【課題】ディストーションデータの管理を高効率化する。
【解決手段】マスクのパターンを介して基板を露光する複数の露光装置のうちから特定の露光装置である特定号機（号機Ａ）を任意に選定する。該特定号機Ａを基準として、該特定号機以外の露光装置である一般号機Ｂ〜Ｆのそれぞれに係るディストーションを計測して計測誤差データを取得し、該計測誤差データを記憶・管理する。一般号機間の相対的な誤差データが必要な場合には、記憶・管理している計測誤差データに基づいて、差分演算を行って算出誤差データを求める。 （もっと読む）

【課題】 照射光の色やパターンを柔軟に変更し、多様な被検物に対応可能な立体計測装置を提供する。
【解決手段】 本発明の立体計測装置は、分光部、光空間変調部、投影部、撮像部、および画像解析部を備える。分光部は、スペクトル光を発生する。光空間変調部は、スペクトル光の空間変調により、照明光の色パターンを柔軟に変更する。投影部は、照射光を被検物に投影する。撮像部は、被検物に生じる投影像を、照射光の照射方向と異なる方向から撮像する。画像解析部は、撮像画像からパターンの位置および色を検出し、この位置および色に基づいて被検物の立体形状を検出する。 （もっと読む）

第１のモードおよび第２のモードで動作するように設定された干渉計システムを備える装置を開示する。この際、第１のモードは、試験光による試験対象物の異なる照射角に対応する、第１セットの複数の干渉計シグナルを生成し、第２のモードは、試験対象物の異なる表面位置に対応する、第２セットの複数の干渉計シグナルを生成する。干渉計システムに連結される電子プロセッサは、第１のセットの干渉計シグナルを受けるよう設定されており、かつ第１セットの複数の干渉計シグナルから導き出せる情報を試験対象物の複数のモデルに相当する情報と比較して、試験対象物の１つ以上の特徴を測定し、かつ情報を出力するようプログラムされている。一部の実施形態は、解像限界以下の特徴を含む。
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【課題】空間光変調器（ＳＬＭ）を使用して（非球形）光学表面のヌルテストを実行するシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】システムは干渉計、光学素子、およびＳＬＭを含む。干渉計は電磁放射を提供する。光学素子は電磁放射を調整して第一放射ビームおよび第二放射ビームを提供する。ＳＬＭは第一放射ビームの波面を成形して光学表面に対応する成形波面にする。成形波面は光学表面に入射しそれによって調整される。光学表面の形状は、光学表面によってマッピングされた成形波面と第二放射ビームとの干渉によって生じる干渉縞パターンに基づいて解析される。システムは、光学表面に対応するヌルコレクタ設計をＳＬＭのための命令に変換する光学設計モジュールも含むことができる。 （もっと読む）

【課題】１次元レリーフ型回折格子のデューティ比等を最適化してより高性能な入射角依存回折格子。
【解決手段】一方向に周期的に高屈折率部２と低屈折率部３が分布しているレリーフ型１次元回折格子１からなり、入射角に対して一方向の±１次回折効率が単調に変化する入射角依存性回折格子であって、ブラッグの条件を満たすブラッグ角を正として、ブラッグ角とブラッグ角から最初に出現する極小の回折効率を与える入射角との間に入射角０°を含み、｛（ブラッグ角での回折効率−最初に出現する極小の回折効率）×０．２＋最初に出現する極小の回折効率｝≦入射角０°での回折効率・・・（Ａ）、を満足し、ブラッグ角での回折効率が入射角０°での回折効率の２倍以上であることを満足するように、規格化ピッチ、屈折率変調、デューティ比、規格化溝深さが設定されている。 （もっと読む）

【課題】 光断層画像化装置において、光プローブの揺れによる干渉信号レベルの揺らぎを防止する。
【解決手段】 測定対象内に挿入される光ファイバ１２を収容した光プローブ１０を、光断層画像化装置本体１Ａに接続してなる光断層画像化装置１において、光プローブ１０の測定対象Ｈ外に延びる部分の少なくとも一部を、すくなくとも光断層画像取得時に固定する固定手段５Ａを備える。 （もっと読む）

【課題】FBG光ファイバセンサを用いた衝撃探知システムを構成する。
【解決手段】複合材構造物Ｚを伝播する弾性波を３以上の光ファイバセンサ３０で検出する。１の光ファイバセンサにつき２以上の光学フィルタを対応させ、それらの光学フィルタを通してセンサの出力値を得て、これを演算処理し、弾性波の発生源であるところの複合材構造物に負荷された衝撃の位置及び大きさを算出する。 （もっと読む）

【課題】FBG光ファイバセンサを用いた衝撃探知システムを構成する。
【解決手段】複合材構造物Ｚを伝播する弾性波を複数の光ファイバセンサFBG1〜FBG4で検出する。光ファイバセンサFBG1〜FBG4は一の光ファイバに構成される。１の光ファイバセンサにつき３以上の光学フィルタを対応さる。各光ファイバセンサの波長域R1〜R4は、検出対象の振動域同士が重ならない程度以上に離れて等間隔に分布する。一の光ファイバセンサに対応する光学フィルタの通過域（F1〜F4）は、対応する一の光ファイバセンサの衝撃無負荷時の中心波長（λ1）に跨って、当該対応する一の光ファイバセンサの検出対象の振動域に等間隔に分布する。これらの光学フィルタを通してセンサの出力値を得て、これを演算処理し、弾性波の発生源であるところの複合材構造物に負荷された衝撃の有無や位置及び大きさを算出する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタなどの被検体の分光計測領域を正確に設定することが可能で、被検体の分光情報を正確に把握できる顕微鏡測定装置を提供する。
【解決手段】被検体Ｂ上に結像した微小スポットからの反射光の分光測定を行う顕微鏡測定装置である。反射光の光路に光を入光させる計測領域表示光源５０を備え、被検体Ｂ上に計測領域表示スポットＳを結像させる。制御手段３８は、照明光又は透過光を被検体Ｂに投射して計測領域表示スポットＳが映った画像Ｉを捉える画像取得手段３１と、この画像取得手段３１の画像Ｉに基づいて被検体Ｂに対する計測領域表示スポットＳの相対位置を検知して、上記移動手段１１にて計測領域表示スポットＳが被検体Ｂの所定の位置に結像するように移動させる画像処理手段３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】高精度な波面収差測定を行うこと
【解決手段】波面収差測定機は、２次元的に配列された複数の第１ピンホールを有し光源からの放射光に基づいて第１の理想的球面波を発生させる第１のピンホール部材と；被検光学系による複数の第１ピンホールの複数の結像位置のそれぞれに対応した位置に配列された複数の第２ピンホールを有する第２のピンホール部材と；前記第１及び第２のピンホール部材の間の光路中に配置されて０次回折光を第２のピンホール部材へ到達させるように配置された回折格子と；回折格子による回折光のうち所定次数の回折光を選択的に通過させる回折光選択手段と；０次回折光が第２のピンホール部材を経由した際に発生する第２の理想的球面波と、回折光選択手段を通過した所定次数の回折光との干渉により得られた干渉縞から被検光学系の波面収差を算出する手段と；を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単且つ低コストな構成で温度補償の問題を解決し得る上に、測定対象物に溶接等することによりその測定対象物に加わる引張力、及び曲げ力等を高精度に検出し得る光ファイバ式ひずみゲージを提供する。
【解決手段】光ファイバ式ひずみゲージ１００は、空隙部１３が形成されたゲージベース１０と、連続的に形成された第１溝部１４Ａ、１４Ｂ及び第２溝部１５Ａ、１５Ｂと、この両溝部に固定される光ファイバ１１と、光ファイバに形成されたＦＢＧ１１１と、ゲージベース１０と測定対象物とを固定する、両溝部と直交する方向に延びる第１固着部１２Ａ１、１２Ｂ１と、両溝部と平行に延びる第２固着部１２Ａ２、１２Ｂ２とにより形成されており、ゲージベース１０を、２方向に固定できるので、測定対象物に強固に固定して面外に変形することを防止することが可能となり、曲げ力等によって発生する測定対象物のひずみを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】光断層画像化装置において、偏光方向の調整をすることなく良好な画質の断層画像を低コストで取得する。
【解決手段】光断層画像化装置１００は、測定光Ｌ１を測定対象Ｓに照射させて所定の走査周波数で走査させて測定対象Ｓの断層画像を取得する。光断層画像化装置１００における、光源ユニット１０内または光源ユニット１０から合波手段４までの光Ｌ、測定光Ｌ１、参照光Ｌ２、反射光Ｌ３の光路の少なくとも１つに、時間的に平均したときに出力光が無偏光となるように入力光の偏光状態を走査周波数と同等もしくはそれ以上に高い周波数で変化させる無偏光化手段７０を設ける。 （もっと読む）

【課題】歪みを有する薄膜結晶層と前記薄膜結晶層を支持する支持層を有する試料において前記薄膜結晶層の歪みを測定する歪み測定装置を提供する。
【解決手段】本発明による薄膜結晶層の歪みを測定する装置は、可視光と紫外光を励起光として共通光軸で発生できる励起光源（１〜５）を備えている。顕微鏡室７には試料１１を支持するステージ１２が設けられている。投射光学系８，９，１０は、ステージ１２に支持された試料１１に前記励起光を投射する。分光器１８に設けられた分光手段は試料１１からの各ラマン散乱光をそれぞれ分光する。演算手段は、前記分光手段の出力から前記歪みと支持層の状態を演算する。 （もっと読む）

【課題】表裏を同時に共通の座標系で超高精度に測定し、非球面レンズの表裏面の傾きと偏心を超高精度に算出する。
【解決手段】ＸＹＺ座標を形成するＸＹＺ参照ミラー２、３、４と、Ｚエアスライドガイド部１１を上下で共通とすることにより、上下の測定座標系を完全に同一とした。さらに、スタイラス５の変位検出ユニットを回折格子を使って薄くし、プローブの支持を滑車と定荷重バネを使うことによりさらに薄くし、構造が単純、小型化、製作容易にした。 （もっと読む）

【課題】電源再立上げ時でも高精度な位置決め精度を発揮することができる光学要素の保持装置及びそれを備えた露光装置を提供する。
【解決手段】レンズＬＥを光軸方向に駆動させる駆動機構７１と、レンズＬＥの位置を計測するレンズ位置検出手段７２と、を有する光学要素の保持装置であって、レンズ位置検出手段７２は、レンズＬＥの光軸方向における相対位置を計測するインクリメンタル式垂直変位検出センサ７２２と、レンズＬＥの絶対位置を計測するアブソリュート式垂直変位検出センサ７２１と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ分布計測システムにおいて従来の分布計測システムの使用する波長帯域幅以下の波長帯域幅で接続可能なセンサ数を増加させ、かつセンサとしての応答速度を向上させる。
【解決手段】リング共振器と光ファイバブラッググレーティングあるいは導波路にブラッググレーティングを描画した導波路ブラッググレーティングを組み合わせてセンサとする。これにより従来、センサとして使用されていた光ファイバブラッググレーティングの反射帯域幅より遥かに狭いピコメータオーダの単一のスペクトルを得ることができ僅かな波長シフトでも帯域通過型の例えばファブリペロー干渉計を用いた波長検波器でSN良く波長を検出できる。 （もっと読む）

【課題】非駆動方向に変位が生じても正確に補正することができる光学要素の保持装置並びにその調整方法及びそれを備えた露光装置を提供する。
【解決手段】レンズＬＥを駆動させる駆動機構７１と、レンズＬＥの位置を計測するレンズ位置検出手段７２と、を有する光学要素の保持装置であって、レンズ位置検出手段７２の位置検出パラメータ数は、駆動機構７１の駆動方向パラメータ数より多いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】界面に物理的な凹凸や構成元素の拡散による中間層が存在する場合であっても、界面情報を正確に検出することが可能な薄膜積層体及び界面検出方法を提供すること。
【解決手段】基材と、前記基材表面に形成された１又は２以上の薄膜と、基材−薄膜間、又は、薄膜−薄膜間の少なくとも１つの界面に形成されたマーカとを備えた薄膜積層体、及び、この薄膜積層体をグロー放電発光分光分析装置に設置し、前記薄膜積層体の表面をスパッタリングする第１工程と、前記薄膜積層体の表面から飛び出し、かつ、プラズマ中で励起された粒子が基底状態に戻る際に放出する光を集光し、集光された光を分光する第２工程と、前記分光された光の内、前記薄膜積層体の界面に形成されたマーカに対応する光を検出する第３工程とを備えた界面検出方法。 （もっと読む）

【課題】機械式の受容部を備えた、干渉計式の測定装置のための光ファイバープローブで、前記受容部内に光ファイバーがガイドされており、ファイバー末端部が設けられていて、該ファイバー末端部は前記機械式の受容部を越えて突き出ていて、ファイバー内でガイドされた光線を部分反射するための、ファイバー内に配置された反射ゾーンを備えている形式のものを改良して、高い測定精度で、小さい直径及び大きい深さを有する中空室の干渉計式の検査を可能とするような光ファイバープローブを提供する。
【解決手段】前記反射ゾーンがファイバー末端部内に配置されている。 （もっと読む）

【課題】
ＦＢＧからの反射光を受光する受光部のゲイン（受光感度）を、遠距離のＦＢＧの反射光に対しては受光感度を上げ、近距離のＦＢＧの反射光に対してはその受光部での飽和を防止するように変化させることによって、その２つのＦＢＧ間のファイバ長が６０ｋｍを越えるような場合であっても、２つの反射光の測定を同時に精度良く行えるＦＢＧセンサシステムを提供する。
【解決手段】
所定の波長範囲の光を含んで所定の掃引周期で波長掃引された光を発振してＦＢＧ１５ａ、１５ｂに入射させる波長可変光源１０と、このＦＢＧからの反射光を受光する受光部１６と、波長可変光源１０から出力される上記波長掃引を行うための掃引信号ａを受け、この掃引信号ａに基づいて、上記ＦＢＧからの反射光の上記受光部１６における受光時間に対しこの受光時間の早いときより遅いときの方がこの受光部１６のゲインが大きくなるように制御するゲイン制御手段１８とを備えた。 （もっと読む）