【課題】被検物を高精度に測定する。
【解決手段】測定装置１１の傾斜回転テーブル１４は、被検物が載置され、回転軸Ｌ１を中心に回転駆動する回転テーブル２１と、回転テーブル２１が回転可能に装着され、水平方向に延びる傾斜軸Ｌ２を中心に傾斜駆動する傾斜テーブル２２を備える。また、傾斜回転テーブル１４は、傾斜テーブル２２に対する回転テーブル２１の変位を測定する変位センサ３１乃至３３と、傾斜テーブルの鉛直方向の変位を測定する変位センサ３４を備える。本発明は、例えば、傾斜回転テーブルを有する測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの位置認識及び位置決めの精度を向上でき、信頼性を高めることができるようにすること。
【解決手段】位置認識装置１１は、半導体ウエハＷの端縁の位置を検出可能な複数のセンサａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２を備えた検出手段１６と、半導体ウエハＷと検出手段１６とを直線方向に相対移動可能な移動手段１７と、検出手段１６の検出データから半導体ウエハＷの中心位置を算出可能な制御手段１８とを備えて構成されている。検出手段１６は、前記相対移動する直線方向に対して直交する方向に、所定間隔を隔てて少なくとも４か所にセンサａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】全周にわたり高さなどの変位を測定するための回転装置において、測定対象が回転していることを簡易な構造で確認できる手段を提供する。
【解決手段】全周にわたり高さなどの変位を測定するための回転装置において、測定対象である回転対象物の上面に載置されるおもりの回転を、該おもりに備え付けられた検知対象部の通過により確認する回転確認機構であり、上記おもりは、上記回転対象物の被測定部位を覆わず、回転とともに該被測定部位の変位を測定することが可能な形状であり、前記回転対象物に回転力を与える機構と接触しないことを特徴とする回転確認機構を提供する。 （もっと読む）

【課題】 試験片の位置を正確に設定することができ、試験片の寸法を精度よく測定することが可能な測寸装置を提供する。
【解決手段】 試験片１の両端をその下方より支持して搬送する一対のコンベア１１と、このコンベア１１により搬送された試験片１を撮影することにより試験片１の幅を光学的に測定する幅測定機構３と、このコンベア１１により搬送された試験片１を上下方向から挟持することによりその上下方向の厚さを測定する厚さ測定機構４と、コンベア１１による試験片１の搬送経路上に配設され試験片１の両端部に当接可能な当たりブロック６とを備える。 （もっと読む）

【課題】車室内にインストルメントパネルを高精度に取り付けることを可能にするインストルメントパネルの取付装置及び取付方法を提供する。
【解決手段】インストルメントパネルの取付装置１０は、ボディ１４における対称位置で左右一対の車体側測定基準部１２０の車幅方向位置を計測する一対の第１変位計１１２と、車室内に搬入される前のインストルメントパネル２４における対称位置で左右一対のインパネ側測定基準部１２２の車幅方向位置を計測する一対の第２変位計１１６と、第１変位計１１２及び第２変位計１１６によって得られる信号から、平面視のボディ中心位置Ｃ１及びインパネ中心位置Ｃ２を求める演算部１３４と、演算部１３４から供給される中心差ΔＣに基づいてインストルメントパネル２４の車幅方向位置を調整する調整手段８５とを有する。 （もっと読む）

【課題】画像から迅速にビビリマークを評価できる加工仕上げ面の検査システム及び検査方法を提供する。
【解決手段】回転工具により機械加工された加工仕上げ面の検査方法であって、前記加工仕上げ面を観察してビビリマークの有無を判断し、観察によりビビリマークが確認された場合にビビリマークの幅寸法を前記回転工具の回転軸方向で計測し、計測されたビビリマークの幅寸法がしきい値以上である場合にビビリマークの深さが許容値以上であると判定する。その結果、画像より加工仕上げ面の検査が迅速に可能となる。ビビリマークの深さが許容値よりも深い場合には表面の研磨を行い、再度加工仕上げ面の検査を実施する。 （もっと読む）

【課題】現場等での測定が可能でありながら、迅速な測定を行える測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】ゼロ点誤差Δzは、始点と終点におけるプローブＭＰの傾斜の差α_N0から容易に求めることができ、これにより、被測定面全体の形状を精度良く求めることができる。即ち、水準器ＥＬで２回傾斜を読み取るのみでゼロ点誤差Δzを得ることができるから、測定時間の短縮を図ることができ、例えば現場等での作業も容易である。 （もっと読む）

【課題】専用の評価装置を設けることなく、アライメント調整装置でスラスト角を調整できる車両のホイールアライメント調整方法を提供すること。
【解決手段】本発明の車両のホイールアライメント調整方法は、車両の左右前後の車輪の位置を検出するステップと、予め設定されている装置中心線ＭＣに平行な方向への車輪１３、１４のずれ量を測定するセットバック量測定ステップと、左右の車輪１３、１４の装置中心線ＭＣに直交する方向の距離を測定するトレッド量測定ステップと、測定ステップにより測定したセットバック量Ｓおよび後軸トレッド量ＴＢに基づいて、スラスト角θを算出するステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 生産現場においても、短時間で自動的にころの輪郭形状を精度良く測定し、形状評価が行える輪郭形状測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定物支持手段１により支持されたころＷに対し、センサ移動機構４によりセンサ３を軸方向および垂直方向に移動させ、センサ３の先端の測定子２をころＷに接触させる。測定動作制御手段はセンサ移動機構４に一連の測定動作を行わせ、測定値記憶手段はころＷの軸方向複数箇所のセンサ３の測定値を記憶する。判定手段は、測定値記憶手段に記憶されたころＷの測定結果と、前記寸法データとを比較する。 （もっと読む）

【課題】 一体構造の装置で任意の形状の軸体の各部の諸元，精度等を効率的に、かつ高精度に測定できる軸体測定装置及びそれによる軸体の諸元及び精度の測定方法を提供する。
【解決手段】 軸体測定装置１００は軸体２００の外径，真円度，振れ，偏芯，キズ等を測定する光学式測定機構部１と、軸体２００の幅寸法や振れ等を測定するタッチプローブ型測定機構部２と、軸体２００を支持する軸体支持機構部３と、これ等の制御部４等を一体構造に配置したものからなる。また、タッチプローブ型測定機構部２の接触子２ａ等の位置調整等を行う接触子補正具７が設けられている。また、測定方法の１つとして外径寸法は軸体２００に光学式測定機構部１の投光部１ａから光線を当てて通過光線を受光部１ｂで測定することにより容易に求められる。 （もっと読む）

【課題】窪みまたは孔を有する回転対象を回転させながら高さ測定する際、浮き上がりを防止して、測定誤差を少なくできる装置を提供する。
【解決手段】窪みまたは孔を有する回転対象を回転させる装置において、前記回転対象の浮き上がりを防ぐために前記回転対象の窪みまたは孔の内側から外側に向かって把持する力を加える把持部と、前記把持部を下方向に押し下げる下降シリンダ部とにより、上方向から浮き上がりを規制する力を加えることを特徴とする回転装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】評価対象の金属板の面歪みを直接的、定量的に評価できるようにする。
【解決手段】測定装置２００により取得された金属板１の表面形状の計測値を入力とし、補間部１０２において、測定装置２００による計測値を直交格子状に補間した上で、ガウス曲率計算部１０３において、直交格子点上の値、すなわち測定装置２００による計測値が直交格子点上にあればその計測値、測定装置２００による計測値が直交格子点上になければ補間計算値を用いてガウス曲率を計算する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構造で、金属帯板の材質によらず精度よく形状を測定することができ、データ伝送においても外乱が小さい金属帯板の形状測定装置を提供する。
【解決手段】金属帯板１が巻き付けられるように設置され、表面に１本以上の螺旋溝３０が形成され、螺旋溝３０に径方向に貫通する穴である溝部穴４０が２箇所以上形成される中空円筒１０と、中空円筒１０に嵌合する薄肉円筒２０と、中空円筒１０の内部を貫通し、この中空円筒１０を回転可能に支持する静止軸５０と、静止軸５０の軸方向におけるそれぞれの溝部穴４０に対応する位置に設置され、金属帯板１を薄肉円筒２０に巻き付けたときの薄肉円筒２０の変位を測定するセンサ６０と、センサ６０により測定した薄肉円筒２０の変位から、金属帯板１の板幅方向における張力の分布を演算する演算手段１２０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状の測定精度をより一層向上させることができる三次元測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の表面に沿ってプローブを走査して、ＸＹ座標データを取得するとともに、光干渉計によりＸＹ座標データに対応するＡ相正弦波信号値とＢ相正弦波信号値とを取得し、それらの信号値の位相差と２乗和平方根とを算出し、位相差に基づいてＺ座標データを取得するとともに、２乗和平方根によりプローブのＺ軸方向に対する傾き角度を求め、当該傾き角度からプローブと被測定物との接点の位置ズレ量を算出し、ＸＹ座標データとＺ座標データと位置ズレ量とを合成して、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸における各座標データを取得し、被測定物の三次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】精度よく測定しなければならない小さい領域と、精度よく測定しなくてもよい大きな領域とが混在する大きな被測定物を適切に測定することができる安価な三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、三次元測定機本体２と、制御装置３とを備える。三次元測定機本体２は、測定子を有するプローブ４と、プローブ４を駆動する駆動機構５とを備える。プローブ４は、測定子を駆動する駆動部４３を備える。制御装置３は、第１測定部３２１と、第２測定部３２２とを備える。第１測定部３２１は、駆動部４３にて駆動される測定子の移動量を測定する。第２測定部３２２は、プローブ４の移動量を測定する。また、第２測定部３２２による測定精度は、第１測定部３２１による測定精度より低い。 （もっと読む）

【課題】可動部材への影響を極力低減できる防塵装置およびこれを用いた測定機を提供する。
【解決手段】ステージ２を挟む第１蛇腹部材３１および第２蛇腹部材３２と、蛇腹部材３１，３２の伸縮方向に対して直交する幅方向両端側にステージ２の移動方向に沿って配置され蛇腹部材３１，３２のステージ側端部をガイドするガイド機構５０と、ステージ２の移動に同期して第１蛇腹部材３１および第２蛇腹部材３２が伸縮するように、ステージ２と第１蛇腹部材３１の連結部材３３および第２蛇腹部材３２の連結部材３４との間に掛け回されたワイヤ６０とを備える。ワイヤ６０は、ステージ２の略重心を通りかつステージ２の移動方向に沿った軸線上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】製造及び品質レベルを大幅に上昇させる自動化又は半自動化された検査プロセスを提供すること。
【解決手段】鍵再設定可能な錠シリンダのロッキングバー、ラック及びピン、並びに他の精密公差の小型構成要素の各々を、１．５秒の平均サイクル時間で検査し、分類し、再圧印加工するための自動化された検査システムである。この検査システムは、組み合わせられたゲージ並びに目視公差チェック及び分類のために、種々のカメラ検査ステーション、機械ゲージ・ステーション及び／又は圧印加工ステーション内に構成要素を再配向する高速空気圧式分類マトリクスを含む。欠陥は目視及び機械ゲージ検査の組み合わせにより識別され、分類された構成要素は、不合格部品、合格部品、要圧印加工部品の３つの容器に分類される。検査／分類システムは、繰り返し精度０．００００５９０６で、０．０００１１８１１”までの公差チェックが可能である。 （もっと読む）

【課題】可動部材への影響を極力低減できる防塵装置およびこれを用いた測定機を提供する。
【解決手段】Ｙ軸移動機構３を覆う帯状の１枚の防塵シート３０を備える。防塵シート３０は、ステージ２の移動領域のうち、ステージ２を挟んだ一方側の開口２３を覆うとともに一端がステージ２に連結された第１表面覆部３１と、ステージ２を挟んだ他方側の開口２３を覆うとともに他端がステージ２に連結された第２表面覆部３２と、第１表面覆部の他端と第２表面覆部の一端とを連結するとともにＹ軸移動機構３を挟んで第１表面覆部および第２表面覆部とは反対側に配置された裏面覆部３３とを有し、これらの覆部が前記可動部材の移動に伴って回行可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】切削加工後の長尺シャフトなどの管状部材の内面を簡単に検査できる内面検査装置を提供する。
【解決手段】管状部材１の内面２を加工する内面検査装置であって、管状部材１を固定する固定装置１０と、固定装置１０により固定された管状部材１の内面２を加工する加工機２０、３０、４０と、内面２に区画された管状部材の内部空間に位置した状態で、加工機に加工された内面２を検知する内面検査ヘッド１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 特に薄層の厚さ測定に適した、測定用プローブを保持する測定スタンドおよびその制御方法の提供。
【解決手段】 測定用プローブ（２６）を保持する保持器（２４）を担持する変位部材（２３）と、その変位部材を測定用プローブとともに上下に駆動する駆動ユニット（３５）との間に、フリーホイール機構（５１）を介在させ、測定用プローブ（２６）または保持器（２４）が測定対象（１４）に接触すると、駆動ユニット（３５）による駆動が変位部材（２３）から切り離され且つスイッチング・デバイス（５８）がスイッチング信号を制御ユニットへ送出する。 （もっと読む）