【課題】光コヒーレンストモグラフィー計測において、測定光もしくは参照光の光路長を調整したときの光量変化による画質の劣化を防止する。
【解決手段】参照光Ｌ２の光路長を調整するときに、光ファイバＦＢ３を射出した参照光Ｌ２は、第１光学レンズ２１ａにより平行光になり、第２光学レンズ２１ｂにより反射ミラー２２上に集光される。その後、反射ミラー２２により反射された参照光Ｌ２は、第２光学レンズ２１ｂにより平行光になり、第１光学レンズ２１ａにより光ファイバＦＢ３のコアに集光される。 （もっと読む）

【課題】光断層画像化装置において、測定光のスペクトル形状の乱れや、スペクトル形状並びに強度の変動が有っても、正確な断層画像を取得可能にする。
【解決手段】光源１１１から射出された光Ｌを測定光Ｌ１と参照光Ｌ２とに分割する光分割手段３と、測定光Ｌ１が測定対象Ｓｂに照射されたとき戻って来る反射光Ｌ３と参照光Ｌ２とを合波する合波手段４と、合波された反射光Ｌ３と参照光Ｌ２との干渉光Ｌ４を干渉光検出手段１４０と、検出された干渉光Ｌ４の周波数および強度に基づいて、測定対象Ｓｂの複数の深さ位置における反射光の強度を検出し、その検出された各深さ位置における反射光Ｌ３の強度に基づいて測定対象Ｓｂの断層画像を取得する画像取得手段５０とを備えてなる光断層画像化装置１において、干渉光Ｌ４を検出して得た干渉信号から測定光Ｌ１のスペクトル成分を除去した補償信号を得、該信号をガウス変換して反射光Ｌ３の強度検出に供する。 （もっと読む）

【課題】光コヒーレンストモグラフィー計測において、測定開始位置の調整を短時間かつ簡便に行う。
【解決手段】制御手段７０は、測定開始位置調整モードと画像取得モードとを切り替える機能を有している。制御手段７０は、画像取得モード時には光源ユニット１０が第１低コヒーレンス光源１０Ａから第１低コヒーレンス光Ｌを射出し、画像取得手段５０が低コヒーレンス光Ｌによる干渉光Ｌ４から断層画像信号を取得するように制御する。一方、測定開始位置調整モード時には制御手段７０は光源ユニット１０の低コヒーレンス光源１０Ｂが第２低コヒーレンス光Ｌ１０を射出し、画像取得手段５０が第２低コヒーレンス光Ｌ１０による干渉光Ｌ４を検出から断層画像信号を取得するように制御する。 （もっと読む）

【課題】光コヒーレンストモグラフィー計測において、測定開始位置の調整を短時間かつ簡便に行う。
【解決手段】たとえば体腔内の断層画像をプローブ３０を用いた光コヒーレンストモグラフィー計測により取得するときに、距離測定手段３４を用いてプローブ３０から測定対象までの距離を測定する。そして、距離測定手段３４により測定された測定対象までの距離に基づいて、光路長調整手段２０が測定光Ｌ１もしくは参照光Ｌ２の光路長を調整する。 （もっと読む）

【課題】光軸方向、横方向双方について高分解能化が可能で、しかも高速で画像データを収集できる光断層画像化方法を得る。
【解決手段】光源１１１から射出された低コヒーレント光Ｌを測定光Ｌ１と参照光Ｌ２とに分割し、測定光Ｌ１が測定対象Ｓに照射されて戻って来る反射光Ｌ３と参照光Ｌ２とを合波し、合波された反射光Ｌ３と参照光Ｌ２との干渉光Ｌ４を干渉光検出手段１４０により検出し、この検出された干渉光Ｌ４からＳＤ−ＯＣＴ計測により断層画像を取得する方法において、参照光Ｌ２の光路長さを段階的に変化させて測定光Ｌ２の測定対象Ｓに対する合焦範囲を変え、この合焦範囲が変わる毎に反射光強度を示すデータを得、それらのデータの中から、測定光Ｌ１が合焦範囲にある深さ位置に関するデータを抽出し、該抽出されたデータに基づいて断層画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】光コヒーレンストモグラフィー計測において、測定開始位置の調整を短時間かつ簡便に行う。
【解決手段】制御手段７０は、測定対象Ｓの深さ方向の断層画像の取得を開始する測定開始位置を調整する測定開始位置調整モードと、測定対象の断層画像を取得する画像取得モードとを切り替える機能を有している。そして、制御手段７０は、画像取得モード時には光源ユニット１０が光源ユニット１０Ａからレーザ光Ｌを射出し、干渉光検出手段４０および画像取得手段５０がレーザ光Ｌによる干渉光Ｌ４を検出するように制御する。一方、測定開始位置調整モード時には制御手段７０は光源ユニット１０のＡＳＥ光源１０ＢがＡＳＥ光Ｌ１０を射出し、干渉光検出手段４０および画像取得手段５０が光路長調整手段２０における光路長の調整により各深さ位置のＡＳＥ光Ｌ１０による干渉光Ｌ４を検出するように制御する。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置の測定を行う。
【解決手段】露光装置１００には、レチクルステージＲＳＴの位置情報を測定するため、エンコーダ１７_Y1、１７_Y2、１７_Xを備えるエンコーダシステム１６が設けられている。エンコーダ１７_Y1、１７_Y2、１７_Xのプローブ部１９_Y1、１９_Y2、１９_Xから発生られるレーザプローブは、スケール１８₁上のパターンの配列方向に沿って振動し、その位置情報を含み、プローブの振動により変調された信号を出力する。変調された信号は、振動周波数の高調波によりその位相が検出され、その検出結果に基づいてレチクルステージＲＳＴの位置情報が検出される。 （もっと読む）

【課題】 ＯＣＴ計測を用いた共焦点顕微鏡装置において、高速に断層画像の取得を行う。
【解決手段】 測定対象Ｓからの反射光Ｌ３と参照光Ｌ２が合波され、その干渉光Ｌ４が干渉光検出手段６により検出され測定対象Ｓの断層画像が取得される共焦点顕微鏡装置において、参照光Ｌ２の周波数変調を行う光変調部２０が設けられている。この光変調部２０は、参照光Ｌ２を分光する回折格子素子２２と、分光された参照光Ｌ２を平行光にするコリメータレンズ２３と、コリメータレンズ２３を透過した参照光を再びコリメータレンズ２３側に反射させる反射ミラー２４と、コリメータレンズ２３の光軸からずれた位置を中心にして反射ミラー２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ＯＣＴ計測において光ファイバを用いた場合であっても光ファイバの波長分散による分解能の劣化を防止する。
【解決手段】 光源ユニット２から射出された光Ｌが光分割手段３により測定光Ｌ１と参照光Ｌ２とに分割され、光路長調整手段１０により参照光Ｌ２の光路長が調整される。一方、測定光Ｌ１はプローブ２０により測定対象Ｓまで導波される。そして、測定光Ｌ１が測定対象Ｓに照射されたときの測定対象Ｓからの反射光Ｌ３と参照光Ｌ２とが合波され、その干渉光Ｌ４が干渉光検出手段８において検出される。この干渉光検出手段により検出された干渉光Ｌ４から測定対象Ｓの断層画像が画像取得手段９により取得される。ここで、プローブの光ファイバによる波長分散は分散補償手段により補償される。 （もっと読む）

【課題】 測定部位から２つの光学計測器に至る２つの光路を光量の減衰をともなわずに分離して光学計測をすること。
【解決手段】 第１の光学計測器および第２の光学計測器を具備する光学計測システムであって、測定部位から前記第１の光学計測器に至る第１の光線を導く第１の光路および前記測定部位から前記第２の光学計測器に至る第２の光線を導く第２の光路が設けられ、前記第１の光路および前記第２の光路が通る光学系が前記第１および第２の光路が相互に近軸となるように設けられ、前記第１の光路の方向を変更する反射領域がこれに交差するように前記第２の光路が設けられ、前記反射領域と前記第２光路が交差する領域に設けられた光透過領域であって前記反射領域より光透過率の高いものを具備する。 （もっと読む）

【課題】透明着色膜の膜厚を分光干渉法により非接触で測定する際に、反射照明のみであっても測定する透明着色膜の認識が容易で、測定すべき透明着色膜の認識ミスが生じない透明着色膜の膜厚測定方法及び膜厚測定装置を提供する
【解決手段】
基板上に透明着色膜が形成された被測定物の表面に照明光を入射して、その反射光を分光して分光反射率を求め、その分光干渉波形から透明着色膜の膜厚を計算する透明着色膜の膜厚測定方法であって、被測定物に照明光を入射し、入射した状態で焦点位置を膜表面から基板裏面に移動させることで測定すべき透明着色膜の特定を行う。 （もっと読む）

本発明は、物体（２）の運動を検出するシステム（１）に係る。当該システムは、物体に対して結合される第１の細長い格子ストリップ（４）、及び、第１の細長い格子ストリップに交差する、別個の実質的に固定された第２の細長い格子ストリップ（５）を有する。当該システムは更に、物体の運動を検出するよう、第１及び第２の細長い格子ストリップにおいて回折される１つ又はそれより多い光ビームを受けるよう配置される光学検出手段（６）を有する。本発明は更に、物体（２）の運動を検出する方法、及び物体加工又は検査システムに係る。
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【課題】安価な構成で画像取得時におけるピント確認を行い、表示面積の小さい表示部を使用した場合にも撮像範囲の確認をすることができる画像取得装置を提供する。
【解決手段】被写体に対してガイド光を照射する光照射部と、撮像に必要となる光を被写体に照射する撮像照明部と、当該光照射部からのガイド光を上記被写体に照射して上記被写体を撮像する撮像部と、上記被写体と当該撮像部との距離に関して所定のピント範囲内にあることを判断するピント判断部と、上記撮像部が撮像した画像を格納する画像格納部と、当該ピント判断部の判断結果を格納する判断結果格納部と、上記画像格納部に格納された画像及び各種情報を表示する表示部と、上記画像格納部に格納された画像の所定部分を表示する為の表示制御部を備えている。 （もっと読む）

光計測において反復構造に関する単位セル構成を選択するため、反復構造に対して複数の単位セル構成が定められる。各単位セル構成は、１つ以上の単位セルパラメータによって定められる。複数の単位セル構成の各単位セル構成は、少なくとも１つの単位セルパラメータにおいて互いに異なっている。複数の単位セル構成のうちの１つを選択するために、１つ以上の選択基準が用いられる。そして、選択された単位セル構成が、上方から見た反復構造のプロファイルを特徴付けるために使用される。
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【課題】
空気揺らぎや機械振動といった外乱の影響を受けることなく、サブナノメートルオーダ以下の精度で計測対象物の変位量や移動量を安定に計測可能な変位計測方法及びその装置並びにプローブ顕微鏡等を提供することにある。
【解決手段】
パルス光を２つに分離し、一方は計測対象物で反射させた後、１パルス周期に相当する遅延光路に入射させ、他方は同じ光路を逆向きに遅延光路を経由して１パルス周期遅れて計測対象物に到達させ、反射させる。計測対象物の移動に伴って生じた光位相変化を、両パルス光を干渉させることにより求める。 （もっと読む）

【課題】 照明光の波長程度以下の微細パターンを干渉縞を用いて安価に形成可能であるとともに、その干渉縞のコントラスト等の特性を効率的に調整できる露光技術を提供する。
【解決手段】 開口絞り１７からの照明光を２枚の回折格子Ｇ１１及びＧ２１を介して照射することによって干渉縞ＩＦを形成し、干渉縞ＩＦでウエハを露光する。露光前に回折格子Ｇ１１，Ｇ２１を同方向に等しい角度で回転する工程と、回折格子Ｇ１１，Ｇ２１を所定角度比で回転する工程とを組み合わせて、開口絞り１７の開口部１８の長手方向と干渉縞ＩＦの長手方向とが平行になり、かつ干渉縞ＩＦのコントラストが最大になるようにする。 （もっと読む）

【課題】 高いフォーカス精度により高精度な露光を実現する露光装置及び方法を提供する。
【解決手段】 レチクルと被露光体とを走査させながら、前記レチクルのパターンを投影光学系を介して前記被露光体に露光する露光装置であって、被計測体の表面の、前記投影光学系の光軸方向の位置を計測する計測部と、前記計測部による計測結果に基づいて前記被計測体の表面の前記光軸方向の位置の制御を行う制御部とを有し、前記計測部は、前記被計測体の表面にある同一の計測点の位置を複数回計測し、前記制御部は、前記同一の計測点で得た複数回の計測結果の平均値を前記同一の計測点での計測値として使用し、前記被計測体は前記レチクル又は前記被露光体であることを特徴とする露光装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】変位とチルトとを同時に検出し、補正することができる変位・チルト補正装置を提供する。
【解決手段】光源、周縁部を平面状に形成して球面部と平面部とが設けられた対物レンズ、及び対物レンズを支持するアクチュエータから成る光ピックアップと、光源から照射され対物レンズの球面部を通過させて集束させたレーザ光の焦点位置の変位を検出する変位センサ、発光素子から照射されるレーザ光を対物レンズの平面部で反射させ、この反射光を受光して光ピックアップの光源から照射されたレーザ光の光軸と被測定対象物との相対的な傾きを検出するチルトセンサ、及び、変位センサとチルトセンサとにより得られた信号を最適化し、光ピックアップのアクチュエータに出力する制御部から成る変位・チルト検出制御装置とを具備し、制御部から出力された信号に基づいてアクチュエータを制御し、対物レンズの傾きを調整して焦点位置の変位及びチルトを補正する。 （もっと読む）

【課題】微小凹面の形状誤差を非接触で高速・高精度に計測できる微小凹面形状の形状誤差機上計測方法及びその計測装置を提供する。
【解決手段】微小凹面２２に対向する対物レンズ２３と、集束光を発する光源モジュール２５と、集束光の光軸２６と軸心２７を共通にするレンズ鏡筒２８と、撮像素子２９と、レンズ鏡筒２８と撮像素子２９間に配置されたマイクロレンズアレイ３１と、コンピュータとを備え、レンズ鏡筒２８が共焦点を有する２個のレンズ４１、４２と、共焦点に配置されたピンホール４４とを有し、対物レンズ２３を通して集光される集束光の集光位置と、微小凹面２２の曲率中心とを同じくして測定系を構成し、微小凹面から反射されマイクロレンズアレイ３１により撮像素子２９上に形成された光線列の各重心位置と、事前に求めた微小凹面２２が理想形状である場合の光線列の重心位置との差異から、微小凹面２２の形状誤差を算出する。 （もっと読む）

【課題】波長走査型光コヒーレントトモグラフィにおいて、高分解能で高感度で画像表示できる断層画像表示システムを提供すること。
【解決手段】高速で利用できる再現性のよい波長走査型光源１０と干渉光学計を用いる。ｋトリガ生成部２４は時間に対し等発振周波数の関係をメモリに保持し、スキャントリガ信号に基づきｋトリガ信号を発生する。このｋトリガ信号に基づいて干渉光学計より得られる光ビート信号を等周波数間隔でフーリエ変換することにより、断層画像を得る。 （もっと読む）