【課題】 ２次元平面におけるナノサイズの粒子の大きさを測定するとともに、その粒子の２次元平面での平面的分布を測定するＸ線小角散乱測定装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば，Ｘ線を放射するＸ線源と、Ｘ線源から放射されるＸ線を、単色化された平行光にして出射させるモノクロメーターと、出射されるＸ線が線状領域を照射するように、モノクロメーターのＸ線の出射領域を規定するスリットと、試料を搭載可能な平面ステージを前記試料がＸ線に照射される位置に搬送する搬送部と、Ｘ線の照射をうけた前記試料の線状領域から散乱されて形成されるＸ線散乱像を検出する２次元型検出器と、
を備え、前記搬送部が前記線状領域の長手方向と交差する方向に前記平面ステージを搬送するＸ線小角散乱測定装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】海上や河川上に設けられたコンクリート構造物の内部状態を容易に非破壊検査する。
【解決手段】船体本体１と、検査線発生部５と、該検査線発生部５から入射した中性子線を検査対象物Ｒに対して走査状に照射する照射手段６と、中性子線が検査対象物Ｒによって回折されて得られる回折中性子線を照射手段６の走査位置に応じて検出する検出手段８と、該検出手段８から入力される回折中性子線の検出信号に基づいて検査対象物Ｒの走査位置における物質の格子定数ｄを算出する格子定数算出手段９と、各走査位置における検査対象物Ｒの格子定数に基づいて検査対象物Ｒの内部状態を可視化する可視化手段９とを具備する。 （もっと読む）

【課題】固体試料中における低濃度の水素を二次イオン質量分析法によって正確に分析する手法を提供することを課題とする。
【解決手段】質量数１の水素同位体と物理的な挙動が酷似し、単体または化合物として大気中での存在量が極めて少ない質量数２の水素同位体をイオン注入によって分析対象とする固体試料中に導入する。そして、固体試料を加熱処理し、固体試料中に含まれる質量数１及び質量数２の水素同位体の濃度を減少させ、二次イオン質量分析法を用いて固体試料中における質量数２の水素同位体の濃度を分析し、その数値を固体試料中に残留する質量数１の水素同位体の濃度として同定する。 （もっと読む）

【課題】低エネルギ放射線検出器によって検出する低エネルギ範囲の放射線像のコントラスト差を大きくし、かつ、低エネルギ放射線検出器と高エネルギ放射線検出器との検出エネルギ差を大きくする放射線検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る放射線検出装置８０は、サブトラクション法を用いる異物検査用の放射線検出装置であって、被検査物を透過した第１エネルギ範囲の放射線を検出する第１放射線検出器３２と、第１エネルギ範囲の放射線よりも高い第２エネルギ範囲の放射線を検出する第２放射線検出器４２とを備え、第１放射線検出器３２の第１シンチレータ層３２２の厚さは第２放射線検出器４２の第２シンチレータ層４２２の厚さより薄く、第１放射線検出器３２の第１画素部３２４の画素３２６の第１面積Ｓ１は、第２放射線検出器４２の第２画素部４２４の画素４２６の第２面積Ｓ２より小さい。 （もっと読む）

【課題】２つの放射線検出器における画素数が異なっても、これらの放射線検出器による放射線像に基づく演算処理を容易にする放射線検出装置を提供する。
【解決手段】一実施形態に係る放射線検出装置８０は、サブトラクション法を用いる異物検査用の放射線検出装置であって、被検査物Ｓを透過した放射線を検出する第１放射線検出器３２及び第２放射線検出器４２と、検出タイミングの制御を行うタイミング制御部５０と、画像補正部３４とを備え、第１放射線検出器３２の画素の像検出方向に直行する直交方向での第１画素幅Ｗｂ１は、第２放射線検出器４２の画素の直交方向での第２画素幅Ｗｂ２より小さく、タイミング制御部５０は、第２放射線検出器４２の検出タイミングを第１放射線検出器３２の検出タイミングに同期させ、画像補正部３４は、第１放射線検出器３２からの画像における連続するＷｂ２／Ｗｂ１個の画素データを加算する。 （もっと読む）

【課題】 金属元素の深さ方向分析方法及び二次イオン質量分析装置に関し、分析に用いる一次イオンとしての酸素イオンビーム照射に誘起される金属元素の拡散現象を抑制する。
【解決手段】 一次イオンに酸素を用いて単結晶シリコンを母材とする試料中のＧａ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ａｕ或いはＡｇの少なくとも一つの金属元素の深さ方向分析を二次イオン質量分析法によって行う際に、前記試料が前記一次イオンとしての酸素により酸化される領域より少なくとも深い領域を、予め試料の酸化に伴う前記金属元素の拡散を抑制する拡散抑制領域に改質しておく。 （もっと読む）

【課題】保温材で取り囲まれる配管及び容器のいずれかの外面とその保温材を取り囲む保温カバーの外面との間に形成される領域内に存在する水分の検出精度を向上できる水分測定装置を提供する。
【解決手段】水分測定装置１は測定装置本体部５を有し、測定装置本体部５のケーシング２５内に、中性子源装置３及び中性子検出装置６が設けられる。中性子源装置３は高速中性子を放出する中性子源２を有し、中性子検出装置６は中性子検出器７をコリメータ８で取り囲んでいる。コリメータ８に設けられたコリメータ開口部９には、複数の仕切り部材１０が配置され、これらの仕切り部材１０によって複数のスリット１１が形成されている。中性子源２から放出された高速中性子は、減速材２４で減速された後、保温領域内に存在する水分３４でさらに減速されて熱中性子になる。この熱中性子はスリット１１を通って中性子検出器７で検出される。 （もっと読む）

【課題】分析試料の重量を簡易、且つ正確に計測するとともに、これを用いて分析試料における六価クロム濃度を重量濃度で得ることができる技術を提供する。
【解決手段】分析試料に励起Ｘ線を照射し、励起Ｘ線の照射によって生ずる散乱Ｘ線の強度を検出し、検出された散乱Ｘ線強度に基づいて分析試料の重量を算出する。またこの重量で六価クロムの重量を除算することにより六価クロムの濃度を得る。 （もっと読む）

【課題】窒素濃度の高精度な分析を可能にする金属材料の窒素濃度分析方法および窒素濃度分析装置を提供する。
【解決手段】窒素濃度分析装置１０は、収容室１１、一次イオン照射装置１２、中和電子照射装置１３、連通管１４、飛行室１５および二次イオン検出装置１６を有する。収容室１１には、金属試料１７が収容される。金属試料１７の表面には、炭素系物質が付着している。一次イオン照射装置１２から金属試料１７の表面に向けてパルス状の一次イオンが照射される。これにより、金属試料１７からシアン化物イオンが放出される。金属試料１７から放出されたシアン化物イオンは、二次イオン検出装置１６において二次イオンとして検出される。 （もっと読む）

【課題】立方晶系の結晶構造を持つ金属材料に対して塑性歪を測定する。
【解決手段】結晶構造が立方晶系である金属材料の被測定部材、あるいは測定部材より採取した試験片の同一視野における変形前と変形後の結晶方位分布を取得する（Ｓ４，Ｓ７）。任意の結晶方位測定点と隣接する結晶方位測定点間における変形前と変形後の結晶方位分布より変形前と変形後の格子歪を求める（Ｓ５，Ｓ８）。変形前と変形後の格子歪から結晶内に蓄積した塑性歪を測定する（Ｓ３）。 （もっと読む）

【課題】短時間で干渉性のＸ線を試料に位置合わせ可能な試料分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線光軸と試料１との位置合わせ時、分光器１１により、干渉性のＸ線または干渉性のＸ線の光軸と一致させた光軸を有するＸ線から、試料測定時よりも長い波長のＸ線を抽出して照射し、分析対象の試料１へのＸ線の照射位置に開口部１４ｈを有し照射位置外に照射されるＸ線を吸収するＸ線吸収層１４ｃが形成された試料保持部１４により、照射位置外に照射されるＸ線を吸収し、検出器１５により、試料保持部１４に保持される試料１に照射したＸ線の透過Ｘ線強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】従来の消滅ガンマ線のエネルギー分布又は陽電子寿命分布を測定して得られる画像では、試料表面の安定した情報が得られない問題や、ノイズが入ってしまうという問題があるので、高性能の画像を取得することを目的とする。
【解決手段】陽電子ビームを測定対象物に走査して照射し、放出される消滅ガンマ線又は散乱粒子を検出して分析画像を作成するとともに、消滅ガンマ線の検出数をコントラストとする画像を作成して、これらの画像の組み合わせから新しい分析画像を作成することにより、高性能な画像を得る。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの発生を抑制することができる放射源及びリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】極端紫外線放射源は、放射源材料を所定の軌道に沿ってプラズマ開始サイトへ送るように構成された放射源材料デリバリシステムを含む。放射源は、極端紫外線を放出するプラズマを生成するためにレーザビームをプラズマ開始サイトにおける放射源材料に向けるように構成されたレーザシステム、および放射源材料ターゲットデリバリシステムにより送られる放射源材料を捕捉するように構成されたキャッチも含む。 （もっと読む）

【課題】保護対象に作用する磁場の変化を簡単な構成で確実に抑えることが可能な磁場変化抑制機能付き電子機器システムを提供する。
【解決手段】試料分析システム１００は、磁場を形成する超電導マグネット２に対してその磁場の影響を受ける位置に設置される保護対象としての分析装置１と、この分析装置１に作用する磁場の変化を抑える磁場変化抑制装置３とを備えている。磁場変化抑制装置３は、分析装置１を通過する超電導マグネット２からの漏れ磁場２１の磁束を囲むように分析装置１の近傍に配置されて、漏れ磁場２１が変化することに起因してその変化を打消す向きの補正磁場４１ａ，４１ｂを分析装置１に作用させるような誘導電流を発生させる補正コイル４ａ，４ｂを含んでいる。そして、補正コイル４ａ，４ｂは、漏れ磁場２１の磁束を囲むように巻回された超電導線材を有する超電導コイルである。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線分析と熱分析との両方を同時に行う装置において、それらの分析の測定条件の関連を測定者が容易に、迅速に、且つ正確に把握でき、きめ細かな設定を可能にする。
【解決手段】 Ｘ線分析装置による測定と熱分析装置による測定とが同時に行われるＸ線分析及び熱分析同時分析装置において、Ｘ線分析測定のための測定所条件を記憶するＸ線条件記憶メモリと、熱分析測定のための測定条件を記憶する熱条件記憶メモリと、画像信号に従って画面３３上に画像を表示する画像表示装置とを有し、熱条件記憶メモリに記憶された熱分析測定条件を示す折線グラフＴ及び、Ｘ線条件記憶メモリに記憶されたＸ線分析測定条件を示す複数の縦線Ｘの両方を、画面３３上に同時に表示する。折線グラフＴは温度変化曲線であり、隣接する一対の縦線Ｘは１回のＸ線分析測定が行われるタイミング及び時間を示している。 （もっと読む）

【課題】薄膜に機械的な力を加えずに、密度（硬さ）等の薄膜の物性に関する測定を精度良く行なえるようにする。
【解決手段】薄膜３１に原子を打ち込み、前記薄膜３１に打ち込まれた原子に由来する信号を測定する。 （もっと読む）

【課題】 従来の有機物顕在化方法では、被検査物表面の異物を識別するためには、薄膜を堆積させる時間を多く必要とし、異物を識別させるための作業等が煩雑であった。また、被検査物表面の異物を識別する際には、被検査物を不活性ガスが封入された特別な環境下に置く必要があるため、異物の存在を容易に確認することができなかった。
【解決手段】 基板１の表面に金属薄膜１９を成膜し、金属薄膜１９が成膜された基板１表面に光を照射して、光の干渉により生じる、有機物１４が存在している部分と存在していない部分とのコントラスト差を識別する。 （もっと読む）

【課題】プラントの筒状部材に放射線透過試験を実施する際に、作業者の被ばく線量を低減しつつ作業性を向上させる。
【解決手段】筒状部材の内側に支持手段およびガイドパイプを予め装着しておき、筒状部材の新規周溶接が完了してからガイドパイプの内部に試験用の放射線源を挿入して新規周溶接部分の放射線透過試験を行う。これにより、放射線透過試験を実施する作業員が長時間にわたって筒状部材の内部に居続ける必要がないから、作業員の被爆線量を低減できるばかりでなく、放射線透過試験の作業性を大幅に向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】結晶サンプルの電子線回折トモグラフィのための方法及びデバイスであって、サンプル３８の別個の場所４２、４３毎にビームが収束するようなビーム走査プロトコルと組み合わせて、サンプルの複数の別個の場所にわたる電子ビームの走査を利用して、一連の電子線回折パターンを入手し、テンプレートマッチングを用いて、結晶方位及び厚みマップを特定し、共通の強度スケールファクターを入手する。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物を備える排ガス浄化用触媒の状態に関する情報を得ることによって触媒活性の評価を可能とする触媒活性の評価方法を提供すること。
【解決手段】金属酸化物を備える排ガス浄化用触媒に酸化性ガスと還元性ガスとを含有する混合ガスを流しながら複数の温度における前記金属酸化物の平均酸化数を求め、得られた温度と平均酸化数との関係に基づいて前記排ガス浄化用触媒の触媒活性を評価する方法。 （もっと読む）