【課題】透視拡大率を大きくした場合にも試料ステージとＸ線放射窓が直接接触しないようにする。
【解決手段】 Ｘ線管１は鉛直の上方に向かってＸ線を放射するように配置され、Ｘ線検出器６は２次元的にＸ線を検出する検出面７がＸ線管１に対向するように下方に向けて配置される。Ｘ線管１とＸ線検出器６との間には試料ステージ３が配置される。試料ステージ３は試料５を載せてＸ線光軸９の方向に駆動されるとともに、水平面内で２次元的に駆動される。試料放射窓１３の周囲にフッ素樹脂からなる保護部材１１を配置し、保護部材１１の先端表面１２は試料放射窓１３の先端表面１４よりわずかに突出させる。大きな拡大率の透視像を得る場合に試料ステージ３の試料載置部１５がＸ線管１に接触するが、試料載置部１５は保護部材１１に接触するのみであって、試料放射窓１３には直接的には接触しない。したがって試料ステージの駆動による摩擦の影響が少なくなる。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、Ｘ線検出の測定感度を向上しつつ、Ｘ線センサの出力ばらつきを抑えることによりＣＴ画像の品質劣化を防止して、Ｘ線ＣＴ装置による撮影画像の品質を向上させることにある。
【解決手段】
本発明は、Ｘ線を被試験体に出射するＸ線出射手段と、前記被試験体を透過したＸ線を検出する複数のＸ線センサと、前記Ｘ線センサの出力信号を処理する信号処理装置とを備え、前記信号処理装置が、前記Ｘ線センサに順方向のバイアス電流を供給するとともに、それぞれの前記Ｘ線センサに等しい大きさのバイアス電流を供給するバイアス電流供給手段を設けたことを特徴とする。
【効果】
本発明によると、Ｘ線検出の測定感度を向上しつつ、Ｘ線センサの出力ばらつきを抑えることによりＣＴ画像の品質劣化を防止して、Ｘ線ＣＴ装置による撮影画像の品質を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、被検査対象物の各部の厚みや密度の違いによってＸ線透過率に大きな差が出るような場合であっても高Ｘ線透過率部分での異物検出感度と低Ｘ線透過率部分での異物検出感度とを良好に保つＸ線検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置１０では、Ｘ線照射部１３がＸ線を照射し、Ｘ線検出部１４が被検査対象物Ｇの各部分を通過してきたＸ線を受光してそれらの透過Ｘ線の強さに応じたアナログ信号ＡＳ０を出力する。Ａ／Ｄ変換部４１Ａ，４１Ｂは、アナログ信号ＡＳ１，ＡＳ２をデジタル信号ＤＳ１，ＤＳ２に変換する。判定処理部２０は、デジタル信号からＸ線画像を生成して被検査対象物の良否判定を行う。アナログ信号処理部４３Ａ，４３Ｂは、被検査対象物の各部分について、Ａ／Ｄ変換部から異なる２以上のデジタル信号ＤＳ１，ＤＳ２が出るように、アナログ信号ＡＳ０を処理する。 （もっと読む）

体組織を撮像するためのデバイス及び方法である。デバイスは、カテーテル端部を有する、体腔にアクセスするためのカテーテルを備える。カテーテル端部は、その内部に、電離放射線を放出するための電離放射線源と、電離放射線を検出するための少なくとも１つの電離放射線検出器とを有する。好ましくは、信号が電離放射線源によって放出され、該信号は光子又は電子を含み、該光子又は電子は、体組織から反射されるか又は体組織を刺激して光子又は電子を発生させる。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な構成の試料を用いて、実際の配線構造に近似する状況で配線導電材料の不純物濃度を精度良く測定し、実際の配線構造に極めて近い不純物濃度の知見を得ることを可能とし、当該知見を実際の配線形成に反映させる。
【解決手段】シリコン基板１に配線溝１ａを形成し、配線溝１ａを配線導電材料３で埋めんで配線様構造４を形成し、試料１１を作製する。この試料１１を用いて、ＳＩＭＳ法により配線様構造４の配線導電材料３をＳＩＭＳ分析する。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームを利用した不純物同定、元素分析、組成、結晶性、表面界面状態をナノメートルオーダーの微小領域で分析可能とする。
【解決手段】３次元可視化する方法として、10ｎｍ以下に集束した中エネルギー１００〜４００ｋｅＶのイオンを試料に走査照射し、ラザフォード後方散乱されるイオンの飛行時間計測を、２次電子イオンをスタート信号として検出することにより求め、各照射位置に対応したＴＯＦ−ＲＢＳデータをナノメートル分解能で取得し、時間エネルギー変換により３次元可視化を可能とする。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉ基板中の微量元素を、酸素雰囲気ではない状態で、深さ方向の分解能を高くかつ短い測定時間で、酸素イオンを一次入射イオンとするＳＩＭＳにより深さ方向の元素分布の分析を行う。
【解決手段】入射エネルギーをパラメータとして試料表面粗さ、および／または減衰深さを、一次イオン入射角度を変化させて測定し、入射エネルギー領域が高い領域の範囲において、かつその範囲で試料表面粗さ、および／または減衰深さが極小値をもつ入射角度範囲を見出し、その条件下でＳＩＭＳの測定を行う。 （もっと読む）

【課題】極薄のフィルム状試料をサンプリングする際に、測定する箇所を破壊することなく、その両面を測定できる状態でサンプリングすることが出来るサンプルホルダー及びそれを用いたフィルム状試料の表面分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】上部保持板１１と下部保持板２１とで構成されており、開口部を１個設けた事例で、上部保持板１１には、中央部に開口部１１ａを、周辺部に粘着部３１ａ、３１ｂ、３１ｃ及び３１ｄを、下部保持板２１には、中央部に開口部２１ａを、周辺部に粘着部３２ａ、３２ｂ、３２ｃ及び３２ｄを、それぞれ設けたものである。本発明のサンプリング用板を用いてフィルム状試料の前処理を行うことにより、フィルム状サンプルの両面を、汚染無く、表面分析装置で測定することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】微量元素の定性分析を正確に行う。
【解決手段】本発明の微量元素評価方法は、二次イオン質量分析法を用いて、試料に含有する微量元素を検出する微量元素評価方法であり、前記試料にイオンを注入し、前記試料の体積を増加させるステップと、体積が増加した前記試料にイオンビームを照射させ、前記微量元素の二次イオン質量分析を行うステップと、を有することを特徴とする。これにより、極浅領域での微量元素の検出量が向上し、その定性分析をより正確に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】生体の組織や細胞中に存在する微量な生体分子の分布状態を、質量分析法によって同定することによって、診断デバイスや創薬デバイスの開発に寄与できる方法を提供することを目的とする。質量分析法において、検出が困難とされていた生体分子の分布状態に関しての情報を得るための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】（１）反応基とイオン修飾構造とを含むイオン標識化剤を準備する工程と、（２）反応基を介して生体分子にイオン標識化剤を結合させる工程と、（３）質量分析により、生体分子に結合したイオン標識化剤中に含まれるイオン修飾構造を測定することにより生体分子の分布情報を得る工程と、を有することを特徴とする情報取得方法。 （もっと読む）

【課題】大型物体を放射線検査する方法。
【解決手段】物体の両側に配置される放射源２２及び放射線検出器２４を提供する過程と；物体を透過した放射源２２からの放射線を受取るために放射線検出器２４を位置決めする過程と；試験画像を生成するために、１組の初期撮影パラメータを使用して放射源２２及び放射線検出器２４によって物体の関心領域４６を放射線撮影する過程と；試験画像の少なくとも１つの画質測定値を獲得する過程と；画質測定値を所定の画質限界と比較する過程と；画質測定値が所定の画質限界を超えるのに応答して、新たな１組の画像パラメータを生成するために初期撮影パラメータのうち少なくとも１つを変更する過程とを含む。１組の最終撮影パラメータが獲得されるまで、方法は繰返し実行されてもよい。 （もっと読む）

【課題】濃度分析をより高精度に行うＳＩＭＳ分析法を提供する。
【解決手段】基板上に分析対象となる薄膜又は薄膜積層体を形成し、薄膜の最表面又は薄膜積層体の最上層の最表面に支持体を貼りあわせ、薄膜又は薄膜積層体を基板から剥離することで分析試料を作製する。基板と、薄膜又は薄膜積層体と、の間に剥離層を形成し、該剥離層をきっかけとすることが好ましい。更に好ましくは、剥離層と、薄膜又は薄膜積層体と、の間に緩和層を形成する。該分析試料はＳＩＭＳ分析に用いることができ、剥離した分析試料を裏面側からＳＩＭＳ分析することで、従来のＳＩＭＳ分析法では必要であった研磨工程を経ることなく、従来のＳＩＭＳ分析法と同様に高精度な濃度分析を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】食品中の微量Ｃｄを定量しようとした場合、食品の主成分のひとつである水素からの即発ガンマ線のコンプトン成分にＣｄのピークが隠れてしまい検出感度が悪化する。化学処理により測定の妨害となるＨを取り除くという方法も考えられるが、化学分離を行うことにより即発ガンマ線分析の簡便さという長所が失われること、さらに化学分離の操作を経ることにより、収率等の面で誤差が入り分析の制度に影響を与える可能性がある。
【解決手段】Ｇｄ箔やチョッパーなどを用いてＣｄの吸収断面積のピーク値より低い部分の中性子をカットすることにより即発ガンマ線分析において、ノイズとなるＨのコンプトン成分の影響を低減させる方法、又は¹¹³Ｃｄが同時に強い強度の即発ガンマ線を２本出すこととに着目し、多重ガンマ線検出法と即発ガンマ線分析法を組み合わせることによりＨからのガンマ線を測定しないようにする方法。 （もっと読む）

【課題】
絶縁性の高い試料を帯電することなく、また、汚染無く測定できる前処理法を提供する。
【解決手段】
絶縁性の高い分析対象試料に電離放射線やイオンビーム等のエネルギーを照射し、前記試料から放出される二次電子や二次イオン等のエネルギーを導いて前記試料表面を分析する表面分析方法において、前記絶縁性の高い分析対象試料上に導電性薄膜をメッシュ状に形成し、前記導電性薄膜が形成されていない前記試料上に前記電離放射線やイオンビーム等のエネルギーを照射することを特徴とする表面分析方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】絶縁物の分析対象となる領域における帯電を補正することにより、正確かつ再現性良く質量分析を行うことが可能な絶縁物の二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】本発明の絶縁物の二次イオン質量分析方法は、絶縁物である試料の表面に導電性の連続膜であるＰｔ−Ｐｄ合金薄膜を成膜し、このＰｔ−Ｐｄ合金薄膜付き試料に一次イオンビーム及び電子ビームを照射し、この試料から発生する二次イオンを引き出し、質量分析する。 （もっと読む）

【課題】試料の表面上の目標領域における放射線ビームの有効スポットサイズと角度的広がりを制御するための改善された装置と方法の提供。
【解決手段】試料の分析装置20は、放射線ビーム27を、ビーム軸に沿って導き、試料の表面上の目標領域に当てるように構成されている放射線源26を含む。検出器アセンブリ30は、試料から散乱した放射線29を感知するように構成されている。ビーム制御アセンブリ36は、ビームブロッカー52を含み、ビームブロッカーは、試料の表面に隣接する下側部を有し、下側部に直交し、ビーム軸を含み、目標領域を通過するビーム面を画定する前部および後部スリットを含む。前部スリットは、放射線源と目標領域の間に位置し、後部スリットは、目標領域と検出器アセンブリの間に位置している。 （もっと読む）

【課題】 従来の飛行時間型二次イオン質量分析を利用した表面構造の解析方法では、試料が固体表面の有機化合物や分子結合性化合物の単層膜の場合に、試料表面から削っていくことが困難なために、厚さ方向の組成プロファイルを求めることが困難である。
【解決手段】 試料表面にサイズの異なる少なくとも２種類のイオンをそれぞれ照射する手段、前記試料表面から放出されるイオンの質量スペクトルを飛行時間型二次イオン質量分析器により計測する計測器、および計測された質量スペクトルから異なる種類のイオン照射で計測された２つの質量スペクトルの差を出力する情報処理装置を有することを特徴とする表面解析装置。 （もっと読む）

【課題】採取したスワイプ試料中に含まれる極微量核分裂性物質を含む粒子をフィッショントラック法によって検出する手法において、原子間力顕微鏡のような特殊な装置を用いた高度な測定技術を必要とせず、また、フィッショントラックのコアの形状が粒子の表面形状に依存する影響をなくして、短時間で容易に核分裂性物質を含む粒子を濃縮度別に検出する。
【解決手段】スワイプ試料から粒子を回収する際に粒径を調整することにより粒径の影響をなくすと共に、検出器の化学エッチングによりフィッショントラックが現れるまでの時間とフィッショントラックの形状は核分裂性粒子の濃縮度に依存することを利用して、検出器のエッチング時間を制御する。なお、粒子回収の際の粒径調整法としては２段式粒子吸引法を用いる事が出来る。 （もっと読む）

放射線を放出する材料サンプル（１２）の材料組成を決定する方法であって、放射線によって検出器材料中でデポジットされたエネルギーのスペクトルを記録する工程（Ｐ２）と、第１のエネルギー範囲においてデポジットされた第１のエネルギー（Ｆ１）と、第２のエネルギー範囲においてデポジットされた第２のエネルギー（Ｆ２）と、第３のエネルギー範囲においてデポジットされた第３のエネルギー（Ｆ３）とを決定する工程と、第１の色パラメータ（Ｆ１）を第１のデポジットされたエネルギーに、第２の色パラメータ（Ｆ２）を第２のデポジットされたエネルギーに、第３の色パラメータ（Ｆ３）を第３のデポジットされたエネルギーに割り当てる工程（Ｐ４）と、割り当てられた色パラメータ（Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３）を、色パラメータに対する予め決定された値（Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３）と比較する工程（Ｐ５）であって、予め決定された値（Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３）は典型的には予め決定された材料組成の色パラメータに対応する工程と、を備える方法。
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被検体の病理学的状態の診断試験の感度及び特異度を改善するように被検体からのケラチンサンプルを分析する方法であって、ａ）エネルギー源から得られる入射エネルギーにケラチンサンプルを曝すこと、ｂ）ケラチンサンプルに入射エネルギーが当たることで生じる、ケラチンサンプルからの放射エネルギーを受け取ること、ｃ）ケラチンサンプルから受け取った放射エネルギーの少なくとも一部を、被検体特異的データを引き出すようにトランスデューサに通すこと、ｄ）引き出された被検体特異的データを処理すること、及びｅ）そのようにして得られた前記処理された被検体特異的データを、参照データベースの、前記被検体の前記病理学的状態の存在と一致する第２の群の参照データと比較すること、を含み、ｆ）上記処理方法は、上記参照データに対して感度及び特異度を改善するように、上記比較する工程の前に上記被検体特異的データに適切なアルゴリズムを適用する工程を含む、方法。
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