【課題】ＳＩＭＳ装置にＦＩＢ装置を設置させること無く、試料表面の大気汚染と帯電を低減し、かつ残存元素のスパッタを抑制する。
【解決手段】分析対象物１０の表面における所定領域１４から発生する二次イオン２５に基づいて所定領域１４における深さ方向の分析を行う質量分析法において、所定領域１４の周囲に、質量分析を行う深さよりも深く、一次イオンビームの照射範囲２３よりも広い凹部１５を形成する凹部形成工程と、所定領域１４および凹部１５を含む分析対象物１０の表面に導電膜１３を形成する導電膜形成工程により質量分析用の試料１６を作製する。 （もっと読む）

遮蔽セル（２）内に収容した核物質の物理量を測定する移動可能な装置であって、遮蔽セル（２）に対し持ち上げて当接可能かつ離間可能であり、遮蔽セル（２）に当接した状態で測定を行うことを目的とした装置は、キャリッジ（８）、キャリッジ（８）上に載置した支持部材、および支持部材上に載置された遮蔽コンテナ（４）を備える。遮蔽コンテナ（４）は測定対象の核物質を収容するための移送コンテナ（２４）を備え、遮蔽コンテナ（４）には前記遮蔽セル（２）の壁部の１つに設けた開口（１４）と一直線になるようにした開口を設ける。支持部材（４４）はグラファイトにより形成され、中性子出射モジュール（５０）を収容するハウジング（４８）、遮蔽コンテナ（４）を覆うグラファイト製のケーシング（５３）、およびケーシングに固定された中性子測定手段（５９）を備える。
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【課題】輸送が容易で、現地での運用準備時間を削減することができ、また、危険物等の被検体を安全に検査できるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】計測物にＸ線を照射してＸ線撮影をするＸ線撮影装置２０と、Ｘ線撮影装置２０を操作する操作装置とを有するＸ線検査装置であって、Ｘ線撮影装置２０は、コンテナ１０に設けられているという構成を採用する。 （もっと読む）

スクリーング方法および装置であって、該方法は、励起放射により対象物をスクリーニングするよう照射するステップと、対象物の近傍に配置した放射検出器からの出力データ検出を収集するステップと、出力データ検出において個別信号を分解する分解ステップであって、(i)前記データ内に存在する信号の信号形状（またはインパルス応答）を決定するステップ、(ii)前記信号の一つ以上のパラメータを推定するパラメータ推定を行い、前記一つ以上のパラメータは少なくとも信号の瞬間的位置を含むものとしたステップ、(iii)前記信号形状および前記パラメータ推定から各前記信号のエネルギーを決定するステップ、によって前記分解を行う、該分解ステップと、を備え、これによりスクリーニング時間を短縮し、ドウェル時間（すなわち放射および／またはデータ収集時間）を短縮し、分解能は改善するおよび／またはスループットを増加する。
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ある方法は、既知のスペクトル特性を持つ物質を横断する放射線を、検出放射線を示す信号を出力する放射線感知検出器ピクセルで検出するステップと、上記出力信号と上記スペクトル特性との間のマッピングを決定するステップとを有する。この方法は更に、上記放射線感知検出器ピクセルの対応する出力と上記マッピングとに基づき、上記放射線感知検出器ピクセルにより検出される光子のエネルギーを決定するステップを有する。
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【課題】直接変換方式のＸ線センサの使用を前提として、製造ラインの稼働を停止させることなく、分極に起因する検出性能の低下の問題に適切に対処し得る、Ｘ線検査装置を得る。
【解決手段】制御部５０は、分極状態からの回復動作を実行すべく、Ｘ線ラインセンサ８への実効的なバイアス電圧の印加を、定期的に停止する。振分制御部５１は、フォトセンサ１５からの検出信号Ｓ６に基づき、分極状態からの回復動作が実行されていた期間内にベルトコンベア６上に存在していた物品１２を、振分機構２０に振り分けさせる。 （もっと読む）

【課題】被検査体内の特定粒度の粒子の含有量を知ることができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線ＣＴによる断層像ｎ，ｎ＋１・・・を基に被検査体に含まれる粒子Ｐ_ｍ，Ｐ_ｍ＋１・・・の量を非破壊検査する検査装置５０であって、粒子の粒度選別を想定した場合の選別粒度を基に設定された粒子の大小の境界を規定する基準体積値を記憶した記憶部５６２と、被検査体の各断層像を画像処理して個々の粒子の断層像を抽出する画像処理部５６３と、画像処理部５６３により抽出された粒子の断層像を基に個々の粒子の体積Ｖｍを演算する体積演算部５６８と、体積演算部５６８で演算された粒子の体積Ｖｍを記憶部５６２から読み出した基準体積値と比較し、基準体積値以上の粒子の個々の質量を積算する質量演算部５６９とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ技法と中性子即発ガンマ線分析とを組み合わせることで、物対象物質内の複数元素を同時に３次元元素分布観測・計測する。
【解決手段】必要な空間分解能に応じたビーム形に切取った平行性の高い中性子ビームを利用して物体を走査し、各走査に応じた即発ガンマ線スペクトルを測定・記録し、記録された走査位置毎の即発ガンマ線スペクトルをコンピュータ処理することで、物体内部の三次元での元素分布を測定する測定技術であり、又、記録された走査位置毎の即発ガンマ線スペクトル中の複数の同位体からのガンマ線ピーク毎にコンピュータ処理を行うことで、多元素を同時に物体内部の三次元元素分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】異物検出感度を確認するためのテストピースを不要としながら、検出可能な異物の大きさを推定する。
【解決手段】異物サンプル画像生成部６は、所定のＸ線出力条件（Ｘ線の管電圧及び管電流）の基で検出した大きさの異なる複数の異物サンプルのＸ線吸収画像を異物サンプル画像として生成する。画像合成部７は、被検査物ＷのＸ線吸収画像に対し、異物サンプル画像生成部６で生成された異物サンプル画像を所望の位置で重ね合わせた合成画像を出力する。異物検出感度推定手段８ａは、画像合成部７から出力される大きさの異なる複数の異物サンプル合成画像を画像処理した結果に基づいて検出可能な異物の大きさを推定する。 （もっと読む）

【課題】極短時間で３次元情報及びその時間変化を観察・計測できる高速度コンピュータ断層撮影方法及びその装置を提供する。
【解決手段】対象物質３を回転用モータ１７を用いて高速度で回転させながら、中性子ビーム２を照射する。対象物質３に照射された中性子ビーム２はその対象物質３を透過後、中性子−光コンバータ４により光に変換され、変換された光がこの中性子−光コンバータ４の後方に光を反射・伝送するために配置された鏡５、レンズ１４、画像強度増幅器１５を通過して、高速度ビデオカメラ内のＣＭＯＳ型素子１６で連続した画像として高速度で記録される。この記録画像を計算機８に転送し、ＣＴ計算用計算機１２を用いて３次元ＣＴ計算が行なわれ、短時間平均の３次元情報を得る。又、これを時系列に連続して計算することで３次元情報の時間変化情報を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】 試料からの散乱Ｘ線光或いは回折Ｘ線光の短い時間間隔での時間変化を示す測定データを得るＸ線検出装置及び粉末Ｘ線回折測定方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１と、２次元検出器２と、データ読取部３０とを備えるＸ線検出装置１０であって、粉末試料Ｓと２次元検出器２との間に配置された遮光板４と、遮光板４を回転させる駆動機構５とを備え、遮光板４には、扇形状の開口部４ａが形成され、駆動機構５が遮光板４を回転させることにより開口部４ａの位置を変化させることによって、開口部４ａを通過した散乱Ｘ線光或いは回折Ｘ線光を検出する検出素子群２２を次々と変えていくことで、２次元検出器２が散乱Ｘ線光或いは回折Ｘ線光の時間変化を示す測定データＤを作成した後、データ読取部３０は２次元検出器２から測定データＤを読み取ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】扇状に広がるＸ線ビームを利用するＸ線測定装置においてＸ線画像の拡大状況を確認する技術を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１０は、扇状に広がるＸ線（Ｘ線ビーム）１１を発生し、Ｘ線検出器１２は、Ｘ線発生器１０が発生したＸ線１１を検出する。Ｘ線画像形成部２０は、Ｘ線１１の検出結果に基づいてＸ線画像の画像データを形成する。測定台１４は、発生から検出までのＸ線（Ｘ線ビーム）１１の経路に沿って移動して被検体４０を位置決めする。測定台１４には基準物が固定的に設けられる。制御部３０は、基準物を透過したＸ線１１の検出結果から得られる基準物のＸ線画像上における大きさと基準物の実際の大きさとの比較に基づいて、測定台１４の位置に応じて変化するＸ線画像の拡大状況を確認する。 （もっと読む）

【課題】サンプリング時に観察画像の状態によらず、プローブの形状を正確に自動認識させることが可能なプローブの制御方法及び装置を実現する。
【解決手段】プローブ１２の断面は長方形でありマイクロサンプル２３への接近時、プローブ１２の長手方向における側壁を集束イオンビームの入射方向と平行になる方向となるようにプローブ１２の姿勢を制御する。集束イオンビーム１１の試料１０への入射により励起された殻内電子のうち、仕事関数以上のエネルギーを有するものは、２次電子として試料表面より放出される。プローブ１２からの２次電子放出量はプローブ１２の側壁の端部で大となる。試料上のパターン部の凹凸は大きくても1ミクロンであるのに対し、プローブ１２の断面は数ミクロンと大きいためプローブ１２からの２次電子はウエハ面からの２次電子に比較して極端に大きな値となりプローブ１２の外形は容易に判断可能である。 （もっと読む）

マッドケーキおよびスタンドオフの影響を、従来より少ない検出器を用いて補正する、掘削孔により横切られる地層の特徴を測定する装置および方法。装置は、第１および第２の入射角から地層に照射するために、空間的および時間的に分離された第１および第２のＸ線を作成するのに効果的な放射源と、地層から検出器に戻る第１および第２のＸ線の強度を表す第１および第２の信号を作成することができる１またはそれ以上のＸ線検出器と、放射源と検出器を収容するハウジングとを含む。
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【課題】イオン注入によりゲッタリング能力を付加したデバイス形成用ウエーハにおけるゲッタリング能力及び転位の発生有無を、デバイス製造工程の初期段階で、簡便かつ非破壊で評価でき、優れたゲッタリング能力を有するデバイス形成用ウエーハを効率的に提供する。
【解決手段】イオン注入ダメージ層を有するシリコンウエーハの元素がイオン注入された表面側から、Ｘ線回折法を用いてロッキングカーブを測定し、該ロッキングカーブのピーク位置から該ピーク位置よりも低角度側（高角度側）の角度範囲の回折強度を、該角度範囲と同一の角度範囲におけるイオン注入ダメージ層を有さないリファレンスウエーハのロッキングカーブの回折強度と比較することによって、前記イオン注入ダメージ層を有するシリコンウエーハを用いて作製されるデバイス形成用ウエーハのゲッタリング能力を評価することを特徴とするデバイス形成用ウエーハの評価方法。 （もっと読む）

【課題】税関や空港における手荷物検査等において、被検査物を連続的に検査して、短時間にその材質を識別することができる。
【解決手段】搬送装置１２と、搬送方向に直交する複数の照射方向から線状の入射Ｘ線７を照射するＸ線照射装置１４と、荷物６の複数の断面に対する複数の照射方向の透過Ｘ線強度分布Ｉ_１，Ｉ_２を２以上のエネルギー領域Ｅ_１，Ｅ_２に弁別して計測し記憶するＸ線計測装置１６と、擬似断層像作成手段１８、透過像作成手段１９、偽画像除去手段２０及び識別演算装置２２を備える。 （もっと読む）

【課題】単層又は多層の固体試料の表面又界面を形成する化学種の電子構造および局所構造等の高精度な情報を容易に得ることができる電子分光分析装置及び電子分光分析方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、真空容器１１と、真空容器１１内で試料１２を保持するための試料保持部１３ａと、真空容器１１における、試料１２の測定点１２ｂを臨む位置に配置され、この測定点１２ｂにＸ線を照射するＸ線源３１、紫外線を照射する紫外線源３２及び電子線を照射する複数の電子線源３３と、前記Ｘ線、紫外線又は電子線が照射されることで試料１２から放出される光電子又は試料１２によって散乱される電子を検出する電子エネルギー分析器４０と、を備え、複数の電子線源３３，３３，…は、試料表面１２ａに対する電子線の入射角がそれぞれ異なるように配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細に加工された半導体デバイス内の所望の箇所の３次元的構造を観察するための電子顕微鏡用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法を提供する。
【解決手段】試料片１０の加工にダイサーを用い、試料片上の観察対象となる部分を突起状に削り出す加工に集束イオンビーム加工を用い、試料片１０を１軸全方向傾斜試料ホルダに、突起１１の中心軸と試料傾斜軸Ｚを一致させて固定し、高角に散乱された電子で結像したＴＥＭ像を投影像として用い、再構成を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、特に１０μmを超えるような深い領域の分析において、分析クレータ側壁の影響をなくし、正確な分析のできる分析方法を提供することである。
【解決手段】分析対象領域の分析クレータの深さが深さ方向分解能に影響しない範囲で分析を中断し、分析クレータの周囲の部分を掘削して分析クレータの底と同一の高さにし、また、分析を再開する際に試料の高さを調節し、分析面を初期の高さにする。これにより、分析面に対する１次イオン照射状態を一定に保つことが可能であり、また、２次イオンの検出感度も安定に維持できる。したがって、深い領域の分析を正確に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】２ｍｍ以上の異物が主たる検出対象異物の１つであるＸ線異物検査装置において、異物の検査精度を向上させる。
【解決手段】Ｘ線ラインセンサモジュール１４は、２ｍｍ以上の異物が主たる検出対象異物の１つであるＸ線異物検査装置において、異物を含む物品を透過してきた透過Ｘ線の強度を検出するためのモジュールであり、複数のフォトダイオード１４ａを備える。複数のフォトダイオード１４ａは、コンベア１２の搬送方向に直交する第１方向に沿って並んでおり、透過Ｘ線の強度に応じた検出信号を出力する。フォトダイオード１４ａの第１方向に沿った長さである素子幅は、異物の大きさ以上である。 （もっと読む）