【課題】検出位置の多寡にかかわらず検出対象の位置検出の精度を確保することができる光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】レバー等の検出対象に連動して変位する遮光部材２１を複数の発光素子１２から受光素子１３への光路を遮る態様で設けた。この遮光部材２１には、各発光素子１２からの光に対する受光素子１３での受光の有無の組合せが当該遮光部材２１の位置毎に異なるように設定された特定の遮光パターンを形成した。このため、検出対象に連動して遮光部材２１が各位置に変位した場合、受光素子１３からの電気信号に基づき生成される論理信号の組合せはすべて異なる。当該論理信号の組合せに基づき遮光部材２１、ひいては検出対象の位置が特定可能となる。また、受光量の変化に基づき検出対象の位置を特定するものと異なり、検出精度が検出位置数の多寡の影響を受けることはない。 （もっと読む）

【課題】高分解能のアブソリュートエンコーダを提供する。
【解決手段】少なくとも２種類のマークを含む複数のマークが一定の周期で第１方向に沿って配列されたスケールと、前記周期よりも小さいピッチで第１方向に沿って配置された複数の光電変換素子によって複数のマークの中の所定の数のマークを検出する検出器と、検出器の出力に基づいて検出器に対するスケールの第１方向における絶対位置を算出する算出部とを備え、算出部は、検出器から出力された所定の数の周期信号それぞれの振幅を量子化することによって所定の数のデータで構成されるデータ列を生成し、前記周期を単位とする第１位置データに変換し、所定の数の周期信号の少なくとも１つの位相から、前記周期を分割した区分の長さの分解能で前記周期の長さより短い第２位置データを算出し、第１位置データと第２位置データとを合成してスケールの第１方向における絶対位置を表すデータを生成する。 （もっと読む）

【課題】従来のエンコーダにおいては、検出信号からノイズを分離し、更にそのノイズを測定するための専用回路が必要となり、回路面積並びにコストが不利となる。
【解決手段】本発明のノイズレベル検出機能付きエンコーダ１は、電動機により駆動される被駆動体の位置データを得るためのノイズレベル検出機能付きエンコーダ１であって、被駆動体の移動状態に対応して、周期的に発生する９０度位相の異なる２相の正弦波状のアナログ信号からなる検出信号を出力する検出手段３と、検出信号を一定の時間間隔でディジタル値に変換し、出力データとして出力するＡＤコンバータ５と、出力データの時間的変化に基づいて変動成分を算出し、変動成分をノイズレベルとして出力するノイズレベル検出部８と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出器に設けられたレンズアレイの線膨張係数が検出器の受光部とスケールのうちのいずれかと異なっても、動作温度範囲を拡大しつつ、スケールに対する検出器の位置を正確に求めることが可能となる。
【解決手段】第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２がスケール１０２と受光部１２４とは異なる線膨張係数α_ＬＡを備え、第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２の特定の一箇所Ｘｓｔで第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２と受光部１２４とが一体的に固定され、周期信号Ｆｉから求められる位相信号φｉはそれぞれ、異なる線膨張係数α_ＬＡに起因する位相ずれが解消されるように補正され、更に、補正された補正位相信号Ｃφｉを平均して平均位相信号φａｖが求められ、スケール１０２に対する検出器１１０の位置が求められる。 （もっと読む）

【課題】所望の検出精度を保持しつつ薄型化を実現した光学式センサを提供すること。
【解決手段】光学式センサ1を次のように構成する。すなわち、光を検出する光検出器102と、前記光検出器102が埋め込まれ、少なくとも３層から成る基板104と、を光学式センサ1に具備させる。ここで、前記基板104は、少なくともカバー層104aとスペーサ層104bとベース層104cとを有し、且つ、前記光検出器102に対する電気的導通部である配線１０８Ｗが設けられている。 （もっと読む）

【課題】主電源がオフ時に低消費電力でモータの回転を検出するエンコーダの多回転検出回路に関し、バックアップ用バッテリの長寿命化を図った多回転回路を提供する。
【解決手段】発光素子の光源上に回転板を介して受光素子を配置し、前記回転板には光を透過または非透過させるパターンを円周方向に９０度の位相差を持たせて２本のトラックを配置し、前記発光素子からの光が透過あるいは非透過の状態によって回転を検出する多回転検出回路を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、前記回転板が回転することによって正負のパルス電圧を発生する発電回路と、前記発電回路から発生した正負パルス電圧を正パルス電圧に変換する整流回路と、前記整流回路と前記発光素子を接続し、前記整流回路で直流に変換した電圧によって前記発光素子をパルス点灯する。 （もっと読む）

【課題】受光素子間の検出感度のバラツキをなくすことができるエンコーダを提供する。
【解決手段】光源部１に相対移動可能に配置され移動方向に沿ってスリット２ｂが形成されたスケール部２に向けて光源部から測定光を照射し、測定光の明暗に基づいて変位量を検出するエンコーダにおいて、光源部を所定の測定周期で所定の発光時間をもって点滅させる光源制御部と、移動方向に沿って配列形成され、スリットを通過した測定光を受光し、受光量に応じた受光電流Ｉ_１〜Ｉ_８を発生する複数の受光素子３と、受光素子ごとに設けられ、受光電流の電荷を保持する電荷保持部４と、保持された電荷を電荷量に応じた電圧に変換する電荷電圧変換部５と、電荷電圧変換部に電荷保持部を順次切り替え接続するスイッチＳＷ１と、電荷電圧変換部の出力電圧をデジタル化するＡ／Ｄ変換器６と、Ａ／Ｄ変換器の出力に基づいて変位量を求める信号処理部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】高精度で、小型かつローコストなロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】ロータリーエンコーダ１００は、螺旋状パターン５０１及び放射状パターン５０２を有して回転軸を中心に回転可能なスケール２０１と、螺旋状パターン５０１を透過した光束を検出して第１検出信号を出力する第１センサユニット３０１と、放射状パターン５０２を透過した光束を検出して第２検出信号を出力する第２センサユニット３０２と、第１検出信号に基づいて偏芯補正信号を生成し、偏芯補正信号に基づいて第２検出信号を補正する信号処理回路４０１とを有し、螺旋状パターン５０１は、所定値より大きい回転角変位を検出し、放射状パターン５０２は、螺旋状パターン５０１で検出される回転角変位よりも小さい回転角変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】 ２次以上の回折光および迷光の発生を抑え、位置検出信号のＳ／Ｎ比を改善し検出精度の向上を図る。
【解決手段】 屈折率ｎの保護層１２で格子面１１ａが覆われた回折格子１１のピッチをｄ、照射される可干渉光の真空中の波長をλ_０とした時、ｄ＜２λ_０／ｎ とし、上記回折格子１１への可干渉光の入射角θ_０を
｜ｓｉｎθ_０｜＜（２λ_０／ｄｎ）−１
なる式を満たす角度に設定し、１次回折光を位置検出に使用する。 （もっと読む）

【課題】位置情報の検出精度を高めることができる。
【解決手段】所定の固有周波数で振動する振動子（４０）と、前記振動子に設けられ、位置を示す符号が付されている符号板（１０）と、前記符号が示す位置を位置情報として検出して、前記位置情報を含む検出信号を出力する検出部（３０）と、前記検出部から出力された検出信号と前記固有周波数に対応する周波数成分とに基づいて、前記位置情報の内挿誤差を計測する計測部（６０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】干渉光と各部品の多重反射による迷光が重なることがなく、検出精度の向上を図ることができるようにする。
【解決手段】変位検出装置は、回折格子２と、格子干渉計４，５と、相対位置情報出力手段６，７とを備えている。格子干渉計４，５は、光源３と、反射手段１２，１３と、ビームスプリッタ１７と、受光手段１８，１９とを有している。反射手段１２，１３は、回折格子２によって回折された１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を反射させて、光源３からの光Ｌが照射された位置とほぼ同じ位置に再び入射させている。更に、反射手段１２，１３は、光源３から複合回折格子２への入射角度及び、１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２が回折格子２を透過又は反射した角度と異なる角度で回折格子２に１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を入射させている。 （もっと読む）

【課題】スケール、検出器、他のエンコーダ部品の幅を増やすことなく測定範囲対分解能比を高める。
【解決手段】エンコーダ構造は周期的信号を作るための第１の強度変調成分と広範囲絶対信号を作るための第２の強度変調成分を与える２重変調スケールトラックパターンを有する。２重変調スケールトラックパターンはエンコーダ部品の幅を増やす追加のスケールトラックを使用することなくエンコーダの測定範囲対分解能比を高める。広範囲信号は、スケールトラック中に含まれるパターン要素の特定の寸法を変えるか、同様な領域のパターン要素上のトラックに沿う光の密度変化を含む層を重ね合わせることによって、前記２重変調スケールトラックパターン中にコード化される。どちらの場合も、関係する信号の正味オフセットや振幅レベルはスケールトラックに沿って変調される。これらの変調されたオフセットや振幅レベルは広測定範囲の絶対信号のための基礎を与える。 （もっと読む）

【課題】回折干渉光を利用して検出精度を向上させた位置の原点検出を可能とし、設計・開発・製造等を容易にすることができるリニアエンコーダ、リニアモータ、リニアモータシステム、メインスケール及びリニアエンコーダの製造方法を提供すること。
【解決手段】エンコーダ１００は、光学メイン格子Ｌがそれぞれ全長に亘って形成された帯状の１のトラックＴＣと一部に形成された1以上のトラックＴＡ，ＴＢとを測定軸方向Ｘが長手となるように有するメインスケール１１０と、メイン格子Ｌと回折干渉光学系を構成するようにメインスケール１１０に対向して測定軸方向Ｘで相対移動可能に配置され、光学的な２以上のインデックス格子Ｇ１，Ｇ２が形成されたインデックススケール１２０と、を備え、少なくとも１のトラックＴのメイン格子Ｌに含まれる複数のスリットＳＬは、そのピッチｐ_Ｌが１以上の他のトラックＴにおけるスリットＳＬのピッチＰ_Ｌと等しくなるように、測定軸方向Ｘに垂直な方向Ｙから所定の傾斜角度θ_Ａ，θ_Ｂで傾斜して形成される。 （もっと読む）

【課題】受光素子アレイから出力される信号に異常が生じた場合であっても適切な測定をすることができる光学式エンコーダの提供。
【解決手段】光学式エンコーダは、スケールと、光源と、光源から出射され、スケールを介した光を受光する複数の受光素子アレイ５１〜５３と、測定手段５４とを備える。受光素子アレイ５１，５３は、それぞれ２つの領域５１１，５１２，５３１，５３２に分割されている。測定手段５４は、領域５１１，５１２，５３１，５３２から出力される信号に基づいて、領域５１１，５１２，５３１，５３２に異常が生じているか否かを判定する異常判定部５４１と、異常判定部５４１にて異常が生じていないと判定された領域５１１，５１２，５３１，５３２、及び受光素子アレイ５２から出力される信号に基づいて、スケールの位置を測定する位置測定部５４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】エンコーダにおいて内挿計算によって算出される内挿値に対しても高精度な校正を能率良く行えるようにする。
【解決手段】等速回転モータ（Ｍ）に連結された基準エンコーダ（Ｅ１）及び被校正エンコーダ（Ｅ２）それぞれから出力されるパルス信号（２２ａ、２２ｂ）の時間差（δ）を測定する時間差測定回路（１２）と、前記時間差に応じて被校正エンコーダの校正を行う演算処理部（１８）とを備えるエンコーダ校正装置において、擬似正弦波信号をデジタル化するＡ／Ｄ変換器（２４）を備え、演算処理部で擬似正弦波信号の完全な正弦波からの偏差に応じて被校正エンコーダの内挿計算によって算出される内挿値の校正も行う。 （もっと読む）

【課題】ある種のスケールの欠陥または汚染により異常信号が生じたとしても、正確な測定動作を行うことができる改良された光学式エンコーダおよび位置測定方法を提供すること。
【解決手段】 照明部と、測定軸方向に沿って延出する第１スケールトラックパターンを有する第１スケールトラックを少なくとも有し、前記照明部からの光を受光するとともに、前記第１スケールトラックパターンに対応する第１周期的空間変調光パターンを第１光路に沿って出力するように配置されるスケール要素と、第１検出部と有効信号選択部とを有する信号処理装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】スケールの基材の厚さ方向の変形に因る検出誤差を低減し、高精度に測定を行える測長スケール、光学式変位検出装置、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光学式変位検出装置１に用いるスケール部（測長スケール）１０において、所定の厚さを有する長尺な基材１１と、基材１１の長手方向に沿って光透過部および光不透過部を交互に備えた平面状の光学格子１２と、を備え、光学格子１２は、基材１１を厚さ方向に二等分する中心面Ｇ上に配されている。 （もっと読む）

【課題】ワイヤ等の線状動力伝達部材の長手方向への変位を検出可能とすること。
【解決手段】マニピュレータの挿入部１は、先端に動作部１２を有する。動作部１２は、駆動部２１が駆動するワイヤ１３の変位によって作動する。ワイヤ１３には、ポテンショメータ部３３が設けられている。ワイヤ１３のポテンショメータ部を貫通する部分にはワイヤ１３の長手方向に連続的に光反射率が異なる反射面４２が固定されている。光学部３５が輻射する光はポテンショメータ部３３にその一端が固定された光ファイバ３１により導かれ反射面４２に照射される。反射面４２により反射される反射光強度は、ワイヤ１３の変位により異なる。前記反射光は光ファイバ３１により光学部３５へ導かれ、光学部３５に受光され信号処理部３６で信号処理されて、ワイヤ１３の変位が求められる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダに搭載されるイメージセンサのフレームレートを向上させること。
【解決手段】移動可能に設けられ、第１の符号と第２の符号とを含むパターンを有し、光源から射出される光が入射するスケール（１５）と、スケールが移動する行方向に隣接する少なくとも２以上の光電変換素子からなる光電変換素子群を複数有する光電変換素素子部（１７）とを備え、複数の光電変換素子群は、行方向に沿って配置され、光電変換部は、スケールを介した光に基づく複数の光電変換素子群からそれぞれ出力される出力信号を選択的に用いてパターン信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】アブソリュート（ＡＢＳ）パターンの検出精度の向上と、スケール上のゴミなどによるノイズの影響の低減を図る。
【解決手段】相対移動可能な検出器とスケール１２を備え、検出器側には絶対位置検出用の発光素子１１、光学系（レンズ１３）及び受光素子（フォトダイオードアレイ１４）を配置し、スケール側には所定のアブソリュートパターン３２を配置した光学式絶対位置測長型エンコーダにおいて、前記アブソリュートパターン３２を、測長方向に分割したり、前記アブソリュートパターンの一部のエッジ位置を測長方向に変更する。 （もっと読む）