【課題】２段に重ねられた放射線検出器の画素間での対応がとれなくなったことを早期に知ることができる非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】非破壊検査装置１は、Ｘ線照射器２０、低エネルギ検出器３２、高エネルギ検出器４２、低エネルギ透過率算出部７２、高エネルギ透過率算出部７４及び検出部７６を備えている。低エネルギ透過率算出部７２は、被検査物Ｓを透過したＸ線の低エネルギ範囲における透過率を、低エネルギ検出器３２で検出された輝度データから算出し、高エネルギ透過率算出部７４は、被検査物Ｓを透過したＸ線の高エネルギ範囲における透過率を、高エネルギ検出器４２で検出された輝度データから算出する。検出部７６は、低エネルギ透過率算出部７２で算出された透過率と、高エネルギ透過率算出部７４で算出された透過率との比に基づいてＸ線照射器２０の位置ずれを検出する。 （もっと読む）

【課題】広い検出範囲面積を有しつつ複雑さ及び費用を抑えたＸ線検出器アセンブリを設計する。
【解決手段】Ｘ線検出器アセンブリ（８４）が、第一のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（８６）と、第二のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（９０）とを含んでいる。Ｘ線検出器アセンブリ（８４）はさらに、Ｘ線透過方向にＸ線源（７４）から第二のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（９０）に向かって発散するＸ線を受光しないように第二のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（８６）を遮断する第一の位置において第一のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（８４）を整列させるように構成されている第一の検出器装着構造（８８）を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】複数の信号を用いた高精度な寸法測定を実現することを可能にする。
【解決手段】本実施形態は、走査顕微鏡を用いて対象物の寸法測定を行う寸法測定方法であって、前記対象物の測定に関する始点および終点となる測長点を定義する工程と、前記対象物にビームを入射して走査することにより、同時刻における前記対象物からの複数の信号を検出する工程と、前記対象物の測長点の定義に基づいて、前記複数の信号から測長点を決定する工程と、前記対象物において決定された測長点の間の距離を算出する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の被検知物による吸収情報と位相情報とを、分離して独立した情報として取得するＸ線装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線装置であって、Ｘ線発生手段から発生したＸ線を空間的に分割する分割素子と、分割素子により分割され、被検知物を透過したＸ線の位相変化によるＸ線の位置変化量を、Ｘ線または光の強度変化量に換えて、Ｘ線または光の強度を検出する検出手段と、検出手段から得られたＸ線または光の強度から被検知物の吸収情報であるＸ線透過率像と、位相情報であるＸ線微分位相像またはＸ線位相シフト像を演算する演算手段と、を有し、分割素子は、Ｘ線を分割することにより検出手段において２以上の幅を有するＸ線を照射する構成を備え、演算手段は、検出手段におけるＸ線の位置変化量とＸ線または光の強度変化量との相関関係が２以上の幅を有するＸ線間で異なることに基づいて演算する構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】対象物の種類ごとに空間分解能の高い二次元分布像を得ることができる方法及び装置、生体組織の構成物に由来する二次イオンの生成を効率よく行え、生体組織の構成物の分布状態を高い感度で測定するための方法および装置、更には、生体組織構成物の分布状態を定量性よく測定するための方法及び装置を提供すること。
【解決手段】対象物に関する情報を飛行時間型二次イオン質量分析法を用いて取得する取得する際に、対象物のイオン化を促進するための物質を用いて対象物のイオン化を促進して対象物を飛翔させる。 （もっと読む）

【課題】放射線源にマルチスリットを用いることなく放射線位相画像撮影装置を構成する。
【解決手段】電子線を射出する複数の電子源１５ａおよびその電子源１５ａから射出された電子線の衝突により放射線を射出するターゲット１５ｂを備えた放射線照射部１と、放射線を回折する格子構造が周期的に配置された第１の格子２と、放射線を透過および遮蔽する格子構造が周期的に配置された第２の格子３と、第２の格子３を透過した放射線を検出する放射線画像検出器とを設け、第１の格子２および前記第２の格子３を、放射線の光軸方向において、各電子源に対応する放射線に基づく第１の格子２の像同志を第２の格子３面上で略重ねることができるように配置し、各電子源１５ｂに対応する放射線が、それぞれ同一の被写体の位相画像を放射線画像検出器４上に形成する。 （もっと読む）

【課題】 試料から軟Ｘ線分光装置に向う軟Ｘ線をできるだけ多く回折格子に入射させて、検出される軟Ｘ線の強度を高めた軟Ｘ線分光装置を提供する。
【解決手段】 入射する軟Ｘ線を回折する回折格子と、回折格子によって回折された軟Ｘ線を検出する検出器とを備える軟Ｘ線分光装置おいて、回折格子に入射する軟Ｘ線の中心光線を挟み、回折格子に垂直で中心光線を含む平面に平行かつ中心光線に垂直な方向の曲率が０の一対のミラーを備えて、回折格子の傍らに向って進む軟Ｘ線を、ミラーによって反射して回折格子に入射させる。 （もっと読む）

【課題】 外部磁場がＴＥＳに与える影響を大幅に抑制することが可能なＸ線分析装置を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線を受けてそのエネルギーを温度変化として検出し電流信号として出力するＴＥＳ７と、ＴＥＳ７を内部に配置すると共に超伝導状態となる超伝導磁気シールド８と、超伝導磁気シールド８を被包すると共に該超伝導磁気シールド８が超伝導状態になるまで外部磁場を遮蔽する室温磁気シールド９と、を備え、超伝導磁気シールド８と室温磁気シールド９とが、互いに同心円状に配置された円筒状である。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイ基板の種々の欠陥検出に要する時間を短縮する。エネルギーフィルタの電圧条件を最適化することで検出信号の検出効率を向上させる。
【解決手段】ＴＦＴアレイ基板に駆動信号を供給して駆動し、これによって駆動されたＴＦＴアレイ基板のピクセルに電子線を照射して得られる二次電子をエネルギー選別して検出し、得られた二次電子信号強度によってＴＦＴアレイ基板の欠陥を検出するＴＦＴアレイ検査装置であり、エネルギー選別を行うエネルギーフィルタと、エネルギーフィルタを通過した２次電子を検出する２次電子検出器とを備える。エネルギーフィルタの電位を駆動信号の信号波形に同期して切り換える。エネルギーフィルタの電位と駆動信号の信号波形と同期させることによって、二次電子検出の検出条件を駆動パターンに応じて最適なものに設定することができ、検出効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】発生したＸ線の利用効率が高い、タルボ・ロー干渉計方式の高感度Ｘ線撮像装置を提供する。
【解決手段】電子源１１により、ターゲット１２に向けて電子線１１１を照射する。ターゲット１２は、電子線１１１の照射によってＸ線８を発生する。制御部１３は、電子線１１１を、ターゲット１２上において走査させる。これにより、ターゲット１２を縞状に励起して、Ｘ線８を発生させることができる。第一格子３は、ターゲット１２から発生したＸ線８を回折する。第二格子４は、第一格子３で回折したＸ線８をさらに回折する。Ｘ線画像検出器５は、第二格子４で回折したＸ線８を検出する。これにより、Ｘ線８の位相情報を利用した撮像が可能になる。 （もっと読む）

【課題】厚さが厚い試料の分析に好適でかつ試料の材質の同定も行うことができる試料分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の試料分析装置は、表面に部分的に凹部が存在するウエハ１８に荷電粒子を照射する照射系と、荷電粒子の照射に基づき試料の表面側から得られたルミネッセンスを集光する回転楕円反射鏡１７と、回転楕円反射鏡１７に導かれたルミネッセンスを検出する光検出器３３と、試料の表面から反射された反射荷電粒子を検出する荷電粒子検出器２５と、荷電粒子検出器２５の検出信号に基づき試料の形状を求めると共に光検出器３３の検出信号に基づきウエハ１８の材質を同定する信号処理部２４とを備え、照射系は荷電粒子をウエハに間欠的に照射するように制御され、信号処理部２４は荷電粒子の間欠照射終了時点から間欠照射開始時点までの期間における光検出器３３からの検出信号の減衰特性に基づき試料の同定を行う。 （もっと読む）

標準型Ｘ線管又は他の多色放出光源から集中単色Ｘ線ビームを得るための方法。Ｘ線管のアノードからのＸ線は、隣接の独立標的に蛍光を投与し、この標的は、単色スペクトルを発生させ、その一部は、Ｘ線光学系によって焦点合わせされる。この２段法は、信号の過度の損失を生じさせないでシステムに相当高い汎用性を与える。２段式集中装置は、手持ち型及び携帯型機器の焦点合わせ光学素子の使用を実用的にする。 （もっと読む）

【課題】断面がライン状のＸ線ビームを発生するＸ線源を用いたままで、ライン状のＸ線ビームとポイント状のＸ線ビームを選択的に得られるようにして、かつ、ポイント状のＸ線ビームを選択した場合に、その単位面積当たりのＸ線強度を大きくする。
【解決手段】Ｘ線光学系は、Ｘ線源１０と、アパーチャスリット板１４が付属する放物面多層膜ミラー１８と、光路選択スリット装置２２と、ポリキャピラリー３６と、出射幅制限スリット３８を備えている。ポリキャピラリー３６と出射幅制限スリット３８は、放物面多層膜ミラー１８から出てくる平行ビーム２０の経路中に着脱可能に挿入されていて、この経路から取り外すことができる。そして、その空いたところに、ソーラスリット２６と発散スリット２８を挿入することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の吸収及び位相コントラストＸ線撮像装置では測定が難しかった骨や肺等のような大きな密度変化から生体軟部組織等のような小さな密度変化までを含むような試料を高感度に撮像・観察する。
【解決手段】Ｘ線干渉計を用いた位相コントラスト型Ｘ線撮像装置において、試料が設置された干渉計内の光路とは異なる光路に、形状及び内部密度分布が試料と類似し、且つ既知の参照体を設置する。 （もっと読む）

【課題】非破壊で試料内部の情報を高解像度で取得し良／不良の判断を行うことができ、検査時間を短縮する装置の提供。
【解決手段】電子線またはＸ線を試料（１０３）に照射し、試料からの蛍光Ｘ線をゾーンプレート（１１０）を用いて集め検出器（１０５）で検出し、検出器（１０５）からの電気信号をＡ／Ｄコンバータ（１０６）でデジタル信号に変換し、不良判断部（１０７）で良／不良を判断し、不良の場合、画像処理部（１０７）で画像処理し、画像表示部（１０９）に表示する。 （もっと読む）

【課題】 深さ方向元素分析方法に関し、簡単な構成によりエレクトロポジティブな元素とエレクトロネガティブな元素とを同時に高感度で検出する。
【解決手段】 イオンビーム照射によるスパッタエッチングによって試料１の表面から放出される二次イオンを検出し、試料１中に含まれる元素の深さ方向分布を測定する際に、試料１をエレクトロネガティブな元素雰囲気４に曝した状態でイオンビームを照射して、エレクトロネガティブな元素２と試料１中に含まれるエレクトロポジティブな元素３との負の複合分子イオン６を検出する。 （もっと読む）

【課題】試料の３次元的な元素構成を原子レベルで高精度に分析する際に、分析中の試料の移動を不要とし、試料の取り付け・取り外し等の作業が不要な元素分析装置および当該元素分析装置に使用可能な試料ホルダ等を提供する。
【解決手段】被測定体を搭載する電子顕微鏡用の試料ホルダ１０において、前記被測定体に照射される電子線が通過可能な開口２８、２８’を有する筐体１６と、前記筐体１６の内部に設けられ、前記被測定体から離脱した元素の位置および飛行時間を測定する検出手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 深さ方向元素分析方法に関し、３ｎｍ以下の極表面領域の元素分布を高精度で取得する。
【解決手段】 イオンビーム照射によるスパッタエッチングによって試料１の表面から放出される二次イオン４を検出し、試料１中に含まれる元素の深さ方向分布を測定する際に、試料１を酸素雰囲気２に曝した状態でイオンビームを照射して、試料１の極表面での元素分布評価を行う。 （もっと読む）

【課題】分散染色法は、浸液とアスベストの屈折率差で分散色がつくが、結晶によっては分散色が薄くアスベストかどうか判別ができない場合がある。大気中から採取した試料から作成した標本では透明化したろ紙とアスベストとを同じ視野内で位相差観察する。アスベストによるコントラストが少ない場合、ろ紙繊維の影響を排除する必要がある。
【解決手段】アスベストに偏光特性があるので、顕微鏡光路中に偏光板が配置されていれば、偏光板の回転により見ている結晶がアスベストであれば観察する色が変化する。顕微鏡において偏光板を回転可能に設けて、観察しながら、偏光板を回転すると、偏光特性を有するアスベストは色が変化して観察されることにより、アスベストと、他のロックウールやろ紙繊維と区別することができる。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の基板上に回路パターンを形成するデバイス製造工程において、製造
工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を、高速で高精度に検査できる装置および方
法を提供すること。
【解決手段】
表面に透明膜が形成された被検査対象物に対し、高ＮＡ対物レンズを真空チャンバ内に設置し、対物レンズ内に照明光路を設けたことにより、暗視野照明を可能にし被検査対象物表面の異物または欠陥の反射散乱光を高感度に検出できるようにした。 （もっと読む）