【課題】 ナノ粒子の粒子径等を、従来の動的散乱法に比してより高い感度で良好なＳ／Ｎのもとに測定することのできる方法および装置を提供する。
【解決手段】 媒体中に移動可能に分散させた粒子Ｐ群に対し、電極１３ａ等により空間周期を有する電界を印加することで、粒子Ｐ群により空間周期的な濃度変化を持たせて擬似的な回折格子を生成させ、その状態で粒子Ｐ群に対してレーザ光を照射して得られる回折光を検出し、電界の印加を停止した時点からの回折光の時間変化から、粒子群の拡散係数および粒子径を算出する。多数の粒子Ｐによる擬似的回折格子による回折光を検出するので、動的散乱法のように個々の粒子による散乱光の揺らぎを検出する場合に比して、信号強度が強く、感度およびＳ／Ｎの向上を可能とする。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧをセンサとする超音波計測装置を用いて超音波を検出する際に、ＦＢＧを超音波センサとして用いた場合、センサ部であるグレーティングの被検体への貼り付け方法を工夫することにより、超音波検出感度を向上させ、健全性評価の精度を高める。
【解決手段】従来はＦＢＧセンサ５のセンサ部であるグレーティング８は、その全体が被検体９へ完全に接着する（これを「完全接着」という。）方法が取られている（図１（ａ）参照）のに対して、この本発明では、ＦＢＧセンサ５のグレーティング８両端から両側方に離れた箇所のみを被検体９に接着する方法（これを「ブリッジ接着」と名づけた。）を採用し（図１（ｂ）参照）、ＦＢＧセンサ５の超音波検出感度を向上させることができる。 （もっと読む）

光ファイバコア２ａとクラッド２ｂと被覆層２ｃとを有する光ファイバー芯線２と、この光ファイバー芯線２を保持する基材３と、この基材３を構造物１に取り付けるための取り合い部材４とを備えた。
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【課題】本発明は、リソグラフィ装置およびその方法、およびデバイス製造方法に関する。特に、リソグラフィ装置でのパターン形成において、整合マーカーを整合させるためにＴＩＳ測定を使用することで生じる欠点を解消し、簡単に高精度の整合を可能にする技術を提供する。
【解決手段】本発明の一実施例によれば、第一の整合マーカーを第二の整合マーカーに対して整合させる方法が提供され、この方法によればレンズが第一および第二の整合マーカーの間に配置される。整合ビームが与えられ、この整合ビームはこのレンズを通して第一の整合マーカーを第二の整合マーカー上に結像させる。少なくとも一つの第一および第二の整合マーカーの相対位置を測定するための測定装置として、レンズ干渉計が備えられる。このレンズ干渉計により相対位置を測定して、測定した相対位置に基づいて少なくとも一つの第一および第二の整合マーカーの位置を整合させる。 （もっと読む）

【課題】 塗布条件を制御して塗布量を調整し、コート膜厚を最適化した高品位の静電潜像現像用キャリアを得る事が可能な静電潜像現像用キャリアの製造方法等の提供。
【解決手段】 コート膜塗布液を作製する工程と、
芯材である微粉体上にコート膜を光透過性の膜として塗布・乾燥させるコート膜形成工程と、
前記コート膜形成工程で塗布・乾燥された未硬化の状態で微粉体界面とコート表面との距離を膜厚として測定する膜厚測定工程と、
前記膜厚測定工程後に塗膜を硬化するコート膜焼成工程と、
冷却後解砕する工程とを備え、
前記膜厚測定工程における膜厚測定を局所計測可能な膜厚測定ユニットを用いて行い、前記膜厚測定工程で測定された膜厚に基づいてコート条件を制御しつつ前記コート膜形成工程を実行することを特徴とする静電潜像現像用キャリアの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】多層膜の膜厚の合わせこみを正確に、サンプリグ間隔が長くならず、且つ廉価に行う多層膜の膜厚制御方法、及び成膜装置を提供する。
【解決手段】１）予め、目標とする多層膜、及び各層を変動させて得られた各多層膜に、入射角を変化させて入射光を照射した際の、各反射光の色度座標を色度図上に目標とする多層膜の色度点、及び各多層膜の色度点としてプロット、２）製造された多層膜に、入射角２以上の入射光を照射した際の、各反射光の色度座標を色度図上に製造された多層膜の色度点としてプロット、３）両色度点を対比し、製造された多層膜のどの層の膜厚が、どれだけ変動しているかを判断、４）多層膜の製造条件を補正、製造する多層膜の膜厚制御する。 （もっと読む）

【課題】例えば、半導体製造プロセスやＦＰＤ製造プロセス等におけるインライン計測に好適なエリプソメトリ方式の薄膜計測装置を提供すること。
【解決手段】投光側光学系には、光源（２１）と、コリメータレンズ（２２）と、偏光子（２３）と、回転式移相子（２４）と、スリット板（２０）と、集光レンズ（２５）とが含まれる。受光側光学系には、コリメータレンズ（２６）と、検光子（２７）と、傾斜膜（２８）と、一次元ＣＣＤ（２９）とが含まれる。コリメータレンズ（２６）と一次元ＣＣＤ（２９）の受光面とは平行であり、かつそれらの距離はほぼレンズ（２６）の焦点距離（ｆ）とされる。それにより、距離バタツキ及び角度バタツキに対する耐性が向上する。 （もっと読む）

【課題】 高精度に被検光学系の光学特性を測定する測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】 上記課題を解決するため、本発明に係る被検光学系の光学特性を干渉を用いて測定する測定装置は、光源からの光により照明され、球面波を生成する球面波生成手段と、前記光源からの光を分割する光分割手段と、前記球面波生成手段と前記光分割手段とを通過し、２つの球面波となって前記被検光学系に入射した光のうち一方の光が集光する位置にスリットが配置されたスリットを有するマスクと、前記スリットを通過した光と、前記被検光学系を経てスリットを通過しない光とで形成される干渉縞を受光する受光手段とを有することを特徴としている。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明の線条体の位置検出は、線条体１の高さ方向の動きを線条体感知手段２により感知し、この動きをスライドベアリング４に伝え、チェーン１０を掛け渡したスプロケットに回転方向の動きとして変換し、この回転方向の動きを光ファイバ１３を掛け渡したターンプーリに伝えることにより、光ファイバ１３に張力変化を与え、この光ファイバ１３に書き込まれたファイバグレーティング１４からの光信号の反射波長を検知することにより行う。検知した光信号を巻き取り機や引き取り機の速度にフィードバックして線条体の位置を一定に保つようにしてもよい。
【効果】 本発明によれば、線条体の位置検出に光ファイバを用いているために電気的ノイズの影響を受けず、また遠隔監視にも適し、かつ経年故障も少ない線条体の位置検出装置及び線条体の位置検出方法を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 対象物の位置に感度が依存せず、対象物の動きを正確に把握することができる動き検出装置を提供する。
【解決手段】 対象領域に複数の輝点を投影する投影装置１１と、複数の輝点が投影された対象領域を撮像する撮像装置１２と、撮像された像上の複数の輝点の移動に基づいて、対象領域に存在する対象物の動きを測定する測定手段１４と、対象領域内の平面上で複数の輝点の隣り合う輝点の各間隔が等しくない場合に、対象物の動きを当該輝点又は当該輝点を含む領域の撮像された位置に応じて補正する補正手段２４、２４ａとを備えるので、対象物の位置に感度が依存せず、対象物の動きを正確に把握することができる動き検出装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 計測精度の向上を図ることが可能な位置計測方法を提供する。
【解決手段】 位置計測装置は、物体上に形成された周期パターンからなるマークを結像光学系を介して検出し、その検出結果に基づいてマークの位置情報を計測する。マークを含む被照射領域から得られるマーク光は、０次回折光以外の偶数次回折光が除去されており、マーク光の画像信号から、マーク光に含まれる奇数次回折光に対応する周波数成分を抽出し、その抽出された周波数成分を用いてマークの位置情報を計測する。 （もっと読む）

【課題】基板テーブル及びこの基板テーブルの移動を制御する移動制御システムを含むリソグラフィ機器を提供すること。
【解決手段】移動制御システムは、基板テーブルＷＴの位置を検出するように構築された少なくとも３つの位置検出器Ｐ１〜Ｐ５を含む。基板テーブルＷＴの位置及び向きを測定するために、各位置検出器Ｐ１〜Ｐ５は、１次元又は多次元のタイプの光学式エンコーダを備える。これらの光学式エンコーダは、合わせて少なくとも６つの位置の値を提供するように配置され、３次元の各次元ごとに少なくとも１つの位置の値が提供される。 （もっと読む）

【課題】
レーザを光源とした光学系で物体表面を照射し、その反射光を用いて物体表面位置に対する対物レンズの焦点位置を求める際、スペックル等の散乱光を抑制しオートフォーカスの精度を高める。
【解決手段】
レーザ光源２からの光束をレンズ３、多孔フイルタ２１、ビームスプリッタ４、対物レンズ５などによる光学系を介してその焦点位置近傍に設置される物体６表面を照明する。前記多孔フイルタ２１には複数の孔２２を設け、光源２からの光束がこの孔２２を通過するとき回析現象を起こし、発生した回析パターンで前記物体表面を多点に分散して照明する。この回析パターンによって分散照明された物体表面からの反射光を、発生するであろう散乱光と共に対物レンズ５、ビームスプリッタ４、シリンドリカルレンズ９、結像レンズ７を経て受光部８に投影する。受光部８はこの測定光を受けて演算部に信号を送り、物体表面位置に対する対物レンズの焦点位置を求める。

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【課題】
多モード発振するように共振器長を長くすることによって、擬似的にモードホップフリーとした波長可変光源を提供する。
【解決手段】
半導体レーザ（ＬＤ）１と、ＬＤ１のＡＲコートされている端面から出射された光をコリメートするコリメートレンズ２と、コリメートレンズ２から出射されたコリメート光を受けて波長に応じた角度で回折させる回折格子３と、回折格子３から出射されたコリメート光に対する回折光を受けて回折格子３に反射させるミラー４と、ミラー４からの反射光が回折格子３に入射されて再び回折され、それによって得られた回折光がコリメートレンズ２を介してＬＤ１に入射されるとき、ＬＤ１に入射される回折光が所望の波長の光となるようにミラー４の角度を変化させる角度調整手段５とを備えた波長可変光源において、ＬＤ１とコリメートレンズ２との間に所定の長さの光ファイバ６を備えて多モード発振するように共振器長を長くした。 （もっと読む）

光学イメージングについての方法及び関連する装置、特に３次元表面測定を実行するための方法及び関連する装置。その装置は、ダブルクラッドまたはマルチクラッドファイバを有する。ファイバを通じてサンプルへ光を透過させ、サンプルで反射された光をファイバ内に集光する幾つかの変形例が開示される。
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【課題】ベースラインを精度を維持しつつ高スループットなベースライン管理を可能にする。
【解決手段】パターンが形成されたレチクルに対して照射される照明光の照射に関する情報と、所定のモデル式とに基づいて、割り込み処理によりマーク検出系のベースラインの変動量を推定する。そして、複数枚のウエハに対する露光処理を連続的に行う場合に、所定枚数のおきにウエハの露光開始に先立って基準となるベースラインを計測しておく（ステップ１２４）。そして、そのベースライン計測間隔では、実際にベースラインを計測することなく、ウエハの上の各ショット領域の露光開始直前毎に、推定されたベースラインの変動量と基準となるベースラインとに基づいて、ベースライン推定値を精度良く算出する（ステップ１４９）。 （もっと読む）

【課題】高速道路等の橋桁の３軸方向のズレの変位を監視し、変位が許容値を超えたかどうかの判定を容易に行う。
【解決手段】本発明における第１、第２の変位センサ本体Ｓ１、Ｓ２は、それぞれＺ軸変位センサ用プローブ４を監視対象物である第１、第２の橋桁１ａ、１ｂの下面に向けて配設されている。
第１、第２の橋桁１ａ、１ｂの対向する端縁部近傍の下面には、それぞれ平板状の第１、第２段差部材１７ａ、１７ｂが取り付けられており、第１の段差部材１７ａの下面には第１の変位センサ本体Ｓ１のＺ軸変位センサ用プローブ４の先端部が、第２の段差部材１７ｂの下面には第２の変位センサ本体Ｓ２のＺ軸変位センサ用プローブ４の先端部がそれぞれ所定の弾力を維持して当接されている。 （もっと読む）

【課題】 オートフォーカシング機構においてフォーカシングを行なったときに生じるビーム位置ズレを自動的に補正できる画像形成装置および画像形成方法を提供
【解決手段】複数の画素を選択的にｏｎ／ｏｆｆして光ビームを照射する１または２以上の露光ヘッドを被露光体の被露光面に対して一定方向に走査して画像を形成する画像形成装置であって、前記露光ヘッドから照射される光ビームの焦点を前記被露光面に合わせるフォーカシングをおこなうフォーカシング手段と、各露光ヘッドを制御し、前記フォーカシングによって生じた前記被露光面における前記光ビームの照射位置のずれであるビーム位置ズレを補正するビーム位置ズレ補正手段とを備える画像形成装置および画像形成方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、前処理としての校正器具の設置・撤去作業を必要とせず、カメラの位置・姿勢や焦点距離を変えても、当該カメラの位置・姿勢や焦点距離変化に伴うカメラパラメータが精度良く校正されて撮影が行えるカメラ校正手法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の校正器具は、複数の指標点が空間的に分布固定された透過型カメラ校正器具であって、その指標点としては枠体に対し厚み方向に位置を変えて張った細線の交点として形成したもの、平行な複数の細線群を方向を異ならせて張った細線の交点群として形成し、この指標群を少なくとも２組、同一平面上でない関係で配置したもの、透明素材内に識別可能な微粒子を分布させたり、素材面に施したマークなどで具体化する。また、透過型カメラ校正器具とそれに追加された平板器具と光ビームを用いることで、個々に分離して配置された複数カメラを同一の座標系として校正を行なう。 （もっと読む）

【課題】 簡便かつ安価であり、温度変化に対して測定精度を維持する距離測定装置を提供する。
【解決手段】色分散合焦素子３０は、共鳴型外部共振器の中の半導体レーザー発振媒体１０とターゲット面４０との間に配置される。共鳴型外部共振器の一端はターゲット面４０であり、もう一方の端は半導体発振媒体の遠位面１２である。多重波長の要素を有してもよい光の合焦に色分散合焦素子３０を使用し、光の単独波長要素をターゲット面４０に正確に合焦する。ターゲット面４０に合焦された光の波長は、レーザー発振媒体１０の導波路へのフィードバック信号として、もっとも効果的に結合又は反射される。誘導放出プロセスを通じて、レーザーの出力の波長が色分散合焦素子３０とターゲット面４０の間の絶対距離に対応し、それによってターゲット面４０と色分散合焦素子３０の間の絶対距離の測定値を提供する。 （もっと読む）