【課題】 ＸＹ方向へのクロストークを極力なくしてＺ方向への直進性を向上し、高精度に試料の形状情報や物理情報を計測すること。
【解決手段】 探針２ａを有するプローブ２と、該プローブ２を固定すると共に電圧を印加されたときに試料表面Ｂに垂直なＺ方向に伸縮するＺアクチュエータ４と、該Ｚアクチュエータ４に電圧を印加する印加手段５と、該印加手段５の作動を制御する制御手段とを備え、Ｚアクチュエータ４が、Ｚ方向に伸縮自在な圧電体２０と、圧電体２０の内周面又は外周面に少なくとも周方向に３つ以上に分割された状態でそれぞれ電気的に独立して設けられ、接触する領域の範囲で圧電体２０に電圧を印加して伸縮させる複数の分割電極２２とを有し、制御手段が、分割電極２２にそれぞれ接触する圧電体２０の各接触領域の伸縮量がそれぞれ同一となるように、予め決められた電圧印加量の比率で電圧を印加するよう印加手段５を制御する表面情報計測装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】被検面の形状誤差に関わらず、常に高精度に偏心量を測定できる偏心測定方法等を提供できる。
【解決手段】レンズ枠１００ｃが備える３つの球１００ｄ等の位置を測定する第１の基準物位置測定工程と、レンズ１００の所定面の形状を測定する光学素子形状測定工程と、レンズ枠１００ｃに関する測定座標系の位置を計算する測定座標系計算工程と、光学素子形状測定工程の測定結果を測定座標系に座標変換する座標変換計算工程と、固定枠１４０（取り付け部１６０）によりレンズ枠１００ｃを支持する支持工程と、支持されているレンズ枠１００ｃの球１００ｄの位置を測定する第２の基準物位置測定工程と、レンズ枠１００ｃの基準軸１６０ａに対する偏心量を算出する第１枠体偏心量計算工程と、基準軸１６０ａに対するレンズ１００の偏心量を計算する光学素子偏心量計算工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 安価な構成で且つ直前の測定方向に左右されず、ヒステリシスの影響を一定にして高精度な測定を可能にする。
【解決手段】 被測定物にプローブが接触したときのプローブの三次元位置の情報から測定要素のパラメータを算出する三次元測定システムにおいて、プローブを被測定物の測定点に同じ方向から２回連続して接触させ、このうちプローブが後で接触したときの三次元位置の情報のみを取り込んで測定要素のパラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】 位置決め誤差及び円筒度が算出可能で、円筒度を考慮したころ外形母線形状を正確に測定可能なころ形状測定装置およびころ形状測定方法を提供する。
【解決手段】 被測定ころ４の中心線４ａに対して対称な二つの外形母線とそれぞれ接触するように配置可能な一対の測定子６，６を備える。 （もっと読む）

【課題】 ころの形状にばらつきがある場合でも、適切に評価基準を決定して、信頼性の高い形状評価を行うことができるころ形状評価方法を提供することにある。
【解決手段】 ころ形状評価方法において、実際に測定されたころの形状測定値から評価基準を決定する工程と、評価基準を用いてころの形状を評価する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の測定面の任意の位置における高さデータを高精度にて推定する高さデータ推定方法、高さデータ推定用プログラム、及び３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】 複数のサンプリング位置における高さデータに関して、設計データと測定データとの誤差値を求め（Ｓ６）、求まった誤差値にて形成される形状の関数を求める（Ｓ６）。そして、該関数に基づいて、被測定物の測定面の任意点における推定誤差値を求めるようにしている（Ｓ７）。したがって、上記推定誤差値の精度は、測定データの高さデータに基づき作成される面の曲率半径及び傾斜面角度とは無関係となり、一定となる。よって、従来に比べて、高い精度にてなる推定誤差値を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】被測定面の形状測定を行う前の演算による測定シミュレーションによって、プローブと測定治具等との干渉の有無を確認することで、実際の形状測定におけるプローブ干渉によるトラブルを防ぐ。
【解決手段】ステップＳ２において、被測定物を保持する測定治具に設けられた基準球によって形状測定装置に対する被測定物の取付状態を検出し、座標変換を行ったうえで、被測定物の設計形状データＤ２、測定治具形状データＤ３等を用いた演算による測定シミュレーションを行い、測定治具や、被測定物の被測定面以外の面に対するプローブ干渉の有無を確認したうえで、走査中のプローブ傾斜角度を算出し、ステップＳ１２の形状測定工程におけるプローブ走査速度を自動設定する。 （もっと読む）

【課題】 ワークやプローブの表面に塵埃が付着していても、容易にそれら塵埃を取り除くことができ、ワークやプローブを破損することなく、高精度な測定ができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 プローブ２４をワークＷに接触させた状態で、移動機構１２により前記プローブ２４と前記ワークＷとを相対的に走査させることによって前記ワークＷの表面形状を測定する形状測定機１であって、前記ワークＷを支持するワーク支持手段５と、前記ワークＷに対して前記プローブ２４を進退可能に支持するとともに、前記走査において前記ワーク支持手段５に対して相対的に移動するプローブ支持手段２１，２２と、前記ワーク支持手段５に支持された状態のワークＷまたは前記プローブ支持手段２１，２２に支持された状態のプローブ２４の少なくともいずれか一方を洗浄する洗浄手段３７と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ワークやプローブを傷付けることなく、簡易な構成により迅速にワークを測定することができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 プローブ１４をワークに接触させた状態で、前記プローブ１４と前記ワークとを相対的に走査させることによって前記ワークの表面形状を測定する形状測定機であって、前記ワークの表面に対する前記プローブ１４の接触荷重を調整する荷重調整機構２６を有し、前記プローブの先端に曲率半径Ｒが０．０１μｍ以上１μｍ以下に設定された探針３０が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 加圧ツールおよび圧着台の押圧面間に圧力測定フィルムを自動的に挿入し、両押圧面間で加圧された圧力測定フィルムを撮像位置に移動して撮像装置により撮像することにより、両押圧面間の平行度を自動的に効率的に検出する。
【解決手段】 フィルム自動巻取り装置２５により圧力測定フィルム２３の未加圧部分が自動的に使用位置２４に繰り出される。使用位置に繰り出された未加圧部分が加圧ツール１５および圧着台１６の押圧面１７，１８間の加圧位置２６に移動される。両押圧面間で加圧された測定フィルムの既加圧部分が撮像位置２７に移動されて撮像装置２８により撮像される。両押圧面間で加圧された測定フィルムの既加圧部分の撮像画像に関する情報が出力装置５３に出力される。 （もっと読む）

【課題】 制御回路の制御パラメータを適宜補正することにより、測定制御系の周波数特性を最大に保持することができる、測定制御系における制御回路の制御パラメータ補正方法を提供すること。
【解決手段】 スタイラス１３１を被測定物Ｗに押し込んで接触測定を行う。このとき、スタイラス１３１の押し込み量を表す変位信号と、スタイラス１３１の受ける測定負荷に応じてセンサ１３から出力されるセンサ信号とを測定し、この２つの信号を基にセンサ１３のゲインＧｓ´を算出する。Ｇｓ´の値は、スタイラス１３１および被測定物Ｗの性状によって異なるが、以上のように算出されたＧｓ´に応じて制御回路のゲインを補正することによって、スタイラス１３１および被測定物Ｗの少なくともいずれかを性状の異なるものに交換した場合においても、測定制御系の周波数特性を最大に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】
同一パターンが形成されている複数の試料間の形状もしくは物性変化を容易に把握することができる走査プローブ顕微鏡を用いたパターン特性測定方法およびそのシステムを提供することにある。
【解決手段】
複数の試料間の同一領域を測定するために、マスターパターン上に基準位置を示すパターンを成型し、測定は基準パターンを起点とした領域内で行う。また、各試料の測定結果から、パターンを形成する単位領域の検出、および各検出単位領域内における形状特性等の算出を行い、測定領域内での各種特性のばらつき、各検出領域の二次元配列精度（ピッチのばらつき）等の、試料間での変化を表示し、パターンの特性変化が容易に把握できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と、位置決め、搬送の能率につき向上を図る。また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持する既存の発明を改良し、計測動作等から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】 塗装された樹脂製車両部品であっても隣接部品との隙間や段差を均一に管理可能な樹脂製車両部品の計測解析方法を提供する。
【解決手段】 射出成形した生地の樹脂製車両部品（２）を隣接部品を含めて形成した生地用マスターモデルＭに組付けて樹脂製車両部品（２）の形状および隣接部品との隙間および段差を計測する生地用拘束計測工程と、塗装後の樹脂製車両部品（２）を隣接部品を含めて形成した塗装用マスターモデルＭに組付けて樹脂製車両部品（２）の形状および隣接部品との隙間および段差を計測する塗装用拘束計測工程と、生地用拘束計測工程の計測値と塗装用拘束計測工程の計測値とから車両へ組付けられる樹脂製車両部品（２）の形状および隣接部品との隙間および段差の許容値外への変化がいずれの工程に起因して発生しているかを判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】
角度調整における信頼性を向上させること。
【解決手段】
上面８ｄと交わる軸ａ１周り方向と軸ａ１と交わる軸ａ２周り方向とに関して、上面８ｄに対する角度が調整自在な先端面８ｅを備えた角度調整治具１０であって、平面部１１ａと、平面部１１ａと交わる軸ａ３を中心に回転自在に平面部１１ａにより支持され、上面８ｄが固定される取り付け部１２と、軸ａ３と交わる軸ａ４を中心に円弧状に延在し、その円弧形状に沿って先端面８ｅを移動自在に支持するアーム１３とを有する構成としたこと。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と能率のにつき向上を図る。
また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】 静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持し、計測動作から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】 路面データに基づいて車両の挙動を３次元的なうねりとして算出することができ、この車両の挙動を、路面の快適性や安全性を対象とした道路管理に役立てることのできる路面データに基づく車軸挙動の算出方法を提供する。
【解決手段】 車両が道路と接する４点の路面データを抽出し、この路面データから前車軸１５と後車軸１４がなす角度θを道路の長手方向へ連続的に求めることにより、車軸挙動を算出する。 （もっと読む）