【課題】被測定物の３軸回りの微小角度変化を計測可能でかつ小型化可能な３軸角度センサを提供する。
【解決手段】検出対象面１に設けられた1軸矩形格子１ａに光源から平行入射光６が投光される。1軸矩形格子１ａからの回折光反射成分７_Ｏ、７_１、７_２の光路中に4分割ＰＤ３ａ、３ｂ、３ｃを備えた。4分割ＰＤ３ａ、３ｂ、３ｃによりビームスポットの挙動を観測することで、３軸回りの微小角度変化が検出される。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の変形量の範囲が広く、それぞれのブラッググレーティングが配置される位置の変形量が異なっても、同一の構成の光ファイバ変形検知センサで精度よく変形量が測定できるので、測定位置に対応して光ファイバ変形検知センサの構成を変える必要もなく、また、測定対象物の経時変化などによって測定対象物の変形量の範囲が変化しても、光ファイバ変形検知センサの構成を変える必要もない。
【解決手段】一様断面形状を有する長尺構造体の両端を除く一部に切り欠き部を設け、この切り欠き部にブラッググレーティングの形成部が密着するように配置した光ファイバの端部に光計測器を接続し、この光計測器でブラッグクレーティングからの反射光の波長分布を計測して切り欠き部の変形量を計測する光ファイバ変形検知センサであって、長尺構造体を任意に回転して変形検知の対象物に取り付けたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フルフィールドＯＣＴを内視鏡の測定プローブに組み込み、広範囲領域を操作性よく観察するための光イメージング装置を開発することを課題としている。
【解決手段】本発明は、光源１０と該光源１０から出射される光を導くための光ファイバ１１と、光ファイバ１１から出射される光を、被測定部Ｓで反射される反射光および該反射光と異なる方向に進む参照光に分離するスプリッタ１８と、
前記反射光と前記参照光が合波した干渉光を受光する受光素子２３と、を備え、
光ファイバ１１の先端部に、光ファイバ１１から出射される光のビーム径を光ファイバ１１のコア径よりも拡大する屈折率分布型レンズ１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ正確に対象物を検索することができる対象物認識システムを提供する。
【解決手段】筐体に所定間隔を置いて配置した２つの赤色半導体レーザ光源によって花弁上に２つの輝点ａ，ｂを形成し、２つの輝点ａ、ｂ間の距離に基づいて花の大きさを算出する。 （もっと読む）

【課題】光プローブの種類を交換して使用した場合にも、高速かつ確実に断層像を得ることができる光イメージング装置を提供する。
【解決手段】当該光イメージング装置に装着された何れかの光プローブ部と接続し、被検体から戻ってきた低干渉性光と基準光とを干渉させるとともに、干渉位置を光軸に対し軸方向に走査するため所定の走査範囲に対応した伝搬時間を周期的に変化させる第１の伝搬時間変化手段と、当該光イメージング装置に装着された何れかの光プローブ部の光路長のバラツキを吸収できるだけの光路長に対応した伝搬時間を変化させる第２の伝搬時間変化手段と、互いに光路長の異なる複数種類の光プローブ部の種類に応じた複数の異なる光路を設定可能とし、当該光イメージング装置に装着された光プローブ部の種類に合わせ当該光路長を切換可能な光ディレイ部とを備える。 （もっと読む）

【課題】FBG方式（ファイバグレーティング方式）の光ファイバセンサで変位測定装置を構成することにより、１台の変位測定装置によって被測定物の傾斜角度のみならず、傾斜方向をも同時に計測することが可能な変位測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、変位測定装置であり、筐体と、筐体内部の天井面から吊下された吊り下げ部材と、吊り下げ部材に接続された錘と、錘を筐体側面の複数方向同一高さ位置から引張支持する複数本の錘引張支持材と、各錘引張支持材のひずみを計測する計測部と、 を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所定マークの投影像の位置ずれ量を計測する際に、実際のデバイスパターンの像の位置ずれ量に近い計測値を得る。
【解決手段】第１マーク上に第２マークの像を重ねて露光し、第１マークと第２マークの像との位置ずれ量を計測する計測方法において、その第２マークは、透過率が周囲の部分より低い複数のラインマーク３６Ｄ，３６Ｅを備え、所定のエッジ部３８Ａに対して内側のラインマーク３６Ｄの幅がそのエッジ部３８Ａの外側のラインマーク３６Ｅの幅よりも広く設定されている。 （もっと読む）

【課題】 擬似パターンを用いることなく、パターンが存在しない測定対象物であっても合焦点位置を確実かつ高速に検出できるオートフォーカス手段を具備したセル内膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】 薄膜パターンを形成した試料の位置決め及び測定対象セルの識別を行うための観察用照明及びその照明光学系とは別に、測定対象セルのセル内における膜厚を測定するための測定用照明及びその照明光学系を設けた。そして、測定用の照明を試料に照射して常に画像信号に微分成分を形成させることにより、測定対象物が微分成分の無いリファレンスである場合や、視野内にパターンが存在しない場合であっても、合焦点位置を確実かつ高速に検出する。 （もっと読む）

【課題】光透過性膜の膜厚測定方法において、支持基板上に設けられた光透過性の膜の膜厚を精度よく測定することが可能な膜厚測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】支持基板上の光透過性膜の膜厚測定方法において、前記光透過性膜に光を入射させ、該膜の表面で反射された光と、前記支持基板と前記光透過性膜との界面で反射された光との干渉により得られる反射光を６００ｎｍ以上の範囲にわたって分光して前記分光した反射光の光量を検出して反射率曲線を求め前記反射率曲線を反射率が既知の標準試料を用いて校正して前記反射率曲線から極小及び極大を有する反射率曲線を求め、前記極大及び極小を有する反射率曲線の前記極大及び極小での波長並びに前記光透過性膜の屈折率を用いて前記光透過性膜の膜厚を測定する方法を主たる構成にする。 （もっと読む）

【課題】 被検面の面位置を正確に検出することができる面位置検出装置を提供する。
【解決手段】 光源から供給される検出光を被検面Ｗ上に斜め方向から送光して、該被検面Ｗ上に所定のパターンを投射する送光光学系ＳＬと、被検面Ｗにより反射された検出光を集光して受光スリット上に所定のパターンの空間像を形成する受光光学系ＲＬと、受光スリットと所定の空間像とを相対的に走査させる走査手段２１と、受光スリットを介した検出光を光電変換する光電変換手段３８と、走査手段２１による受光スリットと所定の空間像との相対的な走査中の光電変換手段３８からの光電変換出力に基づいて、所定の空間像の光強度分布を求める光強度分布算出手段とを備え、所定の空間像の光強度分布に基づいて、被検面Ｗの少なくとも一点の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】複数の層を積層して形成された透過性基板内の複数の界面の位置を、光学系を用いて測定する界面位置測定において、試料内部の界面位置を高速に測定できる界面位置測定方法を提供する。
【解決手段】互いに平行な複数の界面を内部に有する基板の界面位置測定方法であって、前記基板表面に垂直な光軸を有する平行光から一軸方向にのみ集光した集光ラインを前記基板表面に対し傾けて形成し、前記集光ラインを前記基板と交差させ、前記集光ラインが前記基板で反射した反射光のうち光強度ピークを有する位置を界面とすることにより、基板内部の複数の界面を同時に測定することが出来、高速な界面位置測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】高い確度の眼底の３次元画像を形成可能な技術を提供する。
【解決手段】演算制御装置２００の画像形成部２２０は、眼底カメラユニット１Ａによる照明光の眼底反射光の検出結果を基に眼底Ｅｆの表面画像を形成し、ＯＣＴユニット１５０による干渉光ＬＣの検出結果を基に眼底Ｅｆの断層画像を形成する。制御部２１０は、眼底カメラユニット１Ａによる照明光の眼底反射光の検出タイミングとＯＣＴユニット１５０による干渉光ＬＣの検出タイミングとを同期させる。補正処理部２４０は、ＯＣＴユニット１５０による干渉光ＬＣの検出結果に基づく断層画像の画像位置を、眼底カメラユニット１Ａによる照明光の眼底反射光の検出結果に基づく２次元画像に基づいて補正する。画像処理部２３０は、画像位置が補正された断層画像に基づいて、眼底Ｅｆの３次元画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】検査時間の長時間化を回避でき、作業の手間を軽減できる光画像計測装置を提供する。
【解決手段】眼底観察装置１（光画像計測装置）は、低コヒーレンス光源１６０からの光を眼底Ｅｆに向かう信号光ＬＳと参照ミラー１７４に向かう参照光ＬＲに分割し、眼底Ｅｆを経由した信号光ＬＳと参照ミラー１７４を経由した参照光ＬＲとを重畳して生成される干渉光ＬＣをスペクトロメータ１８０で検出して眼底Ｅｆの断層画像を形成する。更に、参照ミラー１７４を参照光ＬＲの光路方向に移動させる参照ミラー駆動機構２４３と、過去の断層画像に基づく参照ミラー１７４の位置を示す参照ミラー位置情報を記憶する情報記憶部２２５とを備える。制御部２１０は、情報記憶部２２５に記憶された被検眼Ｅに関連する参照ミラー位置情報に基づく位置に参照ミラー１７４を移動させるように参照ミラー駆動機構２４３を制御する。 （もっと読む）

【課題】ころ軸受の転動体（ころ）自体のひずみを検出する方法及び装置を提供する。
【解決手段】公転センサ２３と、サーボモータ制御回路２４と、サーボモータ１５と、第１光ファイバロータリージョイント２１と、第２光ファイバロータリージョイント２２は、検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する光ファイバひずみセンサ部３と、不動位置に設置されたレーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受できるようにし、転動体（ころ）８が公転及び自転の転動運動を行っている場合においても、転動体８の転動体軸方向ひずみを出力させることができる。 （もっと読む）

【課題】伝送距離が長くなっても検出結果に誤差を生じず、正確に振動を検出する振動検出装置を提供する。
【解決手段】本体部１から光伝送路３を介してセンサ部２へ第１の光信号が伝送され、センサ部２において外部から受けた振動に応じて、第１の光信号が第２の光信号に変換される。そして、変換された第２の光信号は、光伝送路４を介して本体部１へ伝送され、本体部１で電気信号に変換された後、検出信号として出力される。ここで、光源２０から射出される第１の光信号は、所定の波長帯域の波長を含むのに対して、光フィルタ部２４から射出される第２の光信号は、その波長スペクトルが振動子３４における振動の変位に対応付けられた波長をもつ。 （もっと読む）

【課題】照明光と光学ユニットとの相対的な角度関係を計測する。
【解決手段】光源から射出される照明光と、第１の回折格子１２７ａと第２の回折格子１２７ｂとが設けられた光学ユニット２６と、の相対的な角度変化に応じて、光学ユニット２６の第１の回折格子１２７ａと第２の回折格子１２７ｂの両方で干渉する光の状態が変化するので、その干渉光を受光素子で受光することにより、照明光と光学ユニットとの相対的な角度関係を計測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】温度変化や振動等の環境に強い光画像計測装置を提供する。
【解決手段】光カプラ４は、直線偏光の低コヒーレンス光Ｌ０を、それと同じ偏光軸方向を有する直線偏光の信号光ＬＳと参照光ＬＲとに分割する。信号光ＬＳは、ＰＭファイバ６により偏光軸方向を保持しつつ被検眼Ｅに導光され、眼底Ｅｒを経由後、このＰＭファイバ６を通じて光カプラ４に戻ってくる。参照光ＬＲは、ＰＭファイバ５により偏光軸方向を保持しつつ参照ミラー１４に導光され、参照ミラー１４に反射された後、このＰＭファイバ５を通じて光カプラ４に戻ってくる。光カプラ４に戻ってきた信号光ＬＳと参照光ＬＲは、互いに重畳されて干渉光ＬＣを生成する。干渉光ＬＣは、スペクトロメータ３０により検出され、その検出信号に基づいてコンピュータ４０が被検眼Ｅの画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡易な構成でありながら、光学材料に存在する異物を高精度に、且つ、短時間で検査（検出）することができる検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】光学材料に存在する異物を検出する検査装置であって、光束を射出すると共に、前記光束の周波数を変化させる光源部と、前記光源部から射出される光束を、参照ミラー面と前記光学材料に導光する導光手段と、前記参照ミラー面から反射される光束と、前記光学材料に存在する異物から反射される光束との干渉光束に基づいて、前記光学材料に存在する異物の３次元位置座標を演算する演算手段とを有することを特徴とする検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来技術のもとでこれまでに行うことができた分解能よりも高い分解能で変位を測定し、制御するための改善された方法及び装置を提供する。
【解決手段】干渉計コアに誘導される光ビームを含み、干渉計コアは光ビームを第１の成分のビーム及び第２の成分のビームに分割し、第１の成分のビームはリトロー角で回折格子に誘導され、干渉計コアにより受光され、第２の成分のビームと合成され、合成された第１の成分のビーム及び第２の成分のビームは、合成された第１の成分のビーム及び第２の成分のビームを測定し回折格子の変位を判定する検出器に誘導される、変位を測定するための装置や方法である。 （もっと読む）

【課題】合理的な測定時間内に十分な測定点数を伴った、シリコンウェーハの最表面層の歪分布を測定することが可能なシリコンウェーハ表面歪分布測定装置を提供する。
【解決手段】アルゴンイオンレーザ１０から発せられる波長約３６３．８ｎｍの紫外光を集光照射機構４０等を介して測定対象試料６０であるシリコンウェーハ上に集光させる。紫外光が照射されるシリコンウェーハ上の領域から発せられたラマン散乱光は、集光照射機構４０を介してモノクロメータ式の分光器８０に入射される。ＣＣＤ検出器９０の映像信号からラマン散乱光のエネルギ分布を演算し、紫外光が照射されるシリコンウェーハの領域における歪量を演算する。このシリコンウェーハ表面の歪分布は、コンピュータ１００等によりマッピング表示される。 （もっと読む）