従来のＣＴ又はＸ線手法を利用して関心領域が特定される。次いで、複数のペンシルビーム２８を利用して関心領域がスキャンされ、複数の異なる散乱Ｘ線スペクトルが得られる。次いで、スペクトルが関心領域の特徴のみによるものであるかの如く、各スペクトルに対して幾何補正が適用される。前記ビームを利用して記録された種々のスペクトルは組み合わせられ関連付けられ、関心領域３２の特徴を決定し、一方でサンプル３０中の他の部分における特徴の影響を最小限にする。
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【課題】 製品出荷時における製品の状態を、高い信憑性のもとに証明することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物品Ｗを特定できる特徴部分もしくは全体像を撮影する光学撮影手段５を設け、この光学撮影手段５により撮影した検査対象物品Ｗの光学像と、検査対象物品ＷにＸ線を照射して得たＸ線透視像とを相互に関連づけて記憶する記憶手段１３を備えることにより、製品出荷時におけるＸ線透視像と実際の製品とを高い客観性および信憑性のもとに関連づけることを可能とし、公正なトレーサビリティを実現する。 （もっと読む）

【課題】
包埋材料に包埋する前の試料の状態を正確に分析することができる被検査物の断面分析方法を提供する。
【解決手段】
下記の（１）〜（３）の工程を含む被検査物の断面分析方法。
（１）試料表面に不活性層を形成する工程
（２）不活性層を形成した試料を包埋材料に包埋して被検査物を作製する工程
（３）被検査物を切断して断面を形成し、該断面を分析する工程 （もっと読む）

【課題】 分析中や分析後でも、分析結果の信頼性を損なう試料の帯電が生じていることを簡単に知ることができる電子プローブＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】 試料に帯電が生ずると、照射電流値Ipに対する試料吸収電流値Iaの割合が急激に低下する現象を利用して帯電の有無を判定する。図の照射電流検出器１８によって分析開始前に照射電流値Ipが検出され、分析中は試料１１から取り出される試料吸収電流Iaを電流測定回路１９で測定する。制御／演算装置１４は照射電流値Ipに対する試料吸収電流値Iaの割合Ia/Ipを求め、データベース１５の予め定めておいた帯電の判定条件データと比較して帯電の有無を監視する。帯電が生じていると判定した場合、分析経過中に表示装置１６に表示し再測定を促したり、分析終了後に分析結果とともに帯電の有無の判定結果を表示したりすることにより、信頼性の高い分析結果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 計測時間中に発生する超伝導X線分析装置の動作点の変動に起因するエネルギースペクトルの半値幅の増大を抑え、高いエネルギー分解能を有する超伝導Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 波高分析装置から出力されるエネルギースペクトルを有限時間間隔で複数回測定し保存する記憶装置と、エネルギースペクトルの各ピーク位置をシフト補正して加算するシフト補正加算処理装置を設けることとした （もっと読む）

【課題】 波長分散形Ｘ線分光器（ＷＤＳ）とエネルギー分散形Ｘ線分光器（ＥＤＳ）を同時に装着した装置において、ＷＤＳで検出されたＸ線の波高分布をリアルタイムに得ることを可能とし、ＷＤＳの波高分析器の条件設定を簡単に行えるようにする。
【解決手段】 ＷＤＳのＸ線検出器に接続されている信号処理回路からの出力信号を、ＥＤＳ用として構成されているマルチチャンネルアナライザに入力できるように切換スイッチを設ける。ＷＤＳの信号処理回路の出力を、マルチチャンネンルアナライザに入力するために必要なマッチング処理を行った後、マルチチャンネンルアナライザで波高識別して積算する。波高分布をＥＤＳスペクトル表示装置に表示する。表示された波高分布からＷＤＳの波高分析器の条件を設定すると、ＷＤＳ用として構成されているシングルチャンネルアナライザの条件が自動的に設定される。 （もっと読む）

【課題】 試料２である半導体基板上のハフニウム含有膜に、不純物として含まれる鉄、銅などの遷移金属を、正確に分析すること。
【解決手段】 イリジウムを含む陽極１１を持つＸ線管１０から発生したＸ線３の中からの分光手段１３によって選択分離したＩｒ−Ｌα線４を、試料２のハフニウム膜上で全反射する方向で照射し、全反射方向以外の方向５に発生した蛍光Ｘ線を、検出器２０で検出する。これによってＦｅ−Ｋα線が検出されるだけでなく、Ｃｕ−Ｋ線の検出の妨害となるＨｆ−Ｌα線の発生を抑制し、Ｒａｍａｎ散乱の上端エネルギーを小さく移動させて、Ｃｕ−Ｋ線との重なりを解消することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡素化された構成で、転がり易かったり滑り易かったりする物品の検査とシールドボックスの搬入口及び搬出口からの一次散乱Ｘ線の漏洩防止とが両立するＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 シールドボックス本体１１を水平に貫通して、両端部が搬入口及び搬出口から突出する第２搬送コンベア６を設ける。また、第２搬送コンベア６の上流側に、該第２搬送コンベア６の搬送面より高い搬送面を有する第１搬送コンベア５を連設し、該第１搬送コンベア５の下流側端部で前記搬入口を覆う。また、第２搬送コンベア６の下流側に、該第２搬送コンベア６の搬送面より低い搬送面を有する第３搬送コンベア７を連設する。そして、シールドボックス本体１１の下流側に防護カバー１３を連設し、該カバー１３の後壁面１３ａを前記第２搬送コンベア６の搬送面の高さまで垂下させる。 （もっと読む）

開示されているのは、標的内の平均原子番号及び／又は質量の空間分布を求めるために前記標的から散乱する光子のエネルギースペクトルを用いる、潜在的な脅威を探して標的を走査するための方法及びシステムである。代表的な一方法は、光子ビームで標的の複数ボクセルそれぞれを照光する段階と、各ボクセルへの入射束を求める段階と、前記ボクセルから散乱した光子のエネルギースペクトルを測定する段階と、前記エネルギースペクトルを用いて前記ボクセル内の平均原子番号を求める段階と、前記入射束と、前記ボクセル内の物質の前記平均原子番号と、前記エネルギースペクトルと、前記ボクセルに対応する散乱核とを用いて前記ボクセル内の質量を求める段階とを含む。代表的な一システムは脅威検出ヒューリスティックスを用いて、前記ボクセルの前記平均原子番号及び／又は質量に基づいて更なる動作を開始させるか否かを決定してもよい。

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【課題】原子番号の低い結晶材料或いはワークに用いられる短波長Ｘ線回折測定装置及びその方法を提供する。
【解決手段】その装置はＸ線管１と、入射絞り２と、テーブル４と、サンプルまたはワーク３の位置制限部分に用いられる位置制限受光スリット５、測角器７と、検出器６と、エネルギー分析器９とを備えており、Ｘ線管１と検出器６はサンプルまたはワーク３が置かれるテーブル４の両側に位置し、検出器６は回折透過Ｘ線の受光に用いられる。本発明の短波長Ｘ線回折透過方法によれば、サンプルまたはワーク３を破壊せずに、より厚い結晶材料サンプルまたはワーク３の異なる深さと異なる箇所のＸ線回折スペクトルを測定し、コンピュータ１０でデータ処理を行い、サンプル又はワーク３における各点の位相、残留応力等のパラメーター及びその分布を得ることができる。本発明は、操作が簡単で、測定時間が短いという利点を有し、正確で、かつ信頼できるＸ線回折スペクトルを得ることができる。 （もっと読む）

【解決手段】画像装置10はフォトン検出器およびこれに接続されたアクセス回路を含む。フォトン検出器は、フォトンを検出し、それに応答した信号を生成する。アクセス回路は、イベント感知モードで動作するように、非常に高いレートでフォトン検出器からの信号を読む。装置10はまた、信号を処理し、対象の画像に関するデータを生成するための信号処理モジュール15を含む。本発明の種々の実施例にしたがって、信号処理モジュール15は空間解像度回路、フォトンエネルギー解像度回路、時間解像度回路、またはこれらの組み合わせを含むことができる。
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【課題】 全ての欠陥種を検出できる最適の欠陥検査レシピを作成者の熟練度に依存することなく作成する方法を提供する。
【解決手段】 模擬正常パターンに対して高さ方向での変化と平面形状での変化とを有する模擬欠陥パターンＤＦ１〜ＤＦ３を備える模擬欠陥ウェーハ１を用いて暫定検査レシピを作成し、模擬欠陥ウェーハ１について欠陥検査を行ない、検出された欠陥データと、予め得られた模擬欠陥ウェーハ１の模擬欠陥データとを照合して欠陥検出感度を定量化し、所望の欠陥検出率が得られるまでレシピパラメータを変更して暫定検査レシピを作成する。 （もっと読む）

目標物体の領域の高分解能画像を構成するために使用することができる画像データを提供する方法及び装置が開示される。本方法は、放射源からの入射放射を目標物体に供給するステップと、少なくとも１つの検出器により、目標物体により散乱された放射の強度を検出するステップと、入射放射又は目標物体後方の開口を目標物体に対して高分解能で位置合わせすることなく、検出された強度に応じて画像データを提供するステップとを含む。
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本発明は、核燃料棒上のクラッドの分析を遂行する方法及び道具を提供する。該方法は、核燃料棒の外面上にクラッドの層を有する核燃料棒を用意し、この燃料棒から該クラッドをクラッド掻取り道具で掻き取り、そしてこのクラッド掻取り道具からクラッドフレークを採集すると述べられる。該方法はまた、該クラッドフレークを粒子画分に分別し、そして走査電子顕微鏡で該クラッドを分析することを備え、しかも該掻取り道具は、クラッド付着物の予想剪断強さに合っている剛性を備えたブレードを有する。 （もっと読む）

本発明は生体体積(14)中のX線蛍光(XRF)マーカー(16)分布の決定方法及び装置に関する。生体体積(14)はX線源からのビーム放射線(12)によって照射される。X線源はK端よりもやや上の準位にある量子化エネルギーを有する第1放射線成分、K端よりもやや下の準位にある量子化エネルギーを有する第2放射線成分を有する。生体体積(14)から放出される二次放射線が検出器(30)によって位置分解法で検出される。バックグラウンド放射線から二次放射線中のX線蛍光成分を分離するには、生体体積は第1放射線成分がXRFマーカーの材料で構成されるフィルタ(22)によって実質的に除去された放射線ビームによって2回照射される。
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【課題】密輸品を検出する。
【解決手段】この方法は、第一の脅威タイプの参照物体を走査したときに測定される参照量の第一の分布を表わすデータを記憶するステップと、当該被検査物体の値を測定するために被検査物体を走査するステップと、上述の値の参照値の中での位置を求めるステップと、被検査物体が第一の脅威タイプである可能性の指標として、上述の値に対応する第一の分布を表わすデータの得点を決定するステップと、を含んでいる。 （もっと読む）

対象（５）の干渉性散乱撮像データを得る装置は、一重なりのライン検出器（６ａ_１−６ａ_ｎ−１，６ａ_ｎ＋１−６ａ_Ｎ）を具備する。各検出器は、対象（５）を通過する放射線ビーム（２ａ）の軌道（２ｂ）の小部分に向けられ、対象において干渉的に散乱される放射線ビームの光束（ｂ_１−ｂ_ｎ−１，ｂ_ｎ＋１−ｂ_Ｎ）がライン検出器に進入し、そこで検出できるようにする。各ライン検出器は、それぞれの散乱光束を進入させる細長開口（３０）と、該開口に平行に配置される検出器要素列（２７）とを有し、それぞれの散乱光束と検出媒体間の相互作用により生成されてそれぞれの散乱光束に垂直な方向に走る電荷または光子は、検出器要素により検出される。ライン検出器とそれらの各検出器要素は、複数の一次元画像を形成するのに十分な散乱データを同時に記録できる向きに配置される。各一次元画像は、それぞれの角度で対象において散乱される放射線から構成される。
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１つの電離粒子分析器は、１つの電離１次粒子源と、１つの荷電粒子検出器と、且つ、電離可能なガスを前記粒子源と前記検出器の間に有している。前記分析器は、更に、前記粒子源と前記検出器の間に位置する荷電粒子妨害装置を具えている。該荷電粒子妨害装置は、第１の構成において、荷電粒子の通過を妨げ、且つ非荷電粒子を通す様な電位に維持される様に準備されている。
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イオン検出器から電子検出器へと切り換え可能な粒子検出器はイオン−電子変換器およびシンチレータ検出器を有する。構成部品への１セットの電圧で、変換器は電子の軌道上で最小限の衝突を有し、それゆえに電子がシンチレータ検出器によって効率的に検出される。構成部品への異なった電圧設定で、大部分のＦＩＢ応用について充分な効率で陽イオンを収集するように検出器が陽イオンのモードで動作することが可能である。このイオン−電子変換器は円筒の形状であるか、または複数の平行プレートを有することが好ましい。 （もっと読む）