【課題】測定力や加速度の二軸以上の方向成分を直接、かつ、個別に検出可能であり、さらに、従来のものより簡素化、かつ、小型化を達成できるセンサを提供すること。
【解決手段】辺構成要素３１…によって四角形に形成された構造体２Ａの一方の角部を移動部材６に固定し、他方の角部にスタイラス５を装着する。一対の辺構成要素３１，３２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対してＺ軸方向へ平行変位可能とする平行リンク機構３１Ｚ，３２Ｚを形成する。他対の辺構成要素４１，４２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対して、それぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向に平行変位可能とする平行リンク機構４１Ｘ，４２Ｘ、および、４１Ｙ，４２Ｙを形成する。各平行リンク機構は辺構成要素に薄肉状に形成された少なくとも２箇所の弾性ヒンジ部３５Ｚと、２つの弾性ヒンジ部３５Ｚの間に形成された２本のリンク片３６Ｚとを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】レーザクラッド加工における金属粉末の落下位置を物理的に計測するための金属粉末落下位置計測装置粉末落下位置計測装置を提供する。
【解決手段】仕切り板１１によって複数の空間１２に仕切られ、各空間１２には目盛り１５の付いた透明窓１４を設けて、各空間１２に投入された金属粉末量を計測できるようにした。各空間の金属粉末量の割合から金属粉末の落下入りのずれ量が計測できる。 （もっと読む）

【課題】シリンダボア内に収容配置することができ、エンジンの正規組立状態にてシリンダボアの内径を正確に計測することができる装置を提供する。
【解決手段】複数の変位センサ２６が配置されたセンサホルダ１３と内径把持方式のチャック１２とを結合してなる計測ヘッド１０に予め蓋体１１を結合した上で、蓋体１１がシリンダヘッド着座面側のショルダー部３２に着座係合するまで計測ヘッド１０をシリンダボア２に挿入する。チャック１２を拡径させることによりそのチャッキング動作をもって計測ヘッド１０をシリンダボア２に固定した後に蓋体１１を取り外す。シリンダブロックとシリンダヘッド等とを結合したエンジンとしての正規組付状態にてシリンダボア２の内径を変位センサ２６にて計測する。
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【課題】座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて測定する方法
【解決手段】本発明は座標測定装置（１０）を用いて加工物の幾何形状を測定する方法およびこの装置自体に関する。本発明によれば、測定作業は異なる種類の装置を必要とすることなく最適に実行され、これにより関連作業に対して最適利用である１つまたは複数のセンサを使用できる。 （もっと読む）

【課題】 割り出し精度を損なうことなしに方向付け可動要素が効率的にガイドされ、触針の軌跡が完全に制御される測定ヘッドを提供する。
【解決手段】支持要素（３０）と、固定位置と固定解除位置との間で第一軸（Ｂ）の方向に摺動可能な、第一可動要素（４０）と、支持要素（３０）と接続された第一ガイド部材（８４）と、第一可動要素（４０）と接続された第二ガイド部材（８２）とを備え、第一可動要素（４０）が固定位置にあるときに、第一ガイド部材（８４）と第二ガイド部材（８２）とが接触せず、第一可動要素（４０）が固定解除位置にあるときに、第一可動要素（４０）が支持要素（３０）に対して第一軸（Ｂ）を中心に回転できるように、第一ガイド部材（８４）が第二ガイド部材（８２）と組み合う。 （もっと読む）

【課題】ベッド上に滞在する被験者の胴体、特に胸の位置を正確に検出することのできる位置検出装置を提供する。
【解決手段】被験者が滞在するベッド１の対向する部分に配され、前記被験者の生体信号を検出するための基本波形信号を検出する少なくとも１対の波形検出手段と、一方の波形検出手段７〜１２によって検出された基本波形信号又は基本波形信号から算出された生体信号の振幅を検出する第１の振幅検出手段と、他方の波形検出手段によって検出された基本波形信号又は基本波形信号から算出された生体信号の振幅を検出する第２の振幅検出手段と、前記第１の振幅検出手段によって検出された振幅と、前記第２の振幅検出手段によって検出された振幅とに基づいて、前記基本波形信号の発生源を設定する発生源特定手段とによって構成され、生体信号としては、呼吸信号及び／若しくは体動信号である位置検出装置。 （もっと読む）

【課題】低コストでしかも作業効率に優れた車輌用ドア形状検査装置を提供する。
【解決手段】車輌用ドア形状検査装置１は、検査対象である被検査ドアＤの下部を、当該被検査ドアＤの前後方向に沿って移動可能に支持する第１の支持機構１１、及び、被検査ドアＤの内側主面を、当該被検査ドアＤの前後方向に沿って移動可能に支持する第２の支持機構１２、を有するゲージ１０と、ゲージ１０により起立状態で支持された被検査ドアＤの形状を検査する基準位置計測センサ２０、形状計測センサ３０及びコンピュータ４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ウエハＷの位置合わせを精度良く行う。
【解決手段】ウエハＷ上の複数のショット領域ＳＡ_p各々の設計上の位置座標（ｘ，ｙ）を独立変数とし、ステージ座標系におけるそのショット領域ＳＡ_pの位置に関する情報を従属変数とするモデル式（ウエハＷ上の複数のショット領域ＳＡ_pの配列を規定するモデル式）の各項の係数を求めるために位置座標を計測するサンプルショット領域ＳＡ_gとして、同心円Ｃ１、Ｃ２上に均等に配置されたショット領域ＳＡ_pを選択する。このようにすれば、ウエハＷの略中心を通る任意の直線方向に沿って、サンプルショット領域ＳＡ_gを均等に点在させることができるため、それらの計測結果から、統計的手法を用いて、上記モデル式の各項の係数を求める際に、そのモデル式により表現されるモデルと、真のモデル式との推定誤差を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 状態センサの応答速度が遅い場合でも、速い応答速度で状態量を取得することができ、かつ状態速度センサのオフセットがある場合でも発散することなく状態量が取得できる状態検出装置とその状態算出方法を得る。
【解決手段】 本発明の状態検出装置は、状態速度センサ１の情報とオフセット補正値との差分Ａを算出する第１演算器34と、算出差分Ａを積分し積分値を算出する積分器31と、積分値に対し状態センサ１の応答遅れと等しいフィルタ値を算出する遅れフィルタ32と、前記フィルタ値と前記状態センサの情報との差分Ｂを算出する第２演算器35と、前記差分Ｂとゲインとの積を前記オフセット補正値とし、前記差分Ｂを前記積分値から差し引いた値を状態量検出値４とする第３演算器32とを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】小型で簡素な構成により、被測定物の表面と裏面との相対的な位置ずれを測定できる測定用治具を用いた被測定物の３次元形状を測定するための３次元形状測定方法を提供すること。
【解決手段】測定用治具１００に平行平面１４０を保持し、その表面１４１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１４２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。また、測定用治具１００に基準球１５０を保持し、その表面１５１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１５２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。この測定結果から、円錐面１１１、１１２の位置関係に対応する補正値を算出する。さらに、測定用治具１００に非球面レンズ１２０を保持し、その表面１２１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１２２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。そして、上記補正値を用いて表面１２１と裏面１２２との相対的な位置関係を求める。 （もっと読む）

【課題】 ステアリングシャフトを静止したままで絶対操舵角が検出でき、多回転でも操舵角が検出できる操舵角検出装置を提供する。
【解決手段】 ステアリングシャフト１と一体的に回転する径Ｒの主ローラ２と、主ローラ２に外接し径ｒ１の第一差動ローラ３と、主ローラ２に外接し径ｒ２（ｒ１＜ｒ２＜Ｒ）の第二差動ローラ４と、第一差動ローラ３の回転角θ１を±１８０°の範囲で検出する第一回転角センサ５と、第二差動ローラ４の回転角θ２を±１８０°の範囲で検出する第二回転角センサ６と、２つの回転角θ１，θ２で定義される位相差αに基づいてステアリングシャフト１の操舵角Φを演算する演算回路とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 背面側に縦型定盤を設置した測定装置において、被測定基板の両面の平坦度を測定できる基板の平坦度測定装置を提供する。
【解決手段】 基準平面３ｂの面方向がほぼ垂直状態になるように配置された縦型定盤３と、被測定基板Ｗを保持する保持機構３０と、前記縦型定盤３の基準平面３ｂと前記保持機構３０によって保持された被測定基板Ｗの間に配置され前記縦型定盤３の基準平面３ｂとの距離及び前記被測定基板Ｗの板面との距離をそれぞれ測定する一つの移動ブロック２１上に搭載された非接触型距離測定センサと、前記保持機構３０によって保持された被測定基板Ｗの前面に配置され、前記縦型定盤３の基準平面３ｂ及び、前記被測定基板Ｗとの距離を測定する一つの移動ブロック３１上に搭載された非接触型距離測定センサと、前記各非接触型距離測定センサによる測定結果に基づいて、被測定基板Ｗの表裏の各平坦度を演算する演算手段とを具備する。 （もっと読む）

【解決手段】 ウエハの層の厚さを検出するための方法が提供されている。その方法は、処理されるウエハを保持するよう構成されたウエハキャリアの特定の半径の規定を備える。その方法は、さらに、１組の相補的なセンサを形成するよう構成された複数のセンサの準備を備える。さらに、その方法は、複数のセンサの内の各センサと、隣接するセンサとの位相が、同じ角度だけずれるように、ウエハキャリア内の特定の半径に沿う複数のセンサの配置を備える。その方法は、さらに、複数のセンサによって生成された信号の測定を備える。さらに、合成信号を生成するために、複数のセンサによって生成された信号の平均化が備えられている。平均化は、合成信号が、層の厚さを特定するよう相関を有することができるように、合成信号からノイズを除去するよう構成されている。
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【課題】複数のセンサーで同期して計測を行ない、結果を高速かつ高品質に信号処理部に伝送し、もって位置検出を高速かつ高精度に行なう位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置２００においては、センサー制御手段２１９，２２９，２３９及び２６９において、センサー２１１，２１２，２２１〜２２３，２３１及び２６１における検出結果のアナログ信号をデジタル信号に変換し、デジタル信号としてそのデータを光通信ネットワークで構築された伝送手段２７０を介して信号処理手段２８０に転送している。従って、複数のセンサーにおいて同時に検出されたデータを、同時並列的にデジタル信号に変換し、伝送手段を介して実質的に同時に信号処理手段に提供することができ、複数のセンサーで同時に検出したデータを用いた位置検出処理や、リアルタイムでの位置検出処理を適切に行なうことができる。
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【課題】 薄い板状の物品、特に金属の薄片またはフィルム等の厚さを測定する装置を提供する。
【解決手段】
この測定装置はセンサと、空気を供給する手段と、センサのための開口を具備、もしくは具備しない空気閉塞板とから構成してある。空気を供給する手段の空気を放出する方向は測定をしようとする物品の表面に対して接線方向で、その空気閉塞板の端縁の部位は閉塞されており、その反対側の端縁は開口および／または空気吸引通路にしてある。 （もっと読む）

【課題】高速道路等の橋桁の３軸方向のズレの変位を監視し、変位が許容値を超えたかどうかの判定を容易に行う。
【解決手段】本発明における第１、第２の変位センサ本体Ｓ１、Ｓ２は、それぞれＺ軸変位センサ用プローブ４を監視対象物である第１、第２の橋桁１ａ、１ｂの下面に向けて配設されている。
第１、第２の橋桁１ａ、１ｂの対向する端縁部近傍の下面には、それぞれ平板状の第１、第２段差部材１７ａ、１７ｂが取り付けられており、第１の段差部材１７ａの下面には第１の変位センサ本体Ｓ１のＺ軸変位センサ用プローブ４の先端部が、第２の段差部材１７ｂの下面には第２の変位センサ本体Ｓ２のＺ軸変位センサ用プローブ４の先端部がそれぞれ所定の弾力を維持して当接されている。 （もっと読む）

【課題】 角度検査装置において、ケーブル角度調整冶具を使用せずに、任意の角度に正確にケーブルを傾斜させることができるケーブル傾斜手段と、ケーブルの傾斜角度を正確に測定することができるケーブル角度測定手段によって、ケーブル巻上機に取り付けられた角度測定器の検査を行うことができる。
【解決手段】 ケーブル巻上機１０の支点１２から吊下げられたケーブル１４が、支点１２を中心にケーブル１４の他端側が移動したときのケーブル１４の傾斜角度を測定する測定器１７の角度検査装置２０であって、ケーブル１４を傾斜させるケーブル傾斜手段と、測定器１７とは別個に、傾斜されたケーブル１４の傾斜角度を測定するケーブル角度測定手段と、測定器１７により測定した傾斜角度及び／又はケーブル角度測定手段により測定した傾斜角度とを表示する制御手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 計測装置自体が走行する時に生じる蛇行、うねりがあっても、それを補正して板状製品の反りやうねり及びねじれを安価に精度良く計測できることを目的とする。
【解決手段】 静止した鋼板１の上方に位置し、鋼板の長さ方向に移動する計測台車７と、計測台車の移動量を計測するＰＬＧ９と、計測台車に設置され、静止した鋼板表面までの距離を計測する３つの平面部距離計１０ｃ、１０ｄと、計測台車の側方位置にそれぞれ設けられたピアノ線２１ｂと、計測台車に設置され、ピアノ線に対して垂直方向の変動量を検出する垂直位置検出器１１ｃ、１１ｄと、ＰＬＧと平面部距離計と垂直位置検出器との計測値に基づき、鋼板の長さ方向における各位置の鋼板表面までの距離を、計測台車が走行するときに生じる蛇行やうねりの影響を除去するように補正演算するデータ解析演算処理装置３２とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【解決手段】アイテムの未切断選択セグメントの重量又は価格を表示する装置及び方法は、位置指示部材を、支持面上に位置するアイテム上方を通過させることを含む。位置指示部材は、一つ以上のセンサを有し、そのセンサが、上記部材が基準位置からアイテム上方の選択された他の位置まで横断される際に、アイテムの連続する横断面輪郭に対応し、アイテムの選択セグメントを規定する信号を生成する。同時に、好ましくは一つ以上の微小構造電子機器（ＭＥＭＳ）加速度計装置から構成された作動検出器配置構造は、アイテムに沿って位置指示器支持部材が移動したときにその作動に対応する信号を生成する。これらの信号は、指示部材の選択された連続位置間に位置するアイテムの未切断選択セグメントの体積を決定すべく、信号処理装置で処理される。これらの累積的な体積決定のそれぞれは、数値重量に変換される、又は、特定のセグメントをアイテムから切断する前に、重量又は価格の情報が見ている顧客に同時に提供される。可視光帯は、センサ・バーからアイテムの特定のタイプの密度要素に基づく部分価格値上に投影され、それにより、部材が上記アイテムに沿って横断されたときに数値的な重量又は（重量に基づく）価格値が表示され、したがってアイテムのオペレータが数値表示に対応する選択セグメントの境界を観察者に明確に示すことが可能となる。 （もっと読む）

本発明は、二重積分によって計算された測定に関連した絶対位置測定を使用して、固体の移動を検出するための方法に関するものであって、例えば、人体の移動の検出を意図している。本発明による方法においては、固体（２）の加速度を測定し、この測定の二重積分を行い、これにより、固体の第１並進移動に関する順次的な値を獲得し、さらに、特に回転といったような固体の少なくとも１つの第２自由度に関するの絶対位置測定を行う。本発明においては、回転測定を、並進移動測定へと変換し、並進移動測定を使用して第１並進移動を修正する。
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