【課題】半導体ターゲットのオーバレイなどの特性を測定する装置および方法の提供。
【解決手段】一般に、次数選択された画像化および／または照射が実行され、測定システムを用いてターゲットから画像を収集する。一実施において、調節可能な空間変調は本システムの画像化経路のみに提供される。他の実施において、その空間変調は本システムの照射経路および画像化経路の両方に提供される。特定の実施において、その空間変調は±ｎの回折次数を有する、隣接するグレーティングを画像化するために用いられる。隣接するグレーティングは半導体ウエハの異なる層または同一の層内であってよい。構造物間のオーバレイは通常、グレーティングの対称中心間の距離を測定することによって見出される。この実施形態の場合、ｎ（ｎはゼロではない整数）の所定の選択に対して±ｎの次数のみが選択され、グレーティングはこれらの回折次数を用いてのみ画像化される。 （もっと読む）

【課題】基板に印刷されたシルク印刷パターンを高い精度で検査することができるようにする。
【解決手段】基板の画像を取得する画像取得部と、画像取得部が取得した基板の画像からシルク印刷パターンの画像を切り出すシルク領域切り出し部と、シルク領域切り出し部が切り出したシルク印刷パターンの画像を保存する切り出し画像格納部と、シルク印刷パターンのＣＡＤ画像を読み込むＣＡＤ画像データ読み込み部と、ＣＡＤ画像データ読み込み部が読み込んだＣＡＤ画像と、シルク印刷パターンの画像とをずらしながら一致度合いを集計する手段と、ずらした座標に対して一致度合いの集計結果を格納する照合結果格納部と、照合結果格納部に格納された集計結果からシルク印刷パターンのずれ量を判定する位置ずれ判定部と、位置ずれ判定部が判定したシルク印刷パターンのずれ量に基づいてシルク印刷パターンの不良を判定する不良判定部とを有する。 （もっと読む）

【課題】検査時間が極めて短く、作業時間、タクトタイムを短縮することが可能な線状体ないし帯状体として把握可能であり、しかも、被検体に歪みや変形がある場合でも、誤認識を防止し、正確な欠陥検出が可能な欠陥検出方法、欠陥検出装置、欠陥検出プログラムを提供する。
【解決手段】半導体ウエハのエッジ部分など、線状体ないし帯状体として認識可能な被検体画像の幅方向の輝度と画素数とを積算し、この積算値が所定の基準値以下のときに欠陥であると判断する構成の欠陥検査方法、欠陥検出装置、欠陥検出プログラムとした。 （もっと読む）

【課題】めねじ成形部品のめねじの成形良否を正確かつ迅速に判定することができるめねじ成形部品の良否判定装置の提供。
【解決手段】本発明は、少なくとも一端が開口する穴部壁面にめねじが形成されためねじ成形部品のめねじの成形良否を判定するものであり、照明手段４によりめねじ内部を照明して当該めねじを開口端側斜め上方から撮像手段５により撮影することによりめねじ開口端から複数リード分のねじ山の画像を撮像し、前記ねじ山の画像を明度に応じて二値化処理し、これにより得られた二値画像のねじ山を含むエリアにおける各数値の割合に応じてめねじ成形の良否を判定する。 （もっと読む）

【解決手段】 内フラップ７の外側に外フラップ８を重合して形成した側面２ｅを有するいわゆるラップラウンドケースの検査装置１であって、
上記ケース２の側面２ｅに対して、照明手段４によりライン光を照射するとともに、該照明手段４の照射方向とは異なる方向から撮影手段５により側面２ｅに投影された投影線Ｌを所定時間間隔で撮影する。
画像処理手段６は撮影した投影線Ｌの画像から内フラップ７および外フラップ８の高低差を認識するとともに、内フラップ７および外フラップ８により形成される側面２ｅを立体形状として認識し、この立体形状からケース２の成形不良や位置ずれ量を検出して、ケース２の良否を判断する。
【効果】 いわゆるラップラウンドケースの成形不良を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】パイプＡＳＳＹなどの検査対象物の表面についた傷を精度良く検出し、その検出結果に基づいて検査対象物の良否を精度良く判定できる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置（１）は、検査対象物の検査領域を含む領域を撮影した検査画像を取得する２次元検出器（２４）と、検査画像に基づいて検査対象物の傷に関する情報を検出する傷検出部（３３）と、その情報に基づいて、検査対象物の良否を判定する良否判定部（３４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】 誤品検査を行う作業者の集中力を回復させることができる物品検査装置を提供する。
【解決手段】 部品コード（物品識別情報）に対応して部品の外観形状を示す情報を記憶している外観形状データベース（記憶手段）２１と、部品に付されている部品ＩＤを入力する部品ＩＤ入力手段３１と、部品ＩＤが入力された際に、入力された部品ＩＤに対応して外観形状データベース２１に記憶されている外観形状情報から得られる真正物品の外観形状、又は、入力された部品ＩＤから相違する非真正物品の外観形状を表示する表示器４０を備えている。そして、表示器４０が真正物品の外観形状を表示する頻度は、非真正物品の外観形状を表示する頻度よりも高い。 （もっと読む）

【課題】はんだの濡れ性を簡素な装置構成で且つ短い処理時間で検査することができる装置および方法を提供する。
【解決手段】準備工程としての基準接触角決定工程および検査光傾角設定工程で、基準とする接触角を予め決定し、且つ光源一体型カメラの光源から照射する検査光の照射角を前記接触角に対応する平面に垂直となるように設定し、光源等移動工程で位置合わせして傾角を設定された検査光を検査対象はんだフィレットの表面に照射し、フィレット面撮像工程ではんだフィレットの表面の画像を撮像し、画像処理工程でその画像を二値化等の処理をし、はんだ濡れ性評価工程でその処理結果を用いてはんだ濡れ性の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】検出感度や異物座標検出誤差の機差が小さく、異物等の欠陥の高い位置座標精度が得られるウェハ表面欠陥検査装置およびその方法を提供することである。
【解決手段】第１の光源からの射出ビームを回転するウェハの表面上に照明してビームスポットを形成してウェハ表面上の異物等の欠陥による散乱光を複数方向で検出して信号として出力し、第２の光源からの白色光または広帯域の光を用いてウェハ面の上下動を検出してその情報に基づいてウェハ面上のビームスポット位置を補正してウェハ面上下動に伴う座標誤差を抑制するとともに、第1の光源における光の射出方向および射出位置を補正して第1の光源の変動による座標誤差を抑制することで検出する異物等の欠陥の座標精度を向上する。さらに照明ビームスポット径を補正し、検出感度や異物座標検出誤差の機差を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 個々の指紋固有の紋様の特徴的部分を含む特定領域（パタンエリア）を、入力された人間または他の動物の指紋画像から抽出することを可能とする。
【解決手段】パタンエリアは、右パタンエリアスロープ、左パタンエリアスロープ、および、パタンエリアベースによって囲まれた最小の領域として抽出される。右（左）パタンエリアスロープは、指紋画像の中心部より上位に位置する開始点から右（左）側を外に向かって流れ、かつ、所定の条件を満たす指紋線をいう。パタンエリアベースは中心部より下部に存在するほぼ水平で所定の条件を満たす指紋線である。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上と印刷精度確保のバランスがとれた最適な検査形態を実現することができる印刷検査装置および印刷検査方法を提供すること。
【解決手段】スクリーン印刷後の基板のクリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査において、基板の回路形成面に設けられた電子部品接合用の電極に印刷される要素半田印刷部の形状および位置を示す単位形状・位置データを、検査形態に応じて選定されるグループ化条件に従ってデータ群に括ることによって検査用データを作成する。検査時の良否判定はこのデータ群毎に行い、判定結果を各データ群毎に表示する。これにより、検査対象の基板の特性に応じた最適な検査形態をフレキシブルに選択することができる。 （もっと読む）

【課題】照明光の状態等によらず、可動部の位置を正確に検出して制御を行うことが可能な自動運転装置及び自動運転方法を提供する。
【解決手段】１回の動作を分割した複数の動作ステップを経て移動し、動作を繰り返す可動部（１０、２０）を有する自動運転装置１００は、露光量調節手段３１により露光量を調節して可動部（１０、２０）を撮影した画像データを取得する撮像部３０と、制御部であって、可動部（１０，２０）の移動及び停止を行う動作指示手段４１と、画像データが可動部（１０、２０）の位置検出に適しているか否かを判定する画像適否判定手段４２と、位置検出処理に適していると判定された画像データに基づいて可動部（１０、２０）の位置を検出する位置検出手段４３と、可動部（１０，２０）の位置に基づいて可動部（１０，２０）が移動目的地に到達したか否か判定する移動終了判定手段４４を有する制御部４０とを有する。 （もっと読む）

パターンのパラメータの変化を評価するための方法及びシステムが提供される。この方法は、パターン化された物品の少なくとも一部分の空間強度像を表すデータを処理し、更に、そのパターン化された物品の前記少なくとも一部分内の所定の領域に対して空間像強度のある関数の値を決定することを含み、空間像強度の関数の前記値は、そのパターン化された物品の前記少なくとも一部分内のパターンの少なくとも１つのパラメータの変化を表すか、又はそのパターン化された物品を使用することにより製造されるパターンの少なくとも１つのパラメータの変化を表すものである。 （もっと読む）

【課題】検査対象物がノーマル検査モードではない場合、ベアボード情報を検索し、ベアボード情報がない供給業体で供給されたボードである場合、ベアボード学習を通じてボードのターゲット対象物の３次元形状を測定する方法に関する。
【解決手段】第１照明源の明るさを測定する段階と、位相を高さに変換したファクターを測定する段階と、ノーマル検査モードによるボードの３次元形状を測定する段階と、ベアボード情報がない場合にベアボード学習を実施する段階と、ベアボード情報があるか又はベアボード学習情報が発生されると学習検査モードによるボードのターゲット対象物の３次元形状を測定する段階と、３次元形状情報を用いてボードが正常か否かを分析する段階と、から構成され、ボードのターゲット対象物の３次元形状測定作業をより容易に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】電線端末部に露出させた芯線に素線の欠損があるかないかを確実に検査できる電線端末部の芯線検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の芯線検査装置１００は、左右方向に延びつつ前後方向に移動する電線１の芯線２に向けて、上下方向、斜め前方向および斜め後方向にそれぞれレーザー光を照射する第１の装置本体１０と、前後方向にレーザー光を照射する第２の装置本体３０とを備える。これにより、複数の方向から芯線を検査することができるから、芯線に素線の欠損があるかないかを確実に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】放電灯用のガラス管の形状を計測し、評価する事により品質を確保する検査方法及び検査装置を、汎用性が高く安価に提供する。
【解決手段】基準値情報の入力手段と、透光体よりなる被検査体の保持手段と、前記被検査体に光を照射する光源手段と、前記被検査体を透過した光の画像情報を取り込む画像取り込み手段と、前記画像取り込み手段により取り込んだ画像情報に基づき前記計測基準項目毎の測定値を計測する計測手段と、前記入力手段により予め入力された情報と前記測定値情報を比較して合否判定を行う演算手段を設ける。 （もっと読む）

集積回路デバイス（１０）上のピングリッドアレイ（１５）を検査するための検査システム（１）は、ピングリッドアレイ（１５）を有するデバイスを受け付けるように構成されたピンベースマスク（３０）を備えている。暗視野・低角度照明システム（４０）は、ピングリッドアレイ（１５）に発光する。ピンベースマスク（３０）および暗視野・低角度照明システム（４０）は、ピングリッドアレイ（１５）に関する鮮明で明確な画像を提供する。カメラ（５０）はピングリッドアレイ（１５）の画像を取得する。カメラ（５０）に接続されたプロセッサ（９０）は、カメラ（５０）により取得された画像を分析する。取得された画像に基づいて、プロセッサ（９０）はピングリッドアレイ（１５）上のピンが湾曲（１３、１４）または欠落しているか否か、または、余剰なピンが存在しているか否かを決定する。
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【課題】チェンジキットを交換する必要がなく、ハンドリングオフセットを低減できる検査工程の搬送装置及び検査工程の搬送方法を得る。
【解決手段】被検査対象であるＩＣパッケージＰをコンタクト部１１に載置して電気特性を検査する検査工程に用いられる検査工程の搬送装置１００であって、搬送手段１７が、搬送ユニット１５とＸＹ搬送アーム１７ａとからなり、搬送ユニット１５が、被検査対象を吸着する吸着ノズルと、吸着ノズルを軸線回りに回動させる回転機構と、チェンジキット又はコンタクト部１１に載置された被検査対象を撮像する撮像手段と、を有し、撮像手段が、ハンドリングによって置かれる被検査対象の目標位置と実際に置かれた被検査対象の位置とのハンドリングオフセットを認識する画像処理手段と接続されている。 （もっと読む）

コンベアのベルト（１０）の上に横になりながら動く円柱状物体（１）の直径を連続的に計測すること（２０）に基づくシステムは、円柱状物体（１）の寸法の適合を確かめることを可能にする。計測システム（２０）は、横方向のノズル（４２）を介してガスの防御によってコンベア（１０）からタブレットを排出することに基づいた選別システムに結合できる。本発明のシステムによって、特に修正（２）後の核燃料タブレット（１）が、廃棄されるべきか否かを連続的に判定することができる。
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【課題】歪みのない画像で木材の検査を正確に行えるようにすること。
【解決手段】照明手段５、６で木材９の照明を行い、複数の撮影手段８ａ、８ｂ、８ｃで所望幅重複させるようにして前記木材９の撮影を行い、マーカ手段１２ａ、１２ｂで前記重複させる撮影区域内のほぼ中央部に細い光線のマークを照射し、画像処理手段で前記撮影手段８ａ、８ｂ、８ｃにより撮影された画像の前記マーク位置から、歪みのない基準の木材のマーク位置とのズレ量を検出し、該検出したズレ量がなくなるように前記撮影手段８ａ、８ｂ、８ｃにより撮影した画像を補正し、該補正した前記複数の撮影手段８ａ、８ｂ、８ｃからの画像を合成して、前記木材の検査を行う。 （もっと読む）