【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある。
【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰ法で試料の組成や面積密度を分析する蛍光Ｘ線分析装置などにおいて、種々の試料について、簡便にしかもジオメトリ効果を十分現実に則し加味して理論強度を計算し、十分正確に定量分析できるものを提供する。
【解決手段】 仮定した組成に基づいて、試料13中の各元素から発生する２次Ｘ線6 の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段9 で測定した測定強度を理論強度スケールに換算した換算測定強度とが一致するように、仮定した組成を逐次近似的に修正計算して、試料13の組成を算出する算出手段10とを備え、その算出手段10が、理論強度を計算するにあたり、試料13の大きさ、ならびに試料表面13a の各位置に照射される１次Ｘ線2 の強度および入射角φをパラメータとして、光路ごとに２次Ｘ線6 の理論強度をシミュレーション計算する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、電子ビームを利用して、パターン像等を取得する検査装置に関し、特に、ウィーンフィルタによる収差や電子ビームの強度むらを低減することができる検査装置に関する。
【解決手段】 電子ビームの照射手段１と、試料からの二次ビームを検出する電子検出手段２と、照射手段１および電子検出手段２と、試料との間に配され、照射手段１の電子ビームを曲げて試料面に垂直照射させ、かつ試料からの二次ビームを電子検出手段２に導くウィーンフィルタ３と、検出した二次ビームから試料の画像情報を生成してコントラストを求めるコントラスト検出手段５と、照射手段１とウィーンフィルタ３との間に配置され、ウィーンフィルタ３へのビーム入射角またはビーム入射位置を変える偏向手段４とを備え、ビーム入射角またはビーム入射位置を変えて、コントラスト検出手段５のコントラストを最大にする。 （もっと読む）

【課題】原子スケールの空間分解能により元素を同定することを可能にする。
【解決手段】測定対象に対してビーム径が１ｍｍよりも小径な高輝度単色Ｘ線を照射するＸ線照射手段と、上記測定対象に対向して配置される探針と、上記探針を介してトンネル電流を検出して処理する処理手段と、測定対象と上記探針と上記測定対象に対する高輝度単色Ｘ線の入射位置とを相対的に移動するための走査手段とを備える走査型プローブ顕微鏡とを有する。 （もっと読む）

【課題】検出方式が改善された荷電粒子装置を提供すること。
【解決手段】この装置は、１次荷電粒子ビームを提供する荷電粒子源（１）と、電位を提供する第１のユニット（５）と、電位を提供する第２のユニット（７）と、第１ユニット（５）と第２ユニット（７）の間に位置決めされた中央ユニット（６）とを備える。この中央ユニットは、１次荷電粒子を第１の低エネルギーに減速し、この１次荷電粒子を第２の高エネルギーに加速するために第１および第２のユニットの電位と異なる電位を提供することができる。第１ユニット（５）および／または第２ユニット（７）は、試料（４）のところで放出される２次電子を検出する検出器である。 （もっと読む）

【課題】 干渉縞を確実に防止することができる放射線撮像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 天板１の長手方向Ｈ_HにＸ線グリッド４が往復移動しながら被検体の撮像を行う場合、駆動部５がＸ線グリッド４を回転させることで、そのＸ線グリッド４を天板１の短手方向Ｈ_Vにも往復移動可能になるようにする。つまり、長手方向Ｈ_Hに沿って金属ピース４ａの縞目が配置されるようにＸ線グリッド４に配設しつつ、長手方向Ｈ_HにＸ線グリッド４が往復移動しながら撮像すると、画像中の干渉縞を防止する。一方、短手方向Ｈ_Vに沿って金属ピース４ａの縞目が配置されるようにＸ線グリッド４を駆動部５によって長手方向Ｈ_Hから短手方向Ｈ_Vに回転させて往復移動させることで、短手方向Ｈ_Vに往復移動させた場合においても、干渉縞を確実に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】従来測定者が行っていた手作業を簡略化し、精度良く迅速に物質を同定することが可能な物質同定システムを提供する。
【解決手段】電子線装置に、電子線回折像観察用ＴＶカメラ１０によって取り込んだ回折像から格子面間隔を算出する電子線回折像解析部３、ＥＤＸ検出器９に接続され物質組成を求めるＥＤＸ分析部２、物質同定のための検索用データベースとデータベース検索機能を備えた物質同定部４を有する。物質同定部４は、電子線回折像解析部３から送信された格子面間隔データ、ＥＤＸ分析部２から送信された元素データをもとに検索用データベースを検索して物質を同定する。 （もっと読む）

【課題】 短時間で確実に高精度の焦点合わせができるように改良した光電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 収束イオンビームまたは電子ビームを試料表面の観察部位の直近に照射してマーキングするためのイオン源または電子線源を備えたことを特徴とする光電子顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー分解能を大幅に向上させて、低エネルギー化を図ることができ、試料の表面の組成を精度良く把握することができる３次元構造物分析システムを提供する。
【解決手段】 試料の少なくとも一部にイオンビームを照射して、前記試料を３次元的に加工するイオン銃と、イオンビームにより３次元的に加工した試料に対して電子を照射する電子銃と、前記電子が照射された試料からのＸ線を検出するＸ線検出器と、該Ｘ線検出器での検出結果に基づいて前記試料の組成分析を行う組成分析装置と、を備える３次元構造物分析システムである。Ｘ線検出器は、エネルギー分散型の超伝導Ｘ線検出器からなる。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブ電子源のエミッション変動や、エミッション特性の個体差による試料表面の帯電不均一を解消する。帯電制御の処理中に試料表面の帯電をリアルタイムで計測する。
【解決手段】電子照射密度の不均一に起因した帯電不均一を解消する手段として、照射する電子と試料とを相対的に移動させ、電子照射密度の平均化を行う。また、試料表面の帯電をリアルタイムでモニタする手段として、試料に流れ込む吸収電流や試料より放出される２次電子及び反射電子の数を計測する。 （もっと読む）

【課題】 試料からのＸ線を効率的に超伝導Ｘ線検器に入射でき、かつ光軸や焦点調整が容易に実施できる超伝導Ｘ線検出装置を提供する。
【解決手段】 冷凍手段となる希釈冷凍機２と、冷却される冷却ヘッド５と、冷却ヘッド５に固定された超伝導Ｘ線検出器１とからなる超伝導Ｘ線検出装置において、超伝導Ｘ線検出器１の近傍に設けられたＸ線入射部の４Ｋ輻射熱シールド６の内壁にＸ線集光手段としてポリキャピラリー１２を接合する構造にした。 （もっと読む）

【課題】
非破壊検査による検査・試験パスの短縮を図り例えば薬剤開発期間の短縮、しいては製造・品質の安定化を図った分子構造複合同定装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、被検試料載置板１６に載置された同じ被検試料１７に対して０．５ｍｍ以下の直径に制限したＸ線ビームと赤外線・可視光・紫外線の何れか一つあるいは複数の波長ビームを照射する照射光学系（１，１２；２，２２，１１）と、前記被検試料から得られるＸ線回折パターン及び前記被検試料から放出される反射光又は散乱光を検出する検出光学系（９；１１，３，５）とを備え、前記被検試料から同時または連続して少なくともＸ線回折スペクトル及び可視光による反射光像を検査できるように構成した分子構造複合同定装置である。 （もっと読む）

【課題】基板面の近似平面を決定することで、断層画像の画像再構成処理において、被検体の状態に関係なく、最小限の画像再構成領域を設定するＸ線ＣＴ検査装置を提供する。
【解決手段】電子基板に搭載される被検体を透過した透過Ｘ線像を用いて被検体の断層画像を生成するＸ線ＣＴ検査装置であって、被検体にＸ線を照射する手段１２６と、前記被検体を透過したＸ線を計測する手段１２５と、Ｘ線計測手段１２５により計測したＸ線データを用いて被検体の断層画像の画像再構成を行う手段１５２と、電子基板上の被検体の表面形状データ（高さ位置）を計測する手段１２１と、電子基板内の異なる２領域以上の表面形状データから、断層画像の基準面となる基板近似平面を決定する手段１５３と、を備え、決定した基板近似平面を基準に、画像再構成手段１５２により画像化する領域を決定する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、Ｘ線装置の高い処理性能を損なうことなく爆薬に対する低い誤法率の実現を可能とする爆発物探知装置を提供することにある。
【解決手段】
上記目的を達成するために、本発明では、荷物内の爆発物検査においてまずＸ線を照射して得たＸ線像から得られる密度および実効原子番号の一方または両方から爆発物の存在可能性を判定し、次にＸ線像から得られた情報をもとに最適となるように爆発物の存在範囲に０.１から６ＭＨｚの周波数範囲の電波を照射し、Ｎ−１４核の核四重極共鳴により発生した電波を受信して予め登録された爆発物に対応する共鳴電波周波数位置の信号値があらかじめ定められた一定値以上であることを条件に爆発物の存在を判定する。 （もっと読む）

荷物検査等の従来の物質識別では、荷物の減衰係数は、荷物内の物質を確認するよう使用される。しかしながら結果が不明瞭なのは、危険物質と非危険物質が同一の減衰係数を有することが頻繁にあるためである。本発明によれば、方法及び装置が与えられ、荷物内に危険物質があるか否かをよりよく判断するよう、ＣＴ及び干渉性散乱コンピュータ・トモグラフィ（ＣＳＣＴ）から得られた情報を組み合わせる。故に、本発明によれば、荷物の減衰係数及び回析パターンは、荷物が不審であるか否かを判断するよう使用される。
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集束イオンビーム３１２のスパッタリングエッチング加工を行って薄片を作製すると同時に、薄片の側壁に対して平行な方向から電子ビーム３１４の照射を行って走査電子顕微鏡観察をし、薄片の厚さを測定する。そして、薄片の厚さが所定の厚さになったことを確認して、集束イオンビーム３１２による加工を終了する。
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【課題】 蛍光Ｘ線ホログラフィーの測定時間を短縮するとともに機構系の構成を簡単にする。
【解決手段】 従来のノーマル型の構成においてＸ線検出器の回動と試料の回動とによりカバーしていた蛍光Ｘ線の測定範囲全体をカバーするように、試料２の上方に、平面に沿って多数のＸ線検出素子を配列させた検出面１０ａを有するＸ線検出器１０を設置し、ホログラムパターン上の各測定点に対応した蛍光Ｘ線を一斉に検出する。また、信号処理部４により各Ｘ線検出素子による検出信号をＸ線強度に変換した後、データ処理部５で三次元フーリエ変換処理する際に、各測定点と測定部位２ａとの距離の相違の影響を考慮した演算を行うことにより、平面状の検出面１０ａでホログラムパターンを取得することの誤差を修正して精度の高い原子像を再現する。 （もっと読む）

【課題】 薄膜化した試料に電子線を照射して観察、特にX線検出による元素分析を、背景雑音を低減して高精度、高分解能で行える試料観察装置および試料観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】 薄膜試料の直後に孔部を有する軽元素材料からなる部材５６を配置して、電子線８で該試料２２の特定部位を観察する。
【効果】 本発明により、薄膜試料に電子線を照射して観察する際に、該試料以外の部分から発生するX線、および、該試料以外の箇所で散乱されて再び該試料に入射する電子線を低減できる。これにより高精度、高感度な２次電子像観察および元素分析が可能となり、一段と微細化が進むＬＳＩデバイス等の内部観察等を、高精度、高分解能で実施できる試料観察装置および試料観察方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの測定、検査、欠陥レビュー用などの走査電子顕微鏡において、画像を撮像する時間の短縮と高画質撮像の両立を実現する。
【解決手段】大ビーム電流を用いて低倍画像を撮像し、小ビーム電流を用いて高倍画像を撮像し、ビーム電流の変化によって発生する撮像画像の輝度変化、焦点ずれ、アライメントずれ、視野ずれを補正する制御量を予め全体制御系１１８内のメモリに保存しておき、ビーム電流を切り替える都度これを補正することにより、電流を切り替えた後の調整作業なしで画像を撮像することを可能にする。また、電子ビームの照射経路中に絞り８０１を設けることにより、電流切り替え時間を短縮する。 （もっと読む）

【課題】レシピ作成及び欠陥確認の使い勝手がよく、かつ迅速に行うことのできるパターンの検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥確認画面は、ウェハマップを表示する「マップ表示部」６１、欠陥画像を一覧表示する「画像表示部」６２、欠陥の詳細情報を表示及び設定する「リスト表示部」６３、選択された欠陥項目についてグラフ表示する「グラフ表示部」６４を有する。それぞれの表示部は連動して動作し、選択されたマップ情報に対応して欠陥画像、欠陥情報リスト、欠陥グラフが変化する。これら情報を利用して入力された分類コード及びクラスタリング条件及び表示フィルタはレシピに登録される。 （もっと読む）