【課題】溝パターンの深さを精度よく求める。
【解決手段】トレンチ形状測定装置１では、所定の溝方向に伸びる溝パターンが測定領域９３に形成された基板９が保持部２１にて保持される。基板９の測定領域９３には光照射部３により照明光が照射され、測定領域９３からの照明光の反射光が分光器５の回折格子５２にて分光されることにより、測定分光反射率が取得される。このとき、トレンチ形状測定装置１では、回折格子５２の格子方向に対応する基板９上の方向が溝方向と４５度をなす状態で、回折格子５２が配置されているため、溝パターンの影響により基板９からの反射光の振動方向が限定される場合であっても、反射光の偏光の影響を受けることなく測定領域９３の分光反射率を正確に求めることができ、溝パターンの深さを精度よく求めることができる。 （もっと読む）

【課題】特に、金属基複合材料の摺動面の耐摩耗性評価が精度良く行え、耐摩耗性の他に摺動面の摩擦抵抗や耐スカッフィング性も同時に評価可能な摺動面評価方法を提供する。
【解決手段】シリコン８０の領域内の山８１〜８５の高さｈ１〜ｈ５の大きい方から５つの山の高さの平均値を算出してシリコン突出し高さＨＰＳとし、被測定面１７ａの山の高さの度数分布の度数が最大になる基準高さＨＳからシリコン突出し高さＨＰＳまでの間に面積計算しきい値ＨＴを設定し、この面積計算しきい値ＨＴよりも高い部分であってシリコン８０の領域内に存在する山８１，８３ａ，８３ｂ，８４ａ，８４ｂ，８５の部分の被測定面１７ａに平行な面９１への投影面積Ｓ１〜Ｓ６を算出し、この総面積を被測定面１７ａの面積で除してシリコン突出し面積率を算出し、シリコン突出し高さＨＰＳ及びシリコン突出し面積率を各基準値と比較して摺動面の耐久性の合否を判定する。 （もっと読む）

【課題】必要スペースが小さく且つ高い感度を実現し得る物体の角度変化の光学的測定方法及び測定装置、並びに物体の変位の光学的測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】被検査物体Ｓに光を照射し、その鏡面反射光を画像センサ１２で受光するにあたり、受光素子の配列ピッチより大きいピッチの格子１３を画像センサ１２の前方に配置し、格子１３による格子状パターンを画像センサ上に形成し、被検査物体の角度変化の前後における該格子状パターンの移動量を該パターン上の複数の点によって検出し、該検出値を式 θ＝ｕ／（２ｔ） ［ｔ：格子から画像センサまでの距離、ｕ：画像センサの検出面での格子状パターン上の点の移動量、θ：被検査物体の角度変化］ に適用して最小二乗法により角度変化を求める光学的角度測定方法、及びその測定装置、並びに、同様の原理に基づく光学的変位測定方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】波長可変光源において、コンパクトで簡素化された構成とする。
【解決手段】 光源ユニット１０は、光増幅手段である半導体レーザ１１と、半導体レーザ１１からの光が入射され、入射位置に応じた波長の光を選択的に反射する波長選択手段と、入射位置が変化するように、半導体レーザ１１からの光と波長選択手段とを相対移動させる相対移動手段である偏向手段１３とを備える。波長選択手段として、前記相対移動の方向に沿って格子間隔が変化するように構成されたブラッグ・グレーティング１５を用いる。 （もっと読む）

【課題】構造基板の高さ分布を測定するための装置および方法を提供する。
【解決手段】本発明は、請求項１と８の前段に記載の、半導体基板の高さ分布を測定するための装置および方法に関する。特に、本発明は、共焦点ウエハ検査装置と、溝状開口部が前方に存在する分散要素、および２次元検出器を使用することによってウエハ全体の高さ分布を記録する方法とに関する。 （もっと読む）

【課題】 位置決めの正確さおよび／または強健性が改善されたリソグラフィ投影装置のアライメント・システムを提供する。
【解決手段】 リソグラフィ装置の位置決めシステムは、位置決め放射線源１、第１検出器チャネルおよび第２検出器チャネルを有する検出システム、および検出システムと連絡する位置決定ユニットを有する。位置決定ユニットは、第１および第２検出器チャネルからの情報を組み合わせて処理し、組み合わせた情報に基づいて、第２オブジェクト上の基準位置に対する第１オブジェクト上の位置決めマークの位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】光半導体素子において、発光スペクトル幅が広く、かつ出力が高い光を発生させる。
【解決手段】光半導体素子１には、光導波路型発光領域である導波路２、３、４と、出射用光導波路である導波路５とが形成されている。導波路２、３、４の長さＳ１は互いに等しいように構成されている。導波路２、３、４で発生した各光は、導波路５に入射して合波され、合波された光は、導波路５により外部に出射される。 （もっと読む）

本発明は、橋梁やトンネルの内空変位など、被測定対象物の傾き及び加速度などを精密に測定するための光ファイバー格子（Fiber Bragg Grating；ＦＢＧ）センサを用いた内空変位計測装置及びこれを用いた計測方法に関するものであって、被測定対象物に設けられる本体と、上記本体の前面に固定されるように設けられた固定体と、上記固定体と所定距離離隔して水平になるように設けられ、ベアリング結合により回転可能に設けられた回転体と、上記固定体の上部外側面に接着され、上記回転体の上部外側面に接着されて緊張状態を維持するように水平に設けられ、その両端部に光端子が各々設けられた光ファイバーと、上記固定体と回転体との間の光ファイバー上に設けられる光ファイバー格子センサと、上記回転体の下部と所定長さの支持台により連結されて垂直状態に設けられた錘とから構成された計測装置を基準値に設定した後、被測定対象物に設け、地盤の変動に従う変位量を計算することによって、角度及び重力加速度の変位値を計測することができる。
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【課題】表面に凹凸をもつ物体上に光を走査し、反射光を受光して表面上の位置や高さ検査を行う場合、三角測量法では原理的に必ず光を斜めから投射しなければならず測定できないところが多い。また共焦点法で走査を行うものでは対象物または測定側の高さを変えてくりかえし測定するため時間がかかるという問題がある。分光情報を用いる例では多数のホトダイオードデータを読むのに時間がかかり光による高速走査に適さないという問題点があった。
【解決手段】複数の波長を含む点光源と、点光源からの光を走査する光走査機と、色収差を持つレンズと、対象物からの反射光を分けるビームスプリッタと、反射光を透過するピンホールまたはスリットまたは光ファイバと、ピンホールまたはスリットまたは光ファイバからの光を分光する分光器と分光された光の位置を検出するＰＳＤまたは位置検出型光電子増倍管とを具備するものとした。 （もっと読む）

【課題】いわゆる回転円盤とＦＢＧ方式の光ファイバセンサを有して伸縮計等の変位量検出装置を構成することにより、広域にわたる同時計測の場合であっても、例えば敷設する伝送ケーブル本数を少なくでき、伝送最大距離をも容易に延長することができ、敷設コストを安価にして構成できる変位量検出装置の提供を目的とする。
【解決手段】一端が揺動する被検出部材に接続され、他端側は回転円盤外周面に巻回され、被検出部材の揺動を円盤の回転量に変換するひも状回転変換部材と、軸心部に接続取り付けされ円盤の回転量を軸心方向への移動に変換する移動変換部材と、一端側が移動変換部材に取り付けられ、他端側は基部として固定された、移動変換部材長手方向と略直角方向に延出して設置された揺動検出部材とを備え、揺動検出部材には表裏面に曲げひずみを検出するＦＢＧ光ファイバセンサが各々設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シミュレーションによる回折信号を生成するのに用いられるプロファイルモデルを正確に決定する方法の提供。
【解決手段】閲覧用キャンバスに、光計測を用いて検査される構造を特徴づけるプロファイルモデルを生成するプロファイルモデルがその表示する。このとき複数の異なるプロファイル形状の基本要素がプロファイル形状パレットに表示されている。プロファイル形状パレット中の各プロファイル形状の基本要素は、１組のプロファイルパラメータで定義されている。ユーザーがプロファイル形状パレットからプロファイル形状の基本要素を選択し、そのプロファイル形状パレットから選択したプロファイル形状の基本要素をドラッグして、その選択したプロファイル形状の基本要素を閲覧用キャンバスへドロップするとき、その選択したプロファイル形状の基本要素は、閲覧用キャンバス中に生成及び表示されているプロファイルモデルに組み込まれる。 （もっと読む）

【課題】光計測を用いてその構造のプロファイルを正確に決定するため、その構造を正確に特徴づけるプロファイルモデルが用いられなければならない。
【解決手段】構造を特徴づけるプロファイルモデルが、そのプロファイルモデルを特徴づける１組のプロファイルパラメータを表示することによって評価される。各プロファイルパラメータは、その値についてある範囲を有する。ある範囲の値を有する各プロファイルパラメータについて、その範囲内でプロファイルパラメータの値を選択する調節ツールが表示されている。光計測ツールを用いて計測された回折信号が表示される。シミュレーションによる回折信号は、プロファイルパラメータ用の調節ツールを用いて選択されたプロファイルパラメータの値に基づいて生成され、そのシミュレーションによる回折信号が表示される。そのシミュレーションによる回折信号は、その計測された回折信号に重ねられる。 （もっと読む）

本発明は光学表面の実際形状の所望形状からの偏差を測定する方法および装置に関する。光学表面（１２;１０３）の所望形状から実際の形状の偏差を決定する方法は、以下のステップを含む。入射電磁測定波（２０; １１３）を発生させるステップと、到来波の波面を再形成する様に構成されている２つの回折構造（４７、４９; １４５、１４６、１４１、１４３）を備えるステップと、入射測定波(２０; １１３) を少なくとも一つの被較正回折構造(４７, ４９; １４５, １４６, １４１, １４３) に放射することで、２つの回折構造（４７、４９; １４５、１４６、１４１、１４３）の少なくとも一つを較正して、該較正済の回折構造と少なくとも一つの被較正回折構造(４７, ４９; １４５, １４６, １４１, １４３)との相互作用の後に、測定波の(２０; １１３)所望波面からの実際波面の較正偏差を決定するステップと、前記２つの回折構造(４７; ４９; １４５, １４６, １４１, １４３)を前記入射測定波(２０; １１３) の光路に位置させて、前記測定波の各光線を両方の前記回折構造(４７; ４９; １４５, １４６, １４１, １４３)を通すステップと、前記２つの回折構造(４７; ４９; １４５, １４６, １４１, １４３) により前記入射測定波(２０; １１３)を再形成して、前記光学表面の前記所望形状に適合した適合済測定波(６４; １１４)を形成するステップと、前記光学表面(１２; １０３) を、前記適合済測定波(６４, １１４)の前記光路に配置し、前記適合済測定波(６４; １１４)と前記光学表面(１２; １０３)とを相互作用させ、その後に前記適合済測定波(６４; １１４)の前記波面を測定するステップとを含む。
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【課題】二重露光リソグラフィでのマスクの位置精度を精密に計測する方法を提供する。
【解決手段】マスクが露光され、第１ピッチを有する第１組の繰り返しパターンがウエハ上に形成される。続いてマスクは再度露光されることで、第２組の繰り返しパターンがウエハ上に形成される。第２組の繰り返しパターンに係る繰り返しパターンと、第１組の繰り返しパターンに係る繰り返しパターンとは交互に配置する。続いてウエハを現像し、第１繰り返し構造の第１回折信号が第１繰り返し構造から計測され、第１繰り返し構造に隣接する第２繰り返し構造の第１回折信号が第２繰り返し構造から計測される。第１繰り返し構造と第２繰り返し構造との間に存在する第２ピッチが、第１計測回折信号を用いて決定される。第２組の繰り返しパターンを形成するのに用いられるマスクの位置精度は、その決定された第２ピッチ及び第１ピッチに基づいて判断される。 （もっと読む）

【課題】
ＦＢＧに入射する測定光に光パルスを用いて、ファイバ内で発生するレイリー散乱光の影響を低減することによって、例えＦＢＧまでのファイバ長が８０ｋｍを越えるような場合であっても、その測定対象の測定を精度良く行えるＦＢＧセンサシステムを提供する。
【解決手段】
所定の波長範囲の光を含んで所定の掃引周期で波長掃引された光をＬＤ１で発振させる波長可変光源１０と、波長可変光源１０から出力される上記波長掃引を行うための掃引信号ａを受け、この掃引信号ａに基づいて、波長可変光源１０で発振される上記所定の波長範囲の光を測定光としてＦＢＧ１５に入射させるための所定の周期のパルスｄを発生させるパルス発生器１１とを備え、上記パルスｄで波長可変光源１０の上記ＬＤ１の駆動電流をオン／オフさせることによって、上記所定の波長範囲の光でなる光パルスを発生させ、この光パルスを測定光としてＦＢＧ１５に入射させるようにした。 （もっと読む）

【課題】樹脂のひずみを測定する手段として光ファイバを用いる際に、光ファイバが樹脂から抜け出ることを防止する。
【解決手段】まず熱可塑性樹脂で構造体を成形する。そして、機械加工等により製品形状を製作する。次に、コアとクラッドからなる光ファイバにおいて、コアにスリットを２個以上加工しておき、これらのスリットの軸方向両側にクラッドの周囲に部材を固定した光ファイバを樹脂製構造体表面に配置する。光ファイバに固定した部材を配置するくぼみはあらかじめ前記構造体に機械加工等により設けておく。その後、構造体と同種類の熱可塑性樹脂で光ファイバを覆う。そして、加熱，加圧を行って、製品形状の熱可塑性樹脂と光ファイバを覆った熱可塑性樹脂を溶融させて一体化させる。このような構成にすることにより、光ファイバが熱可塑性樹脂から抜け出ることがなくなり、構造体に負荷されるひずみを安定して計測することができる。 （もっと読む）

【課題】精度の高い振動検出が可能な振動検出装置を提供する。
【解決手段】本体部１から光伝送路３を介してセンサ部２へ周期的に波長が変化する第１の光信号が伝送され、センサ部２において外部から受けた振動に応じて、第１の光信号が第２の光信号に変換される。そして、変換された第２の光信号は、光伝送路４を介して本体部１へ伝送され、本体部１の光電気変換部３０で第１のパルス信号が生成される。また、本体部１において、分岐部２２により分岐された光信号が光フィルタ２４に与えられ、所定波長の第３の光信号に変換される。光電気変換部２６は、第３の光信号の入力において第２のパルス信号が生成される。パルス検出回路２８は、第２のパルス信号を基準として入力される第１のパルス信号のタイミング差を検出し、出力部３１は、その結果に基づく振動情報を検出信号として出力する。 （もっと読む）

光学センサは、少なくとも第１のポート、第２のポートおよび第３のポートを含んでいる方向性結合器を備えている。前記第１のポートによって受信される第１の光信号が、第２のポートに伝播する第２の光信号と第３のポートに伝播する第３の光信号とに分離されるように、第１のポートが、第２のポートおよび第３のポートと光通信している。この光学センサは、第２のポートおよび第３のポートと光通信しているブラッグファイバーを備えている。前記第２の光信号および第３の光信号は、それぞれ、ブラッグファイバーを介して逆伝播し、第３のポートおよび第２のポートに帰還する。
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【課題】光ファイバセンサを用いて構造物中の接着部に生じるはく離の形状を精度よく同定する。
【解決手段】構造用複合材ａの接着層ａ３に光ファイバｂ６を配置する。光ファイバｂ６には、歪に応じてスペクトルが変化する反射光を出力する光ファイバセンサ（FBGセンサ）が形成されており、接着層ａ３に分散配置される。光スペクトラムアナライザｂ３は、その反射光からスペクトル情報を取得し、演算処理装置ｂ１に与える。演算処理装置ｂ１は、スペクトル情報に基づき算出される歪を用いた第１の形状同定演算と、スペクトル情報に基づき反射光のスペクトル形状による第２の形状同定演算とを、先の同定結果を後の形状同定演算の初期値として用いながら、交互に繰り返し行って接着層ａ３のはく離形状を同定する。画像表示装置ｂ２に同定した接着層ａ３のはく離形状を接着層ａ３上での配置とともにグラフィック表示する。 （もっと読む）

第１及び第２の異なる波長の光源からの光が合成され、導波器に供給され、導波器は、０次光を基準表面に誘導し、他の次数、一般的に１次の回折光を、波長に依存するサンプル表面の１つの場所に誘導する。サンプル表面及び基準表面によって反射される光が干渉する。サンプル表面の特性が第１の波長の干渉光から求められる。基準表面を動かすか、又は経路部分の屈折率を変更することによって経路長差を調整し、環境の影響に起因する位相変動を補償することによって、第２の波長の干渉光を用いて、位相同期することができるようにする。異なる波長の場合に異なる１次回折角を与える可変波長源及び導波器、又は可変ピッチ音波回折格子を提供する音響光学デバイスを用いることによって、非機械的な走査を用いてサンプル表面が走査される。
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