【課題】Ｘ線源から放出するＸ線を効率よく利用して、Ｘ線源の強度および波長特性不安定性に影響されることなく良好なスペクトルを取得する。
【解決手段】Ｘ線集光素子３により、Ｘ線源１から放出された広帯域Ｘ線２を集光してその一部を試料４へ照射し、Ｘ線結像素子６により、試料４を透過した透過光５Ａと試料４を透過せずＸ線集光素子３から直接届いた直接光５Ｂの像を同時に転送し、波長分散素子７により、一次元空間情報を保ったままその転送像を波長分解し、二次元Ｘ線検出器９により、信号Ｘ線８Ａと参照Ｘ線８Ｂのスペクトルを吸収スペクトルおよび参照スペクトルとして同時に取得する。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構と制御で検査倍率を保ち、画像の明るさ変化の少ない透視角度可変のＸ線透視検査装置を提供する。
【解決手段】検査領域がＸ線のほぼ光軸上に位置すると共に、Ｘ線源と被検体テーブル１３間距離を調整し、被検体２１の検査倍率を設定するように、被検体テーブル１３を平行移動させて位置設定するテーブル移動手段１４と、Ｘ線の照射領域内において、Ｘ線検出器を被検体テーブルのテーブル面に対して傾斜した検出器移動方向に直線的に移動させて位置設定する検出器移動手段１５と、固定したＸ線源に対してＸ線検出器を位置設定させるように検出器移動手段１５を制御し、検査領域がＸ線のほぼ光軸上に位置するように被検体テーブルを位置設定させて検査領域のテーブル面法線から所定の傾斜角αで傾斜した方向の透過画像を検出させるようにテーブル移動手段１４を制御させる機構制御手段１６を有する。 （もっと読む）

【課題】構成部品の増大につながるプリズムを用いることなく、ＣＣＤが放射線に晒されないようにする。
【解決手段】放射線を出射する放射線源２と、該放射線源２から出射された放射線を可視光に変換する平板状の波長変換手段３と、該波長変換手段３により変換された可視光を撮像する撮像手段４とを備え、波長変換手段３が、放射線に対して傾斜して配置され、撮像手段４が、放射線の経路外に配置されている放射線観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】試料の厚さや材料種類などに依存することなく、前記試料の内部欠陥や内部構造を十分な精度で観察することができる新規な方法及び装置を提供する。
【解決手段】所定の陽電子源から陽電子を放出し、所定の試料に対して照射し、前記陽電子の、前記試料を透過して得た像を透過画像として得る。この透過画像は前記試料の内部構造などを反映しているので、この透過画像を分析することにより、前記試料の内部構造などを知ることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像を用いた算術演算や論理演算を実行しようとする場合に、直感的に演算内容を把握することができる入力画面を表示するようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像を用いてそのＸ線画像に対する算術演算や論理演算の画像処理を行う機能を備えたＸ線検査装置１であって、実行する演算の種類を入力する演算子入力部６２とその演算の対象となるＸ線画像を入力する項入力部６１とが演算式を構成するように表示される演算式入力画面２を表示するようにして演算の種類およびＸ線画像の入力を促す演算入力画面表示制御部３４を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送状態にある被検体内部の異物を検出するのに好適な装置を提供する。
【解決手段】被検体１２を搬送するコンベア１１と、コンベア１１で搬送される被検体１２にＸ線を照射するＸ線源１と、Ｘ線源１から照射されたＸ線の被検体１２を透過する透過量を検出し、かつ互いに異なる検出感度を有する第１検出部及び第２検出部を備えるＸ線検出器４と、Ｘ線検出器４の第１検出部で検出されたＸ線の透過量に基づく第１画像、及びＸ線検出器４の第２検出部で検出されたＸ線の透過量に基づく第２画像を、同一の被検体１２について取得するＸ線画像取得制御装置３と、第１画像及び第２画像を記憶する第１、第２画像記憶装置６、７と、第１画像及び第２画像について減算処理を行う演算処理装置８と、を備える異物検出装置１００。 （もっと読む）

【課題】 測定点間を移動する際の被測定物とＸ線測定光学系との衝突を予測し、衝突防止を図る。
【解決手段】 Ｘ線源１１とＸ線検出器１２との間に被測定物Ｓが位置するように被測定物を載置するためのステージ１４と、駆動機構１５とを備え、ステージ上に載置された被測定物の複数の測定点についてのＸ線検査を行うＸ線検査装置１において、光学カメラ画像に基づいて被測定物の立体形状を抽出する立体形状抽出部３６と、測定点に関する位置情報の入力を受ける測定点情報入力部３７と、測定点間を最短経路で移動させるときに移動中の被測定物が通過する範囲を抽出する通過範囲抽出部３８と、Ｘ線測定光学系１３と被測定物の通過範囲との位置関係とに基づいて衝突可能性を判定する衝突判定部４１と、衝突可能性がある場合に回避ルートを算出する回避ルート算出部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の試料に対してＸ線回折測定を行う場合に、それぞれの試料のＸ線回折パターンが独立に正確に得られにくいという問題点があった。
【解決手段】Ｘ線を試料に向けて照射するためのＸ線照射部と回折Ｘ線を検出するための回折Ｘ線検出部と試料を保持するための試料保持部とを有するＸ線回折装置において、
試料保持部の所定位置に光を照射する光照射部と、光照射部から発生した光を試料に照射して得た反射光を受光する受光部と、反射光の受光角度又は受光位置を測定し、それに応じて試料保持部の試料の厚さ方向の移動距離を決定する位置制御部と、決定された移動距離に応じて試料保持部を試料の厚さ方向に移動させる移動部とを有する位置調整機構を有する、ことを特徴とするＸ線回折装置。 （もっと読む）

【課題】ＲＴ−ＧＵＣＨＩ法を適用して信頼性の高い欠陥部のサイジングが作業性がよく得られるようにしたＲＴ３次元サイジング装置を提供すること。
【解決手段】 対象物１に存在する欠陥部２の近傍に基準線部材３を載置し、放射線源４を一方の位置Ｌと他方の位置Ｒにして放射線を照射し、２方向から撮影した各々の透過写真によりサイジングを行うというＲＴ−ＧＵＣＨＩ法を適用したサイジングに際して、画像ディジタル変換部１１と画像処理部１６、それに３次元解析部３２を設け、前記透過写真を画像ディジタル変換部１１によりディジタル画像化し、ディジタルデータ記憶部１５に記憶した上で、画像処理部１６により処理し、欠陥部２の画像を表示モニタ３０に拡大表示させ、指定範囲の濃度分布を表示モニタ３０にグラフ表示させ、指定位置間寸法を機械的に測長させ、３次元解析部３２により欠陥部の３次元の寸法をリアルタイムで表示モニタ３０に表示されるようにしたもの。 （もっと読む）

【課題】限られた空間を持つ装置内に載置された二次元検出器を用いて、投影像の輝度の減衰を抑えつつ、投影像の拡大率を向上させる。
【解決手段】Ｘ線源１と、二次元検出手段２と、Ｘ線源１のＸ線焦点と二次元検出手段２との間に配置され被検査体７を載置してＸ線焦点から二次元検出手段７の初期位置検出面に降ろした垂線に直交する回転軸を中心に設定された角度変位で回転する回転手段とを用い、各角度位相毎に撮像された投影像より被検査体７の内部構造データを再構成する方法において、Ｘ線焦点から二次元検出手段２の検出面に降ろした垂線の長さを一定に、かつ検出面の側端部が各々の位置で一部重なるよう、被検査体７の回転軸と平行でＸ線焦点を通る回転軸について二次元検出手段２を旋回させる。そして各撮像位置において各角度位相の投影像を撮像し、撮像された投影像から再構成計算を行い、被検査体の内部構造データを再構成する。 （もっと読む）

【課題】 ポインティングデバイスを用いた簡単な操作で所望の測定位置に視野調整することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被測定物を載置するステージと、Ｘ線測定光学系に対する位置が関係付けられ被測定物全体の外観画像を撮影する光学カメラと、ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整する駆動部と、モニタ画面と、透視Ｘ線像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部と、光学カメラで撮影された外観画像を表示する外観画像表示制御部と、入力操作に基づいて指定した測定位置をＸ線測定光学系の測定視野に移動させるための駆動部制御信号を発生するＸ線検査装置であって、外観画像上でポインタにより指定した測定位置を予め操作ボタンに登録し、登録後に操作ボタンを指定する入力によりその操作ボタンに登録された測定位置を外観画像上で指定する入力操作を代行する制御を行う操作ボタン登録制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】 マウスを用いて移動方向と移動速度を同時に制御することができるようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１１とＸ線検出器１２との間において被測定物を載置するステージ１４と、ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系１３との位置関係を調整する駆動部１５と、モニタ画面２４ａと、Ｘ線検出器１２により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線画像を作成するＸ線画像作成部３１と、モニタ画面に透視Ｘ線画像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部３２と、モニタ画面の任意の位置にポインタを表示するとともにクリック操作によりポインタの位置を指定するマウス２３と、モニタ画面２４ａに表示した透視Ｘ線画像２４ｂ上でマウスのクリック操作による位置指定が行われたときに、指定位置に応じて駆動部１６に対する駆動信号を発生する駆動信号発生部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 同一形状の被測定物を次々測定する際に、ティーチングを行う必要なく簡単な入力操作で各測定点を入力することがＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 同一形状の被測定物群を一定間隔ごとに規則的に配列する搭載治具１５を用いてステージ１４上に複数の被測定物群Ｓを載置し、初回測定点位置、測定点間距離、測定繰り返し回数を含む測定位置情報の入力を促す測定位置情報入力制御部３３と、入力された測定位置情報に基づいて各測定点位置を算出する測定点位置算出部３４と、算出された各測定点位置を順次Ｘ線測定光学系の測定視野内に移動するステージ駆動機構制御部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 目視や光学顕微鏡等では判別不能な破面が発生する金属材料の破壊原因を正確に推定することを目的とする。
【解決手段】 被破壊材料の破面から所定の深さの領域における結晶方位分布を検出し、当該結晶方位分布に基づき前記被破壊材料の破壊原因を推定する。 （もっと読む）

【課題】
校正用測定以降、特に検査実行中に帯電状態の変化に起因する焦点オフセットの変化を補正することができるようにした写像投影型電子線式検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】
写像投影型電子線式検査装置において、合焦測度センサ部を有し、該合焦測度センサ部で変換された複数の画像信号から合焦測度を算出する合焦測度算出手段と、該合焦測度算出手段で算出された合焦測度を基に、電子結像光学系に関し対物レンズによる面状電子ビームの収束面と共役な共焦点面の高さを算出し、該算出された共焦点面の高さに基づいて検査領域の合焦検査画像を検査画像検出センサ部で検出するための対物レンズの焦点位置を算出する焦点位置算出手段と、該焦点位置算出手段によって算出された対物レンズの焦点位置に応じて対物レンズの焦点位置を補正する焦点位置補正手段とを有する合焦点制御部を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来のＸ線，超音波画像におけるコントラストと空間解像度の問題を補い、癌の検査の正確率を上げることにある。
【解決手段】予めコリメートされた入射Ｘ線Ｉ（Ｗ）は、非対称モノクロ・コリメータ１０によって反射され、面状波Ｘ線Ｐ（Ｗ）を発生する。面状波Ｘ線Ｐ（Ｗ）は、試料１２を通過する。試料１２を通過したビームＲ（Ｗ）は、角度アナライザ１４によって角度分析され、屈折された成分Ｄ（Ｗ）のみが、角度アナライザ１４を通過することが許される。屈折された成分Ｄ（Ｗ）は、Ｘ線暗視野撮像として、写真フィルム１６に記録される。 （もっと読む）

【課題】 結晶面に対応した複数の回折Ｘ線を同時に検出して、膜内の複数の結晶構造を迅速にかつ同時に特定すること。
【解決手段】 測定用媒体２を固定設置し、かつ、膜の表面に対する放射光Ｘ線１１の入射角度を所定の角度に制限した状態にして、放射光Ｘ線１１を入射させ、膜内の結晶面に対応して発生した複数の回折Ｘ線２１を全て同時に検出し、検出された複数の回折Ｘ線２１の強度を評価して測定用媒体２内に存在する複数の結晶構造を同時に特定する。 （もっと読む）

【課題】 高感度で小型化が容易であり、しかも放射線損傷が少ない一次元イメージセンサを提供する。
【解決手段】 基本構成として、被検体（不図示）を透過した放射線１（電磁波あるいは放射線）の入射する方向に延在するシンチレータ２を備えている。そして、放射線１の入射する方向に対しほぼ直交する方向であって上記シンチレータ２の下部に配置された光学素子３と、該光学素子３の更に下部に配置された二次元受光素子４とを有する。これ等は、好ましくはスリット状の開口部５を有する遮蔽体６に覆われている。上記開口部５の所定の箇所にはシンチレータ２で発生するシンチレーション光の遮光膜７が取り付けられる。そして、二次元受光素子４の光電変換で生成した電気信号の出力を外部に伝送するケーブル８、電気回路９が取り付けられる。 （もっと読む）

セラミックシンチレータは、Ｐｒ、ＴｂおよびＥｕから選ばれる少なくとも１種の元素を付活剤として含有する酸硫化ルテチウム蛍光体の焼結体を具備する。酸硫化ルテチウム蛍光体の焼結体は５〜１５ｐｐｍの範囲のアルカリ金属元素と５〜４０ｐｐｍの範囲のリンとを含有する。このようなセラミックシンチレータによれば、酸硫化ルテチウム蛍光体が本来有する特性を十分に生かし、小型化した場合においても良好なＸ線検出感度を得ることができる。
（もっと読む）

【課題】荷電粒子線の光学系の光軸に垂直な平面内、もしくは少し傾斜した平面内における回転機構をもった装置の回転操作に伴って発生する観察・加工位置の移動の補正を簡便かつ高精度に実現すること。
【解決手段】荷電粒子線装置における試料ホルダー、絞り装置、バイプリズムなどの、当該回転機構の２次元位置検出器とコンピュータ制御による駆動機構を利用し、さらにコンピュータの演算能力を利用することによって該平面内の回転に伴う移動量を演算によって求め、これを相殺させる様に駆動、制御を行なう。また、ひとつの入力によって複数の回転機構を互いに関連をもって操作させる。 （もっと読む）