【課題】結晶端面Ｓｃのカソードルミネッセンス画像から、貫通転位などの欠陥数を自動計数する場合に、その誤差を小さくしてより正確に計数できるようにする。
【解決手段】欠陥像の面積に対する欠陥像数の分布から、孤立欠陥による欠陥像と近接欠陥による欠陥像とを推定的に分離したうえで、孤立欠陥の数と孤立欠陥像の面積を算出し、その後、前記孤立欠陥数と孤立欠陥像面積を用いた補正演算によって、近接欠陥による欠陥像から欠陥数を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】後方散乱電子線回折（ＥＢＳＤ）法により得られた塑性変形を受けていない多結晶材料の結晶情報を用いて、多結晶材料が巨視的変形を受けた際の微視組織の不均一変形状態を、簡易な方法で迅速且つ確実に予測し、多結晶材料の塑性変形時の機械特性を正確に得る。
【解決手段】多結晶材料からなる試料について、後方散乱電子線回折法によって得られた各測定点の結晶情報を用いた多結晶材料の変形特性を予測する際に、各測定点の結晶情報を入力するステップと、入力された各測定点の結晶情報を用いて、各測定点と１対１に対応するように要素分割し、離散化モデルを作成するステップと、離散化モデルを用いて、所定の境界条件の下に変形解析を行うステップとを実行する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線又は光学測定において迅速に、しかも空間分解能の高い二次元画像取得方法とその装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線による二次元画像測定装置に適用した形態では、二次元Ｘ線検出器と試料の間に２つの独立したコリメータを配置し、試料に近い側のコリメータで蛍光Ｘ線を二次元の平行光束とし、他のコリメータを経て検出器に導いて蛍光Ｘ線による二次元画像を得る。このとき、２つのコリメータのなす角度をＸ線全反射臨界角近傍で調整することにより、検出器に到達する蛍光Ｘ線のエネルギーを選別する。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を効率良く行うことのできる検査方法等に関し、装置のメンテナンスの向上を可能にする検査方法及びそれに用いられる試液を提供する。
【解決手段】一部が膜３２から構成された試料保持体４０に液体試料２０として培地３９と細胞３８が入れてある。この液体試料に閉塞物質４１を混入させる。膜３２の下方から膜３２を介して一次線を細胞３８に照射可能で、その時に発生する二次的信号を検出することで細胞の像や情報を得ることができる。膜３２が一次線照射や、何らかの機械的刺激により破壊された場合であっても、閉塞物質４１が膜の破損個所を閉塞するので液漏れを最小限にすることができる。従来、膜の破壊毎に装置を洗浄する必要があったが、本発明により少なくとも１０回膜が破壊されても洗浄の必要性がなくなる。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線の検出効率を高めるために、Ｘ線を発生するターゲットから試料までの距離、試料から蛍光Ｘ線の検出器の検出素子までの距離を可能な限り小さくすると共に、蛍光Ｘ線の取り出し角を可能な限り大きくした蛍光Ｘ線分析機能付き高分解能Ｘ線顕微装置を提供する。
【解決手段】対物レンズによって電子線をＸ線発生用のターゲットに集束させ、ターゲットから発生したＸ線を試料に照射することによって試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、検出器の検出結果から蛍光Ｘ線を分析する分析部とを具備した蛍光Ｘ線分析機能付き高分解能Ｘ線顕微装置において、検出器の全部又は一部を対物レンズの磁気回路内に組み込む。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の組成物質の測定を行う携行性に優れたエックス線分析装置を、鉛直面以外の面内にある被測定位置についても測定を行えるようにするエックス線分析装置用支持台を提供する。
【解決手段】 エックス線分析装置２の架台プレート27を傾斜台板11の表面に固定する。傾斜台板11はヒンジ部11dにより揺動可能に設け、傾斜台板11の裏面側にウォームギヤ13を設け、ウォームホイール13bに揺動アーム14の基端部を取付、先端部を傾斜台板11の裏面に摺動可能に連繋させる。ベースプレート23と傾斜台板11に取り付けたブラケット11cとに支持バネ33を掛け渡して、ベースプレート23が下降することを防止する。 （もっと読む）

【課題】 走査型電子顕微鏡を有する光分析装置であって、簡便に試料交換が可能な装置および分光分析方法を提供する。
【解決手段】試料照射部、試料交換室および光検出器を具備した光分析装置であって、
前記試料照射部が、走査型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡から発せられる電子線が照射されるための試料が載置される試料台、ならびに前記試料から発せられる発光を通過させるための小孔を有する採光部を具備した試料照射部を具備し、試料台を試料照射部および試料交換室との間を移動可能とする移動手段を具備した光分析装置。
（もっと読む）

【課題】
試料の欠陥を検査する装置において、装置が小型化できて省スペース，コストダウン，振動抑止と高速化，検査の信頼性が得られ、特に大口径化したウエハの場合に効果が大きい荷電ビーム検査装置を得る。
【解決手段】
少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、試料を各検査機構間で一軸移動機構により移動させ、次に回転ステージで試料の検査位置を検査機構へ調整して合わせ、検査機構により試料の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】
電子顕微鏡を用いた欠陥のレビュー方法、および欠陥のレビュー装置において、電子ビームの自動焦点合わせの設定に要するユーザの工数を低減し、試料の観察を容易化する。
【解決手段】
観察対象の座標上に予め登録された複数個の座標位置について焦点合わせを行い、座標位置における各焦点位置に基づいて焦点合わせの基準を作成し、該基準と前記焦点位置との間のずれ量に基づいて焦点探索範囲を設定し、観察対象の欠陥検出の自動焦点合わせの範囲を、設定された焦点探索範囲に基づいて決定する。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析により炭素質材料に含まれる元素をより迅速且つ容易に定量分析する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置２０は、蛍光Ｘ線分析方法とは異なる第２の測定方法（例えばＩＣＰ発光分析法）によって炭素質材料に含まれる含有元素の含有量を求めると共に、蛍光Ｘ線測定ユニット３０によってこの含有元素の強度値を求め、得られた含有量と強度値との対応関係情報（検量線）をＨＤＤ２５に記憶し、未知試料を蛍光Ｘ線の強度を検出し、この含有元素の強度値とＨＤＤ２５に記憶された対応関係情報とに基づいてこの未知試料の含有元素の含有量を定量する。蛍光Ｘ線分析方法では、炭素に対する感度がないが、第２の測定方法を利用することにより、定量可能とし、試料に含まれている元素の定量を非破壊で迅速に行う。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハ上に非検知元素よりなる疎水性膜２を設けた、液滴状分析試料の乾固を行う全反射蛍光Ｘ線分析用試料板の改良により、空実験でＳｉピークを確実に消滅させ、気相分解法と全反射蛍光Ｘ線分析を組み合わせる高感度化手法において、Ｓｉとエレルギー値の近いＰ，Ａｌ，Ｍｇ等も高感度化させる。
【解決手段】Ｓｉの特性Ｘ線が発生するのは、膜２の表面４で全反射するＸ線５が表面下８まで侵入し、この領域には微小欠陥群が存在してＸ線の散乱９が起こり膜界面のシリコンが励起する為と考え、試料板の試料乾固域の下方に十分の広さのシリコン欠如部分（凹部）を設けて、散乱Ｘ線９がシリコンと遭遇しないようにした。凹部の天井の乾固用膜は十分に薄く出来て不純物の絶対量が減るので、Ｓｉピークの消滅と同時に分析対象元素全般の空試験値も低減させ得る。 （もっと読む）

本発明は、人間の衣類の下や人体に隠された金属や原子番号Ｚが小さい物質（プラスチック、セラミックス、違法薬物）や他の禁制品を検出するために、すばやく人間を検査することができるＸ線人体検査システムを対象とする。１つの例としての実施形態において、対象物検出システムは、２つの走査モジュールが互いに平行に対向配置されている。２つのモジュールは、人間等の被検者が２つのモジュールの間に立ったり２つのモジュールの間を通ったりすることができるように、間隔を空けて配置されている。第１モジュール、及び、第２モジュールは、それぞれＸ線などの放射線源と検出器列とを有している。検査中の被検者は、被検者の前側が一のモジュールに対向し、かつ、後側が他のモジュールに対向するようにして２つのモジュールの間に立つ。 （もっと読む）

【課題】微細に加工された半導体デバイス内の所望の箇所の３次元的構造を観察するための電子顕微鏡用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法を提供する。
【解決手段】試料片１０の加工にダイサーを用い、試料片上の観察対象となる部分を突起状に削り出す加工に集束イオンビーム加工を用い、試料片１０を１軸全方向傾斜試料ホルダに、突起１１の中心軸と試料傾斜軸Ｚを一致させて固定し、高角に散乱された電子で結像したＴＥＭ像を投影像として用い、再構成を行う。 （もっと読む）

対象の内部特質、例えば対象の内部吸収、屈折、反射、散乱特性を可視化するシステムを開示する。実施の形態は、浸透する照射線の１つ以上のビームと、内部特質がイメージされる対象と、単一もしくは配列である照射線光学器と、結果としてのＸ線写真を捉えるための検出器とを含むことができる。対象を通して伝導する照射線ビームは、普通狭軸に沿って高空間的純度および直角をなす長軸に沿って低空間的純度を持つ線状源から発生される。照射線光学器は長軸において対象の高解像度イメージを形成するために対象から出てくる発散する照射線を捉えて焦点を合わす。照射線光学器なしでは、Ｘ線写真はこの軸でぼやける。このようなＸ線写真は、狭いビーム源である対立軸では自然に明瞭でありその軸に沿って対象の屈折、反射、散乱特性を明らかにする。また実施の形態は、対象から出るビームにディスクリミネータ（ストッパー、位相転移器、結晶分析器）を含むことができる。また実施の形態は、大きい対象の２次元または３次元イメージ形成を可能にするスキャンの機構を含むことができる。また実施の形態は、対象から出る照射線・照射線波形の分析から得られた対象の内部特質のイメージを含むことができる。
（もっと読む）

【課題】
半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】
他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

本発明は、ａ）分析される少なくとも一つの無機又は有機試料（３）を超高真空下で与え、ｂ）少なくとも一つのコレクタ（５）を超高真空下で与え、ｃ）前記試料（３）をイオン又は中性子衝撃（１）に供し、ｄ）前記衝撃に供された試料（３）によって放出される粒子（２）を前記コレクタ（５）上に収集し、ｅ）前記少なくとも一つのコレクタ（５）上に収集された粒子（６）を二次イオン質量分析等によって分析することを含む方法であって、前記工程は、試料粒子（２）の放出が分析工程から切り離されるように実施され、コレクタ（５）、試料（３）、又はそれらの両方が工程ｃ）及び／又はｄ）中に互いに独立して移動する。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの特性化および分析を行う方法を提供する。
【解決手段】フォトレジストの特性化方法は、支持構造上にフォトレジストを形成する工程１０２と、フォトレジストをベーキングする工程１０４と、フォトレジストを染色剤により染色する工程１０６と、ＴＥＭ、ＳＥＭおよびＡＦＭのうちの少なくとも１つを利用し、フォトレジストを特性化する工程１０８と、を含む。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドのリード素子の素子形状を評価する素子評価方法及び装置に関し、同一の評価試料によってリード幅、コア幅及び素子高さを評価しうる素子評価方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１の材料よりなる第１の部分と第２の材料よりなる第２の部分とが積層された第１の領域に電子線を入射し、第１及び第２の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第１の電子線強度を測定し、第１の材料よりなる第２の領域に電子線を入射し、第１の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第２の電子線強度を測定し、第２の材料よりなる第３の領域に電子線を入射し、第２の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第３の電子線強度を測定し、第１の電子線強度と第１の部分の厚さとの関係を、第２の電子線強度と評価試料の厚さとの関係及び第３の電子線強度と評価試料の厚さとの関係から算出することにより、第１の領域の第１の部分の厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】試料のセット時に生じる試料表面の傾斜を補正する方法を提供すること。
【解決手段】斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法は、試料ステージに載置された試料に電子線を照射し、試料内部から発せられる特性Ｘ線が試料表面での全反射現象により検出されない角度以下に試料ステージを傾斜させて特性Ｘ線の取出角度を設定することにより試料の表層から発せられる特性Ｘ線のみをＸ線検出器で選択的に検出する斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法において、所定の基準面に対する試料表面の傾斜角度を求める工程と、求められた傾斜角度が相殺されるように試料ステージを傾斜させて特性Ｘ線の取出角度を設定する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】内容物の位置ズレを高精度に検出できる分包シート検査システム及び検査方法を提供する。
【解決手段】分包シートの外面に照射光を照射可能な光源と、前記光源から照射された照射光が分包シートの外面で反射された反射光を受けて映像信号を発生させる撮像手段４と、撮像手段４から出力される前記映像信号にエッジ強調処理を行なうことでシール部を強調するとともに、強調されたシール部において、分包シートの外端からポケット部とシール部との境界までの距離をシール長を計測するシール長計測装置６と、分包シートに照射するＸ線を照射可能なＸ線源７と、このＸ線照射に伴うＸ線透過量を検出するＸ線検出器８と、シール長の情報を入力してポケット部の位置と適合する検査領域を設定し、Ｘ線検出器８で検出されたＸ線透過量に基づいて、検査領域における内容物を検査する判定手段９とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）