【課題】互いに異なる複数の面に表示部を有する場合であっても、それぞれの表示部の表示面に対面する複数の方向に位置する操作者に応じて適切な制御をすることができる表示装置を提供する。
【解決手段】表示装置は、互いに表裏の位置関係に表示面が配置されている第１表示部および第２表示部と、第１表示部または第２表示部の表示面に対する操作者の相対位置を検出し、検出した相対位置に基づいて、第１表示部および第２表示部のうち、操作者に対面する表示部の表示面が表面であると検出するとともに、他方の表示部の表示面が裏面であると検出する検出部と、検出部により検出された結果に基づいて、表面の表示部または裏面の表示部の表示を制御する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検出部を被検物に対して移動させて測定位置毎に停止させて測定する場合の測定速度を向上させることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被検物に対しての相対位置が変更されて被検物の表面の形状を検出する検出部（２０）と、検出部により検出された被検物の表面の形状の変位を示す情報に基づいて、被検物に対して検出部が相対的に静止しているか否かを判定する判定部（静止判定部５８）と、判定部により検出部が相対的に静止していると判定された場合の形状に基づいて、被検物の表面の形状データを算出する算出部（座標算出部５３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】バックラッシに起因する位置決め精度の低下を抑えることのできる位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置のコントローラは、正方向用の補正マップと逆方向用の補正マップ、及び、移動台を移動させる際の基準位置を記憶している。コントローラは、以下の処理、即ち、（１）移動台が基準位置から既定の閾値以上離れた位置に移動した場合に移動先の位置を新たな基準位置に設定する更新処理、（２）基準位置と目標位置との間の距離が閾値以上の場合には、現在位置から目標位置への移動方向と同一方向用の補正マップを用いてセンサによる位置計測値を補正し、基準位置と目標位置との間の距離が閾値未満であり、かつ、最新の基準位置が設定されてから１回は移動方向が反転している場合には、両方向の補正マップを用いてセンサによる位置計測値を補正する補正処理、（３）補正後の位置計測値を目標位置に一致させる制御処理と、を実行する。 （もっと読む）

【課題】小型、安価で、高速の高精度測定が可能であり、工作機械における機上測定や搬送ラインでのインサイト測定が容易な、座標測定用ヘッドユニットを提供する。
【解決手段】座標測定用ヘッドユニット１０において、コンピュータ数値制御によりプローブ１２を互いに直交する複数の駆動軸に沿って移動させ、測定対象に当接させて測定対象の寸法を計測するための駆動手段（Ｘ軸駆動部１４、Ｙ軸駆動部１６、Ｚ軸駆動部１８）と、該駆動手段１４、１６、１８を収めるための一体化された筐体１３と、該筐体１３のいずれかの側面に設けられた、前記駆動手段１４、１６、１８のいずれか一つを支持体（ベース３０に固定されたスタンド３２上のサポート３４）に取付けるための取付手段（取付面２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 表面形状測定装置を介して工作機械のワークテーブル上の加工ワークの真直度を測定し、その測定された真直度の値を校正する方法の提供。
【解決手段】 一対の平面鏡（Ｍ_１，Ｍ_２）を距離ｄ離して両端に設けた姿勢表示物体２を１個、変位センサ４を用い、長尺の被測定物（加工ワーク）ｗを距離ｄずつ移動さして変位センサ４により被測定物の真直度を測定し、この測定値に含まれる装置の運動誤差誤差を差し引く校正を行うので、短い姿勢表示物体２を用いて長い被測定物の真直度を校正することができる。 （もっと読む）

【課題】 移動機構の位置に基づく信号を出力するリニアエンコーダの原点位置を検出する動作を不要にでき、短時間で測定を開始できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２の位置を制御することにより制御対象物の位置を制御する制御装置３とを備えるものであって、スピンドル２の絶対位置を出力するアブソリュート型のリニアエンコーダ１１を備える。このため、三次元測定機１による測定を短時間で開始できる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供する。
【解決手段】リニア・エンコーダ２３は、移動式往復台２５の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ２３−１、２３−１’と、移動式往復台２５の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ２３−２、２３−２’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ２３が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのＬトラック、および水平位置［誤差］を補償するためのＴトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。 （もっと読む）

【課題】物差しが保持体に安定且つ偏差なしに保持され、保持体に固定された物差しを備える配列装置を提供すること。
【解決手段】この発明によると、物差し（１）が球（３）の二次元的配列によって保持体（２）に固定される。球（３）が一方で直接に保持体（２）に載置し、他方で物差し（１）が直接に球（３）上に載置する。保持体（２）と物差し（１）の間の保持力は、保持体（２）に球（３）の固定式保持によって或いは物差し（１）に球（３）の固定式保持によって保証される。球（３）の配列は、それらの球の間に自由空間（４）が残留し、その自由空間が外方に案内する通路を形成するようになる。 （もっと読む）

【課題】無軌道式移動台車が球面，円筒面，平面を移動する場合の位置検出装置において、無軌道式移動台車が例えば球面や円筒面を周方向に移動して位置検出装置から隠れてしまう場合であっても、位置検出が可能な位置検出装置を与えることを目的とする。
【解決手段】本体内部にワイヤを備え、前記ワイヤが牽引された量をエンコーダ値として出力する第二リニアエンコーダが取り付けられた第二保持治具を設置し、前記第二のリニアエンコーダのワイヤ先端を前記無軌道式移動台車の前記リニアエンコーダのワイヤ先端の取り付けられた位置に取り付け、前記第一のリニアエンコーダのワイヤが牽引された量と前記第二のリニアエンコーダのワイヤが牽引された量とから前記無軌道式移動台車の位置を前記演算装置にて演算すること特徴とする。 （もっと読む）

【課題】車上側での簡易且つ高精度の位置検出を実現するとともに、位置検出に要する地上側及び車上側の装置の簡素化を図ること。
【解決手段】走行路３には、深さが異なる３種類のスリット部１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃが形成されたパターンプレート１０が配置されている。列車５には、高さ位置が異なることで検出可能なスリット部１１の種類が異なる複数の検出器３０−１〜３０−５が設けられている。そして、車上装置４０では、各検出器３０による検出信号Ｆから検出しているスリット部１１の種類を判定し、走行路３の特定位置に配置された特定種類のスリット部１１の検出によって、列車５が該特定位置に位置していることを検出する。 （もっと読む）

【課題】 床からの寸法位置を検出し、その測定結果から所定情報を演算する演算手段を有することにより、使用者の成長に関連する情報を報知することを可能とする。
【解決手段】 本発明では、ジャッキまたはレールに取り付けられている寸法位置検出手段によって大便器の高さ位置を測定し、その結果から下肢長さ寸法を推定演算している。大便器の寸法位置検出手段において測定された高さ位置情報は、制御手段の中にある報知手段によって使用者に報知され、使用者は報知された位置情報をもとに上下手段を操作することにより、便器を最適な位置まで移動させることができ、下肢長さ寸法を推定演算することができる。 （もっと読む）

【課題】 パターニングデバイスとパターニングデバイス支持体との間のずれが考慮されるリソグラフィ装置のパターニングデバイスに位置測定システムを提供する。
【解決手段】 本発明は、放射ビームを調整するように構成された照明システムと、放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構成されたパターニングデバイス支持体と、基板を保持するように構成された基板支持体と、パターン付放射ビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、少なくとも基板のターゲット部分へのパターン付放射ビームの投影の間、パターニングデバイス上に提供されたグリッド又は格子を用いてパターニングデバイス支持体上に支持されたパターニングデバイスの位置量を連続して決定するように構成されたエンコーダタイプの測定システムとを含むリソグラフィ装置に関する。 （もっと読む）

【課題】長ストロークに対応しつつ、良好な直線性を確保できる直線案内機構および測定装置を提供する。
【解決手段】直線案内機構は、固定部材１と、移動部材２と、固定部材１と移動部材２との間に配置され移動部材２を移動可能に支持する第１の２重平行板ばね機構１１Ａおよび第２の２重平行板ばね機構１２Ａとを備える。第１の２重平行板ばね機構１１Ａおよび第２の２重平行板ばね機構１２Ａは、移動部材２の移動軸線を中心として１８０度以外の角度（例えば９０度）で配置されている。 （もっと読む）

【課題】被測定物を精度良く測定が可能であるとともに、安価な測定装置を提供する。
【解決手段】長尺な被測定物Ａの形状を測定する測定装置であって、ベース１と、前記ベース１の一方側に設けたビーム支持部２と、前記ビーム支持部２の上部にピン軸４によって一方側の両側部を支持し、他端側を傾動及び倒立可能に設けたビーム５と、前記ビーム５の一方端に設けられ、前記被測定物Ａの一端を支持及び回転可能する支持部６と、前記ビーム５の他方端に移動可能に設けられ、被測定物の他端をクランプ及び回転可能するクランプ部７と、前記ベース１と前記ビーム５との間に設けたビーム傾動及び倒立用のアクチュエータ８と、前記被測定物Ａに対向するように、前記ビーム上に移動可能に設けた寸法測定部１０とを備える。 （もっと読む）

ウェブの移動エンコーダ信号を検知したウェブ基準信号に位相固定すること含む、ウェブ位置の決定を向上させるための手法。基材の長手方向軸に沿って配置された基準が検知され、対応するセンサ信号が生成される。推定ウェブ位置は、１つ以上のエンコーダ信号によって提供される。センサ信号とエンコーダ信号との間の位相差が計算され、位相差に基づいてウェブ位置の誤差が決定される。ウェブ位置の誤差信号は、ウェブ位置の決定の精度を向上させるエンコーダ信号を調整するためにフィードバックすることができる。
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【課題】特定のエリアでは高い位置決め精度を確保しつつ、全体として比較的安価な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の位置を検出するレゾルバ３０ａ〜３０ｃ（以下レゾルバ３０とする。）と、
プラテン１０の特定のエリアＡにおけるスライダ１の位置をレゾルバ３０よりも高い精度で検出するレーザ干渉計２０ａ，２０ｂ（以下レーザ干渉計２０とする。）と、
スライダ１の位置に応じてレゾルバ３０またはレーザ干渉計２０のいずれかの位置検出装置を選択する切替スイッチ１００ｃと、
位置指令値および切替スイッチ１００ｃで選択された位置検出装置で検出される位置検出値に基づいてスライダ１の位置制御を実行する位置制御部１０２と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

ＸＹテーブルは、固定基準部分（Ｂ）と、該基準部分（Ｂ）に対して相対的に第１の方向（Ｙ）に移動可能に保持されている中間部分（Ｆ）と、該中間部分（Ｆ）に対して相対的に第２の方向（Ｘ）に移動可能に保持されている物体（Ｏ）とを含む。この場合、処理されるべき部品（Ｗ）が物体（Ｏ）又は基準部分（Ｂ）上に配置される。さらに、第１の方向（Ｙ）に対して、基準部分（Ｂ）と中間部分（Ｆ）との間の平面内自由度（Ｘ、Ｙ、Ｒｚ）を測定するための少なくとも１つの１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_１、Ｍ_２）と、第２の方向（Ｘ）に対して、物体（Ｏ）と中間部分（Ｆ）との間の平面内自由度（Ｘ、Ｙ、Ｒｚ）を測定するための少なくとも１つの１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_３、Ｍ_４）とを含む。これにより、部品（Ｗ）又は物体（Ｏ）におけるツール中心点（ＴＣＰ）の位置（Ｘｏ、Ｙｏ）が測定可能である。１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_１、Ｍ_２、Ｍ_３、Ｍ_４）は、第１及び第２（Ｙ、Ｘ）の方向に広がる平面であってツール中心点（ＴＣＰ）を含む平面内へのそれらの投影が、ＸＹテーブルの全走行領域内で部品（Ｗ）の外側に存在するように配置されている。これにより、アッベ（Ａｂｂｅ）条件が満足されるので、簡単な１Ｄプラスエンコーダを用いて物体（Ｏ）におけるツール中心点（ＴＣＰ）の正確な測定を可能にする。
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【課題】スケール、スケールベース、及びベースの熱膨張等による伸縮で生じるスケールベースの変形を防いで、スケールによる高精度な変位測定を可能とする。
【解決手段】スケールベース１１２は、スケール１１６で測定される測定方向（Ｙ方向）の複数箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３でベース１１０に固定され、該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３間のスケールベース１１６にスリット１１４が設けられ、前記スケール１１６は該スケールベース１１２の該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の２箇所以上において該スケールベース１１２により支持され、且つ、該スケールベース１１２は、該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３以外の位置において該ベース１１０との間、及び該支持する箇所以外の位置において該スケール１１６との間、のそれぞれに空隙Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を有する。 （もっと読む）

【課題】
できるだけ長期間にわたって測定精度および信頼性が保証されている、高い測定精度を有するカプセル封入されたコンパクトな距離測定装置を提供する。
【解決手段】
測定方向Ｘに沿って延びる管（２４）であって、該管が、前記縦ガイド（１２）によって測定方向Ｘに平行に案内されるように前記第２の測定素子（２０）に接続されており、前記ハウジング（１１）の開口部（２５）を通して封止するように引き出されており、前記連結ロッド（２２、２２．１、２２．２、２２．３）が前記管（２４）の内部に延び、前記管（２４）が、前記管（２４）の内部における、前記測定方向Ｘに直交して進行する前記連結ロッド（２２、２２．１、２２．２、２２．３）の補正移動を可能にする管（２４）を備えていることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】基板の走査中に生じるヨーイング等の誤差を補正することができると共に、基板処理手段が基板の所定位置に精度よく処理を施すことができる基板処理装置等の提供。
【解決手段】基板Ｐを固定する基板保持部１１を載置する、Ｙ軸方向に離れた基板搬送部２２ａ及び２２ｃのベース構造体２上の位置を測定することによって、間接的に基板Ｐ上のＹ軸方向に離れた２箇所の位置のそれぞれと、ガントリ３とのＸ軸方向の距離を測定する位置測定ユニット１３ａ及び１３ｂと、位置測定ユニット１３ａ及び１３ｂが測定した２つの距離が異なる場合に、該２つの距離が同じになるように基板搬送部２２ａ〜２２ｄを制御する走査制御部５と、基板Ｐとガントリ３とのＸ軸方向の距離を測定する相対位置測定部２９とを備え、ガントリ３に搭載されたヘッドユニット２５は、相対位置測定部２９が測定した距離に基づくタイミングで、基板Ｐにインク塗布を行う。 （もっと読む）