間で対象物（４０）の不規則性を非常に正確に測定することを可能にする。
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【課題】本発明は、クロストークの低減された高精度な距離情報を取得可能にする距離情報入力装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様によると、輝度変調光源によって輝度変調された光が照射された前記対象物からの反射光を受光し、光電変換を行うと共に、前記輝度変調光源と同期して感度変調可能な受光素子を備えた距離情報入力装置において、前記受光素子は、光電変換部と、二つの電荷蓄積部と、二つの電荷振り分けゲートと、二つの電荷検出部と、二つの電荷転送部とを有し、前記受光素子のリセット動作と前記電荷蓄積部に蓄積された電荷を読み出す読み出し動作との間に、前記電荷振り分けゲートをオフして前記電荷蓄積部のポテンシャルを上げることによって飽和電荷量以上の余剰電子を排出する動作を少なくとも一回行なうことを特徴とする距離情報入力装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】 透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。
【解決手段】 本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物の検査装置において、解像度０．１８μｍ以下、より好ましくは０．１３μｍ以下となる照明波長と対物レンズ開口数の関係を備えた撮像光学系と、撮像光学系の結像位置に配置された光電変換器と 撮像光学系とは別に設けられた光路からなり入射角度８５度以上、より好ましくは８８度以上で照明する自動焦点光学系と、自動焦点光学系の検出信号に基づき撮像光学系の焦点位置を調節する手段と、光電変換器の電気信号を処理する手段とを、具備した構成をとる。 （もっと読む）

【課題】 位置出し用チャートが不要であり撮像素子の素子サイズも小さくて済み、装置構成の簡略化を図りつつ画像評価用チャートに対する撮像素子の位置を自動調整可能な画像評価装置を提供する。
【解決手段】 被検光学系３と、該被検光学系３の光軸上に設置された画像評価用チャート１と、前記被検光学系３を挟んで前記画像評価用チャート１に対向するように前記被検光学系３の光軸上に設置されたスクリーンの中心に撮像素子４を有する受光体５と、該受光体５のスクリーンに映出される前記画像評価用チャート１の像を撮像するＣＣＤカメラ６と、前記撮像素子４及びＣＣＤカメラ６の出力を処理し、前記ＣＣＤカメラ６で撮像した画像と前記撮像素子４との位置ずれ量を検出する画像処理装置７と、画像処理装置７にて検出した前記位置ずれ量に応じて前記受光体５及び撮像素子４の前記被検光学系３に対する位置関係を調整する移動装置８とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 多層プリント配線板の内層の各導体層の変形量を観測、記録する。
【解決手段】 多層プリント配線板６０の内層用の両面配線板６１の表裏の導体層に中実ガイドマーク２２と中空ガイドマーク２３が形成され、例えば、中実ガイドマーク２２−１ｂに、隣接した導体層に設けられた中空ガイドマーク２３−２ａが同心に配置され、隣接した導体層毎に同心に配置された中実、中空ガイドマーク２２、２３を形成する。Ｘ線カメラの視野内に納まる外形のガイドマーク枠２１内に、例えば３行３列に、同心の中実、中空ガイドマーク２２（１ａ〜５ａ）、２３（１ｂ〜５ｂ）の組が配されている。ガイドマーク群２０は多層プリント配線板の、たとえば４隅に配置され、１個のガイドマーク群は１回のＸ線照射で枠内のガイドマーク全ての像を取り込み、それらの座標値が計算される。４個のガイドマーク群内のガイドマークの座標値から、各導体層に形成された配線用パターンの変形量が計算され、結果を記録できる。 （もっと読む）

高周波成分をＳ₁＝ｃｏｓ（ω・ｔ）と理想化できる変調された周期的波形を有する光エネルギーを放射してターゲットを照射することにより、距離及び／または輝度を測る、好ましくはＣＭＯＳで実施可能な方法とシステム。放射された光エネルギーの一部分は、ターゲットにより反射され、複数の半導体光検出器のうち少なくとも一つにより検出される。光検出器の量子効率は、検出した信号を処理してターゲットと光検出器を隔てる距離ｚに比例するデータを作り出すために変調されている。検出は、放射された光エネルギーと反射された光エネルギーの一部分の間の位相変化の測定することを含む。量子効率は固定位相法または可変位相法により変調でき、高められた光電荷収集、差動変調、空間的マルチプレクシング及び時間的マルチプレクシングを用いて高めることができる。光検出器の容量と動作周波数において共振するインダクターを使って、本システムの必要電力条件を削減することもできる。本システムはチップ上の光検出器、関連エレクトロニクス、処理を含む。 （もっと読む）