【課題】被検査物の合否判定に使用する基準値を適切に検査者に設定させることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物を搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって被検査物を搬送している間に被検査物にＸ線を曝射し透過したＸ線の透過画像データに基づいた判定対象値を生成する判定対象値生成手段と、前記判定対象値と基準値とを比較して前記被検査物の合否を判定する合否判定手段とを有するＸ線検査装置において、前記判定対象値に基づいた表示対象値を記憶する表示対象値記憶手段を備え、前記表示対象値記憶手段によって記憶された複数の前記表示対象値に関するヒストグラムを表示するヒストグラム表示手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 引張強度が４００Ｍｐａ以上の高強度フェライト鋼板について、その加工硬化特性を正確に評価可能な方法を提供する。
【解決手段】 成形されたフェライト鋼板の塑性変形を受けた部位において、同一方向性を有する転位セルが並んだ転位セル構造からなるフェライト結晶粒の存在割合を測定した後、該フェライト結晶粒の存在割合に基づいて、前記フェライト鋼板の加工硬化特性を評価することを特徴とするフェライト鋼板の加工硬化特性の評価方法。 （もっと読む）

【課題】食品等の種類および特性に対応する基準値と、センサーが食品等に混入した異物に反応して出力する反応信号に関する反応値に基づいて更新する精度の高い基準値とを用いて、異物の有無を、高精度で検出できる異物検出装置を提供する。
【解決手段】搬送路上を搬送される被検査物に混入している異物に反応して反応信号を出力するセンサーと、該反応信号に基づく反応値と第一基準値Ｋ_１とを比較して異物の有無を判定する第一判定手段とを有する異物検出装置において、良品の反応値に基づいて第二基準値Ｋ_２を設定する第二基準値設定手段と、第二基準値Ｋ_２設定後、反応値と第二基準値Ｋ_２とを比較して異物含有の可能性の有無を判定する第二判定手段と、第二判定手段において異物含有の可能性有りと判定されたとき、その旨を警告する警告手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料の３次元的な元素構成を原子レベルで高精度に分析する際に、分析中の試料の移動を不要とし、試料の取り付け・取り外し等の作業が不要な元素分析装置および当該元素分析装置に使用可能な試料ホルダ等を提供する。
【解決手段】被測定体を搭載する電子顕微鏡用の試料ホルダ１０において、前記被測定体に照射される電子線が通過可能な開口２８、２８’を有する筐体１６と、前記筐体１６の内部に設けられ、前記被測定体から離脱した元素の位置および飛行時間を測定する検出手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】検量線作成治具の構造上の性能に依存せず、より高精度の水量測定が可能な、また正確な検量線の作成も可能な水量測定装置を提供する。
【解決手段】燃料電池セル等の試料に放射線を照射したときの放射線透過量を計測し、放射線透過量と水量との検量線に基づいて試料内の水量を演算する演算・制御装置を備え、反応に伴い、生成する水の測定試料内での水量を測定する水量測定装置において、演算・制御装置は、試料につき、反応開始後の放射線透過量を反応開始前の放射線透過量で除算し（ステップＳ３）、その除算結果値に基づいて試料内の水量を演算して放射線検出系の感度ムラを低減し、検量線作成治具の構造上の性能に依存せずに高精度の水量測定を可能とした。放射線透過量は複数回の計測の平均値とし（ステップＳ１）、また、計測を試料内の水量や放射線強度の安定化後に実行して更に高精度の水量測定を可能とした。試料の計測時に計測されたデータに基づいて検量線を作成し（ステップＳ４）、高精度の水量測定を可能とした。 （もっと読む）

【課題】検出下限を改善し、重元素を主成分とする試料のみならず、軽元素を主成分とした試料に含有された微量な着目元素を定量することが可能である蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置は、試料Ｓを支持する試料台３と、所定の照射位置Ｐ１を中心として一次Ｘ線Ｐを照射するＸ線源４と、照射位置Ｐ１に向って配置され、試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線Ｑを検出する検出器５とを備えている。試料台３は、試料ＳをＸ線源４及び検出器５に近接させて固定する着脱自在の試料保持具１０を有し、被照射面Ｓ１を照射位置Ｐ１に一致させる第一の検査位置Ａ、または、試料Ｓを試料保持具１０に固定し、被照射面Ｓ２をＸ線源４に近接させるとともに、被検出面Ｓ３を検出器５に近接させる第二の検査位置Ｂのいずれか一方に、試料Ｓを選択的に配置して測定可能である。 （もっと読む）

【課題】集積回路を有する半導体材料を略一定の温度に保持できる集積回路および保持方法を提供する。
【解決手段】本発明は、半導体材料に集積された温度調節付き集積回路（１１）と、集積回路（１１）を有する半導体材料の温度調節のための方法に関する。集積回路（１１）は能動構成要素（１８〜２１）、温度センサ（１６）および半導体材料の温度調節のための回路（１７）を有する。温度調節のための回路（１７）は、半導体材料の温度が狙いどおりに変化するように、能動構成要素（１８〜２１）の動作に作用を及ぼす。 （もっと読む）

【課題】 カメラ長を短くし、もって、多くのラウエ斑点を観察することが可能であり、かつ、その分解能にも優れた背面反射Ｘ線回折像観察装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管１０からのＸ線を試料４０に投射して得られる反射Ｘ線回折像を、Ｘ線回折像を可視光像に変換する蛍光板を備えた暗箱２０を介してCCD素子３１に導いて背面反射Ｘ線回折像を観察する背面反射Ｘ線回折像観察装置は、暗箱の一面にコリメータ１５を垂直に取り付け、それに対向する面には透過型の蛍光板を設け、更に、その内部には、透過型蛍光板上に形成された可視光像を暗箱のその他の面に取り付けたCCD素子に導くための鏡面を配置しており、コリメータは第１のピンホールＰ１と第２のピンホールＰ２を備えると共に、蛍光板上に設けられた第３のピンホールＰ３（２７）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の全ての測定点の位置を容易に把握することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物Ｓを配置するステージ１４と、被測定物Ｓの所定の領域の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器１２とＸ線検出器１２に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源１１とを有するＸ線測定光学系１３と、ステージ１４を移動させるステージ駆動機構１６と、透視Ｘ線像に基づいて作成されたＸ線画像と被測定物Ｓの所定の領域を含むマスター画像との画像表示が行われる表示装置２３とを備えるＸ線検査装置１であって、マスター画像の特定の位置に測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段３５を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】歪みが無く、コントラストの良い検出画像を取得する。
【解決手段】電子ビームを生成して試料Ｓに照射する電子銃部２０と、電子ビームの照射により前記試料の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出する電子検出部４０と、を含む電子ビーム装置１０を備える基板検査装置１において、イオンを生成し、電子銃１０部による電子ビームの照射に先立って試料Ｓにイオンを照射することにより、試料Ｓの表面層における局所的な電位差を解消する表面電位均一化装置１５０をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】 ミラー電子を使って検査像を取得するミラー電子結像式ウェハ検査装置は，従来のSEM式検査装置と像形成原理が異なるため，最適な検査条件を決定することは困難であった。
【解決手段】 上記の課題を解決するため，検査速度S，検査デジタル信号像の画素の大きさD，検査画像のサイズL，時間地縁積分方式による画像信号取り込み周期P，の関係を操作画面にグラフ表示して，ユーザーが直感的に検査速度と検査感度などの諸条件を検討できるようにした。
【効果】 このグラフ表示を見ることにより，必要な検査速度を得るための，画素サイズ，検査画像の幅，TDIセンサの動作周期の値の組をユーザーが容易に決定することができる。 （もっと読む）

【課題】 透視Ｘ線像を印刷出力する際に、後で、どの部分の透視Ｘ線像であるかが容易に把握できるように出力するＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線測定光学系１３と、光学カメラ１６と、Ｘ線画像を作成するＸ線画像作成部３１と、光学カメラ画像を作成する光学カメラ画像作成部３２と、同時に撮影された一対のＸ線画像と光学カメラ画像との関係付けを行い、光学カメラとＸ線検出器との位置関係に基づいて、光学カメラ画像中における該当位置にマーカを付したマーカ付き光学カメラ画像を作成するマーカ付き光学カメラ画像作成部３３と、Ｘ線画像およびマーカ付き光学カメラ画像を蓄積する画像記憶部３４と、プリンタ２６と、Ｘ線画像を印刷する際にマーカ付き光学カメラ画像も印刷する画像印刷制御部３７とを備える。 （もっと読む）

【課題】出力する画像の画質を低下させずに輝度を常に一定に保持できるＸ線検査装置11を提供する。
【解決手段】被検査物13にＸ線発生手段17からＸ線を照射し、被検査物13を透過したＸ線をＸ線イメージ管27で可視光像に変換し、可視光像をカメラ28で撮影する。カメラ28で撮影した画像はカメラコントロールユニット19を通じてモニタ22に出力する。カメラコントロールユニット19は、モニタ22で出力する画像の輝度情報をフィードバックして輝度の過不足を判定し、Ｘ線イメージ管27の加速電圧およびカメラ28の絞りの開度を調整する。フィードバック制御により、出力する画像の輝度を常に一定に保持する。輝度不足の場合には、Ｘ線イメージ管27の加速電圧の上昇、カメラ28の絞りの開度の拡大の順序で調整し、出力する画像の画質を低下させずに輝度を一定に保持する。 （もっと読む）

【課題】 新たな被測定物について新たに条件設定を行う場合でも、操作者が適切なＸ線条件、画像処理条件の設定を容易に行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器と１２からなるＸ線測定光学系１３と、Ｘ線測定光学系１３を制御するとともに撮影した透視Ｘ線像の画像処理を行うことによりＸ線画像を作成して表示装置のモニタ画面に表示する制御を行う制御系２０とを備え、制御系２０は、Ｘ線発生装置のＸ線条件および透視Ｘ線像の画像処理条件を含むＸ線画像作成のための設定条件とその設定条件にて観察する観察部位の材質・厚さを含む観察部位情報とを関係付けて一括して登録した登録データを記憶する登録データ記憶領域５１を備え、観察部位情報の入力により登録データ記憶領域に蓄積された登録データに基づく条件設定を行う条件設定制御部３０を備える。 （もっと読む）

【課題】 隠蔽された銃器や薬物等を発見するために、わずかな隙間から放射線画像を撮影する。
【解決手段】 シンチレータ・プリズム・レンズを１つのマシンにする。このマシンを移動させて、スキャンする。このスキャンしたデータをカメラレンズおよびイメージセンサで放射線画像をとらえる。このイメージセンサは放射線被曝外におくことで放射線による劣化やノイズ対策が不要にする。 （もっと読む）

【課題】注目部位のＸ線光軸方向の位置を正確に求め、透視拡大率の正確な値を求めることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 傾動機構１６と、被測定物の注目部位Ｓｐを基準状態で撮影した基準画像記憶部３６と、注目部位Ｓｐの傾斜状態形成部１６、３３と、基準状態でＸ線光軸とステージ面とが交差する交点Ｐ_１が傾斜状態のときのＸ線光軸とステージ面との交点Ｐ_２となるように、Ｘ線光軸の傾動動作に連動してステージを移動させるステージ追尾移動部１５、３４と、傾斜状態で撮影した画像を蓄積する傾斜画像記憶部３７と、基準画像から特徴情報を抽出する特徴情報抽出部３８と、特徴情報に基づいて傾斜画像中の注目部位を探索する注目部位探索部３９と、基準画像と傾斜画像との画像上の位置により注目部位の移動量（Ｄ）を算出する移動量算出部４０と、移動量（Ｄ）に基づいて注目部位の光軸方向の位置を算出する光軸方向位置算出部４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体試料に加えられるダメージの影響の低減が可能で、より鮮明な不純物濃度分布に関する情報を取得することが可能な半導体の不純物分布測定用試料の製造方法および不純物分布測定方法を提供すること。
【解決手段】収束イオンビームを用いて、ｐ型とｎ型のうちの１つ以上の導電型の不純物を含む半導体基板から半導体片を切り出す切出工程Ｓ１１０と、切出工程Ｓ１１０で切り出した半導体片を、１０μｍ以下の厚さの導電性の箔の上に固定して電気的に接続する箔固定工程Ｓ１２０と、箔固定工程Ｓ１２０で導電性の箔の上に固定された半導体片に、所定の希ガスイオンを照射して、切出工程Ｓ１１０で生じたダメージ層の一部または全部を除去して半導体試料を形成するダメージ緩和工程Ｓ１３０と、を備える構成を有する。 （もっと読む）

【課題】 動画表示の透視Ｘ線画像に対応する外観画像上の位置の確認が容易に行えるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出器１２の受光面近傍に固定されＸ線検出器による透視Ｘ線像より広い視野での被測定物の光学像を撮影する光学カメラ１６と、被測定物を載置するステージ１４と、Ｘ線測定光学系とステージとの相対位置を調整する駆動機構１５と、Ｘ線画像作成部３１と、光学カメラ画像作成部３２と、同時に撮影された透視Ｘ線像および光学像のＸ線画像、光学カメラ画像を同期画像として関係付けを行う同期画像関連付け部３３と、Ｘ線撮影位置マーカを付したマーカ付き光学カメラ画像を作成するマーカ付き光学カメラ画像作成部３４と、マーカ付き光学カメラ画像および関連付けがなされたＸ線画像を関連付けて記憶する同期画像記憶部３５と、マーカ付き光学カメラ画像とＸ線画像とを表示装置に同時に表示する表示制御部３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い光電子観察画像を得るために、試料上で、オージェ電子分光分析による分析部位と光電子観測部位との位置合わせが容易な光電子顕微鏡装置を得る。
【解決手段】紫外光またはＸ線を試料（１４）の表面に照射することにより発生する光電子を電子レンズ系（９、１０）により結像して試料表面を観察する光電子顕微鏡装置において、オージェ電子励起用の電子線源（１４）と電子検出器（７）とを有し、電子線源（１４）で生成された電子線を電子レンズ系（９、１０）にて集光し、試料（１４）の表面に照射する。 （もっと読む）

【課題】断層画像を利用して異常を表示する装置の価格が上昇してしまうという課題があった。
【解決手段】回路形成体２０３を保持する回路形成体回転機構２０２と、回路形成体２０３にＸ線を照射するＸ線発生手段２０１と、回路形成体２０３を透過してきたＸ線を検出するＸ線検出手段２０４と、Ｘ線を利用して、回路形成体２０３の透過画像を作成し、あらかじめ用意された、良品の透過画像と、回路形成体２０３の透過画像とを比較し、比較の結果に応じて、回路形成体２０３における異常の有無を判定し、良品の透過画像を含む、その枚数よりも多い枚数の作成された良品の透過画像のセットを利用して、良品の断層画像を作成する制御コンピュータ２０８と、異常が有ると判定された場合には、回路形成体２０３の異常が有る透過画像に対応する良品の透過画像に基づいて決まる断層画像の部位に、異常を表示する表示手段２０９とを備えた、Ｘ線ＣＴ装置３０１である。 （もっと読む）