【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測を実現することのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、プリント基板２に対し縞状の光パターンを照射する照射装置４Ａ，４Ｂと、これを撮像するカメラ５と、撮像された画像データを基に三次元計測を行う制御装置６とを備えている。制御装置６は、第１照射装置４Ａから第１光パターンを照射して得られた画像データを基に第１計測値を取得し、第２照射装置４Ｂから第２光パターンを照射して得られた画像データを基に第２計測値を取得する。そして、両光パターンが照射される全照射領域に関しては、両計測値から特定される値を当該領域の高さデータとし、いずれか一方のみ照射される一部照射領域に関しては、前記全照射領域の高さデータから算出した補完データを基に当該領域に係る計測値の縞次数を特定し、当該領域に係る高さデータを取得する。 （もっと読む）

【課題】特徴の認識性能を向上する。
【解決手段】計測用パターンと特徴パターンとを有するパターンを被写体へ投影する投影部と、パターンが投影された被写体を撮像する撮像部と、パターンにおける計測用パターンと、投影部と撮像部との位置関係に基づいて決定される複数のエピポーラ線とによって、撮像部により撮像された画像を複数の領域に分割して、分割された複数の領域のうち所定の領域をグループ化するグループ化部と、所定の領域のそれぞれにおける特徴パターンの差異に基づいて当該特徴パターンを認識する特徴認識部と、特徴認識部により認識された特徴パターンに基づいて被写体の三次元形状を算出する三次元形状算出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の奥行方向に対する計測精度の低下を抑制し、計測空間全域において良好な計測精度を得る。
【解決手段】計測空間への投影動作を実行する投影部と、投影動作が実行された計測空間中の対象物を撮影する撮影部と、撮影された画像に基づいて対象物の三次元形状を計測する計測部と、を備え、計測空間は、撮影部の撮影光学系のフォーカス位置の基準となる計測基準面を含み、且つ投影部の投影範囲と撮影部の撮影範囲とに基づいて規定されており、フォーカス位置は、撮影部から観察した場合に計測基準面の位置よりも奥に設定されている。 （もっと読む）

【課題】正確に調整可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】第１の光を発する第１の発光部１１、及び第２の光を発する第２の発光部１２と、第１の光及び第２の光を受ける格子３と、平坦な基板が配置されるステージ１４と、格子３を透過した第１の光を第１の入射角で基板表面に入射させ、格子３を透過した第２の光を第２の入射角で基板表面に入射させる投影光学系５と、第１の光による基板表面の格子３の第１の変形像、及び第２の光による基板表面の格子３の第２の変形像に基づき、基板表面の高さ方向の位置を算出する高さ算出部と、基板表面の高さ方向の位置が投影光学系５の焦点位置と一致するよう、ステージ１４を移動させる移動装置１５と、を備える、形状計測装置。 （もっと読む）

【課題】対象物の三次元座標決定のための、改善された方法および装置を提供する。
【解決手段】対象物の三次元座標を決めるための方法において、プロジェクタ（３）によりパターン（６）が前記対象物（１）上に投影され、前記対象物（１）により反射された光がカメラ（４）により記録され、前記カメラ（４）によって記録された画像が測定される。前記対象物（１）の上および／または傍側にある基準点マーク（８）が、リファレンスカメラ（５）によって記録される。前記リファレンスカメラ（５）の視野（９）は、カメラ（４）の視野よりも広い。この方法を改善するために、前記リファレンスカメラ（５）は、前記カメラ（４）と、または前記プロジェクタ（３）および前記カメラ（４）を備える三次元センサ（２）と接続されている。 （もっと読む）

【課題】テレビジョン装置に固定されたカメラのキャリブレーションを行い易いキャリブレーション方法および映像表示装置を提供することである。
【解決手段】実施形態のキャリブレーション方法は、カメラおよび第１ディスプレイを備える映像表示装置のカメラ映像を補正するキャリブレーション方法であって、設置工程と、第１表示工程と、反射工程と、撮像工程と、算出工程と、補正工程とを含む。設置工程では、前記第１ディスプレイと、第２ディスプレイとを対向させて設置する。第１表示工程では、前記第１ディスプレイに所定の表示画像を表示させる。反射工程では、前記第１ディスプレイ上の表示画像を前記第２ディスプレイの表面で反射させる。撮像工程では、前記第２ディスプレイで反射された前記表示画像を前記カメラによって撮像する。算出工程では、カメラ映像における前記表示画像の位置のずれから、前記カメラと前記第１ディスプレイとの相対的位置関係を算出する。補正工程では、前記相対的位置関係に基づいて前記カメラ映像を補正する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び検査方法を提供すること。
【解決手段】検査方法は、測定対象物を撮影して測定対象物のピクセル別にイメージデータを取得し、測定対象物のピクセル別に高さデータを取得し、測定対象物のピクセル別にビジビリティデータを取得し、取得されたイメージデータと、ピクセル別の高さデータ、及びビジビリティデータのうちの少なくとも１つとを乗算して結果値を算出し、算出された結果値を利用してターミナル領域を設定すること、を含む。よって、より正確にターミナル領域を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】撮像領域内の各地点からの光に含まれる偏光成分間の大きさの違いを示す指標値に基づく画素値をもった偏光情報画像の高精度な解析処理を実現することを課題とする。
【解決手段】水平偏光成分Ｐ及び鉛直偏光成分Ｓの大きさの違いを示す差分偏光度（指標値）を算出し、算出した各指標値に基づく画素値をもった差分偏光度画像（偏光情報画像）を撮像するという撮像動作を連続して行うことで、露光量が互いに異なる例えば３種類の偏光情報画像を撮像する。そして、過去の撮像動作により撮像された３種類の偏光情報画像の中から、偏光成分間の大きさの違いが最大である特定の偏光情報画像を選定し、選定した特定の偏光情報画像に対応する露光量に基づいて後の撮像動作時の露光量を決定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、実際の道路環境において、反射光（楕円偏光）の楕円軸が車両の車軸方向あるいは高さ方向に対して傾いている場合であっても、正確に路肩を検出することができる新規な車両運転支援装置を提供することを目的とする。
【解決手段】偏光撮像手段の画素毎に直交する２つの偏光方向をもつ偏光素子を設け、該偏光素子の偏光検出軸を所定の角度範囲で変更させながら、２つの偏光方向に対応する光強度の比を監視し、当該光強度比が最初の極値に達したときの光強度に基づいて偏光状態特徴量を算出する。この偏光状態特徴量が所定の閾値を超える領域を路肩として検出し、その位置情報に基づいて、操舵制御手段、走行速度制御手段、警告手段等を制御することによって車両の運転支援を行う。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に塗布された塗布物質の塗布状態をより簡単に精度よく測定する。
【解決手段】測定対象物を撮像して測定対象物のスペクトル画像を取得する画像取得ステップＳ０１と、画像取得ステップにより得られたスペクトル画像に基づいて、塗布物質の種類を判別する塗布物判別ステップＳ０２と、画像取得ステップにより得られた前記スペクトル画像に基づいて、塗布物質の塗布量を測定する塗布量測定ステップＳ０３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】投影装置の動作をフレームごとに制御することを可能にする。
【解決手段】投影装置を制御するための投影制御装置は、複数の色成分で構成された映像信号を受信し、受信した映像信号の各フレームについて特定の色成分の情報を制御情報として抽出し、抽出された制御情報に基づいて投影装置の動作を制御するための投影制御情報をフレームごとに生成し、生成した投影制御情報を投影装置に供給する。 （もっと読む）

【課題】 表面形状測定において、測定対象面と参照面からの反射光により干渉縞を発生させ、各画素の位相を単色光ごとに求め、表面形状を測定において、波長の異なる複数の単色光を得る場合は、抽出手段を増設する必要が生じていた。
【解決手段】 照射手段を介して測定対象面と参照面に波長の異なる複数の単色光を照射し、測定対象面と参照面の両方から反射して同一光路を戻る反射光によって生じる干渉縞の強度値に基づいて、測定対象面の表面高さと表面形状を求める表面形状測定方法において、前記照射手段が、広帯域な波長特性を有する照射光から、音響光学フィルタを用いて任意の異なる波長の単色光を複数抽出し、同時に混在して照射する照射手段を用いる。 （もっと読む）

【課題】検査精度の向上を図ることのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置は、実装エリア内のクリームハンダ４及びレジスト膜５の表面の三次元計測を行うと共に、各クリームハンダ４の最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第１仮想基準面Ｋ１として設定し、さらに当該第１仮想基準面Ｋ１をベース基板２の表面２ａに直交する方向に沿って所定位置まで降下させ、第２仮想基準面Ｋ２として設定する。そして、当該第２仮想基準面Ｋ２からの各クリームハンダ４の突出量を算出し、これを基に当該クリームハンダ４の印刷状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 計測誤差の校正が可能な三次元計測装置を提供する。
【解決手段】
所定のパターンを投影する投影部と、パターンが投影された被写体を撮像する撮像部とを有する三次元計測装置は、撮像部によって撮像された画像において、計測空間内の同一平面上に予め設定された複数のパターン検出領域に投影されたパターンの撮像画素面上の位置情報を検出する検出部と、位置情報を用いて、計測時前に予め検出した投影部の投影画素面上のパターンと計測時における投影部の投影画素面上のパターンとの対応関係を算出する対応関係算出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 三次元位置計測において、投影パターンのパターン形状を適切に設定することを目的とする。
【解決手段】 計測対象に対してパターン光を投影する投影手段と、前記パターン光が投影された前記計測対象を撮影し、前記計測対象の撮影画像を取得する撮影手段と、前記撮影画像と、前記投影手段の位置および姿勢と、前記撮影手段の位置および姿勢とに基づいて、前記計測対象の位置および／または姿勢を計測する計測手段と、前記計測対象の位置および／または姿勢の変動範囲から、前記パターン光の識別分解能を設定する設定手段と、前記識別分解能に応じて、前記パターン光のパターン形状を変更する変更手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定対象物が明るさ（色）の異なる複数の領域を有している場合に、適切にその測定対象物を３次元測定することができる３次元測定装置等の技術を提供すること。
【解決手段】本技術の一形態に係る３次元測定装置は、投影部と、撮像部と、制御部とを具備する。前記投影部は、照度を変化可能な照明を有し、前記照明からの光により測定対象物に縞を投影する。前記制御部は、前記撮像部により前記測定対象物の画像を撮像させ、撮像された前記測定対象物の画像から輝度値を取得し、取得された前記輝度値に基づいて、前記測定対象物に対して複数の検査ブロックを割り当て、割り当てられた前記検査ブロック毎に、前記照明の測定照度を決定し、決定された前記測定照度で、それぞれ、前記投影部により前記検査ブロックに対して縞を投影し、前記縞が投影された前記検査ブロックの縞画像を前記撮像部により撮像し、撮像された前記縞画像に基づいて前記測定対象物を３次元測定する。 （もっと読む）

【課題】段差部を有する鏡面反射性物体の形状を高精度に測定することが可能な３次元形
状測定方法及び装置並びに３次元形状測定用顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】デフレクトメトリの手法を用いて被検面４の局所スロープ情報及び形状情報
を求めた後、投影光学系２による面光源１の共役位置３が記被検面４上に位置するように
設定するとともに、開口絞り２２の絞り半径を小さくして、面光源像を被検面４に投影す
る。観察光学系５により観察される面光源画像における歪情報と、先に求めた局所スロー
プ情報及び形状情報に基づき、被検面が有する段差部の段差量情報を求め、その段差量情
報に基づき形状情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】カメラ、レーザの相対位置を高精度で設置する必要がなく、また、測定レンジを複数種類を単一の測定プログラムにより変更する。
【解決手段】レーザ線条光照射部12と、既知形状の基準模様群を表示面に表示した座標変換テーブル作成用印刷表示板16と、照射部位の光切断面及びレーザ照射平面上に設置される表示板16を撮影するカメラ11と、表示板１６の基準模様群を撮影したカメラ上の座標データを抽出する基準座標抽出手段131とから基準模様群の座標データと基準座標抽出手段131で抽出されたカメラ上の座標データとの対応関係を示す座標変換テーブル133を作成する。形状測定時には、表示板16を外して同じ位置に被測定物を配置させ、レーザ線条光を照射して照射部位の光切断面を撮影した画像から、点群抽出手段134により光切断面の点群を抽出する。抽出した点群座標を近似処理手段135により座標変換テーブル上の値に近似する。 （もっと読む）