【課題】エンコーダの検査を高精度且つ容易に行うことが可能なサーボモータを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、シャフトＳＨに連結され、複数の反射スリット１１１からなるスリットアレイＳＡが円周方向に沿って形成された円板状のディスク１１０と、スリットアレイＳＡに光を照射する点光源１２１、及び、点光源１２１から照射されスリットアレイＳＡで反射された光を受光する受光アレイ１２２を備えた光学モジュール１２０と、光学モジュール１２０が設けられる基板１３０と、モータＭのハウジング１０に固定され、ディスク１１０を内部に収容しつつ、光学モジュール１２０がスリットアレイＳＡと対向するように基板１３０を支持する、円筒状の支持部材１４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】相対移動する摩耗側部品と対向側部品を配線等で接続したり、摩耗側部品に電子回路を設置したりすることなく、対向側部品に設置された制御装置により摩耗側部品の摩耗状態を適切に検知する。
【解決手段】本発明の摩耗検知装置は、摩耗側部品２に設けられ、一端部５１および他端部５２が対向側部品３に向けて配置される光ファイバ５を備え、摩耗側部品２の摺動面２１に沿って配置された先端部４１に光ファイバ５の被摩耗部５４が配置された摩耗ゲージ４と、対向側部品３において、摩耗側部品２の摺動中に光ファイバ５の一端部５１と対向可能な位置に設けられた発光素子７と、対向側部品３において、摩耗側部品２の摺動中に光ファイバ５の他端部５２と対向可能な位置に設けられた受光素子８と、対向側部品３に設けられ、受光素子８による受光状態に基づいて摩耗ゲージ４の摩耗状態を検知する制御装置９とを備える。 （もっと読む）

【課題】歯車機構を備えた位置検出装置と光学式エンコーダ装置とを備えたエンコーダを提供する。
【解決手段】ハウジング３が第１の収納部１１と第２の収納部１３との間に軸受けホルダ９を備えている。軸受けホルダ９は、歯車機構２１と光学式エンコーダ装置７とを隔離する隔壁部を構成する。歯車機構２１と光学式エンコーダ装置７とを隔離すると、歯車機構２１から発生する磨耗粉やグリスが飛散して、光学式エンコーダ装置７の構成部品に付着することを確実に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】カバーガラスを目盛部に接着する接着剤の厚さむらに起因するエンコーダの出力変動を防止できるようにする。
【解決手段】スケール基板１２上に形成された目盛部１４が、その上面側に配されたカバーガラス１６で保護されたスケールの目盛保護構造において、前記カバーガラスが、前記目盛部の周囲に配設された高さ規定部３０を介して、前記スケール基板上に支持され、前記高さ規定部が、前記カバーガラスの下面に、前記目盛部の周囲に対応するパターンに予め形成され、且つ、その下端が前記スケール基板の上面に当接され、更に、前記スケール基板と前記カバーガラスとが、前記高さ規定部の周囲に配置した接着剤で接合されている。 （もっと読む）

【課題】内部の空気が攪拌されて熱を持った回路基板周辺の空気を循環でき、粉塵による検出精度の劣化を防止でき、回転時の応力によって回転符号板が面振れや変形を起こして検出精度を悪化させることを防止できるロータリエンコーダおよびロータリエンコーダ付モータを提供する。
【解決手段】回転符号板への送風を行う送風手段であって、回転符号板から離間した位置にあって回転軸によって回転される送風手段を有する。 （もっと読む）

【課題】回転情報の制御の精度低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部、及び中空部から外周面へ通じる貫通孔を有する第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転数制御の精度の低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部を有する第１軸部と第２軸部とがユニバーサルジョイントで互いに接続された第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】受光部における誤検出を防止可能なロータリスケールを具備する位置検出装置、ロータリスケール、および位置検出装置を備える液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】被検出物３１の位置検出を行う位置検出装置であり、発光部６２および受光部６４を備え、これらの間に空間部６１３を備えるフォトセンサ６０と、空間部６１３の間に差し掛かるロータリスケール５１と、ロータリスケール５１に設けられ、第１透光部５３ａおよび第１遮光部５３ｂが交互に形成される位置検出パターン５３と、ロータリスケール５１に設けられ、第２透光部５４ａおよび第２遮光部５４ｂが交互に形成され、通過する光量が位置検出パターン５３を通過する光量よりも少なくなる汚れ検出パターン５４と、フォトセンサ６０を移動させて、位置検出パターン５３の検出状態と汚れ検出パターン５４の検出状態とを切り替えるセンサ位置切替機構７０と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】紫外光より長波長の光を照射した場合にも、結露制御機能部材あるいはクリーニング機能部材として機能させる信頼性保持機能部材を提供する。
【解決手段】ＰＤ１３およびＶＣＳＥＬ１２のうちの少なくとも一方の機能を含む光機能素子を内部に収納すると共に、外部と光機能素子（ＰＤ１３、ＶＣＳＥＬ１２）との間で光を透過可能とするための光透過構造（ガラス部材１４）を有するセラミックパッケージ１１と、このパッケージの光透過構造の表面に薄膜状に形成され、可視光の波長以上の波長を吸収する材料からなる、結露防止機能部材および清浄化機能部材の少なくともいずれか一方の機能を含む透過性の信頼性保持機能部材１５を有し、この信頼性保持機能部材１５は、ＴｉＯ２にＣｕもしくはＦｅのいずれかを担持してもの、あるいは、Ｎ２ドープを行ったＴｉＯ２、あるいは、Ｗ０３にＣｕもしくはＰｄのいずれかを担持してもの、を構成成分として有する。 （もっと読む）

【課題】格子プレートの位置測定システムに干渉する汚染物により誤った測定が行われる可能性が低減された液浸リソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】装置は、バリア１００が使用され、汚染物（例えば、液滴及び／又は微粒子）は格子５０又はセンサ２０に接触することが防止される。バリア１００に付着するいかなる汚染物も放射源からの放射ビームが格子５０上で合焦する焦点面から十分に遠いように配置されているので、汚染物は測定に干渉しない。ある実施形態では、表面弾性波を用いて格子５０又はセンサ２０の表面から汚染物が除去される。 （もっと読む）

【課題】コード・ホイールの位置合わせ不良を補正する装置及び方法を提供する。
【解決手段】この装置及び方法は、少なくとも第１及び第２の運動検出用フォトディテクタの上方及び下方に配置された上部及び下部のコード・ホイール位置合わせ不良用フォトディテクタを使用する。別の実施形態によれば、光学エンコーダ内の出力回路の利得を自動的に設定する装置及び方法が提供される。光学エンコーダのさらに別の実施形態では、本発明のコード・ホイール位置合わせ不良用機能と自動利得制御機能が組み合わされる。 （もっと読む）

【課題】検出精度の低下を防ぐことができる光学式エンコーダ用反射板、エンコーダ及び光学式エンコーダ用反射板の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板と、当該基板の表面に形成され、光を反射する第一金属からなる光反射層と、当該光反射層の表面のうち所定領域を空けて形成され、光を吸収すると共に第一金属よりも標準電極電位の低い第二金属からなる光吸収層とを備える。 （もっと読む）

【課題】 エンコーダシートの透明部への汚れの付着を防ぎ、エンコーダ装置の誤検知を抑制するようにしたエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】 発光部３１と、発光部３１からの光を受ける受光部３２と、発光部３１と受光部３２との光路Ｈ間を通過するように移動され、その移動方向に光が通るべき透明部４１と光を遮るべき非透明部４２とを交互に並べた縞パターン４３を有する、非導電性材質によって板状に形成されたエンコーダシート４０と、を備え、エンコーダシート４０の非透明部４２の表面には、非導電性材質によって突起部４２ｂが形成され、突起部４２ｂはエンコーダシート４０が帯電された状態で、自身の表面に不平等電界が形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望の検出精度を保持しつつ薄型化を実現した光学式センサを提供すること。
【解決手段】光学式センサ1を次のように構成する。すなわち、光を検出する光検出器102と、前記光検出器102が埋め込まれ、少なくとも３層から成る基板104と、を光学式センサ1に具備させる。ここで、前記基板104は、少なくともカバー層104aとスペーサ層104bとベース層104cとを有し、且つ、前記光検出器102に対する電気的導通部である配線１０８Ｗが設けられている。 （もっと読む）

【課題】適用可能なオイルシールの寸法の制約が小さい光学式ロータリーエンコーダを得ること。
【解決手段】第１、第２のベアリング６、７が嵌合される同軸の第１、第２のベアリング孔９ａ、９ｂを有し、オイルシール１１の外周と当接してこれを保持するハウジング９と、第１、第２のベアリング孔９ａ、９ｂの軸方向を光軸方向としてハウジング９に設置された発光素子４と、一端部に円板２が取り付けられ、他端部が回転入力部となり、第１、第２のベアリング孔９ａ、９ｂに嵌合された第１、第２のベアリング６、７に接着されたシャフト１と、円板２を挟んで発光素子４と対向して配置された受光素子５と、第２のベアリング７に隣接してシャフト１の他端側に装着される円筒状のカラー１０と、カラー１０の外周に装着されたオイルシール１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】リニアスケールの汚れを検出できる構成を備えた位置検出装置を提供すること。
【解決手段】キャリッジの位置を検出するリニアエンコーダは、発光部と、発光部からの光を受光する受光部と、発光部と受光部との間に配設されるリニアスケール３１とを備えている。リニアスケール３１は、キャリッジの位置を検出するために、発光部からの光を透過する第１透光部３１ｆおよび発光部からの光を遮断する第１遮光部３１ｅがキャリッジの検出範囲Ｌ内で交互に形成される位置検出パターン３１ｂと、リニアスケール３１の汚れを検出するために、発光部からの光を透過する第２透光部３１ｈおよび発光部からの光を遮断する第２遮光部３１ｇが交互に形成される汚れ検出パターン３１ｃとを備えている。 （もっと読む）

【課題】
走査ユニット１０が、光源１３を有する。この光源１３の損失熱が、熱伝導路を経由してヒートシンク１１に向かって伝導される。この熱伝導路は、導体基板１４によって形成される。当該光源１３が、この導体基板１４に固定されていて且つ当該ヒートシンクとして機能するベース本体１１に向かってさらに延在している。
【解決手段】
導体基板１４からベース本体１１に向かう熱伝導を最適にするため、半田材４１，４２が、この導体基板１４上に被覆されている。中間構成要素６１，６２が、押圧構成要素７１，７２によってこの半田材４１，４２に対して押圧される。半田材４１，４２と中間構成要素６１，６２との間の密接する接触が、当該押圧によって得られる。当該密接する接触は、小さい熱伝導抵抗を保証する。また、中間構成要素６１，６２は、ベース本体１１に接合されている。
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本発明は、第一線膨張係数（α１．３）を有する第一材料で作られている目盛板（１．３）および第二線膨張係数（α１．４）を有する第二材料で作られているキャリア要素（１．４，１．４’）を含む角度測定装置用構成ユニットに関するものである。第二線膨張係数（α１．４）と第一線膨張係数（α１．３）間の差異が、少なくとも３×１０^−６Ｋ^−１である。キャリア要素（１．４，１．４’）には、目盛板（１．３）が接着接続を使って固定されており、その接着接続が、アキシャル方向接着剤層（１．１，１．１’）およびラジアル方向接着剤層（１．２）を有している。アキシャル方向接着剤層（１．１，１．１’）およびラジアル方向接着剤層（１．２）が、キャリア要素（１．４，１．４’）と目盛板（１．３）の間で、アキシャル方向間隙（Ｓａ，Ｓａ’）ないしラジアル方向間隙（Ｓｒ）にそれぞれ配設されている。両方の接着剤層（１．１，１．２）には異なった接着剤を含んでいる。更に本発明は、この構成ユニットを備えた角度測定装置に関するものでもある。 （もっと読む）

【課題】 リング体の変位量に対するＦＢＧへのひずみ発生量の大きさを増大させることにより、また、光ファイバとリング体との接触長を少なくして光ファイバの材料に起因する変位量の減少を抑止することにより、ひずみ量測定の誤差要因を排除でき、さらに、リング体を金属材料で形成する場合における外径の大径化を回避できる光ひずみゲージを提供すること。
【解決手段】 光ひずみゲージは、光ファイバブラッグ回折格子２が形成された光ファイバ１と、円形領域４を取り囲むように形成されたリング体３とを有し、光ファイバ１は円形領域１を直線的に通過して配置されると共にリング体３との交差位置でリング体３に固定保持されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単に構成できて小型化し易いエンコーダを提供する。
【解決手段】検出用パターンを有して、ベース機器１１の回転部１３に取付けられた回転符号部２１と、検出用パターンを検出可能な検出部２５とを備えたエンコーダ１０であり、回転符号部２１と検出部２５とを覆うと共に、ベース機器１１の非回転部１５に固定可能な外装カバー２３を備え、検出部２５が検出した信号を処理する回路を備えた基板２７ａ、２７ｂが外装カバー２３に直接的又は間接的に固定され、この基板２７ａ、２７ｂに検出部２５が固定されている。 （もっと読む）