【課題】基準面側の荷重が変化した場合にも、基準面側のエアベアリングとガイドとの間の隙間を適正な所定値に保つことができるガイド機構およびそのガイド機構を有する３次元測定機を提供する。
【解決手段】第１の側に基準面を有するガイドと、前記基準面に沿ってスライド可能に前記ガイドに設けられる被案内部材と、前記ガイドの前記基準面との間に第１の隙間を有するように前記基準面を押圧し、前記被案内部材に設けられる基準側案内部材と、前記基準面と反対側の前記ガイドの第２の側面との間に第２の隙間を有するように前記第２の側面を与圧し、前記被案内部材に設けられる与圧案内部材と、を有し、前記第１の隙間が所定値になるように、前記予圧との位置が前記被案内部材に対して上下動するように設けられる前記押圧との相対関係が調整可能であることを特徴とするガイド機構である。 （もっと読む）

【課題】管路内走行時に管の正確な内径を測定できる内径測定装置及びその内径測定装置を用いた管路内径測定システムを提供する。
【解決手段】本体部及び本体部を既設管路の内部で走行可能に支持する本体支持部、本体部に配設されて既設管路の内径を計測する内径測定部を備える内径測定装置において、内径測定装置の重心位置を、内径測定装置の既設管路への導入状態における中央位置に対して下方へ偏位させる。これにより、既設管路内を走行中の内径測定装置に振動等が付与されることに起因する内径測定装置の内壁に沿った旋回しながらの走行が抑制される。その結果、内径測定部による計測の軌跡が管路の軸線に平行するので、既設管路の正確かつ精密な内径測定が達成される。 （もっと読む）

【課題】接触子の押し付け力を原子間力に相当する微小力（例えば３０ｍｇｆ以下）に設定でき、被測定物の傷を防止し、面粗さ等の微細な形状測定ができ、測定面のうねりに追従でき、プローブのオーバーランによる接触子等の損傷を防止できる形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物の上面に沿って移動可能なプローブ本体１０と、下端に設けられた接触子１２ａと接触子から上方に鉛直に延びる円筒形中間軸１２ｂとその上端に設けられ中間軸より最大径が大きい鍔部１２ｃとを有するスタイラス１２と、プローブ本体の下端に取り付けられスタイラス１２を鉛直にのみ移動可能にガイドするスタイラスホルダ１４と、スタイラスホルダの上面と鍔部の下面の間に挟持され鍔部を上方に付勢する円板状の自重軽減バネ１６と、プローブ本体に取り付けられ鍔部上面の変位を検出する位置検出センサ１８（レーザーセンサ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】往復動内燃機関のシリンダ直径を精度良く、かつ、容易に計測できる往復動内燃機関のシリンダ直径計測器。
【解決手段】往復動内燃機関のシリンダ１０１の軸芯Ｏ₁ 上に設けたガイド２と、該ガイド２を保持する支持体３と、前記ガイド２に摺動自在に挿入した支持棒４と、前記シリンダ１０１の軸芯Ｏ₁ と交差するように前記支持棒４に取り付けた測長器５より成り、且つ前記測長器５を、棒状の測長器本体６と、該測長器本体６の先端部に設けた接触又は非接触式でかつ測定距離を電気信号に変換して出力する変位変換器７により形成する。 （もっと読む）

【課題】触針式段差計を用いて表面形状を測定する際に、表面形状における段差部での応答性の良さと雑音の小ささを両立させることができる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】カットオフ周波数７０Ｈｚの低域通過フィルタを備え、探針を試料に対して予定のｘ方向に一定の速度で掃引する際に変位センサで得られた測定電圧に基づき横軸ｘ方向の距離と縦軸ｚ方向の変位量とから成る応答性の良いデータを出力する検出回路と、ｄｚ／ｄｘ又はｄｚ／ｄｔの値に基づき、段差でのデータを立上り領域データ部分と、平坦部領域データ部分と、立下り領域データ部分とに分け、平坦部領域データ部分をさらに１３Ｈｚ程度のソフトの低域通過フィルタで処理し、そして処理した平坦部領域データ部分を立上り領域データ部分及び立下り領域データ部分とに結合して段差形状データを得るコンピュータ装置とを有して成る。 （もっと読む）

【課題】 スポット溶接する複数の金属板の隙間を計測する。
【解決手段】 本発明は、アームの先端に支持された第１の電極と、該第１の電極と協働して重なり合う複数の金属板を加圧状態で挟持して溶接する第２の電極とを有するスポット溶接装置を用いる。挟持方向の加圧力と該加圧力によってたわむアームの挟持方向のたわみ量との関係を求める。アームに挟持方向の荷重を検出する荷重検出器を取り付けた状態で、該アームの先端と第２の電極との間に、隙間の計測箇所を配置し、第２の電極により金属板を加圧する。第２の電極による第１の加圧力と荷重検出器により検出される第２の加圧力とを比較する。第２の加圧力が第１の加圧力より小さいとき、第２の加圧力と加圧力とたわみ量との関係とに基づいてアームの挟持方向のたわみ量を算出する。算出したたわみ量と、複数の金属板の厚さ合計と、加圧中の第２の電極の挟持方向位置とに基づいて計測箇所の隙間を算出する。 （もっと読む）

【課題】トルクロッドの構造を大幅に変更せずに、簡単な構造によって低コストでゴムブッシュの交換時期を自動的に運転者へ報知するトルクロッド装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｖロッド４の軸線と直角方向にまたは一定の角度方向に筒状の空間部を設けた外筒部２２と、外筒部２２に内嵌される球面状の軸部２４と軸部２４の両側部に一体形成されアクスルハウジング３またはサイドフレーム１への取付部２５とを有した芯金２６と、芯金２６の軸部２４と外筒部２２との間に介装されたゴムブッシュ２７と、ゴムブッシュ２７が磨耗して外筒部２２と芯金２６の軸部２４とが直接当接したときに、電気的導通を検知して警報を発するランプ５４とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物１と接触する接触子１を先端に有するプローブシャフト４と、プローブシャフト４を移動可能に非接触で支持する支持手段が設けられたプローブ本体２１と、前記プローブシャフト４を被測定物１に向けて付勢移動させる付勢装置と、該付勢装置がプローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するように前記プローブ本体２１に組み込まれた圧電センサ８ａと、該圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部８ｂと、該荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部９と、該制御部９により調整された付勢力で被測定物１に接触している接触子２の位置を測定する変位量計測装置と備える。 （もっと読む）

【課題】測定圧が低く、広い測定角度のタッチプローブの接触検出方法及び装置を提供。
【解決手段】一定の励起周波数（ｆ）で正弦波振動させられた触針部５ａと、触針部の振動波形を測定出力するセンサユニット７を有するタッチプローブの接触検出方法であって、センサユニットによって出力された振動波形を周波数分布に変換し、励起周波数の整数（ｎ）倍の所定の高調波（ｎ×ｆ）の値があらかじめ定められた閾値以上となった時に、タッチプローブが被測定対象物に接触したと判定する。また、所定の高調波は励起周波数（ｆ）の二倍の高調波（２×ｆ）である。さらには、励起周波数（ｆ）は触針部の固有振動数とは異なるようにする。 （もっと読む）

【課題】 接触式プローブによる形状測定において、測定物表面にゴミなどがあっても安定して走査可能なプローブを提供する。
【解決手段】 ハウジングに固定してプローブシャフトに力を加える事が可能な力発生手段を設け、ハウジングとプローブシャフトの間の変位や速度によってプローブシャフトに作用させる力を変化させる事で安定した走査を可能にする。すなわち、正常にトレースが行われている時は、弱いばね要素としての力をプローブシャフトに作用させ、ごみ等により跳ね上げられた時は、ばね要素の剛性を強める事で素早くプローブを測定面に戻すようにする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、倣いプローブを用いて穴軸心などを測定する際に、高精度な測定を容易に行えるワーク測定方法を提供する。
【解決手段】 倣いプローブと移動手段とを備えた表面性状測定機を用い、測定部位近傍に位置決めする位置決めステップと、測定子がワークの測定部位に多点接触して測定する測定ステップと、離脱ステップと、測定ステップにおける変位成分が所定値以下となるまで測定を繰り返す再実行ステップと、測定値算出ステップと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 操作性が高く、かつ、検出精度、検出分解能が高い測定器を提供する。
【解決手段】 スピンドル３００の回転に応じてスピンドル３００の異なる回転角に対して異なる値の位相信号を発信する位相信号発信手段４００と、位相信号を演算処理してスピンドルの絶対位置を求める演算処理部５００と、を備える。位相信号発信手段は、位相信号を所定のピッチで発信する。スピンドル３００の異なる回転角に対して位相信号は異なる値であるので、位相信号からスピンドル３００の回転角が一義的に決定される。インクリメンタル式と違って、位相信号の読み飛ばし等が問題とはならないので、スピンドル３００の高速回転を許容して測定器の操作性を向上させることができる。さらに、位相信号の読み飛ばしが問題とはならないので、スピンドル３００の回転に対する位相信号の変化を細密化できる。 （もっと読む）

【課題】 タイバー周辺の雰囲気温度の変化による膨張・収縮によって生ずる脱落又は歪みセンサの離れを防止し、センサのタイバーへの当接を容易に調整できるようにして、タイバーの物理的変化量をセンサにより精度良く検出可能となす。
【解決手段】 射出成形機が備えるタイバーの物理的変化量を検出するための装置を、タイバーに挿通する環状本体と、環状本体の内径部に形成したセン凹所と、凹所に収容してタイバーに臨ませたセンサと、環状本体の外側から凹所内に設けられたセンサをタイバーの側面に密着させる圧接手段とから構成する。 （もっと読む）

本発明は、例えば自動車の車軸系のためのボールジョイント並びに、ボールジョイントにおける負荷及び摩耗を測定するための方法に関する。ボールジョイントは、ほぼリング状またはポット状のジョイントケーシング１を有しており、そのほぼ円筒状の内室にはボールシェル２が配置されている。ボールシェル２には、ボールピンのボール３が滑動可能に収容されている。さらにボールジョイントは、力若しくは負荷を測定するためのセンサ装置を有している。
本発明によれば、ボールジョイントは、センサ装置が、ボールシェル２の領域に配置された、ジョイントボール１とボールシェル２との間に作用する力もしくは押圧力を測定するための少なくとも２つの圧力もしくは力センサ６から成るセンサ装置４によって形成されていることを特徴としている。
本発明によるボールジョイントは、センサ機器を内蔵しているにもかかわらず堅牢であって、力若しくは、ボールジョイントに作用する負荷のベクトル検出を可能にする。本発明による方法により、ボールジョイントの運転状態若しくは摩耗状態の永続的な監視が、特にボールシェルのプレロード力を測定することにより可能である。
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【課題】 試料の断面観察形状に基づいて試料の立体画像を高い精度で生成可能な立体試料観察システムを提供する。
【解決手段】 研磨用探針で試料の断面を研磨する研磨装置50、研磨された断面の形状を計測し、試料の断面画像を取得する計測装置10、断面画像を蓄積する断面画像記憶装置332、及び蓄積された断面画像に基づいて、試料の立体画像を生成する立体画像生成部350を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の３次元形状を高精度に測定することが可能となる３次元形状測定装置及び方法の提供。
【解決手段】一対のプローブ２０ａ，２０ｂを、その先端同士が所定の間隔を開けて一直線状に対向するように配置し、被測定物１を、被測定物１の表面側及び裏面側がそれぞれ一対のプローブに対向するように位置させた後に、一対のプローブ２０ａ，２０ｂのお互いの位置関係を変更することなく、該一対のプローブ間における被測定物１の相対的な位置をスライド移動させて、一方のプローブにより被測定物１表面の３次元形状を測定し、次いで、他方のプローブにより被測定物１裏面の３次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】 測定プローブを傾斜させて支持しながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる形状測定器を提供する。
【解決手段】 形状測定器３０により既知形状の被測定物（真球）の形状を測定する（Ｓ１２）。次に、測定プローブの設計傾斜角度の値から±０．５度間を５等分し、それぞれの形状誤差を算出し、誤差が最小となる角度値を決定する（Ｓ１６）。更に同様な計算を繰り返すことで、誤差が最小となる傾斜角度に収束させる（Ｓ１８、Ｓ２０）。被加工部材を測定する際には、測定した形状を傾斜角度による誤差分で補正することで、測定精度を高める。 （もっと読む）

【課題】 測定子を低接触力で接触させながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる機上形状測定器を提供する。
【解決手段】 機上形状測定器３０は、測定開始前にサーボモータのロック状態等における機械振動成分を測定し（Ｓ１４）、振動成分を除去するノッチフィルタ６６を設定する（Ｓ１８）。測定開始後、リニアスケール４４の出力から、設定したノッチフィルタ６６によりサーボモータのロック状態等における機械振動成分を除去する（Ｓ２０）。このため、測定プローブ３２を低接触力で接触させることで、機械振動の影響を受け易い状態となっても、機械振動分を除去し、影響を打ち消すことで、高精度な形状測定を実現できる。 （もっと読む）

【課題】高スループットで試料にダメージを与えずに、試料の正確な立体形状情報を計測でき、垂直な側壁やオーバーハングを含む試料の正確な立体形状情報を計測できる走査プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針を測定点のみで接触させて次の測定点に向かうときには探針をいったん引き上げて退避させてから次の測定点に移動してから、探針を接近させることによって試料にダメージを与えずに正確な立体形状を用いる方法において、高周波・微小振幅カンチレバー励振と振動検出を行い、さらに、急傾斜部での接触力検知感度を上げるために、横方向励振あるいは、縦横２方向励振をおこなう。探針を測定対象の傾斜に合わせて傾斜させる手段と、探針と試料の接触状態を検知する光のカンチレバーでの反射後の向きが、探針の傾きによって大きく変わることを吸収または調整できる構造をもつ。 （もっと読む）

【課題】走査に用いる走査系の運動誤差を除去できる形状計測装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状計測装置は、走査系を構成している回転スピンドル１１２及び直動スライド１４２と、スライド１４２上に設置されている変位センサ類で構成されている。回転スピンドル１１２により、計測試料１２０とその外周に設けられた補助試料１１４とが回転している。直線上に動く直動スライド１４２上では、計測試料形状計測用変位プローブ１３２と、その両側に補助試料１１４の表面形状及び走査系の運動誤差を計測できる２台の変位センサ１３４，１３６を設置している。試料外周部に設けた補助試料１１４を変位センサ１３４，１３６で２点測定して、表面形状を求めておくことにより、直動スライド１４２の真直度誤差、回転スピンドル１１２の回転運動誤差、熱膨張などによる系統誤差を全て除去できるようにしている。 （もっと読む）