【課題】三次元形状測定装置において、単一の位置検出器で複数の複数の測定ミラーの変位を測定可能とする。
【解決手段】互いに平行なレーザービームが偏光ビームスプリッタ２０４の偏光面Ｅの異なる位置に入射する。一方のレーザービームは偏光面で２つに分岐して第１の測定ミラー４と参照ミラー６に入射する。他方のレーザービームは偏光面で２つに分岐して測定ミラー５と参照ミラー６に入射する。偏光ビームスプリッタ２０４と測定ミラー２１０，２１１の間には、測定ミラー２１０に向かうレーザービームを透過させ、測定ミラー２１１に向かうレーザービームを反射される部分反射ミラー２１４が配置されている。測定ミラー４，５と参照ミラー６で反射されたレーザービームの干渉から測定ミラー４，５の参照ミラー６に対する相対位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】複数の測定手段を備える形状測定装置において、各測定手段の測定範囲を広くする。
【解決手段】形状測定装置は、レーザプローブ１７、画像プローブ１８、タッチプローブ１９の３種類のプローブを備えている。回転軸移動部１３Ｂは、傾斜軸Ａ１回りに回転自在に傾斜軸支持部１３Ａに支持されており、回転軸移動部１３Ｂを傾斜軸Ａ１回りに傾斜させることにより、回転テーブル１３Ｃに設置されている被検物２を、各プローブに対して傾斜させることができる。各プローブは、各プローブの図内の左側面が、傾斜軸Ａ１に対して略平行になるように配置されている。本発明は、例えば、形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】レーザスキャナを最適に配置し、スキャナの精度を確保する。
【解決手段】座標測定機器は、第１の端１０と、第２の端５０と、それらの間の複数の継ぎ合わせアームセグメントと、を有する関節付きアーム２０を含む。各アームセグメントは、少なくとも１つの回転軸を定める。レーザスキャナアセンブリは、アームの第２の端に結合され、関節付きアームの最後の回転軸を中心に回転可能である。レーザスキャナアセンブリは、レーザと画像センサとを含む。レーザは、最後の回転軸Ｌ１を挟んで画像センサの反対側に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】輸送制限の問題および精度低下の問題を解決できる測定機を提供すること。
【解決手段】ガイド部２と載置テーブル部５とが振動伝達部材６によって着脱可能に連結されるので、画像測定機をガイド部２、可動部３、および載置テーブル部５等に分割することが可能となり、各部材２，３，５を分割輸送することができる。そのため、輸送制限にかかることなく画像測定機を大型化することが可能となる。また、ガイド部２側で生じた振動も載置テーブル部５側で生じた振動も、振動伝達部材６を介して他方に伝達させることができるので、各側２，５に設けられた測定部と被測定物ｍとの間の相対振動を抑えることができ、相対振動による精度低下を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表裏面形状にかかわらず、１つのプローブで被測定物の表裏面を高精度に測定できる表裏面測定プローブ、表裏面測定装置および表裏面測定方法を提供する。
【解決手段】プローブ本体１０と、両端に接触子２２，２３を有する検出軸２０と、この検出軸２０をプローブ本体１０に対して検出軸２０の軸方向へ移動可能に支持するガイド機構３０と、検出軸２０を軸方向へ移動させる駆動機構４０と、検出軸２０と同軸上において、検出軸２０の移動位置を検出する位置検出手段５０とを備える表裏面測定プローブ。 （もっと読む）

本発明は、飛行機の胴体セル構造の構造要素（１）に関する。構造要素（１）はストリンガー構造（２）又は環状をなす前部品であってもよい。この構造要素（１）は複合材料から形成され、炭素繊維により強化されたエポキシ樹脂から形成してもよい。構造要素（１）は、測定システムを用いた位置特定を容易にする少なくとも１つの位置決め補助具（１０，１１）を備える。測定システムとしては、レーザー測定システム及び／又は触知型測定システム（２２）が使用可能である。好適にはレーザー追跡器（１９）であるレーザー測定システムの目標物として、位置決め補助具（１０，１１）に反射器（１２）を間に間隙が生じないように装着することにより、他のコンポーネント（２１）に対する構造要素（１）の空間位置を非接触にて極めて正確に測定することができる。この場合、距離に応じて、構造要素の空間位置を空間のあらゆる方向において最高５００分の１ミリメートルの精度にて測定可能となる。構造要素（１）の位置特定及び配向完了後には、位置決め補助具（１０，１１）から反射器（１２）を除去可能である。又は、触知型測定システム（２２）の測定アーム（２３）により構造要素（１）を測定することもできる。位置決め補助具（１０，１１）は、例えば機械的方法により、構造要素（１）から残留物を残すことなく短時間で除去することができる。本発明による構造要素（１）を使用することにより、空間において正確に配置される複数の構造要素からなる複雑な繊維複合材コンポーネントの製造コストが著しく低減される。
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【課題】薄用紙ロール製品における薄用紙の巻き長さを簡易に測定することができるようにする。
【解決手段】
薄葉紙ロールの管芯に挿通される支持ローラと、連続薄葉紙を巻取るための巻き取りローラと、巻き取りローラを支承して巻き取りローラに回転力を伝える一対の駆動ローラと、駆動ローラを回転駆動させるための駆動原と、支持ローラと巻き取りローラとの間に位置するガイドローラと、ガイドローラに周接するように配され、前記ガイドローラとの間を通る連続薄葉紙をニップするとともに、その連続薄葉紙の移動に伴って回転される測定ローラと、前記測定ローラの円周と回転数とに基づいて前記ガイドローラと支持ローラとの間を通過する薄葉紙の長さを算出する算出装置とを備える薄葉紙ロール製品の巻き長さ測定装置により解決される。 （もっと読む）

【課題】接触子の押し付け力を原子間力に相当する微小力（例えば３０ｍｇｆ以下）に設定でき、被測定物の傷を防止し、面粗さ等の微細な形状測定ができ、測定面のうねりに追従でき、プローブのオーバーランによる接触子等の損傷を防止できる形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物の上面に沿って移動可能なプローブ本体１０と、下端に設けられた接触子１２ａと接触子から上方に鉛直に延びる円筒形中間軸１２ｂとその上端に設けられ中間軸より最大径が大きい鍔部１２ｃとを有するスタイラス１２と、プローブ本体の下端に取り付けられスタイラス１２を鉛直にのみ移動可能にガイドするスタイラスホルダ１４と、スタイラスホルダの上面と鍔部の下面の間に挟持され鍔部を上方に付勢する円板状の自重軽減バネ１６と、プローブ本体に取り付けられ鍔部上面の変位を検出する位置検出センサ１８（レーザーセンサ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を有するワークを、貫通孔が所定軸方向に平行となるように、短時間で載置可能に構成された形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、貫通孔１２ａを有するワーク１２を載置可能に構成され且つＸ軸及びＹ軸に回転可能に構成された回転テーブル１３ａ、貫通孔１２ａの一方側からＺ軸に平行に光を照射する光源１３ｂ、貫通孔１２ａの他方側に配置され且つ貫通孔１２ａを通過した光源１３ｂからの光を受光してその受光した光に基づく輝度を測定するＣＣＤカメラ１８ａ、回転テーブル１３ａによるワーク１２の回転角度をＣＣＤカメラ１８ａにて測定された輝度に基づき制御する制御部３５を備える。制御部３５は、回転テーブル１３ａによりワーク１２を所定角度ずつ回転させる毎に、ＣＣＤカメラ１８ａにより輝度を測定させ、その輝度が最大となる角度に回転テーブル１３ａの回転角度を設定する。 （もっと読む）

【課題】目標位置の変化速度、及び補正に起因する追従誤差を抑制することができる制御装置を備える産業機械の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、被測定物を測定するための測定子を移動させる移動機構２と、移動機構２を制御することで測定子の位置を位置指令値に追従させる制御装置３とを備える。制御装置３は、移動機構２にて移動される測定子の位置を検出する位置検出部３１と、位置検出部３１による検出位置を補正する補正部３２と、補正部３２にて補正された検出位置の位置指令値に対する偏差に基づいて、測定子の位置を制御する位置制御部３３と、位値指令値に基づいて、移動機構２をフィードフォワード制御する位置フィードフォワード制御部３４と、補正部３２による検出位置の補正量に基づいて、移動機構２をフィードフォワード制御する補正量フィードフォワード制御部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】セッティング時の使い勝手を向上させることができるとともに、測定値の信頼性を維持しつつ、有効測定範囲を最大限使用可能な測定器を提供する。
【解決手段】本体と、本体に対して移動可能に構成されたスタイラスと、本体に対するスタイラスの変位量を検出するエンコーダ１２と、エンコーダ１２により検出された変位量から測定値を演算する演算部１３と、演算部１３が演算した測定値を表示する表示部１４と、演算部に指令を与える操作部１５，１６と、スタイラスの移動ストロークの下限値よりも大きく、かつ、上限値よりも小さい有効測定範囲を記憶した記憶部１７を備える。演算部１３は、エンコーダ１２により検出された変位量が記憶部１７に記憶された有効測定範囲内であるか否かを判定し、その判定結果を表示部に表示する。 （もっと読む）

本発明は、対象物の特徴形状を測定するための方法であって、少なくとも特徴形状の表象を、少なくとも特徴形状の表面測定を介して複数のデータ点を取得することによって対象物上で得ることを含む方法に関する。対象物の少なくとも特徴形状をほぼ複製するモデルが、表象に適合される。モデルは、共通点で連結される少なくとも２つの独立的に可変の部分を定義するパラメータを含む。適合させることは、少なくとも２つの独立的に可変の部分の少なくとも１つを変えることによってモデルの形態を変更することを含む。方法はまた、少なくとも特徴形状に関する情報を適合されたモデルから得ることも含む。
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【課題】測定対象物に形成された円形孔の内径を測定する技術を提供する。
【解決方法】内径測定装置１０は、距離センサ１２と、回転機構３８と、コンピュータ２０を備えている。距離センサ１２は、円形孔３４の内部に配置され、円形孔３４の内壁までの距離を測定する。回転機構３８は、円形孔３４の軸３６に対して角度θを成す基準軸３２を中心に距離センサ１２と測定対象物１６を相対回転させる。コンピュータ２０は、距離センサ１２によって各方向で測定された距離データから、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状を特定する断面特定機能と、断面特定機能によって特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する短径算出機能を併せ持っている。内径測定装置１０は、算出された楕円形状の短径を円形孔３４の内径とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの中心座標を求めてワークの計測基準点として設定することができるワークの計測基準点設定機能を有する工作機械を提供すること。
【解決手段】加工面が直交する２つの線に対して線対称なワークを、機械座標系の軸と前記２つの線が平行となるように配置する。前記２つの線と平行な第１の線に沿ってワークの加工面上から機上計測装置のプローブの球型測定子をワーク端面に向かって相対移動させる。ワークの端面から球型測定子が離脱して後、プローブの軸方向の移動速度があらかじめ設定された所定速度になる時点の座標を記憶する（Ｓ２〜Ｓ１１）。同様に第２の線に対しても行い座標を記憶する（Ｓ１２〜Ｓ２１）。記憶された座標から、それぞれの中点を求める。求められた中点の座標はワークの中心座標であり、ワークの計測基準位置として設定できる。 （もっと読む）

【課題】金属リングの周長を精度よく測定することができる金属リングの周長測定方法を提供する。
【解決手段】金属リングＷを１対のローラ２，３に掛け回し、一方のローラ３を他方のローラ２から離間する方向へ移動することにより金属リングＷに張力を付与すると共に両ローラ２，３間の距離を測定し、両ローラ２，３間の距離から金属リングＷの周長を算出する金属リングＷの周長測定方法において、金属リングＷの１つの部位Ｐ_１が両ローラ２，３間の所定の位置Ｍにあるときに金属リングＷの周長を算出した後、金属リングＷの他の部位Ｐ_２が所定の位置Ｍにあるときに金属リングＷの周長を算出する処理を少なくとも１回行い、算出された全ての金属リングＷの周長の平均値を金属リングＷの周長とする。金属リングＷの周長を算出する処理を少なくとも３回以上行うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】回転刃の刃先と被加工物の高さ方向の距離を正確に補正する。
【解決手段】ルータビット４３と、多軸ロボット３と、接触式変位計７と、レーザ変位計８と、高さ補正部とを有する。多軸ロボット３は、ルータビット４３を軸回転させ、被加工物１００に対して移動させる。接触式変位計７は、多軸ロボット３がルータビット４３の刃先を変位計測面７Ａに上から押し当てたときに生じる変位を計測する。レーザ変位計８、変位計測面７Ａと被加工物１００の相対的な高さを計測する。高さ補正部は、接触式変位計７とレーザ変位計８の計測結果に基づいて、ルータビット４３の刃先と被加工物１００との高さを補正する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で凹凸が検出された位置を的確に呈示することができる凹凸検出位置呈示装置および凹凸検出位置呈示方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の凹凸検出位置呈示装置は、物体の表面との相対移動により変形を生じることで該物体の表面の凹凸を検出する複数の検出部を有するシート状検出部材と、該シート状検出部材の片面側に位置し複数の発光体を有するシート状呈示部材と、からなる検出呈示本体と、前記シート状検出部材の検出結果に応じて前記発光体を発光させる演算部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の波面収差を好適に維持できる光学素子位置調整装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子位置調整装置は、ミラー３３，３５を保持し、且つ鏡筒２９に対してミラー３３，３５を６自由度方向に移動させるべく駆動する駆動部を有するミラー保持装置と、第６ミラー３５のＺ軸方向における位置を計測するための第６軸方向計測器６１Ｆと、第４ミラー３３のＹ軸方向における位置を計測するための鏡筒半径計測器６２及び間隔計測器６３と、各計測器６１Ｆ，６２，６３からの計測結果に基づきミラー保持装置を制御する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 オイルミストや塵などの付着から装置を保護して測定精度の劣化を防止し、加工機械のそばでも測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状を測定する計測装置であって、前記被検物Ｍの形状情報を採取する検出手段（形状センサ２０、投影ユニット２１、撮像ユニット２２）と、前記計測部の周囲に気体流を形成する気体流形成手段（エアーポンプ３０、エアーホース３１、エアーダクト２１ｄ、２２ｃ）とを備え、気体流形成手段は、帯電した不活性ガスを前記気体流形成手段に供給される気体に前記気体の流れに略直交又は逆らう方向から吹き付けて、前記不純物を帯電させる帯電機構（不活性ガス供給部４７、イオン化ガス発生部４８、導入路４１）と、前記帯電させた不純物の帯電極性とは、逆の極性に帯電させた集塵機構（網目部材４２）とを有した集塵手段４０を備え、前記集塵手段を介して前記検出手段の外界の雰囲気よりも不純物の少ない気体を流して、前記検出手段を前記雰囲気から隔てる気体流形成手段である。 （もっと読む）

【課題】オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段（非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂ）をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段（プローブボックス３０，エアーポンプ４０）と、保護手段に供給されるクリーンエアーの浄化を行う集塵手段４４を備える。 （もっと読む）